专利名称：一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法
技术领域：
本发明涉及一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法。
背景技术：
目前，在晶棒切割成片的生产过程中，当切割机出现断线问题时，通常采用卸棒后 清水超声的处理方法，即停机后将切割中的晶棒抬离线网，并从工件夹上取下，置于超声池 中用纯水洗净晶棒表面及线缝中砂浆，然后用压縮空气吹干晶棒表面及线缝中水分，再重 新将晶棒装上工件夹，将线网对入晶棒线缝，之后继续切割；在上述方法中，完全洗净晶棒 需要一般需要几个甚至十多个小时，不仅费时、费力、费水，而且重装时需要精确掌握原来 的晶棒位置，如果位置偏移，会使硅片弯曲，造成报废，并产生再次断线，导致救棒的成功率 不高。
发明内容
本发明的目的是提供能提高救棒的成功率的一种用于晶棒的切割机断线后的处 理方法。 本发明采取的技术方案是一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法，其特征在
于先将切割机上的晶棒抬离线网，剪掉线网，并将一定大小的容器放置于主辊之间以及晶
棒的下部，下降工件台将晶棒放入容器内；之后，在容器内倒入无水乙醇直至没过晶棒切割
位置，导入轻微的压縮空气，促使无水乙醇循环流动的清洗晶棒，少许时间后重新更换容器
中的无水乙醇，再次重复上述操作一次或一次以上，然后用压縮空气吹干晶棒表面及线缝
中无水乙醇；最后，上升工件台并重铺线网，将线网对入晶棒线缝，继续切割。 采用本发明方法，因无需将晶棒从工件夹上取下，切割时的原点位置容易寻找，重
装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率，且由于无水乙醇能更有效的除去晶棒表面及
线缝中的砂浆悬浮液，降低了操作时间，提高了生产效率。
具体实施例方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
1、将切割机上的晶棒抬离线网，剪掉线网； 2、将一只塑料容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，下降工件台，将晶棒放入容 器内； 3、在塑料容器中倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，导入轻微的压縮空气，促 使无水乙醇循环流动的清洗晶棒，少许时间后重新更换塑料容器中的无水乙醇，重复上述 操作一次或一次以上； 4、用压縮空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇； 5、上升工件台并重铺线网，将线网对入晶棒线缝，继续切割。
权利要求
一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法，其特征在于先将切割机上的晶棒抬离线网，剪掉线网，并将一定大小的容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，下降工件台将晶棒放入容器内；之后，在容器内倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，导入轻微的压缩空气，促使无水乙醇循环流动的清洗晶棒，少许时间后重新更换容器中的无水乙醇，再次重复上述操作一次或一次以上，然后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；最后，上升工件台并重铺线网，将线网对入晶棒线缝，继续切割。
全文摘要
本发明涉及一种用于晶棒的切割机断线后的处理方法，其特征在于先将切割机上的晶棒抬离线网，剪掉线网，并将一定大小的容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，下降工件台将晶棒放入容器内；之后，在容器内倒入无水乙醇直至没过晶棒切割位置，导入轻微的压缩空气，促使无水乙醇循环流动的清洗晶棒，少许时间后重新更换容器中的无水乙醇，再次重复上述操作一次或一次以上，然后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇；最后，上升工件台并重铺线网，将线网对入晶棒线缝，继续切割。采用本发明方法，因无需将晶棒从工件夹上取下，切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率，且由于无水乙醇能更有效的除去晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液，降低了操作时间，提高了生产效率。
文档编号B28D5/04GK101791829SQ201010129798
公开日2010年8月4日 申请日期2010年3月22日 优先权日2010年3月22日
发明者方建和, 柴宏峰, 郜勇军 申请人:浙江矽盛电子有限公司