部3B包括限制部件3IB，该限制部件3IB限制把持部28B在拉伸螺旋弹簧29B对把持部28B的施力方向上的动作。因此，在把持部28B从晶片2后退了时(即释放晶片2时)，可对配重部件35B进行定位。因此，可使多关节机臂部4伸缩动作时产生的惯性力适当地作用在配重部件35B上，从而使杆部件36B可靠地转动。其结果是，能可靠地使滚筒34B与晶片2抵接。
[0194]在本实施形态中，在形成为大致L形状的杆部件36B的一端侧安装有滚筒34B，在杆部件36B的另一端侧安装有配重部件35B。因此，在使用了以固定轴37B为中心进行转动的杆部件36B的简单结构下，可利用惯性力使滚筒34B朝着与晶片2抵接的方向移动。
[0195]在本实施形态中，把持部28B包括与晶片2抵接并可转动的滚筒34B。因此，在把持部28B与晶片2抵接时，即使晶片2在手部3B上产生错位，也可通过滚筒34B的作用在不会给晶片2造成损伤的情况下将晶片2向规定位置定位。
[0196](第二实施形态的其它实施形态)
[0197]上述第二实施形态是本发明的较佳实施形态的一例，但并不局限于此，可在不变更本发明主旨的范围内进行各种变形实施。
[0198]在上述实施形态中，利用拉伸螺旋弹簧29B对把持部28B朝着从晶片2退避的方向施力。此外，例如也可像图21所示的那样，利用压缩螺旋弹簧39B对把持部28B朝着从晶片2退避的方向施力。这种情况下，如图21所示，压缩螺旋弹簧39B的一端安装在第二杆部36Bb上，压缩螺旋弹簧39B的另一端安装在载放部件26 (或基座部件27B)上。在图21中，对与上述实施形态相同的结构标记相同的符号。
[0199]在上述实施形态中，手部3B包括把持部28B，该把持部28B使形成为大致L形状的两个杆部件36B转动来把持、释放晶片2。此外，例如也可像图22所示的那样，手部3B也可包括把持部48B来代替把持部28B，该把持部48B具有:固定在皮带41B上的配重部件45B、以及通过保持部件42B安装在皮带41B上的滚筒34B，通过使滚筒34B直线状移动来把持、释放晶片2。
[0200]在该把持部48B中，皮带41B例如架设在两个带轮43B上。滚筒34B可转动地安装在保持部件42B的前端侧。在保持部件42B的后端侧安装着拉伸螺旋弹簧49B的一端，拉伸螺旋弹簧49B的另一端安装在基座部件27B上。与上述实施形态一样，如图22(A)所示，该把持部48B通常在拉伸螺旋弹簧49B的施力作用下从晶片2退避。在搬出晶片2时的多关节机臂部4的伸缩动作的减速中、或是在搬入晶片2时的多关节机臂部4的伸缩动作的加速中，如图22(B)所示，把持部48B在惯性力作用下用滚筒34B来把持晶片2。在图22中，对与上述实施形态相同的结构标记相同的符号。
[0201]在图22所示的把持部48B上，也可使用线性引导件来代替皮带41B和带轮43B。
[0202]在上述第二实施形态中，在空心转轴16的转动下进行的多关节机臂部4的伸缩动作中没有恒速动作，仅有加减速动作。此外，在空心转轴16的转动下进行的多关节机臂部4的伸缩动作中，除加速动作、减速动作之外，还可以包括恒速动作。在上述实施形态中，空心转轴16的驱动马达的加速变化率与减速变化率相等，但空心转轴16的驱动马达的加速变化率与减速变化率也可不同。
[0203]在上述第二实施形态中，滚筒34B是与作为搬运对象物的晶片2抵接来把持晶片2的把持部件。此外，与晶片2抵接来把持晶片2的把持部件也可以是固定在杆部件36B —端侧的固定部件。在上述实施形态中，对把持部28B朝着把持晶片2的方向施力的施力部件为拉伸螺旋弹簧29B，但对把持部28B施力的施力部件也可以是板簧等其它弹簧部件或橡胶等弹性部件。
[0204]在上述实施形态中，通过配重部件35B与限制部件31B抵接来限制把持部28B在拉伸螺旋弹簧29B对把持部28B的施力方向上的动作。此外，也可通过杆部件36B与限制部件31B抵接来限制把持部28B在拉伸螺旋弹簧29B对把持部28B的施力方向上的动作。
[0205]在上述第一、第二实施形态中，机器人I是在多关节机臂部4进行伸缩时手部3A、3B以朝向一定方向的状态辐射状移动的所谓的圆筒形机器人。此外，应用本发明的结构的机器人也可以不是圆筒形机器人。即，也可将本发明的结构应用于手部3A、3B的朝向随着多关节机臂部的伸缩而变化的机器人。在上述实施形态中，多关节机臂部4由第二机臂6和第一机臂7两个机臂构成，但多关节机臂部4也可以由三个以上的机臂构成。
[0206]在上述第一、第二实施形态中，抵接部件30与载放部件26分开形成并固定在载放部件26上，但具有与抵接部件30相同的功能的抵接部也可与载放部件26 —体形成。
[0207]在上述第一、第二实施形态等中，机器人I是在真空状态下使用的所谓的真空机器人，但机器人I也可以在大气中使用。即，应用本发明的结构的机器人并不局限于真空机器人。在上述实施形态中，被机器人I搬运的搬运对象物为圆盘状的晶片2，但被机器人I搬运的搬运对象物也可以是晶片2以外的形成为圆盘状的基板，或者也可以是形成为矩形等多边形形状的基板等。
【主权项】
1.一种工业用机器人，用于进行搬运对象物从收纳所述搬运对象物的收纳部的搬出和所述搬运对象物向所述收纳部的搬入，其特征在于，包括: 装载所述搬运对象物的手部； 多关节机臂部，该多关节机臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端侧的手部保持机臂在内的两个以上的机臂，在所述搬运对象物相对于所述收纳部出入时进行伸缩；以及 将所述多关节机臂部可转动地保持的本体部， 所述手部包括:用于与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持部、以及朝着把持所述搬运对象物的方向对所述把持部施力的施力部件， 所述手部保持机臂包括偏心部件，该偏心部件以从所述手部相对于所述手部保持机臂的转动中心偏离的位置固定在所述手部保持机臂上，并在所述搬运对象物被从所述收纳部搬出开始之前与所述把持部抵接而使所述把持部从所述搬运对象物退避， 随着将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作，所述偏心部件相对于所述把持部相对移动，以使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动， 在将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作的恒速中或减速中，所述把持部通过所述施力部件的施力而开始把持所述搬运对象物。2.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于， 在所述搬运对象物被向所述收纳部搬入开始之前，所述把持部通过所述施力部件的施力来把所述持搬运对象物， 随着将所述搬运对象物向所述收纳部搬入时的所述多关节机臂部的伸缩动作，所述偏心部件相对于所述把持部相对移动，以使所述把持部从所述搬运对象物退避的方向移动， 在将所述搬运对象物向所述收纳部搬入时的所述多关节机臂部的伸缩动作的加速中或恒速中，所述把持部开始从所述搬运对象物退避。3.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于， 所述把持部配置在作为所述手部保持机臂侧的所述手部的基端侧， 所述手部在前端侧具有与所述搬运对象物的端部抵接的抵接部。4.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部具有与所述搬运对象物抵接并可转动的滚筒。5.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部朝着把持所述搬运对象物的把持方向和从所述搬运对象物退避的退避方向直线状移动。6.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部具有被朝着所述把持方向和所述退避方向直线状引导的至少两个轴部件。7.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部具有筒状的凸轮部件，该凸轮部件在内周侧形成有与所述偏心部件抵接的凸轮面。8.—种工业用机器人，用于进行搬运对象物从收纳所述搬运对象物的收纳部的搬出和所述搬运对象物向所述收纳部的搬入，其特征在于，包括: 装载所述搬运对象物的手部； 多关节机臂部，该多关节机臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端侧的手部保持机臂在内的两个以上的机臂，在所述搬运对象物相对于所述收纳部出入时进行伸缩；以及 将所述多关节机臂部可转动地保持的本体部， 所述手部包括:用于与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持部、以及朝着使所述把持部从所述搬运对象物退避的方向对所述把持部施力的施力部件， 所述手部保持机臂包括偏心部件，该偏心部件以从所述手部相对于所述手部保持机臂的转动中心偏离的位置固定在所述手部保持机臂上，并可与所述把持部抵接， 随着将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作，所述偏心部件相对于所述把持部相对移动，以使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动， 所述把持部在所述搬运对象物被从所述收纳部搬出开始之前从所述搬运对象物退避，并在将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作的恒速或减速中通过与所述把持部抵接的所述偏心部件的作用而开始把持所述搬运对象物。9.一种工业用机器人，用于进行搬运对象物从收纳所述搬运对象物的收纳部的搬出和所述搬运对象物向所述收纳部的搬入，其特征在于，包括: 装载所述搬运对象物的手部； 多关节机臂部，该多关节机臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端侧的手部保持机臂在内的两个以上的机臂，在所述搬运对象物相对于所述收纳部出入时进行伸缩；以及 将所述多关节机臂部可转动地保持的本体部， 所述手部包括:用于与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持部、以及朝着使所述把持部从所述搬运对象物退避的方向对所述把持部施力的施力部件， 所述把持部包括:可与所述搬运对象物抵接的把持部件、以及利用所述多关节机臂部伸缩动作时产生的惯性力来使所述把持部件朝着与所述搬运对象物抵接的方向移动的配重部件。10.如权利要求9所述的工业用机器人，其特征在于， 所述把持部配置在作为所述手部保持机臂侧的所述手部的基端侧， 所述手部在前端侧具有与所述搬运对象物的端部抵接的抵接部， 在将所述搬运对象物从所述收纳部搬出时的所述多关节机臂部的伸缩动作的减速中，所述配重部件使所述把持部件朝着与所述搬运对象物抵接的方向移动。11.如权利要求9所述的工业用机器人，其特征在于， 所述把持部配置在作为所述手部保持机臂侧的所述手部的基端侧， 所述手部在前端侧具有与所述搬运对象物的端部抵接的抵接部， 在将所述搬运对象物向所述收纳部搬入时的所述多关节机臂部的伸缩动作的加速中，所述配重部件使所述把持部件朝着与所述搬运对象物抵接的方向移动。12.如权利要求9所述的工业用机器人，其特征在于，所述手部具有限制部件，该限制部件限制所述把持部在所述施力部件对所述把持部的施力方向上的动作。13.如权利要求9所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部将所述把持部件与所述配重部件连结，并具有可转动的大致L形状的杆部件，所述把持部件安装在所述杆部件的一端侧，所述配重部件安装在所述杆部件的另一端侧。14.如权利要求9所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部件是可转动的滚筒。
【专利摘要】本发明提供一种即使以机械结构来把持搬运对象物也可抑制对搬运对象物的冲击的工业用机器人。机器人(1)包括：装载晶片(2)的手部(3A)、以及具有保持手部的第二机臂(6)的多关节机臂部(4)。手部包括：用于把持晶片的把持部(28A)、以及朝着把持晶片的方向对把持部施力的施力部件，第二机臂(6)具有偏心部件(31A)，该偏心部件固定在从手部的转动中心偏离的位置上，在晶片的搬出开始前与把持部抵接而使把持部从晶片退避，随着将晶片搬出时的多关节机臂部的伸缩动作，偏心部件以使把持部朝着把持晶片的方向移动的形态相对于把持部相对移动，在将晶片搬出时的多关节机臂部的伸缩动作的减速中，把持部开始把持晶片。
【IPC分类】B25J3/00, B25J15/00, B65G49/07, B25J18/04, B25J19/00, B65G47/90
【公开号】CN105269552
【申请号】CN201510639459
【发明人】矢泽隆之, 小山淳之介
【申请人】日本电产三协株式会社
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2008年6月4日
【公告号】EP2033745A2, EP2033745A3, EP2033745B1, US8043042, US20080304942