冷却吸附过滤装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型的冷却吸附过滤装置，在一筒件内放置一可供重复抽取的过滤模组，另有一可供重复开阖的盖件封盖于筒件的开口处；另有至少一进气管自筒件外侧伸入筒件内部相对于过滤组件的下方处，以及有至少一旁通管设于筒件的外侧，其旁通管的两端分别自筒件相对于过滤模组的顶板上方位置及相对于筒件的隔件下方位置伸入筒件中；其过滤模组于其顶板上方设有一套管，套管的管壁设有至少一出气通道，其盖件设有一供与套管对应接合的出气通道。俾获致一种结构组成相对较为简化，且相对较有利于过滤模组的清洁、安装的冷却吸附过滤装置。
【专利说明】
冷却吸附过滤装置
技术领域
[0001]本实用新型有关一种过滤装置，特别是指一种结构组成相对较为简化，且相对较有利于过滤模组的清洁、安装的冷却吸附过滤装置。
【背景技术】
[0002]已知半导体晶圆制造过程中，可利用冷却水的低温将制造半导体晶圆所产生的高温废气加以冷却凝结成粉末状的杂异物，再藉由滤网吸附过滤该等杂异物，使得以令业经过滤后所得的洁净气体得以排放至预先设定的设备或室外。
[0003]如图1及图2所示，类似现有废气吸附过滤装置，基本上在一密闭的外筒件11内设有数量不等的滤网161，以及一供冷却水得以与滤网161产生热交换作用的循环水道13，另于该外筒件11穿设有供外接废气的进气通道14，以及供处理过的气体排出的出气通道15。
[0004]原则上，其进气信道14及出气信道15相对设于该外筒件11两端，并且于出气通道15端施予负压，以利进入外筒件11的废气得以依照预先设定的路径依序与各滤网161接触，进而达到预期的冷却吸附过滤效果。
[0005]类似现有废气吸附过滤装置，在使用一段时间之后，难免因为滤网161遭异物阻塞而影响过滤效能；因此，多透过一芯杆162将全数滤网161整合在一可供与该外筒件11重复开阖的盖件16内侧面，使得以在盖件16开启时，连同滤网自外筒件11中抽除方便对滤网161加以清洁。
[0006]再者，当滤网161因遭异物阻塞，而影响废气通过滤网的流量及流速时，亦会导致进气通道14端与出气通道15端的流量无法平衡，尤其在出气通道15端的负压持续作用，整个废气吸附过滤装置的相关构件极有可能无法承受极端的压力变化而毁损。
[0007]因此，类似现有废气吸附过滤装置，进一步将出气通道15设于该盖件16尚且与该芯杆162衔接，另设有一将全数滤网161包围的内筒件12;该内筒件12与盖件16之间及该盖件与该外筒件11之间皆保持可供气体流通的间隙，且于该内筒件12相对于该盖件16的另一端设置一供与进气通道14衔接的穿孔121，该穿孔121与该进气通道14之间亦保持可供气体流通的间隙。
[0008]据以，当滤网161因遭异物阻塞，导致进气通道14端与出气通道15端的流量无法平衡时，其部分的气体可由穿孔121与进气通道14之间的间隙进入内筒件12与外筒件11之间的间隙，再由内筒件12与盖件16之间的间隙进入出气通道15，以免造成极端的压力变化。
[0009]然而，上揭现有废气吸附过滤装置以加装内筒件12的方式，区隔出相对位于其内部的过滤通道及相对位于其外部的压力平衡通道，不但增加内筒件12及外筒件11之间的结构复杂性，且其全数滤网161甚至包括压力计17皆整合在盖件16上，其在将滤网161的拆、装过程中，皆必须耗费相当大的力量，且相对较不容易将相关组件安装至定位，同时增加相关组件遭受碰撞毁损的风险。
【实用新型内容】
[0010]本实用新型所解决的技术问题即在提供一种结构组成相对较为简化，且相对较有利于过滤模组的清洁、安装的冷却吸附过滤装置。
[0011]本实用新型所采用的技术手段如下所述。
[0012]为了达到上述目的，本实用新型的冷却吸附过滤装置，基本上包括有:一筒件、一过滤模组，以及一盖件;其中:该筒件的底部呈封闭状其顶部则设形成一开口，该筒件另在其筒壁的内侧面设有至少两个分别贯通至其筒壁的外侧面的第一管接头;该过滤模组以可供重复抽取的型态置于该筒件中，该过滤模组由一芯杆连接一顶板及一底板，于该顶板及该底板之间设有至少一滤网，该顶板及该底板的外沿概与该筒件的筒壁内侧面密合，该顶板及该底板上且分别设有一通气孔，另有至少一冷凝管连接于该顶板及该底板之间，该至少一冷凝管的两端分别设有一供与该筒件的第一管接头对应接合的第二管接头;该盖件以可供重复开阖的型态盖设于该筒件的开口处；以及，该筒件在其内部相对于该过滤模组的底板下方处设置一供限制气体流通的隔件，于该隔件上设有一穿孔，另有一进气管自该筒件外侧伸入该筒件内部相对于该隔件的下方处，该进气管的尾端且由该隔件的穿孔伸出该隔件上方与该过滤模组相通，该穿孔与该进气管之间且维持可供气体通过的间隙，另有至少一旁通管设于该筒件的外侧，该至少一旁通管的两端分别自该筒件相对于该过滤模组的顶板上方位置及相对于该筒件的隔件下方位置伸入该筒件中；该过滤模组于该顶板上方设有一套管，该套管的管壁设有至少一出气孔洞，该盖件设有一供与该套管对应接合的出气通道。
[0013]利用上述结构特征，本实用新型的冷却吸附过滤装置，于使用时，由进气管连接欲进行过滤的气体，由冷凝管连接循环冷却流体;整体冷却吸附过滤装置运作时，在出气通道端施予负压的状态下，令气体流经过滤模组的滤网，并且与滤网产生热交换作用，进而达到预期的冷却吸附过滤效果;必要时，可将盖件开启且将其自筒件上移除之后，即可进将整个过滤模组自筒件中移除，不但有利于整个过滤模组的清洁、安装，并且能够以相对积极、可靠的手段防止相关组件在过滤模组的拆、装过程遭不当碰撞而毁损。
[0014]依据上述结构特征，所述该冷却吸附过滤装置，于该筒件上设有至少一压力计。
[0015]依据上述结构特征，所述该过滤模组于该顶板与该底板之间设有至少一隔板，该隔板的外沿概与该筒件的筒壁内侧面密合，该至少一隔板上设有一通气孔，该过滤模组于该至少隔板的上、下板面皆设有至少一滤网。
[0016]依据上述结构特征，所述该冷却吸附过滤装置，于该筒件上设有至少一压力计;该过滤模组于该顶板与该底板之间设有至少一隔板，该隔板的外沿概与该筒件的筒壁内侧面密合，该至少一隔板上设有一通气孔，该过滤模组于该至少隔板的上、下板面皆设有至少一滤网。
[0017]所述该隔件与该筒件的筒壁一体加工成型。
[0018]所述该隔件以可供重复抽取的型态设置于该筒件中。
[0019]所述该隔件以可供重复抽取的型态置于该筒件中，该隔件的底面凸设有复数垫体。
[0020]所述该隔件以可供重复抽取的型态置于该筒件中，该隔件的顶面凸设有复数垫体。
[0021]所述该隔件以可供重复抽取的型态置于该筒件中，该隔件的底面及顶面皆凸设有复数垫体。
[0022]本实用新型所产生的技术效果如下。
[0023]本实用新型所揭露的冷却吸附过滤装置，主要利用上揭筒件、过滤模组及盖件的整合设计，大幅简化整体冷却吸附过滤装置的结构组成，使盖件得以相对轻量化，不但可藉以降低成本，且相对较有利于整个过滤模组的清洁、安装，尤其能够以相对积极、可靠的手段防止相关组件在过滤模组的拆、装过程遭不当碰撞而毁损。
【附图说明】
[0024]图1为现有废气吸附过滤装置的结构分解图。
[0025]图2为现有废气吸附过滤装置的结构剖视图。
[0026]图3为本实用新型第一实施例的冷却吸附过滤装置结构分解图。
[0027]图4为本实用新型第一实施例的冷却吸附过滤装置结构剖视图。
[0028]图5为本实用新型第二实施例的冷却吸附过滤装置结构分解图。
[0029]图6为本实用新型第二实施例的冷却吸附过滤装置结构剖视图。
[0030]图7为本实用新型第三实施例的冷却吸附过滤装置结构分解图。
[0031 ]图8为本实用新型第三实施例的冷却吸附过滤装置结构剖视图。
[0032]图号说明:
[0033][先前技术]
[0034]11外筒件
[0035]12内筒件
[0036]121 穿孔
[0037]13循环水道
[0038]14进气通道
[0039]15出气通道
[0040]16 盖件[0041 ]161 滤网
[0042]162 芯杆
[0043]17压力计
[0044][本实用新型]
[0045]20 筒件
[0046]21 开口
[0047]22第一管接头
[0048]23 隔件
[0049]231 穿孔
[0050]232 垫体[0051 ]30过滤模组
[0052]31 芯杆
[0053]32 顶板
[0054]33 底板
[0055]34 滤网
[0056]35冷凝管
[0057]36第二管接头
[0058]37 套管
[0059]371出气孔洞
[0060]38 隔板[0061 ]39通气孔
[0062]40 盖件
[0063]41出气通道
[0064]50进气管
[0065]60旁通管
[0066]7O压力计。
【具体实施方式】
[0067]本实用新型主要提供一种结构相对较为简单，且相对较有利于过滤模组的清洁、安装的冷却吸附过滤装置，如图2及图3所示，本实用新型的冷却吸附过滤装置，基本上包括有:一筒件20、一过滤模组30，以及一盖件40。
[0068]该筒件20的底部呈封闭状其顶部则设形成一开口21，该筒件20另在其筒壁的内侧面设有至少两个分别贯通至其筒壁的外侧面的第一管接头22。
[0069]该过滤模组30以可供重复抽取的型态置于该筒件20中，该过滤模组30由一芯杆31连接一顶板32及一底板33，于该顶板32及该底板33之间设有至少一滤网34，该顶板32及该底板33的外沿概与该筒件20的筒壁内侧面密合，该顶板32及该底板33上且分别设有一通气孔39，另有至少一冷凝管35连接于该顶板32及该底板33之间，该至少一冷凝管35的两端分别设有一供与该筒件20的第一管接头22对应接合的第二管接头36。
[0070]该盖件40以可供重复开阖的型态盖设于该筒件20的开口21处；以及，该筒件20在其内部相对于该过滤模组30的底板33下方处设置一供限制气体流通的隔件23，于该隔件23上设有一穿孔231，另有一进气管50自该筒件20外侧伸入该筒件20内部相对于该隔件23的下方处，该进气管50的尾端且由该隔件23的穿孔231伸出该隔件23上方与该过滤模组30相通，该穿孔231与该进气管50之间且维持可供气体通过的间隙。
[0071]另有至少一旁通管60设于该筒件20的外侧，该至少一旁通管60的两端分别自该筒件20相对于该过滤模组30的顶板32上方位置及相对于该筒件20的隔件23下方位置伸入该筒件20中；该过滤模组30于该顶板32上方设有一套管37，该套管37的管壁设有至少一出气孔洞371，该盖件40设有一供与该套管37对应接合的出气通道41;于实施时，该套管37可以由加工成管状的金属滤网所构成。
[0072]原则上，本实用新型的冷却吸附过滤装置，由进气管50连接欲进行过滤的气体，由冷凝管35连接循环冷却流体;整体冷却吸附过滤装置运作时，在出气通道41端施予负压的状态下，令气体流经过滤模组30的滤网34，并且与滤网34产生热交换作用，进而达到预期的冷却吸附过滤效果。
[0073]本实用新型的冷却吸附过滤装置，在过滤模组30的滤网34因遭异物阻塞，导致进气端与出气端的流量无法平衡时，其部分的气体可由隔件23的穿孔231与进气管50之间的间隙进入隔件23下方的空间，再经旁通管60进入筒件20相对于过滤模组30的顶板32上方的空间，最后经由过滤模组3套的套管37排出，以免造成极端的压力变化。
[0074]以及，当本实用新型的冷却吸附过滤装置，遇有必需对过滤模组30进行更换或清洁的需求时，可将盖件40开启且将其自筒件20上移除之后，即可进将整个过滤模组30自筒件20中移除，不但有利于整个过滤模组30的清洁、安装，并且能够以相对积极、可靠的手段防止相关组件在过滤模组30的拆、装过程遭不当碰撞而毁损。
[0075]再者，本实用新型的冷却吸附过滤装置，于实施时，可于该筒件20上设有至少一压力计70，以于整体冷却吸附过滤装置运作时，透过压力计70随时显示其筒件20内的压力状态，以利做出相关因应措施。
[0076]以及，所述该过滤模组30可于该顶板32与该底板33之间设有至少一隔板38，该隔板38的外沿概与该筒件20的筒壁内侧面密合，该至少一隔板38上设有一通气孔39，整体过滤模组30于该至少隔板38的上、下板面皆设有至少一滤网34，藉以增加滤网34的配置数量，以及延长气体流经过滤模组30的路径。
[0077]当然，本实用新型的冷却吸附过滤装置，又以如图所示于该筒件20上设有至少一压力计70，以及该过滤模组30于该顶板32与该底板33之间设有至少一隔板38，该隔板38的外沿概与该筒件20的筒壁内侧面密合，该至少一隔板38上设有一通气孔39，整体过滤模组30于该至少隔板38的上、下板面皆设有至少一滤网34的结构型态呈现为佳。
[0078]在上揭图3及图4所示的实施例中，所述该隔件23可以与该筒件20的筒壁一体加工成型；当然，所述该隔件23亦可如图5至图8所示，以可供重复抽取的型态设置于该筒件20中。
[0079]在图5及图6所示的实施例中，所述该隔件23的底面凸设有复数垫体232;在图7及图8所示的实施例中，所述该隔件23的顶面凸设有复数垫体232;当然，于具体实施时，所述该隔件亦可于其底面及顶面皆凸设有复数垫体(图略)。
[0080]与传统现有结构相较，本实用新型所揭露的冷却吸附过滤装置，主要利用上揭筒件、过滤模组及盖件的整合设计，大幅简化整体冷却吸附过滤装置的结构组成，使盖件得以相对轻量化，不但可藉以降低成本，且相对较有利于整个过滤模组的清洁、安装，尤其能够以相对积极、可靠的手段防止相关组件在过滤模组的拆、装过程遭不当碰撞而毁损。
【主权项】
1.一种冷却吸附过滤装置，包括有:一筒件(20)、一过滤模组(30)，以及一盖件(40);其特征在于: 该筒件(20)的底部呈封闭状其顶部则设形成一开口(21)，该筒件(20)另在其筒壁的内侧面设有至少两个分别贯通至其筒壁的外侧面的第一管接头(22); 该过滤模组(30)以可供重复抽取的型态置于该筒件(20)中，该过滤模组(30)由一芯杆(31)连接一顶板(32)及一底板(33)，于该顶板(32)及该底板(33)之间设有至少一滤网(34)，该顶板(32)及该底板(33)的外沿概与该筒件(20)的筒壁内侧面密合，该顶板(32)及该底板(33)上且分别设有一通气孔(39)，另有至少一冷凝管(35)连接于该顶板(32)及该底板(33)之间，该至少一冷凝管(35)的两端分别设有一供与该筒件(20)的第一管接头(22)对应接合的第二管接头(36); 该盖件(40)以可供重复开阖的型态盖设于该筒件(20)的开口(21)处；以及， 该筒件(20)在其内部相对于该过滤模组(30)的底板(33)下方处设置一供限制气体流通的隔件(23)，于该隔件(23)上设有一穿孔(231)，另有一进气管(50)自该筒件(20)外侧伸入该筒件(20)内部相对于该隔件(23)的下方处，该进气管(50)的尾端且由该隔件(23)的穿孔(231)伸出该隔件(23)上方与该过滤模组(30)相通，该穿孔(231)与该进气管(50)之间且维持可供气体通过的间隙；另有至少一旁通管(60)设于该筒件(20)的外侧，该至少一旁通管(60)的两端分别自该筒件(20)相对于该过滤模组(30)的顶板(32)上方位置及相对于该筒件(20)的隔件(23)下方位置伸入该筒件(20)中；该过滤模组(30)于该顶板(32)上方设有一套管(37)，该套管(37)的管壁设有至少一出气孔洞(371)，该盖件(40)设有一供与该套管(37)对应接合的出气通道(41)。2.如权利要求1所述的冷却吸附过滤装置，其特征在于，该冷却吸附过滤装置，于该筒件(20)上设有至少一压力计(70)。3.如权利要求1所述的冷却吸附过滤装置，其特征在于，该过滤模组(30)于该顶板(32)与该底板(33)之间设有至少一隔板(38)，该隔板(38)的外沿概与该筒件(20)的筒壁内侧面密合，该至少一隔板(38)上设有一通气孔(39)，该过滤模组(30)于该至少隔板(38)的上、下板面皆设有至少一滤网(34)。4.如权利要求1所述的冷却吸附过滤装置，其特征在于，该冷却吸附过滤装置，于该筒件(20)上设有至少一压力计(70);该过滤模组(30)于该顶板(32)与该底板(33)之间设有至少一隔板(38)，该隔板(38)的外沿概与该筒件(20)的筒壁内侧面密合，该至少一隔板(38)上设有一通气孔(39)，该过滤模组(30)于该至少隔板(38)的上、下板面皆设有至少一滤网(34)。5.如权利要求1至4其中任一所述的冷却吸附过滤装置，其特征在于，该隔件(23)与该筒件(20)的筒壁一体加工成型。6.如权利要求1至4其中任一所述的冷却吸附过滤装置，其特征在于，该隔件(23)以可供重复抽取的型态设置于该筒件(20)中。7.如权利要求1至4其中任一所述的冷却吸附过滤装置，其特征在于，该隔件(23)以可供重复抽取的型态置于该筒件(20)中，该隔件(23)的底面凸设有复数垫体(232)。8.如权利要求1至4其中任一所述的冷却吸附过滤装置，其特征在于，该隔件(23)以可供重复抽取的型态置于该筒件(20)中，该隔件(23)的顶面凸设有复数垫体(232)。9.如权利要求1至4其中任一所述的冷却吸附过滤装置，其特征在于，该隔件(23)以可供重复抽取的型态置于该筒件(20)中，该隔件的底面及顶面皆凸设有复数垫体。
【文档编号】F25D1/02GK205461439SQ201620241621
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年3月25日
【发明人】李淑玲
【申请人】李淑玲