一种多晶硅铸锭炉安全监控装置的制作方法

文档序号:8043940阅读:220来源:国知局
专利名称:一种多晶硅铸锭炉安全监控装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种安全监控装置,特别涉及一种多晶硅铸锭炉安全监控装置。
背景技术
目前光伏行业的多晶硅铸锭在生产过程中炉腔内出现的异常情况无法及时监控, 铸锭时常有漏硅事件发生,直接造成30万以上的经济损失,严重时会造成爆炸事故,危及 人身安全。市场上的多晶硅铸锭炉漏硅液报警装置主要是等外漏的高温硅液流到底部来实 现高温报警,因硅液溢流速度很慢造成此装置的反应滞后,还会经常出现误报警,给生产造 成很大损失。

发明内容
本发明为了弥补现有技术的不足,提供了一种直观监控、安全有效的多晶硅铸锭 炉安全监控装置。本发明是通过如下技术方案实现的一种多晶硅铸锭炉安全监控装置,包括铸锭炉,铸锭炉上端口通过上法兰与炉体 端盖密封连接,铸锭炉内设有铸锭坩埚,其特殊之处在于铸锭炉内对应铸锭坩埚下底部处 设有一用于监控铸锭坩埚内硅液外漏的监控装置,监控装置通过总管道与显示器相连接。所述总管道设有外、中、内三层,外层为冷却水进水管,中层为冷却水回水管,内层 为电源信号线管,电源信号线管内设有电源信号线。监控装置包括壳体和固定于壳体内部的摄像机,摄像机前部固定有一玻璃盖板, 玻璃盖板中部对应于摄像机镜头的位置设有透光石英玻璃,玻璃盖板还通过紧固螺丝连接 有锥形窗,摄像机通过电源信号线与显示器连接;壳体后端固定有法兰,法兰通过法兰紧固 螺丝与后法兰盖密封连接;壳体外周设有冷却水管道,冷却水管道通过冷却水夹层分为冷 却水管外层和冷却水管内层,冷却水管外层和冷却水管内层之间通过夹层通孔相连通,冷 却水管外层与冷却水进水管相连,冷却水管内层与冷却水回水管相连。所述法兰与后法兰盖之间设有法兰垫片,透光石英玻璃后端与玻璃盖板之间设有 橡胶垫片,前端与锥形窗之间设有0型密封圈。炉体端盖与冷却水进水管、电源信号线管、冷却水回水管的连接处下方设有橡胶 垫片,上方依次设有0型密封圈、压片和紧固螺母。电源信号线管内部设有环氧树脂密封胶,起到密封作用。监控装置带有夜视功能,能够通过电源信号线将视频信号反馈到显示器上,进行 直观地监控,生产中炉腔内所有的异常情况将得到全面有效的监控。因此,本发明的有益效果是该多晶硅铸锭炉安全监控装置,可以直观地监控铸锭 炉铸锭过程中硅液是否外漏,能够及时发现并处理,有效地保护热场部分,杜绝了误报警造 成的损失,大大减少了生产中的经济损失。

下面结合附图对本发明作进一步的说明。图1为本发明监控装置在炉腔内的工作示意图;图2为监控装置的结构示意图;图3为监控装置与炉体外面连接的密封示意图。图中,1铸锭炉,2铸锭坩埚,3炉体端盖,4监控装置,5显示器,6电源信号线,7总 管道,8上法兰,9后法兰盖,10法兰垫片,11法兰,12壳体,130型密封圈,14橡胶垫片,15 摄像机,16冷却水管外层,17冷却水夹层,18冷却水管内层,19锥形窗,20透光石英玻璃, 21玻璃盖板,22紧固螺丝,23夹层通孔,24冷却水进水管,25电源信号线管,26冷却水回水 管,27法兰紧固螺丝,28紧固螺母,29压片,30环氧树脂密封胶,31冷却水进水口,32电源 信号线出口,33冷却水回水口。
具体实施例方式附图为本发明的一种具体实施例。该实施例包括铸锭炉1,铸锭炉1上端口通过上 法兰8与炉体端盖3密封连接,铸锭炉1内设有铸锭坩埚2,铸锭炉1内对应铸锭坩埚2下 底部处设有一用于监控铸锭坩埚2内硅液外漏的监控装置4,监控装置4通过总管道7与显 示器5相连接,总管道7设有外、中、内三层,外层为冷却水进水管24,中层为冷却水回水管 26,内层为电源信号线管25,电源信号线管25内设有电源信号线6,监控装置4包括壳体12 和固定于壳体12内部的摄像机15,摄像机15前部固定有一玻璃盖板21,玻璃盖板21中部 对应于摄像机15镜头的位置设有透光石英玻璃20,玻璃盖板21还通过紧固螺丝22连接 有锥形窗19,摄像机15通过电源信号线6与显示器5连接;壳体12后端固定有法兰11,法 兰11通过法兰紧固螺丝27与后法兰盖9密封连接;壳体12外周设有冷却水管道,冷却水 管道通过冷却水夹层17分为冷却水管外层16和冷却水管内层18,冷却水管外层16和冷却 水管内层18之间通过夹层通孔23相连通,冷却水管外层16与冷却水进水管M相连,冷却 水管内层18与冷却水回水管沈相连,法兰11与后法兰盖9之间设有法兰垫片10,透光石 英玻璃20后端与玻璃盖板21之间设有橡胶垫片14,前端与锥形窗19之间设有0型密封圈 13,炉体端盖3与冷却水进水管24、电源信号线管25、冷却水回水管沈的连接处下方设有 橡胶垫片14,上方依次设有0型密封圈13、压片四和紧固螺母观,电源信号线管25内部设 有环氧树脂密封胶30。采用本发明的多晶硅铸锭炉安全监控装置,冷却水通过冷却水进水口 31进入冷 却水进水管对,经过冷却水管外层16后,再通过夹层通孔23进入冷却水管内层18,冷却水 管内层18与冷却水回水管沈相连,最后由冷却水回水口 33排出,完成整个循环过程。壳 体12外周设有冷却水管道,以防止铸锭时高温辐射对摄像机15造成损坏,使用透光石英玻 璃20、0型密封圈13及橡胶垫片14密封来保持真空度。电源信号线6 —端与摄像机15连 接,另一端通过电源信号线出口 32后与显示器5连接,摄像机15透过透光石英玻璃20和 锥形窗19监视铸锭炉1的铸锭过程。多晶硅铸锭生产中,摄像机15对准铸锭坩埚2的下底部,如果发生漏硅事故,漏掉 的硅液沿铸锭坩埚2外沿流入铸锭坩埚2下底部,通过摄像机15把漏硅情况如实拍摄下 来,然后通过电源信号线6把视频信号传入显示器5,现场生产人员可以根据具体情况迅速地做出处理。因此,本发明的有益效果是该多晶硅铸锭炉安全监控装置,可以直观地监控 铸锭炉铸锭过程中硅液是否外漏,能够及时发现并处理,有效地保护热场部分,杜绝了误报 警造成的损失,大大减少了生产中的经济损失。
权利要求
1.一种多晶硅铸锭炉安全监控装置,包括铸锭炉(1),铸锭炉(1)上端口通过上法兰(8)与炉体端盖(3)密封连接,铸锭炉(1)内设有铸锭坩埚O),其特征是铸锭炉(1)内对 应铸锭坩埚( 下底部处设有一用于监控铸锭坩埚( 内硅液外漏的监控装置G),监控装 置(4)通过总管道(7)与显示器( 相连接。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置,其特征是所述总管道(7)设 有外、中、内三层,外层为冷却水进水管(对),中层为冷却水回水管06),内层为电源信号 线管05),电源信号线管05)内设有电源信号线(6)。
3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置,其特征是监控装置(4)包 括壳体(1 和固定于壳体(1 内部的摄像机(15),摄像机(1 前部固定有一玻璃盖板 (21),玻璃盖板中部对应于摄像机(1 镜头的位置设有透光石英玻璃(20),玻璃盖板 (21)还通过紧固螺丝0 连接有锥形窗(19),摄像机(1 通过电源信号线(6)与显示器 (5)连接;壳体(1 后端固定有法兰(11),法兰(11)通过法兰紧固螺丝(XT)与后法兰盖(9)密封连接;壳体(1 外周设有冷却水管道,冷却水管道通过冷却水夹层(17)分为冷却 水管外层(16)和冷却水管内层(18),冷却水管外层(16)和冷却水管内层(18)之间通过夹 层通孔相连通,冷却水管外层(16)与冷却水进水管04)相连,冷却水管内层(18)与 冷却水回水管06)相连。
4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置,其特征是所述法兰(11)与后 法兰盖(9)之间设有法兰垫片(10),透光石英玻璃OO)后端与玻璃盖板之间设有橡 胶垫片(14),前端与锥形窗(19)之间设有O型密封圈(13)。
5.根据权利要求1、2或3所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置,其特征是炉体端盖(3) 与冷却水进水管(M)、电源信号线管(25)、冷却水回水管06)的连接处下方设有橡胶垫片 (14),上方依次设有O型密封圈(13)、压片(29)和紧固螺母(28) 0
6.根据权利要求2或5所述的多晶硅铸锭炉安全监控装置,其特征是电源信号线管 (25)内部设有环氧树脂密封胶(30)。
全文摘要
本发明涉及一种安全监控装置,特别涉及一种多晶硅铸锭炉安全监控装置。该多晶硅铸锭炉安全监控装置,包括铸锭炉,铸锭炉上端口通过上法兰与炉体端盖密封连接,铸锭炉内设有铸锭坩埚,其特征是铸锭炉内对应铸锭坩埚下底部处设有一用于监控铸锭坩埚内硅液外漏的监控装置,监控装置通过总管道与显示器相连接。因此,本发明的有益效果是该多晶硅铸锭炉安全监控装置,可以直观地监控铸锭炉铸锭过程中硅液是否外漏,能够及时发现并处理,有效地保护热场部分,杜绝了误报警造成的损失,大大减少了生产中的经济损失。
文档编号C30B28/06GK102071456SQ20111002006
公开日2011年5月25日 申请日期2011年1月18日 优先权日2011年1月18日
发明者吴春林, 苏效亭, 赵从军, 赵忠信 申请人:山东舜亦新能源有限公司
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