双工位单晶坩埚熔制机的制作方法

文档序号:1865331阅读:329来源:国知局
专利名称:双工位单晶坩埚熔制机的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种单晶坩埚熔制机,尤其涉及一种双工位单晶坩埚熔制机。
背景技术
目前,坩埚熔制设备普遍采用的是单套单车熔制机,即每套熔制设备内只设有一个水套,一个移动小车,这样为了共用电源,往往要求一台熔制机生产,另外一台熔制机等待,造成熔制设备使用效率低,同时造成固定资产投资浪费,占用场地加倍。

实用新型内容针对上述问题,本实用新型的目的在于提供一种双工位单晶坩埚熔制机,其具有节约成本、生产效率高以及占地面积小的特点。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现一种双工位单晶坩埚熔制机,其包括机箱,所述机箱内设置有石墨电极,所述石墨电极通过调节爪连接伺服电机的输出轴,对应石墨电极于机箱底部的导轨之上设置有第一熔制小车,所述第一熔制小车上设置有水套和石墨模,且所述机箱的顶部设置有通风装置, 其中,所述机箱外侧的导轨上还设有第二熔制小车,所述第二熔制小车上设置有水套和石墨模。特别地,所述机箱内壁上对应石墨电极的位置上设置有隔热板。本实用新型的有益效果为,所述双工位单晶坩埚熔制机于同一台熔制机箱的一侧增设具有水套的第二熔制小车,通过导轨进出,当第一熔制小车出熔制机房卸坩埚上料,同时将第二熔制小车沿导轨推入机箱内进行熔制,如此可以让熔制机连续工作,使生产效率提高了一倍,同时节约成本、减少了占地面积。

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。图1为本实用新型双工位单晶坩埚熔制机的结构示意图。图中1、机箱;2、石墨电极;3、调节爪;4、伺服电机;5、抽风机;6、隔热板;7、第一熔制小车;8、导轨;9、水套;10、石墨模;11、第二熔制小车。
具体实施方式
请参照图1所示,图1为本实用新型双工位单晶坩埚熔制机的结构示意图。于本实施例中,一种双工位单晶坩埚熔制机包括机箱1,所述机箱1内设置三根有石墨电极2,所述石墨电极2通过调节爪3连接伺服电机4的输出轴,且所述机箱1内壁上对应石墨电极2 的位置上设置有隔热板6,对应石墨电,2于机箱1底部的导轨8之上设置有第一熔制小车 7,所述第一熔制小车7上设置有水套9和石墨模10,所述机箱1的顶部设置有抽风机5,且所述机箱1外侧的导轨8上还设有第二熔制小车11,所述第二熔制小车11上设置有水套9 和石墨模10。 上述双工位单晶坩埚熔制机于同一台熔制机箱的一侧增设具有水套的第二熔制小车,通过导轨进出,当第一熔制小车出熔制机箱卸坩埚上料,同时将第二熔制小车沿导轨推入机箱内进行熔制,如此可以让熔制机连续工作,例如生产20英寸的单晶石英坩埚,第一熔制小车进入熔制机箱工作大概需要20分钟,第二熔制小车出熔制机箱卸熔制好的坩埚和上料,时间也是20分钟,如此衔接工作,在工时上不浪费,提高了效率。
权利要求1.一种双工位单晶坩埚熔制机,其包括机箱,所述机箱内设置有石墨电极,所述石墨电极通过调节爪连接伺服电机的输出轴,对应石墨电极于机箱底部的导轨之上设置有第一熔制小车,所述第一熔制小车上设置有水套和石墨模,且所述机箱的顶部设置有通风装置,其特征在于所述机箱外侧的导轨上还设有第二熔制小车,所述第二熔制小车上设置有水套和石墨模。
2.根据权利要求1所述的双工位单晶坩埚熔制机;其特征在于所述机箱内壁上对应石墨电极的位置上设置有隔热板。
专利摘要本实用新型公开一种双工位单晶坩埚熔制机,其包括机箱,所述机箱内设置有石墨电极,所述石墨电极通过调节爪连接伺服电机的输出轴,对应石墨电极于机箱底部的导轨之上设置有第一熔制小车,所述第一熔制小车上设置有水套和石墨模,且所述机箱的顶部设置有通风装置,且所述机箱外侧的导轨上还设有第二熔制小车,所述第二熔制小车上设置有水套和石墨模。上述双工位单晶坩埚熔制机于同一台熔制机箱的一侧增设具有水套的第二熔制小车,通过导轨进出,当第一熔制小车出熔制机房卸坩埚上料,同时将第二熔制小车沿导轨推入机箱内进行熔制,如此可以让熔制机连续工作,使生产效率提高了一倍,同时节约成本、减少了占地面积。
文档编号C03B20/00GK202164228SQ20112028021
公开日2012年3月14日 申请日期2011年8月3日 优先权日2011年8月3日
发明者程思义 申请人:无锡龙奕科技有限公司
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