专利名称：改进的平板玻璃镀膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种改进的平板玻璃镀膜装置，涉及玻璃表面的镀膜设备。
背景技术：
随着社会对节能和环境保护的广泛关注，以及人们对审美意识的不断提高，镀 有色彩的 玻璃在建筑、装饰等领域已得到广泛的应用。各种镀膜玻璃是由专门 的鹏设备加工生产的，现有生产鹏玻璃的设备一般的是由低真空室~~^待室 (缓冲室)——第^M室一第11 室~~^待室~f氐真空室组成。鉴于不 同制品对各种镀,的要求不同，其^M室的个数与其所镀的反应气体成分也有所 不同。为保证反应气流的均匀流动，低真空室、等待室与 室均设置了抽气口， 经生产实践证明，如此设置的结果，因反应气流在镀膜室内流向紊乱、反应气体既 不能均匀分布，也不能均匀参与 反应。其结，成制品 的膜层不均匀和色 彩差别大的缺陷,，其次，反应气体易在各镀膜室之间相互窜气，使镀出的制品对其 节能效果存在较大影响。
实用新型内容
本实用新型的目的，是为改善现有玻璃镀膜设备生产的制品存在膜层不均匀及 fe^差别较大的缺陷，而提出一种舰的平板玻璃鹏装置。为实现上述木的采用
以下的技术方泉 一种舰的平板玻璃鹏装置，包括低真空室、等待室、IW室，
，征是镀膜室在其入口、出口的一端或两端设有抽气室，相邻的两抽气室之间设
有隔离室；第一透明保护膜 室的出口端与反射膜 室的入口端分别设有抽气 室，两抽气室之间设有隔离室；反射膜 室与过渡保护膜镀膜室之间设有抽气室;
a^度，膜镀膜室的出口端与第二透明保护膜M室的入口端分别设有抽气室，两
抽气室之间设有隔离室；第一透明保护膜 室的入口端设有等待室，等待室与低 真空室之间设有高真空室；第二透明，膜 室的出口端设有抽气室；隔离室的
两侧分别设有抽气口。
按本方案实施的平板玻璃 装置，由于在镀膜室的一端或两端分别设置了单
独的抽气室以及两抽气室之间设置了隔离室，从而较妥善的解决了反应气体流向紊 乱以及杜绝了反应气 室之间相互窜气的缺陷。经本方案改进的，生产的 ,制品具有房堤附着力牢固、膜层fe^均匀透明、低辐射的特点，本实用新型结 构舰合理，较显著的提高了生产效率和节约了能源。
图1为本实用新型一种实施例的结构示意亂图2为图1的俯视示意图。
具体实施方式
结合附图作进一步的具体说明。本实施例是一种施镀大型透明微膜的驢， 是由低真空室1-一高真空室2—等待室3~~^~^膜室即透明保护膜 室41 一抽气室5—~P愚离室6~~W气室5~~^二 室即反射膜镀膜室42—抽气 室5~~^三働莫室及逾度保护膜镀膜室43—抽气室5—隔离室6~—抽气室5 一第四,室即第二透明保护膜镀膜室44一抽气室5—高真空室2~~f氐真 空室1构成。其中，低真空室l、高真空室2、等待室3、抽气室5及隔离室6的两 侧均设有抽气口 10、 20、 30、 50及60，其中，抽气室的抽气口也可以设置于抽气 室的顶部，四个渡膜室不再设抽气口。为保证反应气体均匀的稳定流向，抽气均由 分别设于各M室入口端与出口端的抽气室来完成，各抽气室即可同时进行抽气， 又可单^3S行抽气。作如此改进的设置，可使镀膜室内的反应气体流向均匀稳定， 致使反应气,镀膜室内均匀分布并均匀参与镀膜，以保证M层的匀致性。设于 抽气室之间的隔离室6的目的，是在保证镀膜室内反应气体均匀分布的前提下，将 反应气体隔离开以杜绝反应气体来回窜气的缺陷。本装置低真空室1的进口 端、低真空室1与高真空室之间2、高真空室2与等待室3之间均设置有真空锁7， 各 室内设有磁控1耙8。整^M^过程，前后低真空室1通过真空锁7完成 从大气到真空，以及真空到大气的抽~~^文气过程，其余各室保持再镀膜所需要的 真空状态。经第一 室41施镀的透明fW"膜，主要是为了反射膜在玻璃表面附着 牢固，鄉鹏以满足制品对f繊射的要求，过渡膜用来微反射膜，第二层透明 保护膜用以保护反射效果。经本实用新型装置生产的平板 玻璃，具有^M均匀牢固、可连续生产、节约能源及效率高的特点c
权利要求1、一种改进的平板玻璃镀膜装置，包括低真空室、等待室、镀膜室、真空锁、磁控溅射靶，其特征是镀膜室在其入口、出口的一端或两端设有抽气室，相邻的两抽气室之间设有隔离室。
2、 按权利要求1所述改进的平板自 装置，其特征是第一透明f，膜IM室的出口端与反射膜 室的入口端分别设有抽气室，两抽气室之间设有隔离室；反射膜鹏室与逾度保护膜镀膜室之间设有抽气室；迚渡保护膜镀膜 室的出口端与第二透明保护膜镀膜室的入口端分别设有抽气室，两抽气室之 间设有隔离室；第一透明保护膜,室的入口端设有等待室，等待室与低真 空室之间设有高真空室；第二透明保护膜lg^室的出口端设有抽气室。
3、 按权利要求1或2 ，改进的平板 装置，，征是隔离室的两侧分 别设有抽气口。
专利摘要本实用新型是一种改进的平板玻璃镀膜装置，涉及玻璃表面的镀膜设备。其特征是镀膜室在其入口、出口的一端或两端设有抽气室，相邻的两抽气室之间设有隔离室。按本方案实施的改进的平板玻璃镀膜装置，由于在镀膜室的一端或两端分别设置了单独的抽气室以及两抽气室之间设置了隔离室，从而较妥善的解决了反应气体流向紊乱以及杜绝了反应气体在镀膜室之间相互窜气的缺陷。经本方案改进的装置生产的镀膜制品具有膜层附着力牢固、膜层色彩均匀透明、低辐射的特点，本实用新型结构改进合理，较显著的提高了生产效率和节约了能源。
文档编号C03C17/00GK201033765SQ200720005949
公开日2008年3月12日 申请日期2007年3月27日 优先权日2007年3月27日
发明者王百新, 王百江 申请人:王百新;王百江