专利名称：一种单晶硅加热防尘装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于机电技术领域，主要涉及的是ー种单晶硅加热防尘装置。
背景技术：
目前，我国应用于单晶硅的加热技术及生产规模已在世界上处于领先地位，但在单晶硅的加热过程中由于设备的原因，使得温差波动较大，影响产品质量，其采用的防尘装置周密性的缺陷，也容易导致设备损坏，缩短设备的使用寿命。
实用新型内容本实用新型的目的即由此产生，提出ー种单晶硅加热防尘装置，使其具有更好的严密性。为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现的，一种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。本实用新型的有益效果该防尘装置的构思独特，结构简单，该装置的整体性结构，既方便快捷，有增强了其周密性，大大提高了生产效率，延长设备的使用寿命，避免了浪费。
图I为本实用新型的结构示意图。其中I-坩埚轴，2-托盘，3-法兰，4-磁流体，5-压板，6_多层保温板。
具体实施方式
结合图1，给出本实用新型的实施例如下如图所示本实施例ー种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴I、托盘2、法兰3、磁流体4、压板5和多层保温板6，所述坩埚轴I顶部设有托盘2，所述托盘2下方设有法兰3，所述法兰3下方设有磁流体4，包裹在坩埚轴I外部，所述磁流体4下方设有压板5，所述压板5下方设有多层保温板6。最后应说明的是以上实施例仅用以说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案；因此，尽管本实用新型书參照上述的各个实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换；而一切不脱离实用新型的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
权利要求1.ー种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，其特征在于 所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。该防尘装置的构思独特，结构简单，该装置的整体性结构，既方便快捷，有增强了其周密性，大大提高了生产效率，延长设备的使用寿命，避免了浪费。
文档编号C30B29/06GK202658272SQ201220327240
公开日2013年1月9日 申请日期2012年7月9日 优先权日2012年7月9日
发明者林游辉 申请人:合肥景坤新能源有限公司