专利名称：装有耐腐蚀外骨架的机械臂连杆装置的制作方法
背景技术：
1.发明领域本发明总的涉及一种用于保护暴露在腐蚀性气体中的自动臂的装置，更详细地说，涉及一种使用耐腐蚀的薄壁塑料盖来封装多连杆的自动臂的连杆的装置。
2.现有技术介绍某些用来处理半导体片的自动装置需要在含有强烈腐蚀性的(气态的或液态的)流体的大气环境中工作。这些自动装置需要得到保护免受腐蚀剂的作用，以便改进该产品的综合性能。如果发生了腐蚀，这些自动臂构件就可能产生将会在被处理的半导体片上造成损坏的微粒。这个问题的一个解决方案是使用耐腐蚀的材料(即300系列的不锈钢或者涂层)。就机器人的联动装置来说，某些设计者已经制造出了使用电抛光的不锈钢的自动臂构件，从而提高了耐蚀性或者阻止了腐蚀的发生。另外一些设计者则在结构材料上喷射涂层，以便有助于将腐蚀剂与基本结构材料的相互作用断开，由此可使腐蚀减至最少。与该两个解决方案相关的争论问题是材料的价格，涂层的均匀性以及材料抵抗腐蚀剂透过的能力。
本发明是基于对上述技术状态的理解而设想出来的，并且目前已经付诸实践。
因此，本发明的主要特征是提供了一种用于保护暴露在腐蚀性大气中的自动臂的装置。
本发明的另一个特征是提供了一种可将多连杆的自动臂的连杆用耐腐蚀的薄壁塑料盖封装起来的装置。
本发明的再一个特征是提供了一种使用一次性使用的和便于更换的耐腐蚀的薄壁塑料盖的装置。
本发明的又一个特征是提供了一种使用了其制造、安装和更换都便宜的耐腐蚀的薄壁塑料盖的装置。
本发明的其他的和进一步的特点，优点和好处通过下面的说明连同附图将一清二楚。应当指出，前面的一般说明和下面的详细说明都只是示范性的和解释性的，而不是对本发明的限制。包括在本发明中并且构成本发明的一部分的附图示出了本发明的实施例中的一个实施例，它与说明书一起用来概括地解释本发明的原理。在整个本公开文件中，相同的标号表示相同的部件。
最佳实施例详述参看
图1，图中示出了包括有本发明的特征的自动装置20的透视图。虽然本发明将参照示于附图中的单个实施例进行说明，应当理解，本发明还可以以许多其他形式实施。此外，也可以使用任何适当的尺寸，形状或类型的部件或材料。
根据本发明，自动装置20包括有一个用来保护多连杆自动臂22的每个连杆的装置，以便阻止在处理工件(例如半导体片)时该设备可能受到的其范围从水到剧毒物质的液体的溅射，并将这些液体导入处理室，然后再将它们回收。
如在图2，3和4中可清楚地看见的，自动臂22由三个在功能上与人的手臂结构相似的不同组件所组成。因此，该自动臂包括一个上臂组件24，一个前臂组件26和一个手腕组件28。虽然组件24，26和28大体上是相似的，但是为了完整地介绍本发明，仍将对每个组件分别地进行说明。
因此，上臂组件24包括一个上臂连杆30，该链环具有上工作面32，朝下工作面34和一个沿着周边方向延伸的侧壁，该侧壁具有外工作面36并且在该朝上与该下工作面之间延伸。这些不同的表面32，34，36在某些情况下可以是平滑和规则的，而在另外一些情况下则可以是具有明显的轮廓或不规则的。上臂组件24还包括一个本发明的保护装置，该装置包括一个由液体不能透过并且适合于可拆卸地固定在上臂连杆30上的薄壁塑料制成的壳状保护盖38。保护盖38具有一个大体上与上臂连杆30的构形相一致的成形轮廓并且包括一个覆盖该连杆的上工作面32的上件40和一个整体连续的侧件42，该侧件最靠近地覆盖上臂连杆的侧壁的外工作面36，并且一直延伸到一个伸出在该连杆的下工作面34的平面之外的下边缘44上。保护盖38的上件40大体上覆盖上工作面32，而连续的侧件42则大体上覆盖沿周边延伸的侧壁的外工作面36。
在保护盖38固定就位的情况下，可使从一个更高位置产生并且向着上臂连杆30的对于该上臂连杆的任何溅射将溅落在该保护盖上，由此保护了该连杆。
此外，还设置有一个由液体不能透过的薄壁塑料制成的保护板46，用来可拆卸地固定在上臂连杆30的下工作面34上。保护板46大体上是平面的并且包括一个周边边缘48，当保护盖和保护板都固定于上臂连杆上时，该周边边缘大体上与上臂连杆的沿周边方向延伸的侧壁的外工作面36共同地延伸，并且靠近保护盖38的下边缘44。在保护盖38和保护板46固定就位的情况下，可使从任何方向产生并且向着上臂连杆30的对于该上臂连杆的任何溅射都射落在该保护盖和保护板上，由此保护了该连杆。同时，保护盖38和保护板46在其重叠区域建立了一个迷宫式密封，该密封阻止了破坏性液体进入到上臂连杆的各个工作面上。
保护盖38和保护板46都可由价格低但有效的塑料制成，该塑料应具有为获得规定的保护所必须的厚度，但是也不能太厚，以致妨碍自动臂22的工作。为此，这些部件可以是其厚度范围在约30至40密耳之间的吹塑成形结构。已经确定适用于本发明目的的一种材料是可以在市场上买到的、其商标为NORYL的热成形塑料。
如图5中可清楚地看见的那样，固定在上臂连杆30上的保护盖38具有一个可通过其中自由地装入一个工作轴52的孔50，并且还包括一个位于该孔的圆周上的直立的凸缘54。保护板56固定在与上臂连杆相邻的前臂组件26的前臂连杆58上，该保护板具有一个可通过其中自由地装入连接上臂连杆30和前臂连杆58的工作轴52的、且大体上与孔50共同延伸的孔60，并且包括一个位于孔60的圆周上的下垂凸缘62。下垂凸缘62具有一个孔60，并且与该孔相靠近和同心，该孔的尺寸上仅比位于孔50的圆周上的直立的凸缘54上的孔的尺寸稍大。
保护盖38还具有一个观察孔64，该观察孔在其孔的圆周上具有一个直立的凸缘66，以便允许从外部区域进入上臂连杆30的内部68中。罩70可拆卸地固定在该保护盖的凸缘66上，以便当需要将内部68与外部区域相隔离时将该观察孔盖住。
如前所述，保护盖38可以是一次性使用的，以及适当的紧固件72设置用来与在上臂连杆30上的相关的螺纹孔74和在该保护盖上的清理孔76进行螺纹啮合，以便可拆卸地把该保护盖固定在该上臂连杆上。同样，紧固件78设置用来与在上臂连杆30的下工作面34上的相关的螺纹孔(未示出)和在保护板46上的清理孔80进行螺纹啮合，以便可拆卸地把该保护板固定在该上臂连杆上。这样，当该保护盖和该保护板充分损坏的情况发生时，就可以将它们从上臂连杆上取下，并且用一个新的保护盖换上。当然，把保护盖38和保护板46固定在上臂连杆上的各种其他的方式也可以考虑使用，并且都包括在本发明的范围内。
继续对本发明进行说明，前臂组件26包括一个前臂连杆58，该连杆具有上工作面82，下工作面84和一个沿着周边方向延伸的侧壁，该侧壁具有外工作面86并且在该朝上与朝下工作面之间延伸。这些不同的表面82，84，86在某些情况下可以是平滑和规则的，而在另外一些情况下则可以是具有明显的轮廓或不规则的。与上臂组件24相类似，前臂组件26还包括一个本发明的保护装置，该装置包括一个由液体不能透过并且适合于可拆卸地固定在上臂连杆30上的薄壁塑料制成的壳状保护盖88。保护盖88具有一个大体上与前臂连杆58的构形相一致的成形轮廓并且包括一个覆盖该连杆的上工作面82上的上件90和一个整体连续的侧件92，该侧件贴近地覆盖上臂连杆的侧壁的外工作面86上，并且一直延伸到一个伸出在该连杆的下工作面84的平面之外的下边缘94上。保护盖88的上件90大体上覆盖上工作面82，而连续的侧件92则大体上覆盖沿周边延伸的侧壁的外工作面86。
在保护盖88固定就位的情况下，可使从一个更高位置产生并且向着该前臂连杆的对于该前臂连杆的任何溅射都溅落在该保护盖上，由此保护了该连杆。此外，由液体不能透过的薄壁塑料制成的保护板56被设置用来可拆卸的固定在前臂连杆58的下工作面84上。保护板56大体上是平面的并且包括一个周边边缘96，当该保护盖和保护板都固定于前臂连杆上时，该周边边缘大体上与前臂连杆的沿周边方向延伸的侧壁的外工作面86共同地延伸，并且靠近保护盖88的下边缘94。在保护盖88和保护板56固定就位的情况下，可使从任何方向产生并且向着上臂连杆的对于该前臂连杆58的任何溅射都射落在该保护盖和保护板上，由此保护了上臂连杆。同时，保护盖88和保护板56在其重叠区域建立了一个迷宫式密封，该密封阻止了破坏性液体进入到上臂连杆的各个工作面上。
如在图5中可清楚地看见的那样，固定在前臂连杆58上的保护盖88具有一个可通过其中自由地装入一个工作轴100的孔98，并且还包括一个位于该孔的圆周上的直立的凸缘102。保护板104固定在手腕组件28的手腕连杆106上，并且具有一个可通过其中自由地装入连接手腕连杆106和前臂连杆58的工作轴52的大体上与孔98共同延伸的孔108，并且包括一个位于孔108的圆周上的下垂凸缘110。下垂凸缘110具有一个孔108并且与该孔相靠近和同心，该孔的尺寸上仅比位于孔108的圆周上的直立的凸缘102上的孔的尺寸稍大。
保护盖88还具有一个观察孔112，该观察孔在其孔的圆周上具有一个直立的凸缘114，以便允许从外部区域进入前臂连杆58的内部116中。盖118可拆卸地固定在该保护盖的凸缘114上，以便当需要将内部116与外部区域相隔离时将该观察孔盖住。
如在上臂组件24中所述的情况那样，保护盖88可以是一次性使用的，以及适当的紧固件120设置用来与在前臂连杆58上的相关的螺纹孔122和在该保护盖上的清理孔124进行螺纹啮合，以便可拆卸地把该保护盖固定在该前臂连杆上。同样，紧固件126设置用来与在前臂连杆58的下工作面84上的相关的螺纹孔(未示出)和在保护板56上的清理孔128进行螺纹啮合，以便可拆卸地把该保护板固定在该前臂连杆上。这样，当该保护盖和该保护板充分损坏的情况发生时，就可以将它们从前臂连杆上取下，并且用一个新的保护盖换上。当然，如同上臂连杆24的情况一样，把保护盖88和保护板56固定在前臂连杆58上的各种其他的方式也可以考虑使用，并且也都包括在本发明的范围内。
因此，手腕组件28包括一个手腕连杆106，该连杆具有上工作面132，下工作面134和一个沿着周边方向延伸的侧壁，该侧壁具有外工作面136并且在该上工作面与该下工作面之间延伸。这些不同的表面132，134，136在某些情况下可以是平滑和规则的，而在另外一些情况下则可以是具有明显的轮廓或不规则的。手腕组件28还包括一个本发明的保护装置，该装置包括一个由液体不能透过并且适合于可拆卸地固定在手腕连杆106上的薄壁塑料制成的壳状保护盖138。保护盖138具有一个大体上与手腕关节连杆106的构形相一致的成形轮廓并且包括一个覆盖在该连杆的上工作面132上的上件140和一个整体连续的侧件142，该侧件最靠近地覆盖上臂连杆的侧壁的外工作面136，并且一直延伸到一个伸出在该连杆的下工作面134的平面之外的下边缘144上。保护盖138的上件140大体上覆盖在上工作面132上，而连续的侧件142则大体上覆盖沿周边延伸的侧壁的外工作面136。
为了容纳一个从手腕连杆106的末端148伸出的末端效应器146，保护盖138的一个相应的端板150上加工有一个凹口152，以便贴近地容纳末端效应器146并且允许该效应器伸出该保护盖之外。作为本发明的封装装置的液密完整性的另一个保证，防护板154设置有一个其尺寸足以自由地容纳末端效应器146的接受孔156。当保护盖138固定就位以后，该防护板就被夹在末端148与端板150之间，并且覆盖在凹口152上，由此保护了该手腕连杆，同时不会妨碍末端效应器146的工作。
在保护盖138固定就位的情况下，可使从一个更高位置产生并且向着上臂连杆的对于手腕连杆106的任何溅射都溅落在该保护盖上，由此保护了该连杆。
此外，如上所述，还设置有一个由薄壁塑料制成并且液体不能透过的保护板104，以便可拆卸的固定在手腕连杆106的下工作面134上。保护板104大体上是平面的并且包括一个周边边缘158，当该保护盖和保护板都固定于手腕连杆上时，该周边边缘大体上与手腕连杆的沿周边方向延伸的侧壁的外工作面136共同地延伸，并且靠近保护盖138的下边缘144。在保护盖138和保护板104固定就位的情况下，可使从任何方向产生并且向着上臂连杆的对于手腕连杆106的任何溅射都射落在该保护盖和保护板上，由此保护了上臂连杆。同时，保护盖138和保护板104在其重叠区域建立了一个迷宫式密封，该密封阻止了破坏性液体进入到手腕连接件的各个工作面上。
如上面对于上臂组件24和前臂组件26所述的那样，手腕组件的保护盖138和保护板104由价格低但有效的任何适当的塑料制成，该塑料应具有为获得规定的保护所必须的厚度，但是也不能太厚，以致妨碍自动臂22的工作。这些部件可以采取上面所述的结构和材料。
与保护盖38和88相同，保护盖138也可以是一次性使用的，以及适当的紧固件160设置用来与在手腕连杆106上的相关的螺纹孔162和在该保护盖上的清理孔164进行螺纹啮合，以便可拆卸地把该保护盖固定在该上臂连杆上。同样，紧固件166设置用来与在手腕连杆106的下工作面134上的相关的螺纹孔(未示出)和在该保护板104上的清理孔168进行螺纹啮合，以便可拆卸地把该保护板固定在该手腕连杆上。这样，当该保护盖和该保护板充分损坏的情况发生时，就可以将它们从手腕连杆上取下，并且用一个新的保护盖换上。当然，把保护盖138和保护板104固定在手腕连杆上的各种其他的方式也可以考虑使用，并且都包括在本发明的范围内。
虽然上面已经将本发明的最佳实施例进行了详细的公开，但是，应当理解，对于那些在本技术领域内的普通技术人员来说，对这些图示的实施例做出各种更改，而不脱离在本说明书中所说明的和在权利要求书中所规定的本发明的范围。
权利要求
1.一种用于保护自动臂不受液体溅射的装置，包括一个由液体不能透过并且适合于可拆卸地固定在该自动臂上的薄壁塑料制成的壳状保护盖，该保护盖具有一个大体上与该自动臂的构形相一致的成形轮廓，由此可使溅向该自动臂的任何液体溅落在该保护盖上，从而保护了装附有该盖的该自动臂。
2.一种用于保护自动臂不受液体溅射的方法，包括下列步骤(a)提供一个由液体不能透过的薄壁塑料制成的壳状保护盖，该保护盖具有一个大体上与该自动臂的构形相一致的成形轮廓；以及(b)将该壳状保护盖可拆卸地固定在该自动臂上，使得溅向该自动臂的任何液体溅落在该保护盖上，从而保护了装附有该盖的该自动臂。
3.一种用于保护多连杆的自动臂中的每个连杆不受液体溅射的装置，每个连杆包括上工作面，下工作面和一个沿着周边方向延伸的侧壁，该侧壁具有外工作面并且在该上工作面与该下工作面之间延伸，该保护装置包括一个由液体不能透过并且适合于可拆卸地固定在该自动臂上的薄壁塑料制成的壳状保护盖，该保护盖具有一个大体上与该自动臂的构形相一致的成形轮廓，并且包括一个覆盖在该连杆的上工作面上的上件和一个整体连续的侧件，该侧件最靠近地覆盖该连杆的侧壁，并且一直延伸到一个伸出到该连杆的下工作面的平面之外的下边缘上，该保护盖的上件大体上覆盖在上工作面上，该连续的侧件则大体上覆盖沿周边延伸的侧壁的外工作面；由此可使从一个较高位置产生并且向着该自动臂的任何溅射都溅落在该保护盖上，从而保护了装附有该保护盖的该自动臂。
4.根据权利要求3所述的保护装置，其中，该保护盖是可以更换的；并且包括用来把该保护盖可拆卸地固定在该连杆上的紧固装置，由此，当该保护盖发生损坏的情况时，就可以将它从该连杆上取下，并且用一个新的保护盖换上。
5.根据权利要求3所述的保护装置，包括一个由液体不能透过的薄壁塑料制成并且适合于可拆卸地固定在该自动臂的每个连杆的下工作面上的保护板，该保护板包括一个周边边缘，当保护盖和保护板都固定在该连杆上时，该周边边缘大体上与该连杆的沿周边方向延伸的侧壁共同地延伸，并且靠近该保护盖的下边缘；由此，可使从任何方向产生并且向着该自动臂的对于自动臂的任何溅射都溅落在该保护盖和保护板上，由此保护了该保护盖和保护板固定于其上的自动臂的该连杆。
6.根据权利要求5所述的保护装置，其中，该保护盖和该保护板都是可更换的，并且包括用来把该保护盖和该保护板可拆卸地固定在该连杆上的紧固装置，由此，当该保护盖和该保护板发生损坏的情况时，就可以将它们从该连杆上取下，并且用一个新的保护盖换上。
7.根据权利要求5所述的保护装置，其中，该保护盖接附在一个连杆上并具有一个可通过其中自由地装入一个工作轴的第一孔，并且还包括一个位于该第一孔的圆周上的直立的凸缘；其中，该保护板固定在与第一连杆相邻的第二连杆上，该保护板具有一个可通过其中自由地装入连接该第一连杆和相邻的第二连杆的工作轴的、并且大体上与该第一孔共同延伸的第二孔，并且包括一个位于该第二孔的圆周上的下垂凸缘；以及其中，该位于该第二孔的圆周上的下垂凸缘具有一个孔，并且与该孔相接近和同心，其中该孔的尺寸大于该第一孔的圆周上的直立的凸缘上的孔的尺寸。
8.根据权利要求3所述的保护装置，其中，固定在一个连杆上的该保护盖具有一个可通过其中自由地装入一个工作轴的第一孔，并且还包括一个位于该第一孔的圆周上、伸出到靠近该连杆的下工作面的某个位置上的直立的凸缘。
9.根据权利要求5所述的保护装置，其中，该保护板大体上是平面的。
10.根据权利要求3所述的保护装置，其中，该壳状保护盖具有一个检修孔，以便允许从外部区域进入该连杆的内部，以及一个罩固定在该壳状保护盖上，以便可拆卸地将该检修孔盖住。
11.根据权利要求7所述的保护装置，其中，该直立的凸缘伸入到该第一孔中。
12.一种用于保护多连杆的自动臂中的每个连杆不受液体溅射的方法，每个连杆包括上工作面、下工作面和一个沿着周边方向延伸的侧壁，该侧壁具有外工作面并且在该上工作面与该下工作面之间延伸，该保护方法包括下列步骤(a)提供一个由液体不能透过的薄壁塑料制成的壳状保护盖，该保护盖具有一个大体上与一个连杆的构形相一致的成形轮廓，并且包括一个覆盖在该连杆的上工作面上的上件和一个整体连续的侧件，该侧件靠近地覆盖该连杆的侧壁，并且一直延伸到一个伸出在该连杆的下工作面的平面之外的下边缘上，该保护盖通过其成形轮廓可被偏置，使得在该上件靠近地覆盖该上工作面时，该连续的侧件则进入与沿周边延伸的侧壁的外工作面相贴合的接合位置；以及(b)将该壳状保护盖可拆卸地固定在该自动臂的每个连杆上，使得从一个较高位置产生并且向着该自动臂的任何溅射都溅落在该保护盖上，从而保护了接附有该保护盖的该自动臂的该连杆。
13.根据权利要求12所述的保护方法，还包括以下步骤(c)提供一个由液体不能透过的薄壁塑料制成的保护板，该保护板适合于可拆卸地固定在该自动臂的每个连杆的下工作面上，并且包括一个周边边缘，当该保护盖和保护板都固定于一个连杆上时，该周边边缘大体上与该连杆的沿周边方向延伸的侧壁共同地延伸，并且靠近该保护盖的下边缘。
14.根据权利要求12所述的保护方法，还包括以下步骤(c)该保护盖作为一个可拆件提供以及(d)通过紧固装置可拆卸地把该保护盖固定在该连杆上，由此，当该保护盖发生损坏的情况时，就可以将它从该连杆上取下，并且用一个新的保护盖换上。
15.根据权利要求13所述的保护方法，还包括以下步骤(d)该保护盖和该保护平板作为可拆件提供；以及(e)通过紧固装置可卸地把该保护盖和该保护平板固定在该连杆上，由此，当该保护盖和该保护平板发生损坏的情况时，就可以将它们从该连杆上取下，并且用一个新的保护盖和保护平板换上。
16.一种用于保护自动臂不受液体溅射的装置，该自动臂包括上工作面，下工作面和一个沿着周边方向延伸的侧壁，该侧壁具有外工作面并且在该上与工作面该下工作面之间延伸，该保护装置包括一个由液体不能透过的薄壁塑料制成并且适合于可拆卸地固定在该自动臂的每个连杆的下工作面上的壳状保护盖，该保护盖具有一个大体上与该自动臂的构形相一致的成形轮廓，并且包括一个覆盖在该自动臂的上工作面上的上件和一个整体连续的侧件，该侧件贴近地覆盖在该连杆的侧壁上，并且一直延伸到一个伸出在该自动臂的下工作面的平面之外的下边缘上，该保护盖通过其成形轮廓可被偏置，使得在该上件贴近地覆盖在该上工作面上时，该连续的侧件则进入与沿周边延伸的侧壁的外工作面相贴合的接合位置；由此，可使从一个较高位置产生并且向着该自动臂的任何溅射都溅落在该保护盖上，从而保护了接附有该保护盖的该自动臂。
17.根据权利要求16所述的保护装置，其中，该保护盖是可以拆的；并且包括用来可拆卸地把该盖固定在该自动臂上的紧固装置；由此，当该保护盖发生损坏的情况时，就可以将它们从该自动臂上取下，并且用一个新的保护盖换上。
18.根据权利要求16所述的保护装置，还包括一个由液体不能透过的薄壁塑料制成并且适合于可拆卸地固定在该自动臂的下工作面上的保护板，该保护板包括一个周边边缘，当该保护盖和保护板都固定在该自动臂上时，该周边边缘大体上与该自动臂的沿周边方向延伸的侧壁共同地延伸，并且靠近该保护盖的下边缘。
19.根据权利要求17所述的保护装置，其中，该保护盖和该保护板都是可拆的；以及包括用来把该保护盖和该保护板可拆卸地固定在该自动臂上的紧固装置，由此，当该保护盖和该保护板发生损坏的情况时，就可以将它们从该自动臂上取下，并且用一个新的保护盖换上。
20.根据权利要求16所述的保护装置，其中，该保护板大体上是平面的。
21.根据权利要求16所述的保护装置，其中，该壳状保护盖具有一个检修孔，以便允许从外部区域进入该连杆的内部，以及一个罩固定在该壳状保护盖上，以便可拆卸地将该检修孔盖住。
22.根据权利要求17所述的保护装置，其中，该直立的凸缘伸入到该第一孔中。
全文摘要
一种用于保护自动臂不受液体溅射的装置,包括一个由液体不能透过的薄壁塑料制成的可拆卸地固定在该自动臂(30)上的壳状保护盖(38)。保护盖(38)具有一个大体上与自动臂(30)的构形相一致的成形轮廓,并且包括一个覆盖在该自动臂的上工作面(32)上的上件和一个整体连续的侧件(42),该侧件靠近地覆盖该自动臂的侧壁(36),并且一直延伸到一个大体上与该自动臂的下工作面(34)共平面的下边缘上。以相似的方式,一个由液体不能透过的薄壁塑料制成并且也被可拆卸地固定在该自动臂的下工作面(34)上的保护板(46),该保护板包括一个周边边缘(48),当保护盖(38)和保护板(46)都这样地固定在该自动臂上时,该周边边缘大体上与该连杆的沿周边方向延伸的侧壁(36)共同地延伸,并且靠近该保护盖的下边缘。利用这种结构,可使从任何方向产生并且向着该自动臂的任何溅射都溅落在该保护盖(38)和保护板(46)上,由此保护了该保护盖和保护板固定于其上的自动臂的该连杆。
文档编号B25J19/00GK1360536SQ00810286
公开日2002年7月24日 申请日期2000年5月5日 优先权日1999年5月19日
发明者D·R·贝奥里厄, R·T·卡维尼, T·哈 申请人:布鲁克斯自动化公司