一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置的制作方法

文档序号:8167882阅读:181来源:国知局
专利名称:一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种清洗装置,尤其是涉及一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置。
背景技术
单晶硅石英坩埚是拉制太阳能单晶硅棒的必用容器。在现有的单晶硅石英坩埚生产过程中,生产工艺要求对经过检验、切割好的单晶硅石英坩埚进行酸洗和清洗。现有的清洗方式是手工操作,酸洗时操作员戴长手套将单晶硅石英坩埚抱着放在清洗槽中,浸泡5 8分钟后,再从清洗槽中抱出来进行清洗。操作员从酸洗液中抱取单晶硅石英坩埚时,酸洗液具有很强的腐蚀性,一旦发生长手套破裂或其它意外,将对操作员造成严重伤害;同时酸洗液中的阻力较大,容易造成单晶硅石英坩埚从手中滑落而报废。

实用新型内容本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的不足,提供一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其结构简单、设计合理且使用操作方便,能有效保证操作人员的安全,减轻劳动强度,提高了操作可靠性,减少了废品率。为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于包括清洗箱和设置在清洗箱内部的升降支架,以及设置在清洗箱外部的第一导向机构、气缸和手动换向阀;所述清洗箱的前盖上设置有推拉门,所述第一导向机构设置在清洗箱的顶盖上,所述第一导向机构由第一导轮架和设置在所述第一导轮架上的第一导向轮组成;所述气缸安装在清洗箱的后盖上,所述手动换向阀安装在气缸与气源连接的输气管道上且用于控制气缸的升降,所述气缸的活塞杆的一端连接链绳的一端,所述链绳的另一端绕过第一导向轮后通过连接绳与升降支架连接。上述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述第一导轮架由第一连接杆、第一支座和第二支座组成,所述第一支座和第二支座相对设置且均固定在清洗箱的顶盖上,所述第一连接杆的一端与第一支座连接,所述第一连接杆的另一端与第二支座连接;所述第一导向轮的数量为两个,两个所述第一导向轮均位于第一支座与第二支座之间,两个所述第一导向轮分别设置在第一连接杆的两端。上述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述清洗箱的顶部设置有第二导向机构,所述第二导向机构由第二导轮架和设置在所述第二导轮架上的第二导向轮组成;所述第二导向机构由第二连接杆、第三支座和第四支座组成,所述第三支座和第四支座相对设置且均固定在清洗箱的顶盖与清洗箱的后盖连接位置处,所述第二连接杆和第一连接杆相平行,所述第二连接杆的一端与第三支座连接,所述第二连接杆的另一端与第四支座连接;所述第二导向轮的数量为两个,两个所述第二导向轮均位于第三支座与第四支座之间,两个所述第二导向轮分别设置在第二连接杆的两端。上述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述链绳的数量为两条且两条链绳分别为第一链绳和第二链绳,所述第一链绳和第二链绳的一端均与气缸的活塞杆连接,所述第一链绳的另一端依次绕过靠近第三支座的第二导向轮和靠近第一支座的第一导向轮后与升降支架的一端连接,所述第二链绳的另一端依次绕过靠近第四支座的第二导向轮和靠近第二支座的第一导向轮后与升降支架的另一端连接。上述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述清洗箱的后方设置有定位条板,所述定位条板的一端开有第一通孔,所述定位条板的另一端开有第二通孔,所述第一链绳穿过第一通孔,所述第二链绳穿过第二通孔。上述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述清洗箱的底部设置有排液口。上述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述气缸通过上底座和下底座固定安装在清洗箱的后盖上,所述上底座设置在气缸缸筒的上端,所述下底座设置在气缸缸筒的下端。 本实用新型与现有技术相比具有以下优点I、结构简单、设计合理且制造使用成本低。2、能有效保证操作人员的安全,减轻劳动强度,提高操作可靠性,减少废品率。3、使用操作方便,使用时将需要酸洗的单晶硅石英坩埚放在升降支架上,通过控制手动换向阀改变气缸的进气方向,使得升降支架自动上升、下降,进而带动需要清洗的单晶硅石英坩埚下降至清洗箱的酸洗液中,清洗完成后,带动清洗后的单晶硅石英坩埚自动从清洗箱提升上来。下面通过附图和实施例,对本实用新型做进一步的详细描述。

图I为本实用新型的整体结构示意图。图2为图I去掉推拉门后的结构示意图。图3为本实用新型第一导向机构、第二导向机构、定位条板和气缸的位置关系示意图。附图标记说明I 一单晶娃石英樹祸; 2—手动换向阀;3—升降支架;4一清洗箱;5-1—第一导向轮;5-2—第二导向轮;6-1—第一链绳;6-2—第二链绳;7—排液口;8一气缸;8-1—上底座;8-2—下底座;9-1一第一支座;9-2—第二支座; 9-3—第二支座;9-4一第四支座;10-1—第一连接杆;10-2—第二连接杆;11—定位条板;12—推拉门;13—连接绳。
具体实施方式
如图I至图3所示,本实用新型包括清洗箱4和设置在清洗箱4内部的升降支架3,以及设置在清洗箱4外部的第一导向机构、气缸8和手动换向阀2 ;所述清洗箱4的前盖上设置有推拉门12,所述第一导向机构设置在清洗箱4的顶盖上,所述第一导向机构由第一导轮架和设置在所述第一导轮架上的第一导向轮5-1组成;所述气缸8安装在清洗箱4的后盖上,所述手动换向阀2安装在气缸8与气源连接的输气管道上且用于控制气缸8的升降,所述气缸8的活塞杆的一端连接链绳的一端,所述链绳的另一端绕过第一导向轮5-1后通过连接绳13与升降支架3连接。如图I至图3所示,所述第一导轮架由第一连接杆10-1、第一支座9-1和第二支座9-2组成,所述第一支座9-1和第二支座9-2相对设置且均固定在清洗箱4的顶盖上,所述第一连接杆10-1的一端与第一支座9-1连接,所述第一连接杆10-1的另一端与第二支座9-2连接;所述第一导向轮5-1的数量为两个,两个所述第一导向轮5-1均位于第一支座9-1与第二支座9-2之间,两个所述第一导向轮5-1分别设置在第一连接杆10-1的两端。如图I至图3所示,所述清洗箱4的顶部设置有第二导向机构,所述第二导向机构由第二导轮架和设置在所述第二导轮架上的第二导向轮5-2组成;所述第二导向机构由第二连接杆10_2、第二支座9_3和第四支座9_4组成,所述第二支座9_3和第四支座9_4相对设置且均固定在清洗箱4的顶盖与清洗箱4的后盖连接位置处,所述第二连接杆10-2和第一连接杆10-1相平行,所述第二连接杆10-2的一端与第三支座9-3连接,所述第二连接·杆10-2的另一端与第四支座9-4连接;所述第二导向轮5-2的数量为两个,两个所述第二导向轮5-2均位于第三支座9-3与第四支座9-4之间,两个所述第二导向轮5-2分别设置在第二连接杆10-2的两端。如图I至图3所示,所述链绳的数量为两条且两条链绳分别为第一链绳6-1和第二链绳6-2,所述第一链绳6-1和第二链绳6-2的一端均与气缸8的活塞杆连接,所述第一链绳6-1的另一端依次绕过靠近第三支座9-3的第二导向轮和靠近第一支座9-1的第一导向轮后与升降支架3的一端连接,所述第二链绳6-2的另一端依次绕过靠近第四支座9-4的第二导向轮和靠近第二支座9-2的第一导向轮后与升降支架3的另一端连接。如图3所示,所述清洗箱4的后方设置有定位条板11,所述定位条板11的一端开有第一通孔,所述定位条板11的另一端开有第二通孔,所述第一链绳6-1穿过第一通孔,所述第二链绳6-2穿过第二通孔。定位条板的设置可有效将第一链绳6-1和第二链绳6-2分开,使得升降支架3升降平稳。如图I至图3所示,所述清洗箱4的底部设置有排液口 7,便于将清洗箱4内部的酸洗液排出。如图3所示,所述气缸8通过上底座8-1和下底座8-2固定安装在清洗箱4的后盖上,所述上底座8-1设置在气缸8缸筒的上端,所述下底座8-2设置在气缸8缸筒的下端。本实用新型的工作原理为使用时,在清洗箱4中加入酸洗液,将需要清洗的单晶硅石英坩埚I放置在升降支架3上,通过控制手动换向阀2使得气缸8的活塞杆处于上升状态,在第一导向轮5-1和第二导向轮5-2的导向作用下,气缸8的活塞杆带动第一链绳6-1和第二链绳6-2,由于第一链绳6-1和第二链绳6-2均与升降支架3连接,因此在单晶硅石英坩埚I的重力作用下需要清洗的单晶硅石英坩埚I进入清洗箱4的酸洗液中,关闭推拉门12进行清洗。清洗时间到,通过控制手动换向阀2改变气源的进气方向,使得气缸8的活塞杆处于下降状态,在第一导向轮5-1和第二导向轮5-2的导向作用下,第一链绳6-1和第二链绳6-2共同提升升降支架3,将清洗后的单晶硅石英坩埚I提起并脱离酸洗液,打开推拉门12,取出清洗后的单晶硅石英坩埚,完成清洗。[0035]以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,并非对本实用新型作任何限制,凡是根 据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变换,均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
权利要求1.一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于包括清洗箱(4)和设置在清洗箱(4)内部的升降支架(3),以及设置在清洗箱(4)外部的第一导向机构、气缸(8)和手动换向阀(2);所述清洗箱(4)的前盖上设置有推拉门(12),所述第一导向机构设置在清洗箱(4)的顶盖上,所述第一导向机构由第一导轮架和设置在所述第一导轮架上的第一导向轮(5-1)组成;所述气缸(8)安装在清洗箱(4)的后盖上,所述手动换向阀(2)安装在气缸(8 )与气源连接的输气管道上且用于控制气缸(8 )的升降,所述气缸(8 )的活塞杆的一端连接链绳的一端,所述链绳的另一端绕过第一导向轮(5-1)后通过连接绳(13)与升降支架(3)连接。
2.按照权利要求I所述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述第一导轮架由第一连接杆(10-1 )、第一支座(9-1)和第二支座(9-2)组成,所述第一支座(9-1)和第二支座(9-2 )相对设置且均固定在清洗箱(4 )的顶盖上,所述第一连接杆(10-1)的一端与第一支座(9-1)连接,所述第一连接杆(10-1)的另一端与第二支座(9-2)连接;所述第一导向轮(5-1)的数量为两个,两个所述第一导向轮(5-1)均位于第一支座(9-1)与第二支座(9-2)之间,两个所述第一导向轮(5-1)分别设置在第一连接杆(10-1)的两端。
3.按照权利要求2所述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述清洗箱(4)的顶部设置有第二导向机构,所述第二导向机构由第二导轮架和设置在所述第二导轮架上的第二导向轮(5-2)组成;所述第二导向机构由第二连接杆(10-2)、第二支座(9_3)和第四支座(9_4)组成,所述第二支座(9_3)和第四支座(9_4)相对设置且均固定在清洗箱(4)的顶盖与清洗箱(4)的后盖连接位置处,所述第二连接杆(10-2)和第一连接杆(10-1)相平行,所述第二连接杆(10-2)的一端与第三支座(9-3)连接,所述第二连接杆(10-2)的另一端与第四支座(9-4)连接;所述第二导向轮(5-2)的数量为两个,两个所述第二导向轮(5-2)均位于第三支座(9-3)与第四支座(9-4)之间,两个所述第二导向轮(5-2)分别设置在第二连接杆(10-2)的两端。
4.按照权利要求3所述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述链绳的数量为两条且两条链绳分别为第一链绳(6-1)和第二链绳(6-2),所述第一链绳(6-1)和第二链绳(6-2)的一端均与气缸(8)的活塞杆连接,所述第一链绳(6-1)的另一端依次绕过靠近第三支座(9-3)的第二导向轮和靠近第一支座(9-1)的第一导向轮后与升降支架(3)的一端连接,所述第二链绳(6-2)的另一端依次绕过靠近第四支座(9-4)的第二导向轮和靠近第二支座(9-2)的第一导向轮后与升降支架(3)的另一端连接。
5.按照权利要求4中任意一权利要求所述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述清洗箱(4)的后方设置有定位条板(11),所述定位条板(11)的一端开有第一通孔,所述定位条板(11)的另一端开有第二通孔,所述第一链绳(6-1)穿过第一通孔,所述第二链绳(6-2)穿过第二通孔。
6.按照权利要求1-5中任意一权利要求所述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述清洗箱(4)的底部设置有排液口(7)。
7.按照权利要求1-5中任意一权利要求所述的一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,其特征在于所述气缸(8)通过上底座(8-1)和下底座(8-2)固定安装在清洗箱(4)的后盖上,所述上底座(8-1)设置在气缸(8)缸筒的上端,所述下底座(8-2)设置在气缸(8)缸筒的下端。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶硅石英坩埚生产用自动升降清洗装置,包括清洗箱和设置在清洗箱内部的升降支架,以及设置在清洗箱外部的第一导向机构、气缸和手动换向阀;清洗箱的前盖上设置有推拉门,第一导向机构设置在清洗箱的顶盖上,第一导向机构由第一导轮架和设置在第一导轮架上的第一导向轮组成;气缸安装在清洗箱的后盖上,手动换向阀安装在气缸与气源连接的输气管道上且用于控制气缸的升降,气缸的活塞杆的一端连接链绳的一端,链绳的另一端绕过第一导向轮后通过连接绳与升降支架连接。本实用新型结构简单、设计合理且使用操作方便,能有效保证操作人员的安全,减轻劳动强度,提高了操作可靠性,减少了废品率。
文档编号C30B15/10GK202671710SQ201220327210
公开日2013年1月16日 申请日期2012年7月7日 优先权日2012年7月7日
发明者南志坚 申请人:西安盛晶坩埚制造有限公司
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