专利名称：用于制作硅片的扩散石英舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石英舟，尤其是涉及一种用于制作硅片的扩散石英舟。
背景技术：
制作太阳能电池的硅片是P型的半导体材料。如果把这种P型硅片放在一个石英 容器内，同时将含磷的气体通入这个石英容器内，加热到一定的温度，这时N型杂质磷可从 化合物中分解出来，在容器内充满着含磷的蒸汽，在硅片周围包围着许许多多的磷的分子。 根据扩散的基本原理，磷杂质会向硅片内部渗透扩散。在靠近硅片表面的薄层内扩散进去 的磷原子最多，距表面愈远，磷原子愈少。也就是说，杂质浓度(磷浓度)随着距硅表面距离 的增加而减少。这样就可以利用杂质原子向半导体晶片内部扩散的方法，改变半导体晶片 表面层的导电类型，从而形成P、N结，这就是用扩散法制造P-N结的基本原理。中国专利公 开了一种夹取硅片的石英舟(授权公告号CN 201247768Y)，其包括固定条及两个以上卡片 条，卡片条相互平行地固定在固定条上并与所述固定条垂直，卡片条上设有与硅片相适应 的座槽，卡片条包括一个以上底架条、两个以上支架条、两个以上边架条，底架条、支架条及 边架条相互平行，支架条位于底架条外侧，边架条位于支架条外侧；固定条与所述底架条、 支架条及边架条垂直，固定条与所述底架条、支架条及边架条固定连接；底架条上设有与花 篮上座槽相适应的底架座槽，边架条上设有与花篮上座槽相适应的边架座槽。但是这种石 英舟放到石英管内后，往石英管内通工艺气体，硅片在石英管内，是垂直于气流方向的，工 艺气体的气流会从硅片四周往后流，硅片之间的区域的工艺气体密度低于硅片四周，进而 会导致硅片四周边缘的扩散薄层浓度比硅片中心区域高，这种不均勻的扩散，必然导致太 阳能电池性能下降。
实用新型内容本实用新型是提供一种用于制作硅片的扩散石英舟，其主要是解决现有技术所存 在的石英舟放到石英管内后，往石英管内通工艺气体，硅片在石英管内垂直于气流方向，工 艺气体的气流会从硅片四周往后流，硅片之间的区域的工艺气体密度低于硅片四周，进而 会导致硅片四周边缘的扩散薄层浓度比硅片中心区域高，从而导致太阳能电池性能下降等 的技术问题。本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的本实用新型的用于制作硅片的扩散石英舟，包括舟片，所述的舟片包括有底座，底 座的上方设有固定块，底座、固定块上都开有可以插接硅片的插槽，硅片底部插接在底座的 插槽内，硅片两端插接在固定块的插槽内。本实用新型的石英舟上的硅片方向与现有技术 的硅片方向的垂直，这样就能使得工艺气体气流方向同硅片平行，这样就可以使硅片周围 的气体密度均勻，解决了原来由于气体不均勻对工艺的影响，提高了太阳能电池的性能。硅 片的两端可以设有连接片，用来与舟片的底座以及固定块固定在一起。作为优选，所述的底座、固定块上开有连接孔，连接孔内穿接有陶瓷杆。可以根据需要平行排列多片硅片，利用陶瓷杆将多片舟片平行固定在一起，从而用来插接更多的硅 片。作为优选，所述的硅片上开有连接孔，连接孔内穿接有陶瓷杆，可以防止硅片在制 作时脱落。作为优选，所述的硅片为平行设置的2片以上，相邻硅片之间设有卡点，防止相邻 硅片在制作时发生相互间的移动，从而进一步防止硅片脱落。因此，本实用新型具有工艺气体气流方向同硅片平行，能够使硅片周围的气体密 度均勻，解决了原来由于气体不均勻对工艺的影响，提高了太阳能电池的性能，结构简单、 合理等特点。
附图1是本实用新型的一种结构示意图；附图2是本实用新型硅片的一种结构示意图。图中零部件、部位及编号舟片1、底座2、固定块3、硅片4、陶瓷杆5、卡点6、连接 片7。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。实施例本例的用于制作硅片的扩散石英舟，如图1，有多个舟片1，舟片包括有底 座2，底座上方设有固定块3，底座、固定块上都开有可以插接硅片4的插槽，硅片底部插接 在底座的插槽内，硅片两端插接在固定块的插槽内。底座、固定块上开有连接孔，连接孔内 穿接有陶瓷杆5将舟片与硅片穿接在一起。如图2，硅片的两端设有连接片7，连接片固定 在陶瓷杆上。各个硅片上也开有连接孔，连接孔内穿接有陶瓷杆5，相邻硅片之间设有卡点 6。使用时，将整个石英舟放到石英管内，往石英管内通工艺气体，即可以开始扩散。以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不局限于 此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新 型的专利范围之中。
权利要求1.一种用于制作硅片的扩散石英舟，包括舟片(1 )，其特征在于所述的舟片(1)包括有 底座(2)，底座的上方设有固定块(3)，底座、固定块上都开有可以插接硅片(4)的插槽，硅 片底部插接在底座的插槽内，硅片两端插接在固定块的插槽内。
2.根据权利要求1所述的用于制作硅片的扩散石英舟，其特征在于所述的底座(2)、固 定块(3)上开有连接孔，连接孔内穿接有陶瓷杆(5)。
3.根据权利要求1或2所述的用于制作硅片的扩散石英舟，其特征在于所述的硅片 (4)上开有连接孔，连接孔内穿接有陶瓷杆(5)。
4.根据权利要求1或2所述的用于制作硅片的扩散石英舟，其特征在于所述的硅片 (4)为平行设置的2片以上，相邻硅片之间设有卡点(6)。
专利摘要本实用新型涉及一种石英舟，尤其是涉及一种用于制作硅片的扩散石英舟。其主要是解决现有技术所存在的石英舟放到石英管内后，往石英管内通工艺气体，硅片在石英管内垂直于气流方向，工艺气体的气流会从硅片四周往后流，硅片之间的区域的工艺气体密度低于硅片四周，进而会导致硅片四周边缘的扩散薄层浓度比硅片中心区域高，从而导致太阳能电池性能下降等的技术问题。本实用新型包括舟片(1)，其特征在于所述的舟片(1)包括有底座(2)，底座的上方设有固定块(3)，底座、固定块上都开有可以插接硅片(4)的插槽，硅片底部插接在底座的插槽内，硅片两端插接在固定块的插槽内。
文档编号C30B31/14GK201788959SQ20102052048
公开日2011年4月6日 申请日期2010年9月8日 优先权日2010年9月8日
发明者倪恩光, 刘亮, 姚桂华, 张克强, 徐永洋, 谢小磊 申请人:绿华能源科技(杭州)有限公司