真空室夹套式水冷壁的制作方法

文档序号:8177616阅读:613来源:国知局
专利名称:真空室夹套式水冷壁的制作方法
技术领域
本实用新型涉及真空设备中高温真空腔室的水冷结构,特别是一种真空室夹套式水冷壁。
背景技术
在真空设备中,特别是高温真空腔室,往往需要腔室的壳体具有水冷却功能。以往真空室壳体具有内外两层,内外层之间为冷水通道。这样的结构由于内层有焊缝,一旦内层焊缝存在缺陷,很容易造成冷却水渗入真空室内,导致真空室不能使用。

实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种真空室夹套式水冷壁,它主要解决上述现有技术中所存在的技术问题,使用时,即使壳体焊缝有缺陷,冷却水也不会渗漏到真空室内。为实现上述目的,本实用新型是这样实现的。一种真空室夹套式水冷壁,它包括具有纵焊缝的腔室壳体,其特征在于:该腔室壳体外设有夹套,该夹套在连接有进水接口和出水接口,腔室壳体的纵焊缝设置在夹套的断开处。本实用新型的技术效果是:本实用新型中腔室壳体上的纵焊缝避开夹套,可避免冷却水渗入真空室。

图1是 本实用新型的结构示意图。图2是图1的A-A向剖视图。图3是图2中B部的局部放大图。
具体实施方式
请参阅图1-3,本实用新型公开了一种真空室夹套式水冷壁。如图所示:它包括具有纵焊缝11的腔室壳体1,其还具有壳体圆周焊缝10。该腔室壳体I外设有夹套2,该夹套2在连接有进水接口 21和出水接口 22,腔室壳体I的纵焊缝11设置在夹套2的断开处。本实用新型在腔室壳体I外侧加一个断开的夹套2,将壳体的纵焊缝11放在夹套的断开位置,这样,即使壳体焊缝有缺陷,冷却水也不会渗漏到真空室内。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰,都应为本实用新型的技术范畴。
权利要求1.一种真空室夹套式水冷壁,它包括具有纵焊缝(11)的腔室壳体(I),其特征在于:该腔室壳体(I)外设有夹套(2 ),该夹套(2 )在连接有进水接口( 21)和出水接口( 22 ),腔室壳体(I)的纵焊缝(11)设置在夹套(2)的断开处。
专利摘要本实用新型涉及真空设备中高温真空腔室的水冷结构,特别是一种真空室夹套式水冷壁。它包括具有纵焊缝的腔室壳体,其特征在于该腔室壳体外设有夹套,该夹套上连接有进水接口和出水接口,腔室壳体的纵焊缝设置在夹套的断开处。使用时,即使壳体焊缝有缺陷,冷却水也不会渗漏到真空室内。
文档编号G12B15/04GK203013277SQ20122063398
公开日2013年6月19日 申请日期2012年11月27日 优先权日2012年11月27日
发明者李银生 申请人:上海米开罗那机电技术有限公司, 北京米开罗那机电技术有限责任公司
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