技术总结
一种单晶硅掏棒装置包括了旋转轴、入水接头、刀具接头、导流管、掏棒刀具和单晶硅棒底座；旋转轴、入水接头、刀具接头、掏棒刀具和单晶硅棒底座沿同一竖直方向安装设置；入水接头固定安装在旋转轴顶部的安装接口上；掏棒刀具通过刀具接头竖直固定安装在旋转轴的安装法兰上；导流管固定安装在旋转轴中部的通孔中，上端固定连接入水接头，下端固定连接掏棒刀具顶部的入水接口；单晶硅棒底座安装设置在设备工作台面上，位于旋转轴正下方。有益效果在于：掏棒刀具与单晶硅棒的加工缝隙中冷却水通行流畅，冷却效果好，杂质排出及时，增大了刀缝活动空间，不但提高了刀具工作效率，降低了对刀具材质的要求，而且减少了对单晶硅棒掏棒质量的影响。
技术研发人员：陈志佳;梁伟;苏波;丁晓兵
受保护的技术使用者：宁夏中晶半导体材料有限公司
文档号码：201720969179
技术研发日：2017.08.04
技术公布日：2018.04.10