专利名称：真空吸附载具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及激光精密设备领域，具体而言，涉及一种真空吸附载具。
背景技术：
激光精密加工技术在半导体、太阳能、SMT、平面显示等领域应用广泛且发展迅速。在使用激光对金属、非金属薄板材进行加工或测量的过程中，加工对象的装夹固定方式对于加工效果或测量精度存在影响。相关的装夹固定方式由于不具有根据材料性质调节吸附气压的功能，难以满足用户在加工和测量精度方面的需求。
实用新型内容本实用新型旨在提供一种真空吸附载具，以解决上述的问题。在本实用新型的实施例中，提供了一种真空吸附载具，包括:吸附气流槽板及其侧面的抽气管、与吸附气流槽板连接装配的吸附网孔板、与抽气管通过气压调节阀和气压表相连通的真空泵，以及吸附气流槽板与吸附网孔板间的连接和密封构件。本实用新型因为加入了吸附气压调节功能，所以克服了无法根据材料性质调节吸附气压的问题，提高了激光加工和测量的精度。
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:图1示出了根据本实用新型实施例的真空吸附载具的示意图；图2示出了根据本实用新型实施例的气压调节装置与载具的连接示意图。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。图1和图2分别示出了根据本实用新型实施例的真空吸附载具，及其与气压调节装置的连接方式，包括:吸附气流槽板I及其侧面的抽气管2、与吸附气流槽板I连接装配的吸附网孔板6、与抽气管2通过气压调节阀3和气压表4相连通的真空泵5，以及吸附气流槽板I与吸附网孔板6间的连接和密封构件。该真空吸附载具由于增加了气压调节装置，所以解决了根据材料性质调节吸附气压的问题，提高了激光加工和测量的精度。优选地,气压调节阀3的阀门和气压表4的表盘面向外。优选地，吸附气流槽板I和吸附网孔板6通过螺钉连接装配，且螺钉孔从下向上安装。[0015]优选地，吸附气流槽板I和吸附网孔板6在接缝处密封。优选地，在吸附气流槽板I的各侧面设置多个气压转接头，并通过气管与抽气管2相互连接，以提高吸附力在载具面上的扩散速度和均匀性。优选地，吸附网孔板采用黑色POM材料制作；相对于白色POM材料，其较强的激光吸收性能可提闻材料使用寿命。本系统是一种增加了气压调节装置的真空吸附载具。将设置在吸附气流槽板侧面的抽气管，通过气压调节阀和气压表与真空泵相互连接。由于气压表表盘和气压调节阀阀门均为面朝外，因此可以针对特定材料的性质进行相应的气压调节。将吸附气流槽板和吸附网孔板通过螺钉进行装配连接，并在接缝处密封。由于吸附气流槽板内部分布有气流槽，因此在抽气状态下，吸附力可通过气流槽在载具内部扩散，再通过吸附网孔板传递到载具表面，从而实现对金属或非金属薄板材的吸附。本真空吸附载具在相关载具基础上，通过引入气压调节装置，使其功能得到了强化，同时运行更加合理；不仅提高了加工和测量的精度，而且避免了对薄、脆板材可能造成的损伤。从以上描述可以看出，本真空吸附载具具有以下有益效果:1、在保证吸附稳固程度的同时，使吸附更平整、定位更精确；2、根据对象材料进行相应气压调节，减少不必要的能源浪费和机械损耗；3、可加工测量的对象范围更宽，且避免对不常见材料造成损坏。以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种真空吸附载具，其特征在于，包括:吸附气流槽板(I)及其侧面的抽气管(2)、与吸附气流槽板(I)连接装配的吸附网孔板(6)、与抽气管(2)通过气压调节阀(3)和气压表(4)相连通的真空泵(5)，以及吸附气流槽板(I)与吸附网孔板(6)间的连接和密封构件。
2.根据权利要求1所述的真空吸附载具，其特征在于，所述气压调节阀(3)的阀门和所述气压表(4)的表盘面向外。
3.根据权利要求2所述的真空吸附载具，其特征在于，所述吸附气流槽板(I)和所述吸附网孔板(6)通过螺钉连接装配；且接缝处密封。
专利摘要本实用新型提供了一种真空吸附载具，包括吸附气流槽板及其侧面的抽气管、与吸附气流槽板连接装配的吸附网孔板、与抽气管通过气压调节阀和气压表相连通的真空泵，以及吸附气流槽板与吸附网孔板间的连接和密封构件。该真空吸附载具由于加入气压调节装置，所以解决了根据材料性质调节吸附气压的问题，提高了加工测量的精度。
文档编号B25B11/00GK202922469SQ20122056927
公开日2013年5月8日 申请日期2012年11月1日 优先权日2012年11月1日
发明者赵春花 申请人:昆山允可精密工业技术有限公司