一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件的制作方法

文档序号:8095987阅读:276来源:国知局
一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件的制作方法
【专利摘要】本发明涉及单晶硅生长炉领域,旨在提供一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件。该种用于单晶硅生长炉的挂接板组件包括连接体螺钉、挂接板和开关组件,开关组件包括开关组件A和开关组件B,开关组件A用于控制单晶硅生长炉的副炉室、炉盖能否进行运动,开关组件B用于控制副炉室是单独运动还是与炉盖同时运动,通过连接体螺钉和挂接板的配合,能实现单晶硅生长炉的副炉室与炉盖间的连接和脱离。本发明可以实现随时在中途方便安全取晶,不用随炉体慢慢冷却后才实现取晶动作,节省冷料时间和再次余料加热时间,降低了生产成本,提高了生产效率。
【专利说明】-种用于单晶硅生长炉的挂接板组件

【技术领域】
[0001] 本发明是关于单晶硅生长炉领域,特别涉及一种用于单晶硅生长炉的挂接板组 件。

【背景技术】
[0002] 单晶硅是光伏发电利用太阳能的主要功能材料,对于现在信息社会越来越关键。 单晶炉在生产过程中,需要中途取晶,因炉体还有硅料存在,需保持炉内的压力及温度等状 态不变,需要单独打开副炉室。在安装热场坩埚及装料等操作时需打开炉盖及副炉室。现 有的技术方案为提升装置先抬升副炉室,到一定高度后,提升轴上台阶顶到炉盖托架再一 同提升。造成提升机构复杂,提升行程为二步分摊,提升距离较长;炉盖旋转还需人工手动 操作或单独的旋转机构。


【发明内容】

[0003] 本发明的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种能够实现使用同一提升 装置执行副炉室单独升降以及副炉室和炉盖同步升降的挂接板组件。为解决上述技术问 题,本发明的解决方案是:
[0004] 提供一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件,包括连接体螺钉、挂接板和开关组件, 通过连接体螺钉和挂接板的配合,能实现单晶硅生长炉的副炉室与炉盖间的连接和脱离;
[0005] 挂接板为环形结构,安装在单晶硅生长炉的副炉室下法兰上,且挂接板能以副炉 室下法兰为轴进行旋转,挂接板上设有至少两个弧形槽,弧形槽包括相互连接的大弧形和 小弧形,大弧形的直径为dl,小弧形的直径为d2 ;
[0006] 单晶硅生长炉的副炉室下法兰上表面设有至少两个通孔,通孔分别与挂接板上对 应的弧形槽连通,通孔的直径为d3,连接体螺钉能穿过通孔进入弧形槽内,并通过旋转挂接 板,连接体螺钉能在弧形槽的大弧形和小弧形内转换,使连接体螺钉在挂接板上完成挂接 和脱离,实现炉盖与副炉室的连接和分离;副炉室下法兰上表面还设有两个深孔,用于实现 挂接板在旋转到两个位置后的定位;
[0007] 开关组件包括开关组件A和开关组件B,开关组件A用于控制单晶硅生长炉的副炉 室、炉盖能否进行运动(判断同时提升副炉室和炉盖运动时的安全状态),开关组件B用于 控制副炉室是单独运动还是与炉盖同时运动(判断副炉室和炉盖是连接还是脱离状态);
[0008] 开关组件A包括弹簧销主体、压簧盖、手柄帽、弹簧销轴、弹簧和开关A,弹簧销主 体安装在挂接板上,开关A也安装在挂接板上,压簧盖安装在弹簧销主体上,手柄帽安装在 弹簧销轴上,弹簧销轴通过弹簧与弹簧销主体连接;通过旋转挂接板,在连接体螺钉与挂 接板完成挂接和脱离的两个位置时,弹簧销轴在弹簧的张力作用下,能分别落入两个深孔 中,弹簧销轴上端面下降触发开关A实现自锁功能;
[0009] 开关组件B包括开关B和撞块,开关B安装在挂接板上,撞块安装在副炉室下法兰 的侧边,撞块设有一个斜面结构;通过旋转挂接板,弹簧销轴在两个深孔之间滑动时的,开 关B随挂接板一起旋转到撞块处,开关B的滑动组件沿撞块的斜面结构滑动(压下触头), 实现缓冲导向的作用(连接体螺钉处于挂接板弧形槽的大弧形内时,开关B处于闭合状态, 副炉室能单独运动,连接体螺钉处于挂接板弧形槽的小弧形内时,开关B处于常开状态,副 炉室能与炉盖同时运动)。
[0010] 作为进一步的改进,所述开关组件A中,弹簧销的主体内设有一腔体,用于容纳弹 簧销轴和弹簧在腔内活动;弹簧销轴包括用于止住弹簧的止口圆盘、用于锁住挂接板位置 的小圆柱轴;手柄帽包括用于人工手动操作的小圆柱、用于触发开关A的大圆盘;开关A的 前端带有一个能伸缩的触头,触头是能减少摩擦的滚轮,通过触发触头,工作在常开和常闭 两种状态下,并反馈信号给外部(PLC)进行判断。
[0011] 作为进一步的改进,所述开关组件B中,开关B的前端带有一个可能伸缩的触头, 触头是能减少摩擦的滚轮,用于作为开关B的滑动组件,通过触发触头,工作在常开和常闭 两种状态下,并反馈信号给外部(PLC)进行判断。
[0012] 作为进一步的改进,所述用于单晶硅生长炉的挂接板组件还设有保护装置,保护 装置用于防止单晶硅生长炉的升降装置,在没有达到升降条件时,对单晶硅生长炉的炉盖、 副炉室进行升降;升降条件是指开关组件A弹簧销轴落入副炉室下法兰上表面的深孔中, 弹簧销轴上端面下降触发开关A实现自锁功能。
[0013] 作为进一步的改进,所述挂接板上设有手柄,用于通过旋转手柄实现挂接板的旋 转。
[0014] 作为进一步的改进,所述连接体螺钉包括依次连接的顶面、上圆柱、中圆柱、下圆 柱,并通过下圆柱安装在单晶硅生长炉的炉盖上法兰上,炉盖上法兰上设有至少两个连接 体螺钉;所述顶面是用于导向的圆锥球面结构,圆锥球面结构是指圆锥的顶点处为球面的 结构,上圆柱、中圆柱和下圆柱的外径依次为D1、D2、D3。
[0015] 作为进一步的改进,所述连接体螺钉、挂接板、通孔满足:02、(12、01、(11依次减小, 且d3大于Dl,d3大于D3。
[0016] 通过本发明执行副炉室单独升降及副炉室与炉盖同步升降,具体工作原理为:
[0017] 机械部分:连接体螺钉与挂接板弧形槽相对位置不同,其配合情况不同;设计理 念是连接体螺钉上圆柱面外径为D1,中圆柱面外径为D2,挂接板凹形槽有2个大小不同的 弧形槽连接组成,大弧形槽外径为dl,小弧形槽外径为d2。弧形槽与连接体螺钉的特征关 系为D2 < d2 < Dl < dl ;当连接体螺钉在弧形槽dl处时:由于dl > D1,连接体螺钉无法 挂接在挂接板上,副炉室提升时与炉盖处于分离状态;当连接体螺钉在弧形槽d2处时:由 于DI > d2,连接体螺钉D1段挂接在挂接板上,提升副炉室时,炉盖与副炉室一同提升,炉盖 与副炉室处于连接状态。
[0018] 副炉室下法兰上有两处配合弹簧销轴的深孔,到连接体螺钉完全处于dl或d2弧 形槽时,连接体螺钉下端会落入副炉室下法兰的深孔内。通过弹簧作用使弹簧销轴触发开 关A,保证同时提升副炉室和炉盖运动时的安全。
[0019] 开关B也安装在挂接板上,撞块安装在副炉室法兰侧面,在旋转挂接板,弹簧销轴 处于深孔的两个位置时,通过撞块的斜面结构,撞块与开关B相对状态不同,当开关B处于 闭合状态时,连接体螺钉处于挂接板弧形槽的dl位置,副炉室与炉盖处于分离状态。当开 关B处于常开状态时,连接体螺钉处于挂接板弧形槽的d2位置,副炉室与炉盖处于连接状 态。
[0020] 电气部分:通过开关A和开关B来反应出副炉室与炉盖的衔接情况和主导程序操 作。当开关A触发时,确定弹簧销轴正常插入副炉室下法兰孔内,可以保证同时提升副炉室 和炉盖运动时的安全。开关B处于的不同情况反应出副炉室与炉盖的连接情况。主导程序 对二者之间不同状态的操作。
[0021] 假设开关A的常开状态为0,闭合状态为1 ;开关B的常开状态为0,闭合状态为1。 2个开关形成4组不同信号反馈给程序,程序可控制的动作如下表:

【权利要求】
1. 一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件,包括连接体螺钉、挂接板和开关组件,其特征 在于,通过连接体螺钉和挂接板的配合,能实现单晶硅生长炉的副炉室与炉盖间的连接和 脱离; 挂接板为环形结构,安装在单晶硅生长炉的副炉室下法兰上,且挂接板能以副炉室下 法兰为轴进行旋转,挂接板上设有至少两个弧形槽,弧形槽包括相互连接的大弧形和小弧 形,大弧形的直径为dl,小弧形的直径为d2 ; 单晶硅生长炉的副炉室下法兰上表面设有至少两个通孔,通孔分别与挂接板上对应的 弧形槽连通,通孔的直径为d3,连接体螺钉能穿过通孔进入弧形槽内,并通过旋转挂接板, 连接体螺钉能在弧形槽的大弧形和小弧形内转换,使连接体螺钉在挂接板上完成挂接和脱 离,实现炉盖与副炉室的连接和分离;副炉室下法兰上表面还设有两个深孔,用于实现挂接 板在旋转到两个位置后的定位; 开关组件包括开关组件A和开关组件B,开关组件A用于控制单晶硅生长炉的副炉室、 炉盖能否进行运动,开关组件B用于控制副炉室是单独运动还是与炉盖同时运动; 开关组件A包括弹簧销主体、压簧盖、手柄帽、弹簧销轴、弹簧和开关A,弹簧销主体安 装在挂接板上,开关A也安装在挂接板上,压簧盖安装在弹簧销主体上,手柄帽安装在弹簧 销轴上,弹簧销轴通过弹簧与弹簧销主体连接;通过旋转挂接板,在连接体螺钉与挂接板 完成挂接和脱离的两个位置时,弹簧销轴在弹簧的张力作用下,能分别落入两个深孔中,弹 簧销轴上端面下降触发开关A实现自锁功能; 开关组件B包括开关B和撞块,开关B安装在挂接板上,撞块安装在副炉室下法兰的 侧边,撞块设有一个斜面结构;通过旋转挂接板,弹簧销轴在两个深孔之间滑动时的,开关 B随挂接板一起旋转到撞块处,开关B的滑动组件沿撞块的斜面结构滑动,实现缓冲导向的 作用。
2. 根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件,其特征在于,所述开 关组件A中,弹簧销的主体内设有一腔体,用于容纳弹簧销轴和弹簧在腔内活动;弹簧销轴 包括用于止住弹簧的止口圆盘、用于锁住挂接板位置的小圆柱轴;手柄帽包括用于人工手 动操作的小圆柱、用于触发开关A的大圆盘;开关A的前端带有一个能伸缩的触头,触头是 能减少摩擦的滚轮,通过触发触头,工作在常开和常闭两种状态下,并反馈信号给外部进行 判断。
3. 根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件,其特征在于,所述开 关组件B中,开关B的前端带有一个可能伸缩的触头,触头是能减少摩擦的滚轮,用于作为 开关B的滑动组件,通过触发触头,工作在常开和常闭两种状态下,并反馈信号给外部进行 判断。
4. 根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件,其特征在于,所述用 于单晶硅生长炉的挂接板组件还设有保护装置,保护装置用于防止单晶硅生长炉的升降装 置,在没有达到升降条件时,对单晶硅生长炉的炉盖、副炉室进行升降;升降条件是指开关 组件A弹簧销轴落入副炉室下法兰上表面的深孔中,弹簧销轴上端面下降触发开关A实现 自锁功能。
5. 根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件,其特征在于,所述挂 接板上设有手柄,用于通过旋转手柄实现挂接板的旋转。
6. 根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件,其特征在于,所述连 接体螺钉包括依次连接的顶面、上圆柱、中圆柱、下圆柱,并通过下圆柱安装在单晶硅生长 炉的炉盖上法兰上,炉盖上法兰上设有至少两个连接体螺钉;所述顶面是用于导向的圆锥 球面结构,圆锥球面结构是指圆锥的顶点处为球面的结构,上圆柱、中圆柱和下圆柱的外径 依次为D1、D2、D3。
7. 根据权利要求6所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件,其特征在于,所述连 接体螺钉、挂接板、通孔满足:D2、d2、Dl、dl依次减小,且d3大于Dl,d3大于D3。
【文档编号】C30B29/06GK104213190SQ201410411807
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年8月20日 优先权日:2014年8月20日
【发明者】朱亮, 王巍, 倪军夫, 孙明, 周建灿 申请人:浙江晶盛机电股份有限公司
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