基板作业系统、基板搬运装置及基板作业装置制造方法
【专利摘要】本发明提供基板作业系统、基板搬运装置及基板作业装置，该基板作业系统具有对基板进行作业的基板作业装置和包含第一基板搬运部并与基板作业装置接续的基板搬运装置。并且，在基板搬运装置上设有挡板装置，在进行第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从第一基板搬运部一侧通至基板作业装置一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
【专利说明】基板作业系统、基板搬运装置及基板作业装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及基板作业系统、基板搬运装置及基板作业装置。
【背景技术】
[0002]以往已知有对基板进行作业的基板作业装置。这样的基板作业装置例如被日本特开2010 — 251450号公报所公开。
[0003]在上述日本特开2010 - 251450号公报中公开了对基板进行元件的安装(作业)的元件安装装置(基板作业装置)。该元件安装装置具备分别包含基板搬运路的两个作业装置、覆盖两个作业装置的罩部件以及在两个作业装置之间以分离彼此的作业空间的方式可装卸地配置的分隔部件。另外，在该元件安装装置中，构成为，经由设于罩部件的开口由两个基板搬运路和外部装置(基板搬运装置)进行基板的交接。
[0004]但是，在上述日本特开2010 - 251450号公报中存在如下问题:在将元件安装装置的基板搬运路与基板搬运装置的基板搬运部接续而使用的情况下，在进行基板搬运装置的基板搬运部的准备的情况下，处于能够经由进行基板交接的开口而到达基板搬运装置侧的状态，所以在基板搬运装置的基板搬运部的准备时工具等异物有时会进入到元件安装装置。
【发明内容】
[0005]本发明是为了解决上述那样的问题而作出的，其目的之一在于提供一种在进行基板搬运装置的基板搬运部的准备时能够防止异物经由开口从基板搬运装置的基板搬运部一侧进入到基板作业装置的基板作业系统、基板搬运装置以及基板作业装置。
[0006]为了实现上述目的，本发明的第一方面的基板作业系统具备:基板作业装置，对基板进行作业；及基板搬运装置，包括在规定方向上搬运基板的第一基板搬运部、在与规定方向正交的方向上与第一基板搬运部邻接配置而搬运基板的第二基板搬运部以及覆盖第一基板搬运部和第二基板搬运部的罩部件，该基板搬运装置与基板作业装置接续，在基板作业装置或基板搬运装置的至少一方设有挡板装置，在进行第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从第一基板搬运部一侧通至基板作业装置一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
[0007]本发明的第一方面的基板作业系统中，如上所述，在基板作业装置或基板搬运装置的至少一方设置在进行第一基板搬运部的准备时关闭使得从基板搬运装置的第一基板搬运部侧通至基板作业装置侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下的挡板装置，从而在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时能够通过挡板装置防止异物经由开口从基板搬运装置的第一基板搬运部侧进入到基板作业装置。由此，在进行基板搬运装置的基板搬运部的准备时，无需使基板作业装置的动作停止，所以能够抑制对基板的作业的效率降低。
[0008]在上述第一方面的基板作业系统中，优选的是，还具备控制基板作业装置和基板搬运装置的控制装置，基板搬运装置的罩部件包括在进行第一基板搬运部的准备时打开的开闭门，控制装置构成为在开闭门处于已打开的状态、挡板装置处于已打开的状态的情况下，进行使基板作业装置和基板搬运装置中的至少一方停止的控制。根据这样的结构，尽管开闭门被打开，但在挡板装置保持已打开的状态的情况下使基板作业装置或基板搬运装置的至少一方停止，所以即使在异物从基板搬运装置和基板作业装置的一方经由开口进入到另一方的情况下，也能够抑制基板作业装置或基板搬运装置损坏。
[0009]在上述第一方面的基板作业系统中，优选的是，基板作业装置包括:在规定方向上搬运基板的第三基板搬运部以及在与规定方向正交的方向上与第三基板搬运部邻接配置而搬运基板的第四基板搬运部，第三基板搬运部构成为通过挡板装置而与第一基板搬运部进行基板的交接，并且在不同于挡板装置的场所与第二基板搬运部进行基板的交接，挡板装置构成为在进行第一基板搬运部的准备时关闭使得从第一基板搬运部一侧通至基板作业装置的第三基板搬运部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。根据这样的结构，即使在挡板装置关闭的情况下，也能够由基板作业装置的第三基板搬运部和基板搬运装置的第二基板搬运部进行基板的交接，所以在基板搬运装置的第一基板搬运部的准备期间，也能够防止异物从第一基板搬运部侧进入到第三基板搬运部侧，并且使第三基板搬运部和第四基板搬运部持续动作。其结果是，能够有效地抑制对基板的作业的效率降低。
[0010]在这种情况下，优选的是，在进行第一基板搬运部的准备时，第二基板搬运部在不同于挡板装置的场所与第三基板搬运部和第四基板搬运部分别进行基板的交接。根据这样的结构，在进行第一基板搬运部的准备时，第二基板搬运部在不同于挡板装置的场所与第三基板搬运部和第四基板搬运部两方进行基板的交接，所以能够更容易地抑制对基板的作业的效率降低。
[0011]上述第一方面的基板作业系统中，优选的是，基板搬运装置构成为在进行第一基板搬运部的准备时使从第一基板搬运部一侧通至第二基板搬运部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。根据这样的结构，在进行第一基板搬运部的准备时由于能够防止异物从第一基板搬运部侧进入到第二基板搬运部侧，所以不需要使第二基板搬运部的动作停止。由此，能够抑制第二基板搬运部对基板的搬运作业的效率降低。
[0012]本发明的第二方面的基板搬运装置与对基板进行作业的基板作业装置接续，并具备:在规定方向上搬运基板的第一基板搬运部；在与规定方向正交的方向上与第一基板搬运部邻接配置而搬运基板的第二基板搬运部；覆盖第一基板搬运部以及第二基板搬运部的罩部件；以及挡板装置，在进行第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从第一基板搬运部一侧通至基板作业装置一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
[0013]本发明的第二方面的基板搬运装置中，如上所述，设置挡板装置，在进行第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从基板搬运装置的第一基板搬运部侧通至基板作业装置侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下，从而能够提供如下的基板搬运装置:在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时通过挡板装置能够防止异物经由开口从基板搬运装置的第一基板搬运部侧进入到基板作业装置。由此，在进行基板搬运装置的基板搬运部的准备时，无需使基板作业装置的动作停止，所以能够抑制对基板的作业的效率降低。
[0014]上述第二方面的基板搬运装置中，优选的是，基板作业装置包括:在规定方向上搬运基板的第三基板搬运部以及在与规定方向正交的方向上与第三基板搬运部邻接配置而搬运基板的第四基板搬运部，第二基板搬运部构成为在不同于挡板装置的场所与第四基板搬运部进行基板的交接，挡板装置构成为在进行第一基板搬运部的准备时关闭使得从第一基板搬运部侧通至基板作业装置的第三基板搬运部侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。根据这样的结构，在进行第一基板搬运部的准备时，由于第二基板搬运部能够在不同于挡板装置的场所与第四基板搬运部进行基板的交接，所以能够容易地抑制对基板的作业的效率降低。
[0015]在这种情况下，优选的是，在进行第一基板搬运部的准备时，第二基板搬运部在不同于挡板装置的场所除了与第四基板搬运部外还与第三基板搬运部进行基板的交接。根据这样的结构，在进行第一基板搬运部的准备时，由于第二基板搬运部能够在不同于挡板装置的场所与第三基板搬运部和第四基板搬运部两方进行基板的交接，所以能够更容易地抑制对基板的作业的效率降低。
[0016]上述第二方面的基板搬运装置中，优选的是，构成为，在进行第一基板搬运部的准备时使从第一基板搬运部一侧通至第二基板搬运部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。根据这样的结构，由于在进行第一基板搬运部的准备时能够防止异物从第一基板搬运部侧进入到第二基板搬运部侧，所以不需要使第二基板搬运部的动作停止。由此，能够抑制第二基板搬运部对基板进行搬运作业的效率降低。
[0017]本发明的第三方面的基板作业装置对基板进行作业，并且具备基板作业部和挡板装置，基板作业部与基板搬运装置接续，该基板搬运装置包括在规定方向上搬运基板的第一基板搬运部、在与规定方向正交的方向上与第一基板搬运部邻接配置而搬运基板的第二基板搬运部以及覆盖第一基板搬运部和第二基板搬运部的罩部件，在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从第一基板搬运部一侧通至基板作业部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
[0018]本发明的第三方面的基板作业装置中，如上所述，设置挡板装置，在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从基板搬运装置的第一基板搬运部侧通至基板作业部侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下，从而能够提供如下的基板作业装置:在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时通过挡板装置能够防止异物经由开口从基板搬运装置的第一基板搬运部侧进入。由此，在进行基板搬运装置的基板搬运部的准备时，无需使基板作业装置的动作停止，所以能够抑制对基板的作业的效率降低。
[0019]根据本发明，如上所述，在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时，能够防止异物经由开口从基板搬运装置的第一基板搬运部侧进入到基板作业装置。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1是表示本发明的一实施方式的基板作业系统的立体图。
[0021]图2是表示本发明的一实施方式的基板作业系统的缓冲输送机的立体图。
[0022]图3是表示本发明的一实施方式的基板作业系统的缓冲输送机的内部的立体图。
[0023]图4是表示本发明的一实施方式的基板作业系统的控制性结构的框图。
[0024]图5是表示本发明的一实施方式的基板作业系统的缓冲输送机的基板搬运部和印刷机的基板搬运部的俯视图。
[0025]图6是表示本发明的一实施方式的基板作业系统的缓冲输送机的内部的侧视图。
[0026]图7是表示本发明的一实施方式的基板作业系统的缓冲输送机的内部的主视图。[0027]图8是用于说明如下情况的俯视图:进行本发明的一实施方式的基板作业系统的缓冲输送机的基板搬运部的准备。
[0028]图9是用于说明本发明的一实施方式的基板作业系统的整体互锁电路进行的互锁控制处理的流程图。
[0029]图10是表示本发明的一实施方式的变形例的基板作业系统的缓冲输送机的基板搬运部和印刷机的基板搬运部的俯视图。
【具体实施方式】
[0030]以下，基于【专利附图】
【附图说明】本发明的实施方式。
[0031]首先，参照图1?图7，说明本发明的一实施方式的基板作业系统100的结构。
[0032]如图1所示，本发明的一实施方式的基板作业系统100具备能够向下游搬出基板3的缓冲输送机I和印刷机2。另外，基板作业系统100具有两个路径，能够对多个基板3并行地进行作业。另外，缓冲输送机I是本发明的“基板搬运装置”的一例，印刷机2是本发明的“基板作业装置”的一例。
[0033]缓冲输送机I是能够使Y方向的位置变化而将从上游侧接收到的基板3向下游侧搬运的基板搬运装置。在该基板作业系统100中，缓冲输送机I配置于印刷机2的搬运方向下游(XI方向)侧。另外，缓冲输送机I从搬运方向上游(X2方向)的印刷机2接收基板3，并交接给搬运方向下游(XI方向)的装置4 (参照图5)。另外，缓冲输送机I是双搬运型的基板搬运装置。另外，如图3所示，缓冲输送机I包含基台10、罩部件11 (参照图2)、两个基板搬运部12和13、一对轨道14。另外，基板搬运部12是本发明的“第一基板搬运部”的一例，基板搬运部13是本发明的“第二基板搬运部”的一例。
[0034]另外，如图4所示，缓冲输送机I包含整体互锁电路15、缓冲输送机互锁电路15a和15b、缓冲输送机马达动力切断机16a和16b、马达17a和17b、门开关Illa和112a、挡板开关113b和115b作为控制性结构。另外，缓冲输送机互锁电路15a、缓冲输送机马达动力切断机16a、马达17a、门开关Illa以及挡板开关113b对应于基板搬运部12侧。另外，缓冲输送机互锁电路15b、缓冲输送机马达动力切断机16b、马达17b、门开关112a以及挡板开关115b对应于基板搬运部13侧。另外，整体互锁电路15是本发明的“控制装置”的一例。另外，门开关Illa和112a分别是本发明的“门开闭检测部”的一例，挡板开关113b和115b分别是本发明的“挡板开闭检测部”的一例。
[0035]如图1和图2所示，罩部件11配置于缓冲输送机I的上部，并构成为覆盖基板搬运部12和13。即，罩部件11以基板搬运部12和13不向外部露出的方式设置。另外，罩部件11包含上方罩11a、侧方罩lib、侧方罩llc(参照图7)、开闭门111和112。如图6所示，开闭门111 (112)配置于基板搬运部12 (13)的上(Zl)侧，并构成为在进行基板搬运部12 (13)的准备时打开。另外，在基板搬运部12 (13)的准备中，进行所搬运的基板3的检查、基板3的抽样等。另外，开闭门111 (112)构成为在关闭时按压门开关Illa (112a)(参照图4)。即，由门开关Illa (112a)检测开闭门111 (112)的开闭。
[0036]另外，如图2和图5所示，在罩部件11的搬运方向上游(X2方向)侧的侧方罩Ilb形成有搬入口 113、114以及115。搬入口 113配置于基板搬运部12 (Yl方向)侧，搬入口115配置于基板搬运部13 (Y2方向)侧。搬入口 114在Y方向上配置于侧方罩Ilb的大致中央。从搬入口 113搬入的基板3被交接给基板搬运部12，从搬入口 115搬入的基板3被交接给基板搬运部13。另外，从搬入口 114搬入的基板3被交接给基板搬运部12或13的任一个。
[0037]在此，在本实施方式中，如图2所示，在搬入口 113和115设有分别能够打开和关闭搬入口 113和115的挡板装置113a和115a。图2所示的实施例的情况下，挡板装置113a处于打开的状态，挡板装置115a处于关闭的状态。挡板装置113a (115a)构成为在基板搬运部12 (13)动作时为了搬入基板3而打开。另外，挡板装置113a (115a)构成为在基板搬运部12 (13)因处于准备时等而停止时关闭使得搬入口 113 (115)的开口间隙消失(变为0mm)。另外,挡板装置113a (115a)构成为在关闭时按压挡板开关113b (115b)(参照图4)。即，由挡板开关113b (115b)检测挡板装置113a (115a)的开闭。
[0038]另外，如图5所示，在罩部件11的搬运方向下游(XI方向)侧的侧方罩Ilc的Y方向的大致中央形成有搬出口 116。由基板搬运部12和13搬运的基板3从搬出口 116被搬出。
[0039]基板搬运部12在基板搬运部13的Yl方向侧邻接配置。另外，如图5所示，基板搬运部12构成为能够沿一对轨道14在与基板3的搬运方向(X方向(本申请的规定方向))正交的方向(Y方向)上移动。具体而言，基板搬运部12构成为通过马达17a (参照图4)的驱动而在Y方向上移动。另外，如图5所示，基板搬运部12构成为从搬运方向上游(X2)侧的印刷机2的基板搬运部22经由搬入口 113接收基板3。另外，基板搬运部12构成为使接收到的基板3向Y2方向移动并经由搬出口 116将基板3交接给搬运方向下游(Xl)侧的装置4的前侧路径4a或后侧路径4b。另外，本实施方式的缓冲输送机I中，能够使基板搬运部12向Y2方向移动而进入基板搬运部13侧。具体而言，构成为能够从搬运方向上游(X2)侧的印刷机2的基板搬运部23经由搬入口 114接收基板3，并在Y方向上移动，经由搬出口116将基板3交接给搬运方向下游(Xl)侧的装置4的前侧路径4a或后侧路径4b。另外，基板搬运部12构成为能够在不对基板搬运部13造成干扰的范围内在Y方向上独立地移动。
[0040]另外，如图3所示，基板搬运部12包含构成为通过马达17a的驱动而沿轨道14在Y方向上移动的板121、经由支柱固定于板121的上表面而向Xl方向搬运基板3的一对输送机12a和12b及固定于板121的上表面的背面罩122。基板搬运部13侧(Y2方向侧)的输送机12a固定地设置于板121上。另一方面,基板搬运部13的相反侧(Π方向侧)的输送机12b能够在板121上沿Y方向移动地设置。由此，构成为能够根据基板3的Y方向的长度调整一对输送机12a和12b的Y方向的宽度。另外，通过固定缓冲输送机I的Y方向上的中央侧的输送机12a，能够减小基板搬运部12的Y方向的移动量。其结果是，能够缩短基板3的搬运节拍。另外，背面罩122是本发明的“分隔部件”的一例。
[0041]如图3所示，板121配置成能够在一对轨道14上移动。背面罩122配置于板121的Y方向上的基板搬运部13侧(Y2方向侧)。即，背面罩122以从基板搬运部12 —侧通至基板搬运部13 —侧的开口间隙的最大间隔D (参照图6和图7)为规定值(例如6mm)以下的方式形成。具体而言，以在进行基板搬运部12的准备时背面罩122与罩部件11的上方罩Ila之间的开口间隙的最大间隔D为规定值以下的方式构成。另外，以背面罩122与罩部件11的侧方罩lib、侧方罩Ilc以及基台10之间的各开口间隙的最大间隔D分别为规定值以下的方式构成。[0042]基板搬运部13在基板搬运部12的Y2方向侧邻接配置。另外，基板搬运部13是与基板搬运部12相同的结构，所以省略说明。另外，基板搬运部13的输送机13a和13b分别与基板搬运部12的输送机12a和12b对应。另外，基板搬运部13的板131和背面罩132分别与基板搬运部12的板121和背面罩122对应。并且，背面罩132配置于板131的Y方向上的基板搬运部12侧(Yl方向侧)即中央侧。基板搬运部12侧(Yl方向侧)的中央侧的输送机13a固定地配置于板131上。另一方面,基板搬运部12的相反侧(Y2方向侧)的输送机13b设置成能够在板131上沿Y方向移动。另外，背面罩132是本发明的“分隔部件”的一例。
[0043]另外，背面罩132也与背面罩122同样地构成。S卩，以在进行基板搬运部13的准备时背面罩132与罩部件11的上方罩Ila之间的开口间隙的最大间隔D为规定值以下的方式构成。另外，以背面罩132与罩部件11的侧方罩lib、侧方罩Ilc以及基台10之间的各开口间隙的最大间隔D分别为规定值以下的方式构成。
[0044]整体互锁电路15 (参照图4)构成为控制缓冲输送机I和印刷机2的电力供给。具体而言，整体互锁电路15构成为经由缓冲输送机互锁电路15a和缓冲输送机马达动力切断机16a而控制缓冲输送机I的基板搬运部12的马达17a的驱动的通/断。另外，整体互锁电路15构成为经由缓冲输送机互锁电路15b和缓冲输送机马达动力切断机16b而控制缓冲输送机I的基板搬运部13的马达17b的驱动的通/断。另外，整体互锁电路15构成为经由印刷机互锁电路27a和印刷机马达动力切断机28a而控制对印刷机2的基板搬运部22的马达29al (驱动输送机而使输送机上的基板3向Xl方向移动)、29a2 (使基板搬运部22在Y方向上移动)以及用于未图示的刮板装置中的刮板的升降、刮板的印刷移动的各马达的电力供给的通/断。另外，整体互锁电路15构成为经由印刷机互锁电路27b和印刷机马达动力切断机28b而控制对印刷机2的基板搬运部23的马达29bl (驱动输送机而使输送机上的基板3向Xl方向移动)、29b2 (使基板搬运部23在Y方向上移动)以及用于未图示的刮板装置中的刮板的升降、刮板的印刷移动的各马达的电力供给的通/断。
[0045]另外，整体互锁电路15构成为在缓冲输送机I的开闭门111或112处于被打开的状态、挡板装置113a或115a处于被打开的状态的情况下，进行使挡板装置I和印刷机2中的至少一方停止(伺服器断开)的控制。即，整体互锁电路15构成为基于门开关llla、112a、挡板开关113b和115b的检测结果来控制与缓冲输送机I的基板搬运部12、13、印刷机2的刮板装置的运行和基板搬运有关的伺服器的通/断。另外，整体互锁电路15构成为，在开闭门111或112处于被打开的状态、挡板装置113a或115a处于被打开的状态的情况下，控制对缓冲输送机I和印刷机2分别供给的电力，并进行使缓冲输送机I和印刷机2中的至少一方停止的控制。
[0046]印刷机2构成为对基板3进行作业。具体而言，印刷机2以在基板3的上表面掩模印刷焊膏的方式构成。另外，印刷机2是双搬运型的印刷机。另外，印刷机2与缓冲输送机I的搬运方向上游(X2)侧接续。另外，如图1所示，印刷机2具备罩部件21。另外，如图5所示，印刷机2作为基板作业部，包含配置于基台20上的两个基板搬运部22和23以及两个印刷作业部24和25。在印刷作业部24和25分别配置有印网掩模和刮板装置(未图示)。由此，构成为能够并行地进行对两张基板3的搬运和掩模印刷。另外，构成为能够通过两个印刷作业部依次掩模印刷一张基板3。另外，基板搬运部22是本发明的“第三基板搬运部”的一例，基板搬运部23是本发明的“第四基板搬运部”的一例。
[0047]另外，如图4所示，印刷机2包含印刷机互锁电路27a和27b、印刷机马达动力切断机28a和28b、马达29al、29a2、29bl、29b2以及其他马达类(未图示)作为控制性结构。另夕卜，印刷机互锁电路27a、印刷机马达动力切断机28a、马达29al和29a2与基板搬运部22侧对应。另外，印刷机互锁电路27b、印刷机马达动力切断机28b、马达29bl和29b2与基板搬运部23侧对应。
[0048]如图1所示，罩部件21配置于印刷机2的上部，并以覆盖基板搬运部22、23、印刷作业部24和25的方式构成。S卩，罩部件21由以印刷作业部24、25以及基板作业部的Xl侧不向外部露出的方式设置的下游侧罩部件21a和以基板作业部的X2侧不向外部露出的方式设置的上游侧罩部件21b构成。下游侧罩部件21a包含开闭门211、212、下游侧上方罩21al、X2侧的侧方罩21a2以及Xl侧的侧方罩21a3。上游侧罩部件21b包含开闭门213、214、上游侧上方罩21bl以及X2侧的侧方罩21b2。开闭门211(212)配置于印刷作业部24
(25)的上(Zl)侧，并构成为在进行印刷作业部24 (25)的准备时打开。开闭门213 (214)配置于开闭门211 (212)的X2方向侧，并构成为在进行基板搬运部22 (23)的准备时打开。另外，在基板搬运部22 (23)的准备中，进行支承销(未图示)的更换等。
[0049]另外，如图1和图5所示，在处于罩部件21的搬运方向上游(X2方向)侧的上游侧罩部件21b的侧方罩21b2形成有搬入口 215和216。搬入口 215配置于基板搬运部22(Y1方向)侧，搬入口 216配置于基板搬运部23 (Υ2方向)侧。从搬入口 215搬入的作业前的基板3被交接给基板搬运部22，从搬入口 216搬入的作业前的基板3被交接给基板搬运部23。
[0050]另外，在处于罩部件21的搬运方向下游(XI方向)侧的下游侧罩部件21a的侧方罩21a3形成有搬出口 217。由基板搬运部22和23搬运的作业后的基板3从搬出口 217被搬出。另外，搬出口 217配置为与缓冲输送机I的搬入口 113?115相向。
[0051]基板搬运部22在基板搬运部23的Yl方向侧邻接配置。另外，如图5所示，基板搬运部22以能够沿一对轨道26在与基板3的搬运方向(X方向)正交的方向(Y方向)上移动的方式构成。具体而言，基板搬运部22以通过马达29a2 (参照图4)的驱动而在Y方向上移动的方式构成。另外，基板搬运部22构成为将进行了印刷的基板3经由搬出口 217交接给搬运方向下游(Xl)侧的缓冲输送机I的基板搬运部12或13。另外，在本实施方式的印刷机2中，能够使基板搬运部22向Y2方向移动而进入至基台20的中央部。另外，基板搬运部22构成为能够在不对基板搬运部23造成干扰的范围内在Y方向上独立地移动。
[0052]另外，如图5所示，基板搬运部22包含在Xl方向上搬运基板3的一对输送机22a、22b以及构成为能够沿一对轨道26在Y方向上移动的板221。基板搬运部23侧(Y2方向侦1J)的输送机22a固定地设置于板221上。另一方面,基板搬运部23的相反侧(Π方向侧)的输送机22b设置成能够在板221上沿Y方向移动。由此，能够根据基板3的Y方向的长度调整一对输送机22a和22b的Y方向的宽度。另外，通过固定印刷机2的Y方向上的中央侧的输送机22a，从而能够减小基板搬运部22的Y方向的移动量。其结果是，能够缩短基板3的搬运节拍。
[0053]基板搬运部23在基板搬运部22的Y2方向侧邻接配置。另外，基板搬运部23是与基板搬运部22相同的结构，所以省略说明。另外，基板搬运部23的输送机23a和23b分别与基板搬运部22的输送机22a和22b对应。另外，基板搬运部23的板231与基板搬运部22的板221对应。
[0054]印刷作业部24在印刷作业部25的Yl方向侧邻接配置。另外，印刷作业部24构成为能够在Y方向上移动。由此，能够对由基板搬运部22搬运的基板3和由基板搬运部23搬运的基板3进行作业(掩模印刷)。另外，印刷作业部24主要具备进行掩模印刷的印网掩模(未图示)、焊料供给部(未图示)、刮板装置(未图示)。
[0055]印刷作业部25在印刷作业部24的Y2方向侧邻接配置。另外，印刷作业部25是与印刷作业部24相同的结构，所以省略说明。
[0056]接着，参照图8，说明缓冲输送机I的基板搬运部12的准备时的动作。
[0057]如图8所示，使缓冲输送机I的基板搬运部13、印刷机2的基板搬运部22和23动作并且例如在进行缓冲输送机I的基板搬运部12的准备的情况下由用户打开开闭门111(参照图2)。这时，基板搬运部12配置于Yl方向侧，马达17a的驱动变为断开而停止。另夕卜，挡板装置113a变为已关闭的状态。
[0058]另外，运转(动作)中的缓冲输送机I的基板搬运部13以能够在不干扰基板搬运部12的范围内沿Y方向移动的方式动作。即，基板搬运部13以如下方式动作:从移动到印刷机2的Y方向中央部的基板搬运部22经由搬入口 114接收在印刷作业部24中完成了印刷的基板3，并经由搬出口 116将基板3交接给装置4的前侧路径4a或后侧路径4b，并且从位于印刷机2的Y2方向端部的基板搬运部23经由搬入口 115接收在印刷作业部25中完成了印刷的基板3，并经由搬出口 116将基板3交接给装置4的前侧路径4a或后侧路径4b。这时，挡板装置115a处于已打开的状态。由此，无需使上游的印刷机2和下游的装置4停止就能够进行基板搬运部12的准备。
[0059]另外，在开闭门112 (参照图2)被用户打开而进行缓冲输送机I的基板搬运部13的准备的情况也是同样的。基板搬运部13配置于Y2方向侧，马达17b的驱动变为断开而停止，挡板装置115a变为已关闭的状态。在印刷作业部25中完成了印刷的基板3从移动到印刷机2的Y方向中央部的基板搬运部23经由搬入口 114被交接给基板搬运部12后，经由搬出口 116被交接给装置4的前侧路径4a或后侧路径4b。在印刷作业部24中完成了印刷的基板3从位于印刷机2的Yl方向端部的基板搬运部22经由搬入口 113被交接给基板搬运部12后,经由搬出口 116被交接给装置4的前侧路径4a或后侧路径4b。这时,挡板装置113a处于已打开的状态。由此，无需使上游的印刷机2和下游的装置4停止就能够进行基板搬运部13的准备。
[0060]接着，参照图9，说明本发明的一实施方式的基板作业系统100的整体互锁电路15进行的互锁控制处理。该控制处理在缓冲输送机I的运转中持续进行。
[0061]在图9的步骤SI中，判断伺服器按钮(未图示)是否被按下或者是否处于伺服器接通状态。即，判断是否伺服器按钮被按下并对缓冲输送机I的基板搬运部12和13供给电力而处于运转状态。若伺服器按钮被按下或者处于伺服器接通状态，则前进到步骤S3，若伺服器按钮没被按下且处于伺服器断开状态，则前进到步骤S2。在步骤S2中，判断缓冲输送机I的电源是否为断开。若电源为断开，则结束互锁控制处理。另外，若电源为接通，则返回到步骤SI。
[0062]在步骤SI中，若判断为伺服器按钮被按下或者处于伺服器接通状态，则在步骤S3中，判断印刷机2和缓冲输送机I的状态是否为正常。另外，正常的情况是指没有任何异常而印刷机2和缓冲输送机I为可运转状态的情况。非正常的情况是指紧急停止按钮(未图示)被用户按下的情况、印刷机2或缓冲输送机I存在异常的状态的情况。若为正常，则前进到步骤S5，若非正常，则前进到步骤S4。
[0063]另外，在正常进行印刷动作和基板搬运的情况下，开闭门111和112关闭，并且挡板装置113a和115a维持为开的状态。另外，在作业者为了检查而打开开闭门111或112的任一个时，未图示的控制部进行控制以关闭与已打开的开闭门在Y方向上为相同侧的挡板装置113a或115a的任一个。由此，能够使印刷动作和基板搬运动作变化为所对应的状态。另外，在步骤S3中非正常是指构成印刷机2和缓冲输送机I的各机器、各装置的任一个发生异常而无法进行原本的动作、无法进行正常的印刷和搬运的状态，若开闭门111、112、挡板装置113a和115a分别都能够进行开闭动作，则判断为与开闭状态无关而为正常。
[0064]在步骤S4中，印刷机2和缓冲输送机I整体的伺服器设为断开而停止运转。之后，前进到步骤S2。若在步骤S3中判断为正常，则在步骤S5中，判断缓冲输送机I的任一个开闭门是否打开。即，判断开闭门是否为了进行缓冲输送机I的基板搬运部的准备而打开。若开闭门111和112两方都关闭，则前进到步骤S11，若开闭门111或112中的至少一方打开，则前进到步骤S6。
[0065]在步骤S6中，判断打开的开闭门。若仅开闭门111 (参照图2)打开，则前进到步骤S7，若仅开闭门112 (参照图2)打开，则前进到步骤S8。若开闭门111和112两者都打开，则前进到步骤S12。在步骤S7中，判断挡板装置113a(参照图2)是否打开。S卩，判断在缓冲输送机I的Yl方向侧的开闭门111处于已打开的状态下，缓冲输送机I的Yl方向侧的挡板装置113a是否打开。若挡板装置113a打开，则判断为开闭门111或挡板装置113a存在异常，前进到步骤S4，将印刷机2和缓冲输送机I整体的伺服器设为断开而停止运转。若挡板装置113a关闭，则作为正常的准备时的处理而前进到步骤S9。
[0066]在步骤S9中，将缓冲输送机I的基板搬运部12的伺服器设为断开状态，维持缓冲输送机I的基板搬运部13和印刷机2的伺服器的接通状态。即，进行准备的基板搬运部12的运转停止，基板搬运部13和印刷机2的运转继续。之后，返回到步骤SI。
[0067]若在步骤S6中判断为仅开闭门112打开，则在步骤S8中判断挡板装置115a (参照图2)是否打开。即，判断在缓冲输送机I的Y2方向侧的开闭门112处于已打开的状态下缓冲输送机I的Y2方向侧的挡板装置115a是否打开。若挡板装置115a打开，则判断为开闭门112或挡板装置115a存在异常，前进到步骤S4，将印刷机2和缓冲输送机I整体的伺服器设为断开而停止运转。若挡板装置115a关闭，则作为正常准备时的处理而前进到步骤 S10。
[0068]在步骤SlO中，将缓冲输送机I的基板搬运部13的伺服器设为断开状态，维持缓冲输送机I的基板搬运部12和印刷机2的伺服器的接通状态。即，进行准备的基板搬运部13的运转停止，基板搬运部12和印刷机2的运转继续。之后，返回到步骤SI。
[0069]若在步骤S6中判断为开闭门111和112两者都打开，则在步骤S12中，将缓冲输送机I的基板搬运部12和13的伺服器设为断开状态，维持印刷机2的伺服器的接通状态。即，基板搬运部12和13的运转停止，印刷机2的运转继续。
[0070]若在步骤S5中判断为开闭门111和112两者都关闭，则在步骤Sll中维持印刷机2和缓冲输送机I整体的伺服器的接通状态。即，印刷机2和缓冲输送机I的运转继续。之后，返回到步骤S3。
[0071]在本实施方式中，如上所述，在缓冲输送机I上设置在进行基板搬运部12的准备时关闭使得从缓冲输送机I的基板搬运部12侧通至印刷机2侧的开口间隙消失(变为Omm)的挡板装置113a，由此在进行缓冲输送机I的基板搬运部12的准备时，能够通过挡板装置113a防止异物经由开口从缓冲输送机I的基板搬运部12侧进入到印刷机2。由此，在进行缓冲输送机I的基板搬运部12的准备时，无需使印刷机2的动作停止，所以能够抑制对基板3的掩模印刷等作业的效率降低。
[0072]另外，在本实施方式中，在缓冲输送机I上设置检测挡板装置113a (115a)的开闭的挡板开关113b (115b)。由此，在进行缓冲输送机I的基板搬运部12 (13)的准备时，能够通过挡板开关113b (115b)检测挡板装置113a (115a)可靠地关闭这一情况。
[0073]另外，本实施方式中，如上所述，将控制印刷机2和缓冲输送机I的整体互锁电路15构成为在开闭门111或112处于已打开的状态、挡板装置113a或115a处于已打开的状态的情况下进行使印刷机2和缓冲输送机I中的至少一方停止的控制。由此，在挡板装置113a或115a存在动作异常的情况下，使印刷机2或缓冲输送机I的至少一方停止，所以即使在异物经由开口从缓冲输送机I和印刷机2的一方进入到另一方的情况下，也能够抑制印刷机2或缓冲输送机I损坏。另外，挡板装置113a或115a存在动作异常的情况是指，在作业者为了检查而打开了开闭门111或112的任一个时尽管未图示的控制部进行了控制以关闭与已打开的开闭门在Y方向上为相同侧的挡板装置113a或115a的任一个，但在开闭门111或112处于打开的状态下，挡板装置113a或115a保持已打开的状态的情况、或者暂时关闭的挡板装置113a或115a再次打开的情况等。
[0074]另外，在本实施方式中，在缓冲输送机I上设置检测开闭门111 (112)的开闭的门开关Illa (112a)。由此，在挡板装置113a (115a)保持已打开的状态下开闭门111 (112)被打开了的情况下能够可靠地检测开闭门111 (112)已打开这一情况，所以能够使印刷机2和缓冲输送机I中的至少一方可靠地停止。
[0075]另外，在本实施方式中，将整体互锁电路15构成为，在开闭门111 (112)处于已打开的状态、挡板装置113a (115a)处于已打开的状态的情况下，控制分别向印刷机2和缓冲输送机I供给的电力，并进行使印刷机2和缓冲输送机I中的至少一方停止的控制。由此，在开闭门111 (112)处于已打开的状态、挡板装置113a (115a)处于已打开的状态的情况下，使向印刷机2和缓冲输送机I中的至少一方供给的电力停止，所以能够可靠地使印刷机2或缓冲输送机I的动作停止。
[0076]另外，在本实施方式中，如上所述，在进行基板搬运部12的准备时从基板搬运部12侧通至基板搬运部13侧的开口间隙的最大间隔D为规定值(例如6mm)以下。由此，在进行基板搬运部12的准备时，能够防止异物从基板搬运部12侧进入到基板搬运部13侧，所以不需要使基板搬运部13的动作停止。其结果是，能够抑制基板搬运部13对基板3的搬运作业的效率降低。
[0077]另外，在本实施方式中，在缓冲输送机I上，在基板搬运部12的基板搬运部13侧设置背面罩122使得从基板搬运部12侧通至基板搬运部13侧的开口间隙的最大间隔D为规定值(例如6_)以下。由此，能够易于通过背面罩122而使从基板搬运部12侧通至基板搬运部13侧的开口间隙的最大间隔D为规定值(例如6mm)以下。
[0078]另外，在本实施方式中，如上所述，将印刷机2的基板搬运部22构成为通过挡板装置113a而与缓冲输送机I的基板搬运部12进行基板3的交接，并经由搬入口 114与缓冲输送机I的基板搬运部13进行基板3的交接，将挡板装置113a构成为在进行缓冲输送机I的基板搬运部12的准备时关闭使得从基板搬运部12侧通至印刷机2的基板搬运部22侧的开口间隙消失。由此，即使在挡板装置113a处于关闭的情况下，也能够由印刷机2的基板搬运部22和缓冲输送机I的基板搬运部13进行基板3的交接，所以在缓冲输送机I的基板搬运部12的准备期间，也能够防止异物从基板搬运部12侧进入到基板搬运部22侦牝并且能够使基板搬运部22和23持续动作。其结果为，能够有效地抑制对基板3的作业的效率降低。
[0079]另外，在本实施方式中，如上所述，将缓冲输送机I的基板搬运部13构成为在不同于挡板装置113a的场所与印刷机2的基板搬运部23进行基板3的交接，并且将挡板装置113a构成为在进行基板搬运部12的准备时关闭使得从基板搬运部12侧通至印刷机2的基板搬运部22侧的开口间隙消失(变为0mm)。由此，在进行基板搬运部12的准备时，基板搬运部13能够在不同于挡板装置113a的场所与印刷机2的基板搬运部23进行基板3的交接，所以能够容易地抑制对基板3的作业的效率降低。
[0080]另外，在本实施方式中，如上所述，在进行基板搬运部12的准备时，将基板搬运部13构成为在不同于挡板装置113a的场所除了与印刷机2的基板搬运部23外还与基板搬运部22进行基板3的交接。由此，在进行基板搬运部12的准备时，基板搬运部13能够在不同于挡板装置113a的场所与基板搬运部22和基板搬运部23两者进行基板3的交接，所以能够更容易地抑制对基板3的作业的效率降低。
[0081]另外，应当理解本次公开的实施方式所有方面为例示而非限制。本发明的范围不是由上述实施方式的说明而是由权利要求表示，并且包含与权利要求等同含义和范围内的所有变更。
[0082]例如，在上述实施方式中，作为本发明的基板作业装置的一例，例示了使用对基板进行焊料印刷作业的印刷机的例子，但是本发明不限于此。例如，也可以将对基板进行元件安装作业的表面安装机、进行基板上的元件的检查作业的检查装置作为本发明的基板作业装置使用。
[0083]另外，上述实施方式中，例示了在作为基板搬运装置的缓冲输送机上设置挡板装置的结构的例子，但是本发明不限于此。在本发明中，如图10所示的变形例中的基板作业系统200那样，也可以将在进行基板搬运装置(缓冲输送机Ia)的第一基板搬运部(基板搬运部12)的准备时关闭使得从第一基板搬运部侧通至基板作业装置侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下的挡板装置设于基板作业装置(印刷机2a)侧。在这种情况下，可以在构成下游侧罩部件21a的X2侧的侧方罩21a2的Yl方向侧配置包含挡板装置的搬出口 218a，在侧方罩21a2的Y2方向侧配置包含挡板装置的搬出口 218c。另外，也可以在搬出口 218a和218c之间即侧方罩21a2的Y方向中央部配置搬出口 218b。另外，也可以在缓冲输送机Ia的罩部件11的X2方向侧的侧方罩Ilb上以与搬出口 218a?218c相向的方式设置从Yl侧延伸至Y2侧的一个搬入口 117。
[0084]另外，也可以将在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时关闭使得从第一基板搬运部侧通至基板作业装置侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下的挡板装置设于基板作业装置和基板搬运装置这两者。
[0085]另外，在上述实施方式中，例示了将挡板装置构成为在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时关闭使得从第一基板搬运部侧通至基板作业装置侧的开口间隙消失(变为Omm)的例子，但是本发明不限于此。在本发明中，也可以将挡板装置构成为在进行基板搬运装置的第一基板搬运部的准备时关闭使得从第一基板搬运部侧通至基板作业装置侦_开口间隙为规定值(例如6mm)以下。
[0086]另外，在上述实施方式中，例示了作为基板作业装置的印刷机为包含第三基板搬运部(基板搬运部22)和第四基板搬运部(基板搬运部23)的结构的例子，但是本发明不限于此。在本发明中，基板作业装置也可以是包含一个基板搬运部的结构。在这种情况下，可以将基板从基板作业装置的一个基板搬运部分配并交接给基板搬运装置的多个基板搬运部。
[0087]另外，在上述实施方式中，例示了作为基板作业装置的印刷机配置于作为基板搬运装置的缓冲输送机的搬运方向上游侧而将基板从基板作业装置交接给基板搬运装置的结构的例子，但是本发明不限于此。在本发明中，也可以是基板搬运装置配置于基板作业装置的搬运方向上游侧而将基板从基板搬运装置交接给基板作业装置的结构。
[0088]另外，在上述实施方式中，例示了在开闭门处于已打开的状态、挡板装置处于已打开的状态的情况下进行使基板作业装置(印刷机)以及基板搬运装置(缓冲输送机)两方停止的控制的结构的例子，但是本发明不限于此。在本发明中，也可以是在开闭门处于已打开的状态、挡板装置处于已打开的状态的情况下进行使基板作业装置和基板搬运装置中的至少一方停止的控制的结构。
[0089]另外，在上述实施方式中，例示了将作为控制装置的整体互锁电路设于作为基板搬运装置的缓冲输送机上的结构的例子，但是本发明不限于此。在本发明中，可以将控制装置设于基板作业装置上，也可以设于基板搬运装置和基板作业装置以外的外部装置上。
[0090]另外，在上述实施方式中，为了便于说明，使用沿处理流程依次进行处理的流程驱动型的流程图对作为本发明的控制装置的整体互锁电路的处理动作进行了说明，但是本发明不限于此。在本发明中，也可以通过以事件为单位执行处理的事件驱动型(event driven型)的处理来进行控制装置的处理动作。在这种情况下，可以以完全事件驱动型进行，也可以组合事件驱动和流程驱动来进行。
【权利要求】
1.一种基板作业系统，具备: 基板作业装置，对基板进行作业；及 基板搬运装置，包括第一基板搬运部、第二基板搬运部和罩部件，并与所述基板作业装置接续，其中所述第一基板搬运部在规定方向上搬运所述基板，所述第二基板搬运部在与所述规定方向正交的方向上与所述第一基板搬运部邻接地配置而搬运所述基板，所述罩部件覆盖所述第一基板搬运部和所述第二基板搬运部， 在所述基板作业装置或所述基板搬运装置的至少一方设有挡板装置，在进行所述第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从所述第一基板搬运部一侧通至所述基板作业装置一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
2.根据权利要求1所述的基板作业系统,其中， 还具备控制所述基板作业装置和所述基板搬运装置的控制装置， 所述基板搬运装置的所述罩部件包括在进行所述第一基板搬运部的准备时打开的开闭门， 所述控制装置构成为，在所述开闭门处于已打开的状态、所述挡板装置处于已打开的状态的情况下，进行使所述基板作业装置和所述基板搬运装置中的至少一方停止的控制。
3.根据权利要求1所述的基板作业系统,其中， 所述基板作业装置包括:在所述规定方向上搬运所述基板的第三基板搬运部以及在与所述规定方向正交的方向上与所述第三基板搬运部邻接地配置而搬运所述基板的第四基板搬运部，· 所述第三基板搬运部构成为通过所述挡板装置而与所述第一基板搬运部进行所述基板的交接，并且在不同于所述挡板装置的场所与所述第二基板搬运部进行所述基板的交接， 所述挡板装置构成为在进行所述第一基板搬运部的准备时关闭使得从所述第一基板搬运部一侧通至所述基板作业装置的所述第三基板搬运部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
4.根据权利要求3所述的基板作业系统，其中， 在进行所述第一基板搬运部的准备时，所述第二基板搬运部在不同于所述挡板装置的场所与所述第三基板搬运部和所述第四基板搬运部分别进行所述基板的交接。
5.根据权利要求1所述的基板作业系统,其中， 所述基板搬运装置构成为在进行所述第一基板搬运部的准备时使得从所述第一基板搬运部一侧通至所述第二基板搬运部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
6.一种基板搬运装置，与对基板进行作业的基板作业装置接续，所述基板搬运装置具备: 第一基板搬运部，在规定方向上搬运所述基板； 第二基板搬运部，在与所述规定方向正交的方向上与所述第一基板搬运部邻接配置而搬运所述基板； 罩部件，覆盖所述第一基板搬运部和所述第二基板搬运部；及 挡板装置，在进行所述第一基板搬运部的准备时关闭使得从所述第一基板搬运部一侧通至所述基板作业装置一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
7.根据权利要求6所述的基板搬运装置，其中， 所述基板作业装置包括:在所述规定方向上搬运所述基板的第三基板搬运部以及在与所述规定方向正交的方向上与所述第三基板搬运部邻接配置而搬运所述基板的第四基板搬运部， 所述第二基板搬运部构成为在不同于所述挡板装置的场所与所述第四基板搬运部进行所述基板的交接， 所述挡板装置构成为在进行所述第一基板搬运部的准备时关闭使得从所述第一基板搬运部一侧通至所述基板作业装置的所述第三基板搬运部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
8.根据权利要求7所述的基板搬运装置，其中， 在进行所述第一基板搬运部的准备时，所述第二基板搬运部在不同于所述挡板装置的场所除了与所述第四基板搬运部外还与所述第三基板搬运部进行所述基板的交接。
9.根据权利要求6所述的基板搬运装置，其中， 在进行所述第一基板搬运部的准备时使从所述第一基板搬运部一侧通至所述第二基板搬运部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
10.一种基板作业装置，对基板进行作业，并且具备: 基板作业部，与基板搬运装置接续，该基板搬运装置包括:在规定方向上搬运所述基板的第一基板搬运部、在与所述规定方向正交的方向上与所述第一基板搬运部邻接配置而搬运所述基板的第二基板搬运部以及覆盖所述第一基板搬运部和所述第二基板搬运部的罩部件；以及 挡板装置，在进行所述基板搬运装置的所述第一基板搬运部的准备时该挡板装置关闭使得从所述第一基板搬运部一侧通至所述基板作业部一侧的开口间隙的最大间隔为规定值以下。
【文档编号】H05K13/00GK103826429SQ201310574408
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年11月15日 优先权日:2012年11月15日
【发明者】菅原一之, 大畑利彦 申请人:雅马哈发动机株式会社