一种隐藏式分区高效吸附台面的制作方法

文档序号:12851714阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种隐藏式分区高效吸附台面,其特征在于:台面为上下层叠合结构,包括上层面和下层面;整个台面分为若干个独立密封的分区,每个分区的特征为:上层面和下层面之间设置有纵横交错连通的真空气道,真空气道通过下层面固定的吸附盘连通真空管,真空管连通外界真空泵;所述上层面的上表面被均布凸起的真空岛分割出纵横交错的真空凹槽,真空凹槽与真空气道之间通过真空井连通。

2.根据权利要求1所述的隐藏式分区高效吸附台面,其特征在于:各分区之间设置有分区槽,分区槽内涂抹有密封作用的玻璃密封胶,上层面和下层面之间并用螺栓连接固定。

3.根据权利要求1所述的隐藏式分区高效吸附台面,其特征在于:所述真空岛为矩形或圆形结构。

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