本发明涉及一种从喷嘴喷射液体的液体喷射单元、液体喷射单元的驱动方法、具备液体喷射单元的液体喷射装置。
背景技术：
液体喷射单元通过压力产生单元的压力变化而从多个喷嘴中将从油墨罐等液体贮留单元被供给的油墨等液体作为液滴而喷射。此外，还提出有如下结构，即，在流道的中途设置通过下游侧的流道成为负压而进行开阀的压力调节阀，以使从液体贮留单元被供给的油墨等液体以预定的压力而向液体喷射单元供给(例如，参照专利文献1)。
此外，在专利文献1中公开了一种设置有按压机构的结构，其中，所述按压机构不论下游侧的流道的压力如何，均通过从外部对阀进行按压而进行开阀。
此外，还公开了一种通过对空气等流体进行加压并供给，从而按压压力调节阀而使其开阀的结构(例如，参照专利文献2)。
然而，除了用于供给液体的连接口之外，如果较多地设置加压或减压用的连接口，则存在接头的数量增加从而使液体喷射单元的拆装变得复杂的这类的问题。
专利文献1：日本特开2012-111044号公报
专利文献2：日本特开2015-189201号公报
技术实现要素：
本发明是鉴于这种情况而完成的发明，其目的在于，提供一种能够减少拆装时的接头的数量从而容易实施拆装的液体喷射单元及其驱动方法以及液体喷射装置。
解决上述课题的本发明的方式为一种液体喷射单元，其特征在于，其为从喷嘴喷射第一流体的液体喷射单元，具备：第一连接口，其用于使第一流体流通；第二连接口，其用于使第二流体流通；驱动部，其用于从所述喷嘴喷射与所述第一连接口以及所述喷嘴连通的流道内的所述第一流体；第一室，其与所述第二连接口连通；第二室，其与所述第二连接口连通。
在所涉及的方式中，减少了供给喷射中所使用的第一流体、或加压以及减压中所使用的第二流体的连接口的数量，从而能够很容易地实施液体喷射单元的拆装。此外，例如通过采用如下方式，即，所述第一室经由所述第二连接口而被加压，且所述第二室经由所述第二连接口而被减压，从而对液体喷射单元的内部进行加压以及减压，由此能够实现高机能的液体喷射单元。
在此，优选为，所述第一室为，改变所述流道的容积的空间，所述第二室为，对所述流道中的气体进行积存的空间。根据这种方式，通过加压而改变容积，从而能够实现高机能的流道。此外，通过进行减压从而能够将气泡抽吸去除。
此外，优选为，具备：可动膜，其通过向所述第一室的加压，从而向所述第一室施力；缓冲室，其被设置于所述第一室与所述可动膜之间，且不与所述第一室以及所述第二室连通。根据这种方式，即使随着第二室的减压而使第一室被减压，通过设置缓冲室也能够抑制对可动膜造成的影响。
此外，优选为，所述缓冲室向大气开放。根据这种方式，能够以对缓冲室进行大气开放这样的简易的结构来实现抑制对可动膜造成的影响，从而能够降低成本。
此外，优选为，所述第一室与所述可动膜相接的部分被粗糙化。根据这种方式，能够对可动膜与第一室的壁面因结露等而粘贴的情况进行抑制。在此，只需使第一室和可动膜中的至少一方被粗糙化即可。
此外，优选为，具备：透气膜，其被设置于所述第二室与所述流道之间；蜿蜒通道，其在所述第二室与所述第二连接口之间施加扩散阻力，通过对所述第二室内进行减压，从而使所述流道内的气体向所述第二室内移动。根据这种方式，即使液体的水分经由透气膜而蒸发，通过蜿蜒通道而施加扩散阻力从而也能够抑制水分蒸发。此外，通过将蜿蜒通道设置在第二连接口与第二室之间，从而与将其设置在第二连接口与第二室的整个部分上的情况相比，能够使用用于减压的压力较小的泵，并且能够缩短泵的工作时间。
此外，优选为，具备：透气膜，其被设置于所述第二室与所述流道之间；减压维持单元，其与所述第二连接口连通。根据这种方式，能够通过透气膜来进行脱泡，并且能够通过减压维持单元来维持脱泡。此外，通过在第二连接口的外侧设置双向阀，从而能够使液体喷射单元小型化。
此外，优选为，具备单向阀，所述单向阀在所述第二室与所述第二连接口之间容许从所述第二室向所述第二连接口的流动。根据这种方式，通过设置单向阀，从而能够在对第一室进行加压时，抑制第二室被加压，进而能够有效地对第一室进行加压。
此外，优选为，具备限制部，所述限制部对所述第二室的容积的扩缩进行限制。根据这种方式，能够在第一室加压时对第二室的扩大进行抑制。此外，能够在第二室减压时对第二室的缩小进行抑制。因此，能够对损坏构成第二室的壁面的部件、例如透气膜等的情况进行抑制。
此外，优选为，具备限制部，所述限制部对所述第一室的容积的缩小进行限制。根据这种方式，通过缩小第一室的容积，从而能够对损坏构成第一室的壁面的部件的情况进行抑制。
此外，优选为，所述第一室与所述第二室的至少一部分由不同的部件形成。根据这种方式，能够实现第一室与第二室的各自的功能。
此外，优选为，所述第一室和所述第二室中的一方与所述第一流体的所述流道邻接，所述第一室和所述第二室中的另一方不与所述第一流体的所述流道邻接。根据这种方式，能够实现第一室与第二室的各自的功能。
另外，本发明的其他方式为一种液体喷射装置，其特征在于，具备：上述方式所记载的液体喷射单元；压力调节机构，其经由所述第二连接口而对所述第一室进行加压，且经由所述第二连接口而对所述第二室进行减压。
在所涉及的方式中，减少了供给喷射中所使用的第一流体、或加压以及减压中所使用的第二流体的连接口的数量，从而能够较容易地进行液体喷射单元的拆装。此外，例如通过采用如下方式，即，所述第一室经由所述第二连接口而被加压，且所述第二室经由所述第二连接口而被减压，从而对液体喷射单元的内部进行加压以及减压，由此能够实现高机能的液体喷射单元。
此外，本发明的其他方式为一种液体喷射单元的驱动方法，其特征在于，所述液体喷射单元具备：第一连接口，其用于使第一流体流通；第二连接口，其用于使第二流体流通；驱动部，其用于从喷嘴喷射与所述第一连接口连通的流道内的所述第一流体；第一室，其与所述第二连接口连通；第二室，其与所述第二连接口连通，所述液体喷射单元的驱动方法具备：从所述第二连接口对所述第一室进行加压的工序；从所述第二连接口对所述第二室进行减压的工序。
在所涉及的方式中，对液体喷射单元的内部进行加压以及减压，从而能够实现高机能的液体喷射单元。
附图说明
图1为本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射装置的结构图。
图2为液体喷射头的分解立体图。
图3为组装体的侧视图。
图4为第二支承体的俯视图。
图5为液体喷射组件的分解立体图。
图6为液体喷射组件的剖视图(图5的vi-vi线的剖视图)。
图7为喷射面的俯视图。
图8为第一支承体的俯视图。
图9为将多个液体喷射单元固定于第一支承体的状态的说明图。
图10为对比例的说明图。
图11为第二支承体的开口部与液体喷射组件的关系的说明图。
图12为液体喷射头的制造方法的说明图。
图13为向液体喷射部供给油墨的流道的说明图。
图14为液体喷射部的剖视图。
图15为液体喷射单元的内部流道的说明图。
图16为阀机构单元的开闭阀的结构图。
图17为脱泡空间以及止回阀(checkvalve)的说明图。
图18为初始填充时的液体喷射头的状态的说明图。
图19为通常使用时的液体喷射头的状态的说明图。
图20为脱泡动作时的液体喷射头的状态的说明图。
图21为关闭阀(closingvalve)以及开阀单元的剖视图。
图22为利用开阀单元而将关闭阀开放了的状态的说明图。
图23为第二实施方式中的传输线的配置的说明图。
图24为第三实施方式中的连结单元的结构图。
图25为第四实施方式中的开闭阀以及开阀单元的剖视图。
图26为第六实施方式中的液体喷射单元的内部流道的说明图。
图27为第七实施方式中的液体喷射单元的内部流道的说明图。
图28为第八实施方式中的液体喷射单元的脱泡路径的说明图。
图29为对第九实施方式中的流道单元的主要部分进行说明的图。
图30为对第十实施方式中的流道单元的主要部分进行说明的图。
具体实施方式
第一实施方式
图1为本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射装置100的结构图。第一实施方式的液体喷射装置100为，向介质12喷射作为液体的示例的油墨的喷墨式的印刷装置。虽然介质12典型的是印刷纸张，但树脂薄膜以及布帛等任意的印刷对象也能够作为介质12而被利用。在液体喷射装置100中，固定有对油墨进行贮留的液体容器14。例如，能够在液体喷射装置100上进行拆装的墨盒、由可挠性的薄膜所形成的袋状的油墨包、或者能够补充油墨的油墨罐可作为液体容器14而被利用。不同颜色的多种的油墨被贮留在液体容器14中。
如图1所示，液体喷射装置100具备控制单元20、输送机构22和液体喷射头24。控制单元20被构成为，包括例如cpu(centralprocessingunit：中央处理单元)或者fpga(fieldprogrammablegatearray：现场可编程门阵列)等控制装置和半导体存储器等的记录装置(省略图示)，并通过控制装置执行被存储于存储装置中的程序从而总体地对液体喷射装置100的各个要素进行控制。输送机构22在由控制单元20实施的控制下，将介质12向y方向进行输送。
第一实施方式的液体喷射装置100具备移动机构26。移动机构26为，在由控制单元20实施的控制下使液体喷射头24在x方向上往返的机构。液体喷射头24所往返的x方向为，与介质12被输送的y方向交叉(典型地为正交)的方向。第一实施方式的移动机构26具备输送体262和输送带264。输送体262为对液体喷射头24进行支承的大致箱形的结构体(滑架)，且被固定在输送带264上。输送带264为，沿着x方向而被架设的无接头带。通过在由控制单元20实施的控制下使输送带264旋转，从而使液体喷射头24与输送体262一起沿着x方向而往返。另外，液体容器14也能够与液体喷射头24一起搭载在输送体262上。
液体喷射头24在由控制单元20实施的控制下向介质12喷射从液体容器14被供给的油墨。通过在执行由输送机构22实施的介质12的输送和由移动机构26实施的液体喷射头24的输送的期间内使液体喷射头24向介质12喷射油墨，从而在介质12上形成所需的图像。在以下的说明中，将与x-y平面垂直的方向标记为z方向。从液体喷射头24被喷射出的油墨向z方向的正侧行进并喷落在介质12的表面上。
图2为液体喷射头24的分解立体图。如图2所示，第一实施方式的液体喷射头24具备第一支承体242和多个组装体244。第一支承体242为，对多个组装体244进行支承的板状部件(液体喷射头用支承体)。多个组装体244以在x方向上排列的状态而被固定于第一支承体242上。如代表性地图示出的一个组装体244那样，多个组装体244分别具备连接单元32、第二支承体34、分配流道36和多个(在第一实施方式中为六个)液体喷射组件38。另外，构成液体喷射头24的组装体244的总数或构成组装体244的液体喷射组件38的总数并不限定于图示的示例。
图3为任意一个组装体244的主视图以及侧视图。从图2以及图3可理解出，示意性地，在位于连接单元32的正下方的第二支承体34上，多个液体喷射组件38以两列的方式被配置，在多个液体喷射组件38的侧方配置有分配流道36。分配流道36为在内部形成有将从液体容器14被供给的油墨分别向多个液体喷射组件38进行分配的流道的结构体，且以跨及多个液体喷射组件38的方式而在y方向上被构成为长条状。
如图3所示，连接单元32具备筐体322、中继基板324和多个驱动基板326。筐体322为，对中继基板324和多个驱动基板326进行收纳的大致箱形的结构体。多个驱动基板326分别为与液体喷射组件38相对应的配线基板。生成预定的波形的驱动信号的信号生成电路被安装在驱动基板326上，并且针对每个喷嘴来指定油墨的喷射的有无的控制信号和电源电压与驱动信号一起从驱动基板326被供给至液体喷射组件38。也能够在驱动基板326上搭载对驱动信号进行放大的放大电路。中继基板324为用于在控制单元20与多个驱动基板326之间对电信号或电源电压进行中继的配线基板，且以跨及多个液体喷射组件38的方式被共用。如图3所示，在筐体322的底面上设置有与不同的驱动基板326电连接的连接部328(第二连接部的示例)。连接部328为，用于进行电连接的连接器(boardtoboardconnector：板对板连接器)。
图4为第二支承体34的俯视图。如图3以及图4所示，第二支承体34为在y方向上呈长条的结构体(框架)，且具备以在x方向上相互隔开间隔的方式在y方向上延伸的多个(在图4的示例中为三个)支承部342、和将各个支承部342的端部相互连结的连结部344。即，第二支承体34为，以在x方向上隔开间隔的方式而形成有在y方向上呈长条的两个开口部346的平板材料。第二支承体34的各个连结部344在相对于第一支承体242的表面而隔开间隔的位置处被固定于第一支承体242上。
图5为任意一个液体喷射组件38的分解立体图。如图5所示，第一实施方式的液体喷射组件38具备液体喷射单元40、连结单元50和传输线56。液体喷射单元40向介质12喷射从液体容器14经由分配流道36而被供给的油墨。第一实施方式的液体喷射单元40包含阀机构单元41、流道单元42和液体喷射部44。阀机构单元41内置有对从分配流道36被供给的油墨的流道的开闭进行控制的阀机构。另外，为了便于说明，阀机构单元41的图示在图2中被省略。如图5所示，第一实施方式的阀机构单元41以从液体喷射单元40的侧面向x方向突出的方式而被设置。另一方面，分配流道36以与液体喷射单元40的侧面对置的方式而被设置于第一支承体242上。因此，分配流道36的上表面与各个阀机构单元41的底面以在z方向上相互隔开间隔的方式而对置。在以上的结构中，分配流道36内的流道与阀机构单元41内的流道相互连通。
液体喷射单元40的液体喷射部44从多个喷嘴喷射油墨。流道单元42为，在内部形成有将经由阀机构单元41的油墨向液体喷射部44进行供给的流道的结构体。在液体喷射单元40的上表面(具体而言为流道单元42的上表面)上，设置有用于使该液体喷射单元40与连接单元32的驱动基板326电连接的连接部384。连结单元50为，用于将液体喷射单元40与第二支承体34连结在一起的结构体。图5的传输线56为，例如ffc(flexibleflatcable：柔性扁平电缆)或fpc(flexibleprintedcircuits：柔性印刷电路板)等具有可挠性的电缆。
图6为图5中的vi-vi线的剖视图。如图5以及图6所示，第一实施方式的连结单元50具备第一中继体52和第二中继体54。
第一中继体52为被固定在液体喷射单元40上的结构体，且具备收纳体522和配线基板524(第二配线基板的示例)。收纳体522为大致箱形的筐体。如图6所示，液体喷射单元40通过例如螺钉等紧固件ta而被固定于收纳体522的底面侧(z方向上的正侧)。配线基板524为，构成收纳体522的底面的平板状的配线基板。在配线基板524中的液体喷射单元40侧的表面上，设置有连接部526(第三连接部的示例)。连接部526为用于进行电连接的连接器(boardtoboardconnector)。在第一中继体52被固定于液体喷射单元40上的状态下，配线基板524的连接部526以能够拆装的方式而与液体喷射单元40的连接部384连结。
第二中继体54为用于将液体喷射组件38固定在第二支承体34上并且与驱动基板326电连接的结构体，且具备安装基板542和配线基板544(第一配线基板的示例)。安装基板542为固定在第二支承体34上的板状部件。如图6所示，第一中继体52的收纳体522和第二中继体54的安装基板542通过连结件53而被相互连结。连结件53为圆柱状的轴体的两端部被成形为凸缘状的销，且被插入至分别形成在第一中继体52及第二中继体54上的贯穿孔中。连结件53的轴体的直径小于第一中继体52及第二中继体54的各自的贯穿孔的内径。因此，在连结件53的轴体的外周面与贯穿孔的内周面之间形成有间隙，从而第一中继体52与第二中继体54以不受约束的方式而被连结。即，第一中继体52及第二中继体54中的一方能够相对于另一方而在x-y平面内移动与连结件53和贯穿孔之间的间隙相对应的量。
如图6所示，x方向上的第二中继体54(安装基板542)的尺寸w2大于x方向上的第一中继体52(收纳体522)的尺寸w1。因此，安装基板542中的位于x方向上的两侧的边缘部从第一中继体52的侧面向x方向上的正侧及负侧伸出。第二中继体54的尺寸w2大于x方向上的第二支承体34的开口部346的尺寸wf(w2＞wf)。安装基板542中的从收纳体522伸出的部分，通过紧固件tb(在图6的示例中为多个螺钉)而被固定在第二支承体34中的支承部342的上表面上。另一方面，x方向上的第一中继体52的尺寸w1小于第二支承体34的开口部346的尺寸wf(w1＜wf)。因此，如图6所示，在第一中继体52(收纳体522)的外壁面与第二支承体34的开口部346的内壁面之间形成有间隙。即，在相对于第二支承体34的设置前的状态下，第一中继体52能够穿过第二支承体34的开口部346。从以上的说明可以理解出，由于第二中继体54被固定在第二支承体34上并且该第二中继体54以不受约束的方式与第一中继体52连结，因此第二中继体54能够相对于第二支承体34而在x-y平面内略微移动。
配线基板544为，被固定在安装基板542中的与第一中继体52的相反侧的表面上的板状部件。在配线基板544上的连接单元32侧(z方向的负侧)的表面上设置有连接部546(第一连接部的示例)。即，连接部546经由配线基板544和安装基板542而被固定在第二支承体34上。连接部546为，用于进行电连接的连接器(boardtoboardconnector)。具体而言，在第二支承体34被固定在连接单元32上的状态下，配线基板544的连接部546以能够拆卸的方式而与连接单元32的连接部328连结。即，连接单元32的连接部328能够从液体喷射单元40的相反侧(z方向的负侧)与连接部546进行拆装。
如图6所示，传输线56以跨及配线基板544和配线基板524的方式被架设并对连接部546和连接部526进行电连接。如图5以及图6所示，传输线56以在连接部546与连接部526之间沿着与x方向平行的直线而折弯了的状态被收纳于收纳体522中。传输线56的一端与配线基板544中的和配线基板524对置的对置面接合并且与连接部546电连接，传输线56的另一端与配线基板524中的和配线基板544对置的对置面接合并且与连接部526电连接。
从以上的说明可以理解出，连接单元32的驱动基板326经由连接部328、连接部546、配线基板544、传输线56、配线基板524和连接部526而与液体喷射单元40的连接部384电连接。因此，由驱动基板326所生成的电信号(驱动信号、控制信号)以及电源电压经由连接部328、连接部546、传输线56和连接部526而被供给至液体喷射单元40。
但是，例如，在根据多个连接部546的相对关系来决定各个连接部546的位置，且根据多个液体喷射单元40的相对关系来决定各个液体喷射单元40的位置的情况下，有可能会在连接部546与液体喷射单元40之间产生位置的误差。在第一实施方式中，由于传输线56为具有可挠性的部件且容易发生变形，因此连接部546与液体喷射单元40之间的位置的误差可通过传输线56的变形而被吸收。即，第一实施方式的传输线56作为以吸收连接部546与液体喷射单元40之间的位置的误差的方式而对连接部546与液体喷射单元40进行连结的连接体而发挥功能。
根据以上的结构，在对连接单元32的连接部328与连接部546进行拆装的工序中，减少了从连接部546作用于液体喷射单元40上的应力。因此，能够在不考虑从连接部546产生的对于液体喷射单元40的应力的作用(乃至液体喷射单元40的位置偏移)的条件下，较容易地对液体喷射头24进行组装或分解。在第一实施方式中，如前文所述，由于传输线56在连接部546与液体喷射单元40之间被折弯，因此能够吸收连接部546与液体喷射单元40之间的位置的误差的这一效果格外显著。
图7为液体喷射部44中的与介质12对置的表面的俯视图(即，从z方向的正侧对液体喷射部44进行观察时的俯视图)。如图7所示，在液体喷射部44中的与介质12对置的对置面(以下，称为“喷射面”)j上形成有多个喷嘴(喷射孔)n。如图7所示，第一实施方式的液体喷射部44内置有四个驱动部d[1]～d[4]，所述四个驱动部d[1]～d[4]具备形成在喷射面j上的多个喷嘴n。多个喷嘴n所分布的y方向上的范围，在两个驱动部d[n](n＝1～4)之间部分地重叠。
如图7所示，与任意一个驱动部d[n]相对应的多个喷嘴n被划分为第一列g1和第二列g2。第一列g1以及第二列g2分别为沿着y方向而排列的多个喷嘴n的集合。第一列g1和第二列g2以在x方向上相互隔开间隔的方式而并列。各个驱动部d[n]包含从第一列g1的各个喷嘴n喷射油墨的第一喷射部da、和从第二列g2的各个喷嘴n喷射油墨的第二喷射部db。另外，也可以使第一列g1的各个喷嘴n与第二列g2的各个喷嘴n在y方向上的位置不同(所谓的交错配置或错列配置)。此外，被设置在液体喷射部44上的驱动部d[n]的个数为任意数量并不限定于四个。
如图7所示，如果假定内置有喷射面j的最小面积的长方形λ，则能够对与长方形λ的长边(y方向)平行的中心线y进行设定。如图7所示，第一实施方式中的喷射面j的平面形状为，在y方向(即长方形λ的长边的方向)上连结第一部分p1、第二部分p2和第三部分p3而成的形状。在从第一部分p1进行观察时，第二部分p2位于y方向的正侧，第三部分p3夹着第一部分p1而位于第二部分p2的相反侧(y方向的负侧)。从图7可以理解出，虽然第一部分p1穿过了长方形λ的中心线y，但第二部分p2以及第三部分p3均不穿过中心线y。具体而言，在从中心线y进行观察时，第二部分p2位于x方向上的负侧，在从中心线y进行观察时，第三部分p3位于x方向上的正侧。即，第二部分p2与第三部分p3夹着中心线y而位于相反侧。喷射面j的平面形状也能够表现为，第二部分p2在第一部分p1中的x方向上的负侧的边缘处连续，且第三部分p3在第一部分p1中的x方向上的正侧的边缘处连续的形状。
如图5以及图7所示，在液体喷射部44的端面上形成有伸出部442和伸出部444。伸出部442为，在第二部分p2中的与第一部分p1相反一侧(y方向的正侧)的端部处从液体喷射部44的端面伸出的平板状的部分。另一方面，伸出部444为，在第三部分p3中的与第一部分p1相反一侧(y方向的负侧)的端部处从液体喷射部44的端面伸出的平板状的部分。此外，如图7所示，在第一部分p1中的第二部分p2侧的边缘(不存在第二部分p2的边缘)处形成有突起部446。突起部446为，与伸出部442以及伸出部444相同的、从液体喷射部44的侧面突起的平板状的部分(第一伸出部的示例)。在伸出部444(第二伸出部的示例)上，形成有与突起部446相对应的形状的切口部445。
图8为第一支承体242的表面(z方向的负侧的表面)的俯视图，图9为在图8上追加了液体喷射部44的俯视图。在图8以及图9中，为了便于说明，而图示了在y方向上相邻的两个液体喷射部44(44a、44b)所处的范围。如图8以及图9所示，在第一支承体242上形成有与各个液体喷射部44(各液体喷射组件38)相对应的开口部60。具体而言，从图2可以理解出，针对每个组装体244而形成有与各个液体喷射部44相对应的六个开口部60，并以与多个组装体244的排列相对应的方式而在y方向上并列。如图8以及图9所示，各个开口部60为，与液体喷射部44的喷射面j的外形相对应的平面形状的贯穿孔。液体喷射单元40以液体喷射部44插入于第一支承体242的开口部60中的状态而被固定在第一支承体242上。即，液体喷射部44的喷射面j在开口部60的内侧处从第一支承体242向z方向的正侧露出。
如图8以及图9所示，在y方向上相邻的两个开口部60之间形成有梁状部62。任意一个梁状部62为，将第一支承部621、第二支承部622和中间部623相互连结在一起的梁状的部分。第一支承部621为梁状部62中的位于y方向上的负侧的部分，第二支承部622为梁状部62中的位于y方向上的正侧的部分。中间部623为对第一支承部621与第二支承部622进行连结的部分。
从图9可以理解出，在俯视观察时(即从与z方向平行的方向进行观察时)，各个液体喷射部44的伸出部442与梁状部62中的第一支承部621重叠，且在俯视观察时各个液体喷射部44的伸出部444与梁状部62中的第二支承部622重叠。而且，通过利用紧固件tc1而将伸出部442固定在第一支承部621上并且利用紧固件tc2而将伸出部444固定在第二支承部622上，从而使液体喷射部44被固定在第一支承体242上。紧固件tc1以及紧固件tc2为例如螺钉。如上文所述，由于在喷射面j的两端部处将液体喷射部44(液体喷射单元40)固定在第一支承体242上，因此能够有效地抑制液体喷射部44相对于第一支承体242的倾斜。如图9所示，如果着眼于与液体喷射部44a相对应的开口部60和与液体喷射部44b相对应的开口部60，则在两者间的梁状部62的第一支承部621上固定有液体喷射部44a的伸出部442，并在该梁状部62的第二支承部622上固定有液体喷射部44b的伸出部444。
在各个液体喷射部44的突起部446上形成有卡合孔ha，并且在伸出部444上形成有供紧固件tc2插入的贯穿孔和卡合孔hb。卡合孔ha以及卡合孔hb为，与被设置在第一支承体242的表面上的突起卡合的贯穿孔(定位部的示例)。通过将第一支承体242的表面的突起与卡合孔ha及卡合孔hb分别卡合，从而使液体喷射部44的x-y面内的位置被确定。即，实现了液体喷射部44相对于第一支承体242的校准。如图9所示，突起部446的卡合孔ha和伸出部444的卡合孔hb位于与y方向(中心线y)平行的直线上。因此，具有如下优点，即，能够在抑制液体喷射部44(液体喷射单元40)的倾斜的同时，使该液体喷射部44相对于第一支承体242而高精度地实施定位。另外，通过使被形成在伸出部444以及突起部446上的突起与第一支承体242的表面的卡合孔(有底孔或贯穿孔)卡合，从而也能够相对于第一支承体242而对液体喷射部44进行校准。
如上文所述，在第一实施方式中，由于在y方向上相邻的两个开口部60之间形成有梁状部62，因此具有能够削减第一支承体242的x方向上的尺寸这一优点。此外，在第一实施方式中，由于在梁状部62上形成有中间部623，因此与使液体喷射部44的喷射面j露出的开口部60跨及多个液体喷射部44而连续的结构(未被形成有梁状部62的结构)相比，能够维持第一支承体242的机械强度。但是，在喷射面j的第二部分p2以及第三部分p3穿过中心线y的结构(以下，称为“对比例”)中，为了将多个液体喷射部44配置于充分接近y方向的位置处，如图10所示，将需要使各个液体喷射部44的x方向上的位置不同。在第一实施方式中，由于第二部分p2以及第三部分p3并未穿过中心线y，因此如图9所示，能够将多个液体喷射部44沿着y方向而排列成直线状。因此，与对比例相比，具有能够削减液体喷射头24(一个组装体244)的宽度方向上的尺寸的这一优点。
图11为表示液体喷射单元40、连结单元50与第二支承体34的关系的俯视图。如图11所示，x方向上的液体喷射单元40的尺寸wh小于x方向上的第二支承体34的开口部346的尺寸wf(wh＜wf)。参照图6且如前文所述，由于第一中继体52的尺寸w1也小于开口部346的尺寸wf，因此液体喷射单元40和第一中继体52能够穿过第二支承体34的开口部346。如上文所述，由于能够穿过第二支承体34的开口部346而对液体喷射单元40以及第二中继体54进行拆装，因此根据第一实施方式，能够减轻液体喷射头24的组装以及分解的负担。
如图11所示，y方向上的第一中继体52的尺寸l1以及第二中继体54的尺寸l2小于y方向上的液体喷射单元40的尺寸lh(l1＜lh、l2＜lh)。因此，在通过手指来把持第一中继体52中的y方向上的两侧的外壁面的状态下，能够较容易地相对于第二支承体34而对液体喷射组件38进行拆装。此外，如图11所示，第一中继体52以及第二中继体54与用于将液体喷射单元40固定在第一支承体242上的紧固件tc1以及紧固件tc2在俯视观察时不重叠。因此，具有如下优点，即，通过紧固件tc1以及紧固件tc2而将液体喷射单元40固定在第一支承体242上的作业较容易。
图12为液体喷射头24的制造方法的流程图。如图12所示，首先，将第二支承体34和分配流道36固定在第一支承体242上(st1)。另一方面，通过利用紧固件ta而将连结单元50固定在液体喷射单元40上，从而对液体喷射组件38进行组装(st2)。另外，也可以在工序st1的执行前执行工序st2。
在工序st1以及工序st2的执行后的工序st3中，针对多个液体喷射组件38的每一个，而将液体喷射组件38从与第一支承体242相反一侧插入至第二支承体34的开口部346中，并通过紧固件tc1以及紧固件tc2而将液体喷射单元40固定在第一支承体242上(st3)。在将液体喷射组件38插入至开口部346中并使其接近第一支承体242的过程中，阀机构单元41与分配流道36相互连通。在工序st3的执行后的工序st4中，针对多个液体喷射组件38中的每一个，通过紧固件tb而将连结单元50的第二中继体54固定在第二支承体34上。另外，也可以在工序st3的执行前执行工序st4。
在工序st3以及工序st4的执行后的工序st5中，夹着连结单元50而从与液体喷射单元40相反一侧(z方向的负侧)使连接单元32接近各个液体喷射组件38。然后，针对多个液体喷射组件38一揽子地以可拆装的方式对连接部546和连接单元32的连接部328进行连接。
通过以上工序(st1～st5)，从而将包括连接单元32、第二支承体34、分配流道36和多个液体喷射组件38在内的一个组装体244设置于第一支承体242上。通过反复进行相同的工序而将多个组装体244固定在第一支承体242上，从而制造出了图2的液体喷射头24。
从以上的说明可以理解出，工序st3为将液体喷射单元40固定在第一支承体242上的工序，工序st4为将连结单元50固定在第二支承体34上的工序。此外，工序st5为，通过使连接单元32接近多个液体喷射组件38从而以可拆装的方式对连接部546和连接部328进行连接的工序。当然，液体喷射头24的制造方法并不限定于上文所例示出的方法。
对上文所示的液体喷射单元40的具体的结构进行说明。图13为向液体喷射单元40供给油墨的流道的说明图。参照图5且如前文所述，液体喷射单元40的液体喷射部44具备四个驱动部d[1]～d[4]。在各个驱动部d[n]中，内置有从第一列g1的各个喷嘴n喷射油墨的第一喷射部da、和从第二列g2的各个喷嘴n喷射油墨的第二喷射部db。如图13所示，阀机构单元41具备四个开闭阀b[1]～b[4]，液体喷射单元40的流道单元42具备四个过滤器f[1]～f[4]。开闭阀b[n]为，对向液体喷射部44供给油墨的流道进行开闭的阀机构。过滤器f[n]对混入到流道内的油墨的气泡或异物进行捕集。
如图13所示，通过了开闭阀b[1]和过滤器f[1]的油墨被供给至驱动部d[1]以及驱动部d[2]的第一喷射部da，通过了开闭阀b[2]和过滤器f[2]的油墨被供给至驱动部d[1]以及驱动部d[2]的第二喷射部db。同样地，通过了开闭阀b[3]和过滤器f[3]的油墨被供给至驱动部d[3]以及驱动部d[4]的第一喷射部da，通过了开闭阀b[4]和过滤器f[4]的油墨被供给至驱动部d[3]以及驱动部d[4]的第二喷射部db。即，通过了开闭阀b[1]或开闭阀b[3]的油墨从第一列g1的各个喷嘴n被喷射，通过了开闭阀b[2]或开闭阀b[4]的油墨从第二列g2的各个喷嘴n被喷射。
图14为液体喷射部44(第一喷射部da或第二喷射部db)中的与任意一个喷嘴n相对应的部分的剖视图。如图14所示，第一实施方式的液体喷射部44为如下结构体，即，压力室基板482、振动板483、压电元件484、筐体部485和密封体486被配置于流道基板481的一侧，并且在另一侧上配置有喷嘴板487以及缓冲板488的结构体。流道基板481、压力室基板482和喷嘴板487由例如硅的平板材料而形成，筐体部485由例如树脂材料的注塑成形而形成。多个喷嘴n被形成在喷嘴板487上。喷嘴板487中的与流道基板481相反一侧的表面相当于喷射面j。
在流道基板481中，形成有开口部481a、分支流道(节流流道)481b和连通流道481c。分支流道481b以及连通流道481c为针对每个喷嘴n而被形成的贯穿孔，开口部481a为跨及多个喷嘴n而连续的开口。缓冲板488为，被设置在流道基板481中的与压力室基板482相反一侧的表面上并堵塞开口部481a的平板材料(柔性基板)。开口部481a内的压力变动通过缓冲板488而被吸收。
在筐体部485上形成有与流道基板481的开口部481a连通的共同液室(贮液器)sr。共同液室sr为对向构成第一列g1以及第二列g2中的一方的多个喷嘴n被供给的油墨进行贮留的空间，且跨及多个喷嘴n而连续。流入有从上游侧被供给的油墨的流入口rin被形成在共同液室sr中。
在压力室基板482中，针对每个喷嘴n而形成有开口部482a。振动板483为，被设置在压力室基板482中的与流道基板481相反一侧的表面上的、能够进行弹性变形的平板材料。在压力室基板482的各个开口部482a的内侧被振动板483和流道基板481夹着的空间，作为被从共同液室sr经由分支流道481b而供给的油墨所填充的压力室(空腔)sc而发挥功能。各个压力室sc经由流道基板481的连通流道481c而与喷嘴n连通。
在振动板483中的与压力室基板482相反一侧的表面上，针对每个喷嘴n而形成有压电元件484。各个压电元件484为，使压电体介于相互对置的电极间的驱动元件。当通过利用驱动信号的供给而使压电元件484发生变形从而使振动板483进行振动时，压力室sc内的压力会发生变动而使压力室sc内的油墨从喷嘴n被喷射。密封体486对各个压电元件484进行保护。
图15为液体喷射单元40的内部流道的说明图。虽然在图15中，为了便于说明而例示了经由开闭阀b[1]和过滤器f[1]而向驱动部d[1]以及驱动部d[2]的第一喷射部da供给油墨的流道，但对于参照图13而说明了的其他流道而言也设置有同样的结构。阀机构单元41、流道单元42和液体喷射部44的筐体部485作为构成用于向喷嘴n供给油墨的内部流道的流道结构体而发挥功能。
图16为着眼于阀机构单元41的内部的说明图。如图15以及图16所示，在阀机构单元41的内部形成有空间r1、空间r2和控制室rc。空间r1经由分配流道36和第一连接口79a而与液体压送机构16连接。液体压送机构16为，以加压状态而向液体喷射单元40供给(即，压送)贮留于液体容器14中的油墨的机构。在空间r1与空间r2之间设置有开闭阀b[1]，并且可动膜71介于空间r2与控制室rc之间。如图16所示，开闭阀b[1]具备阀座721、阀体722、受压板723和弹簧724。阀座721为，将空间r1和空间r2分隔开来的平板状的部分。在阀座721上形成有使空间r1与空间r2连通的连通孔ha。受压板723为，被设置在可动膜71中的与阀座721对置的对置面上的大致圆形形状的平板材料。
第一实施方式的阀体722包含基部725、阀轴726和密封部(密封件)727。阀轴726从基部725的表面起垂直地突起，在俯视观察时包围阀轴726的圆环状的密封部727被设置于基部725的表面上。阀体722以阀轴726插入至连通孔ha中的状态而被配置于空间r1内，并通过弹簧724而向阀座721侧施力。在阀轴726的外周面与连通孔ha的内周面之间形成有间隙。
如图16所示，在控制室rc中设置有作为第一室的袋状体73。袋状体73为由橡胶等弹性材料而形成的袋状的部件，且通过内部空间的加压而膨胀并且通过内部空间的减压而收缩。如图15所示，袋状体73经由分配流道36内的流道和第二连接口75b而与压力调节机构18连接。压力调节机构18能够根据来自控制单元20的指示而选择性地执行向与该压力调节机构18连接的流道供给空气的加压动作、和从该流道抽吸空气的减压动作。通过从压力调节机构18向内部空间供给空气(即，加压)而使袋状体73膨胀，通过由压力调节机构18实施的空气的抽吸(即，减压)而使袋状体73收缩。
在袋状体73收缩了的状态下，在空间r2内的压力被维持在预定的范围内时，弹簧724将对阀体722施力从而使密封部727紧贴在阀座721的表面上。因此，空间r1和空间r2被截断。另一方面，当由液体喷射部44实施的油墨的喷射或因来自外部的抽吸而使空间r2内的压力降低至小于预定的阈值的数值时，可动膜71将向阀座721侧进行位移从而使受压板723按压阀轴726，阀体722将克服由弹簧724产生的施力而进行移动从而使密封部727离开阀座721。因此，空间r1与空间r2经由连通孔ha而相互连通。
此外，当袋状体73因由压力调节机构18实施的加压而膨胀时，可动膜71将因由袋状体73实施的按压而向阀座721侧进行位移。因此，阀体722将因由受压板723实施的按压而移动从而使开闭阀b[1]被开放。即，不论空间r2内的压力的高低如何，均能够通过由压力调节机构18实施的加压而强制性地使开闭阀b[1]开放。
如图15所示，第一实施方式的流道单元42包含脱泡空间q、过滤器f[1]、铅直空间rv和止回阀74。脱泡空间q相当于第二室，且为从油墨被提取的气泡暂时性地滞留的空间。
过滤器f[1]以横穿过用于向液体喷射部44供给油墨的内部流道的方式而被设置，并对流入到油墨中的气泡或异物进行捕集。具体而言，过滤器f[1]以对空间rf1和空间rf2进行分隔的方式而被设置。上游侧的空间rf1与阀机构单元41的空间r2连通，下游侧的空间rf2与铅直空间rv连通。
在空间rf1与脱泡空间q之间存在有透气膜mc(第二透气膜的示例)。具体而言，空间rf1的顶面由透气膜mc构成。透气膜mc为使气体(空气)透过但不使油墨等液体透过的透气性的膜体(气液分离膜)，且例如由公知的高分子材料形成。由过滤器f[1]捕集到的气泡会因由浮力产生的上升而到达空间rf1的顶面，并且通过透过透气膜mc而向脱泡空间q被排出。即，使混入到油墨中的气泡被分离。
铅直空间rv为，用于暂时性地对油墨进行贮留的空间。在第一实施方式的铅直空间rv中形成有供通过了过滤器f[1]的油墨从空间rf2流入的流入口vin、和供油墨向喷嘴n侧流出的流出口vout。即，空间rf2内的油墨经由流入口vin而流入铅直空间rv，铅直空间rv内的油墨经由流出口vout而流入液体喷射部44(共同液室sr)。如图15所示，与流出口vout相比，流入口vin位于铅直方向的上方(z方向的负侧)。
在铅直空间rv与脱泡空间q之间存在有透气膜ma(第一透气膜的示例)。具体而言，铅直空间rv的顶面由透气膜ma构成。透气膜ma与前述的透气膜mc相同也为透气性的膜体。因此，通过过滤器f[1]而进入到铅直空间rv内的气泡因浮力而上升，并透过铅直空间rv的顶面的透气膜ma而向脱泡空间q被排出。如前文所述，由于与流出口vout相比流入口vin位于铅直方向的上方，因此能够利用铅直空间rv内的浮力而使气泡有效地到达顶面的透气膜ma。
如前文所述，在液体喷射部44的共同液室sr中，形成有供从铅直空间rv的流出口vout被供给的油墨流入的流入口rin。即，从铅直空间rv的流出口vout流出的油墨经由流入口rin而流入共同液室sr，并经由开口部481a而向各个压力室sc被供给。此外，在第一实施方式的共同液室sr中形成有排出口rout。排出口rout为，被形成在共同液室sr的顶面49上的流道。如图15所示，共同液室sr的顶面49为，从流入口rin侧朝向排出口rout侧升高的倾斜面(平面或曲面)。因此，从流入口rin进入的气泡在浮力的作用下沿着顶面49而被引导至排出口rout侧。
在共同液室sr与脱泡空间q之间存在有透气膜mb(第一透气膜的示例)。透气膜mb与透气膜ma或透气膜mc相同也为透气性的膜体。因此，从共同液室sr进入到排出口rout中的气泡因浮力而上升，并透过透气膜mb而向脱泡空间q被排出。如前文所述，由于共同液室sr内的气泡沿着顶面49而被引导至排出口rout，因此与例如将共同液室sr的顶面49设为水平面的结构相比，能够有效地排出共同液室sr内的气泡。另外，也能够通过单一的膜体来形成透气膜ma、透气膜mb和透气膜mc。
如上文所说明的那样，在第一实施方式中，在铅直空间rv与脱泡空间q之间存在有透气膜ma，在共同液室sr与脱泡空间q之间存在有透气膜mb，在空间rf1与脱泡空间q之间存在有透气膜mc。即，分别透过了透气膜ma、透气膜mb和透气膜mc的气泡到达共同的脱泡空间q。因此，与在液体喷射单元40的各部中被提取的气泡被供给至单独的空间的结构相比，具有简化了用于气泡的排出的结构的这一优点。
如图15所示，脱泡空间q与脱泡路径75连通。脱泡路径75为，用于将滞留在脱泡空间q内的空气向装置外部排出的路径。在脱泡空间q与脱泡路径75之间存在有止回阀74。止回阀74为，容许从脱泡空间q朝向脱泡路径75的空气的流通并且阻碍从脱泡路径75朝向脱泡空间q的空气的流通的阀机构。
图17为着眼于流道单元42中的止回阀74的附近的说明图。如图17所示，第一实施方式的止回阀74包含阀座741、阀体742和弹簧743。阀座741为，将脱泡空间q与脱泡路径75分隔的平板状的部分。在阀座741上形成有使脱泡空间q与脱泡路径75连通的连通孔hb。阀体742与阀座741对置，并且通过弹簧743而向阀座741侧施力。在脱泡路径75内的压力被维持在脱泡空间q内的压力以上的状态(脱泡路径75内被大气开放或被加压的状态)下，通过利用来自弹簧743的施力而使阀体742紧贴在阀座741上，从而使连通孔hb被堵塞。因此，脱泡空间q与脱泡路径75被截断。另一方面，在脱泡路径75内的压力小于脱泡空间q内的压力的状态(脱泡路径75内被减压的状态)下，阀体742克服由弹簧743产生的施力而离开阀座741。因此，脱泡空间q与脱泡路径75经由连通孔hb而相互连通。
第一实施方式的脱泡路径75与连结压力调节机构18和阀机构单元41的控制室rc的路径连接。即，与压力调节机构18连接的路径被分支为两个系统，一方与控制室rc连接，另一方与脱泡路径75连接。
如图15所示，形成有从液体喷射单元40经由阀机构单元41而到达分配流道36的内部的排出路径76。排出路径76为，与液体喷射单元40的内部流道(具体而言为，用于向液体喷射部44供给油墨的流道)连通的路径。具体而言，排出路径76与各个液体喷射部44的共同液室sr的排出口rout和铅直空间rv连通。
排出路径76中的与液体喷射单元40相反一侧的端部和关闭阀78连接。虽然设置关闭阀78的位置为任意位置，但在图15中例示的是在分配流道36内设置关闭阀78的结构。关闭阀78为，在通常状态下将排出路径76关闭(常闭)，并能够暂时性地将排出路径76向大气开放的阀机构。
对着眼于从内部流道的气泡的排出的液体喷射单元40的动作进行说明。如图18所示，在向液体喷射单元40最初填充油墨(以下，称为“初始填充”)的阶段中，压力调节机构18执行加压动作。即，袋状体73的内部空间和脱泡路径75内通过空气的供给而被加压。因此，控制室rc内的袋状体73发生膨胀而使可动膜71以及受压板723进行位移，并通过来自受压板723的按压而使阀体722移动从而使空间r1与空间r2连通。由于在脱泡路径75被加压的状态下，通过止回阀74而截断了脱泡空间q与脱泡路径75，因此脱泡路径75内的空气不会流入到脱泡空间q中。另一方面，在初始填充的阶段中，关闭阀78被开放。
在以上状态下，液体压送机构16将被贮留在液体容器14中的油墨向液体喷射单元40的内部流道进行压送。具体而言，从液体压送机构16被压送的油墨经由处于开放状态的开闭阀b[1]而向铅直空间rv被供给，并从铅直空间rv而被供给至共同液室sr以及各个压力室sc中。如前文所述，由于关闭阀78被开放，因此在初始填充的执行前存在于内部流道中的空气，将随着相对于内部流道以及排出路径76的油墨的填充而通过排出路径76和关闭阀78而被排出至装置外部。因此，包括液体喷射单元40的共同液室sr和各个压力室sc在内的内部流道的整体被填充有油墨，从而成为能够通过压电元件484的动作而从喷嘴n喷射油墨的状态。如上文所述，在第一实施方式中，由于在从液体压送机构16向液体喷射单元40压送油墨时关闭阀78被开放，因此能够有效地向液体喷射单元40的内部流道填充油墨。当上文所说明的初始填充结束时，由压力调节机构18实施的加压动作将停止并且关闭阀78被关闭。
如图19所示，在初始填充结束而能够使用液体喷射装置100的状态下，存在于液体喷射单元40的内部流道中的气泡始终向脱泡空间q被排出。具体而言，空间rf1内的气泡经由透气膜mc而向脱泡空间q被排出，铅直空间rv内的气泡经由透气膜ma而向脱泡空间q被排出，共同液室sr内的气泡经由透气膜mb而向脱泡空间q被排出。另一方面，开闭阀b[1]在空间r2内的压力被维持于预定的范围内的状态下被关闭，并当空间r2内的压力低于预定的阈值时被开放。当开闭阀b[1]被开放时，从液体压送机构16被供给的油墨将从空间r1流入空间r2，其结果为，通过空间r2的压力上升而使开闭阀b[1]被关闭。
在图19所示的动作状态下，滞留于脱泡空间q中的空气通过脱泡动作而被排出至装置外部。脱泡动作能够在例如液体喷射装置100的电源刚接通之后或印刷动作期间等任意时期被执行。图20为脱泡动作的说明图。如图20所示，当开始进行脱泡动作时，压力调节机构18执行减压动作。即，袋状体73的内部空间和脱泡路径75通过空气的抽吸而被减压。
当脱泡路径75被减压时，止回阀74的阀体742将克服由弹簧743产生的施力而离开阀座741，从而使脱泡空间q与脱泡路径75经由连通孔hb而相互连通。因此，脱泡空间q内的空气经由脱泡路径75而被排出至装置外部。另一方面，虽然通过内部空间的减压而使袋状体73收缩了，但并未影响控制室rc内的压力(乃至可动膜71)，因此开闭阀b[1]被维持为关闭的状态。
如上文所示，在第一实施方式中，由于在开闭阀b[1]的开闭与止回阀74的开闭中共同使用了压力调节机构18，因此与通过单独的机构来对开闭阀b[1]和止回阀74进行控制的结构相比，具有简化了用于控制开闭阀b[1]以及止回阀74的结构的这一优点。
对第一实施方式中的关闭阀78的具体结构进行说明。图21为对关闭阀78的结构进行例示的剖视图。如图21所示，第一实施方式的关闭阀78具备连通管781、移动体782、密封部783和弹簧784。连通管781为开口部785形成在端面上的圆管体，且对移动体782、密封部783和弹簧784进行收纳。连通管781的内部空间相当于排出路径76的末端部。
密封部783为由橡胶等弹性材料形成的圆环状的部件，且以与该连通管781同心的方式而被设置于连通管781的内部空间的一端侧。移动体782为能够在连通管781的内侧向该连通管781的中心轴的方向移动的部件，且如图21所示，利用由弹簧784产生的施力而紧贴在密封部783上。通过移动体782与密封部783相互紧贴，从而使连通管781的内部的排出路径76被堵塞。如上文所述，由于移动体782以堵塞排出路径76的方式施力，因此在液体喷射装置100的通常使用时(图19)，能够降低气泡经由排出路径76而混入到液体喷射单元40内的油墨中的可能性、或液体喷射单元40内的油墨经由排出路径76而漏出的可能性。另一方面，当通过经由连通管781的开口部785的外力的作用而使移动体782从密封部783离开时，连通管781的内部的排出路径76将经由密封部783而与外部连通。即，成为排出路径76被开放的状态(图18)。
在图18所例示的初始填充的阶段中，为了使关闭阀78的移动体782移动而使用了图21的开阀单元80。第一实施方式的开阀单元80具备插入部82和基础部84。插入部82为在内部形成有连通流道822的针状的部分，且在顶端部820(与基础部84相反一侧)形成有与连通流道822连通的开口部824。基础部84具备与插入部82的连通流道822连通的滞留空间842、对连通流道822进行堵塞的透气性的透气膜844、和夹着透气膜844而被形成于与连通流道822相反一侧的排出口846。
如图22所示，在初始填充的阶段中，开阀单元80的插入部82从开口部785插入至连通管781中。通过从插入部82的顶端部820所施加的外力，而使移动体782向远离密封部783的方向移动。当进一步插入插入部82时，插入部82的外周面与密封部783的内周面紧贴，从而成为插入部82通过密封部783而被保持的状态。在以上状态下，在从密封部783进行观察时，插入部82的开口部824位于排出路径76侧(移动体782侧)。即，在从插入部82中的开口部824进行观察时，基端侧的外周面与连通管781的内周面(排出路径76的内周面)之间通过密封部783而被密封。在下文中，将以上状态下的移动体782的位置标记为“开放位置”。在移动体782移动至开放位置的状态下，排出路径76经由开阀单元80的顶端部820的开口部824而与滞留空间842连通。从以上的说明可以理解出，在第一实施方式中，能够通过开阀单元80的插入而简单地使移动体782向开放位置移动。
参照图18且如前文所述，在从液体压送机构16压送油墨时，通过将开阀单元80插入至连通管781的开口部785中，从而使移动体782移动至开放位置。因此，存在于液体喷射单元40的内部流道的空气与油墨一起向排出路径76被排出，并如图22的箭头标记所示通过开口部824和连通流道822而到达开阀单元80的滞留空间842。到达滞留空间842内的气泡透过透气膜844而从排出口846被排出至外部。如上文所述，在第一实施方式中，由于设置有对开阀单元80的连通流道822进行堵塞的透气膜844，因此能够降低从排出路径76流入到连通流道822中的液体从开阀单元80漏出的可能性。
在第一实施方式中，由于开阀单元80的外周面与排出路径76的内周面(连通管781的内周面)之间通过密封部783而被密封，因此能够降低油墨经由开阀单元80的外周面与排出路径76的内周面之间的间隙而漏出的可能性。此外，在第一实施方式中，在开阀单元80的外周面与排出路径76的内周面之间的密封、和移动体782与排出路径76的内周面之间的密封中共同使用了密封部783。因此，与在双方的密封中使用单独的部件的结构相比，具有简化了关闭阀78的结构的这一优点。
第二实施方式
对本发明的第二实施方式进行说明。另外，在以下所示的各个结构中，对于作用或功能与第一实施方式相同的要素将挪用在第一实施方式的说明中使用的符号并适当地省略各自的详细说明。
图23为第二实施方式中的传输线56的配置的说明图。在第一实施方式中，参照图6且如前文所述，其例示了在配线基板544中的与连接部546相反一侧的表面上接合有传输线56的一端，在配线基板524中的与连接部526相反一侧的表面上接合有传输线56的另一端的结构。在第二实施方式中，如图23所示，在配线基板544中的设置有连接部546的表面上接合有传输线56的一端，在配线基板524中的设置有连接部526的表面上接合有传输线56的另一端。即，传输线56以从配线基板544中的z方向的负侧的表面起至配线基板524中的z方向的正侧的表面为止的方式被弯曲。
在像第一实施方式这样将传输线56接合于与连接部546或连接部526相反一侧的表面上的结构中，需要采用如下结构，即，在配线基板544上形成将连接部546与传输线56电连接的导通孔(贯穿孔)，且在配线基板524上形成将连接部526与传输线56电连接的导通孔。在第二实施方式中，由于传输线56的一端被接合在配线基板544中的连接部546侧的表面上，且传输线56的另一端被接合在配线基板524中的连接部526侧的表面上，因此具有无需要在配线基板544以及配线基板524上形成跨及两个表面间的导通孔的这一优点。
第三实施方式
图24为第三实施方式中的连结单元50的局部的结构图。在第一实施方式中，通过可挠性的传输线56而对连接部546与液体喷射单元40进行了电连接。在第三实施方式中，如图24所示，通过连接部58而对配线基板544的连接部546与液体喷射单元40的连接部384进行电连接。连接部58为浮动结构的连接器(boardtoboardconnector)，且能够通过相对于连接对象而进行移动的结构来吸收公差。因此，与第一实施方式相同，即使在第三实施方式中，也能够在不考虑从连接部546对液体喷射单元40施加的应力的作用(乃至液体喷射单元40的位置偏离)的条件下，较容易地对液体喷射头24进行组装或分解。
从以上的说明可以理解出，第一实施方式以及第二实施方式的传输线56和第三实施方式的连接部58总括地被表现作为，以吸收连接部546与液体喷射单元40之间的误差的方式被设置于连接部546与液体喷射单元40之间并对连接部546与液体喷射单元40进行连结的连接体。
第四实施方式
图25为第四实施方式中的关闭阀78以及开阀单元80的结构图。如图25所示，在第四实施方式的开阀单元80中连接有液面传感器92。液面传感器92为，对开阀单元80的插入部82的连通流道822内的液面进行检测的检测器。例如，向连通流道822内照射光并且接收液面上的反射光的光学传感器作为液面传感器92而较为优选。在图18所示的初始填充的过程中，存在有越进行相对于液体喷射单元40的液体压送机构16的油墨的压送，则连通流道822内的液面越升高的倾向。
在初始填充的过程中，第四实施方式的控制单元20根据由液面传感器92检测到的检测结果而对由液体压送机构16实施的压送进行控制。具体而言，在液面传感器92所检测出的液面低于预定的基准位置的情况下，液体压送机构16继续进行相对于液体喷射单元40的油墨的压送。另一方面，在液面传感器92所检测出的液面高于基准位置的情况下，液体压送机构16停止相对于液体喷射单元40的油墨的压送。
在第四实施方式中，由于是根据液面传感器92对连通流道822内的液面进行检测的结果而对由液体压送机构16实施的油墨的压送进行控制的，因此能够抑制相对于液体喷射单元40的过剩的油墨的供给的情况。
第五实施方式
在第五实施方式中，例示了根据连通流道822内的液面的检测结果而对液体压送机构16的动作进行控制的结构。在图18所示的初始填充的过程中，第五实施方式的控制单元20根据从液体喷射单元40的喷嘴n被排出的油墨的检测结果而对由液体压送机构16实施的压送进行控制。当相对于液体喷射单元40而从液体压送机构16供给了过剩的油墨时，即使在未驱动压电元件484的状态下，油墨也可能从液体喷射单元40的喷嘴n漏出。因此，第五实施方式的液体压送机构16在未检测出从特定的喷嘴n漏出油墨的情况下，将继续进行相对于液体喷射单元40的油墨的压送，并在检测出了从该喷嘴n漏出油墨的情况下，停止油墨的压送。虽然对油墨的漏出进行检测的方法是任意的，但可以优选利用例如对从喷嘴n被排出的油墨进行检测的漏液传感器。此外，如果考虑到压力室sc内的残留振动(在压电元件484的位移后残留在压力室sc内的振动)的特性会根据有无从喷嘴n漏出油墨而不同的这一倾向，则也能够通过对残留振动进行分析从而对油墨的漏出进行检测。
在第五实施方式中，由于是根据从液体喷射单元40的喷嘴被排出的油墨的检测结果而对由液体压送机构16实施的油墨的压送进行控制的，因此能够抑制相对于液体喷射单元40的过剩的油墨的供给的情况。
改变例
以上所示的各个方式能够进行多种改变。在下文中，对具体的改变方式进行例示。从以下示例中任意选择的两个以上的方式，能够在不相互矛盾的范围内适当地合并。
(1)除了经由脱泡路径75以及排出路径76的气泡的排出之外，也能够通过从喷嘴n侧对液体喷射头24的内部流道的油墨进行抽吸而从喷嘴n排出气泡。具体而言，通过利用盖来对喷射面j进行密封并对喷射面j与盖之间的空间进行减压，从而使气泡与油墨一起从喷嘴n被排出。存在于由阀机构单元41、流道单元42和液体喷射部44的筐体部485构成的流道结构体的内部流道中的气泡的、经由在前述的各方式中所例示的脱泡路径75以及排出路径76的排出是有效的，并且存在于液体喷射部44中的从分支流道481b起至喷嘴n的流道中的气泡的、由从喷嘴n侧的抽吸实现的排出也是有效的。
(2)虽然在上述的各个方式中，例示了喷射面j包括第一部分p1、第二部分p2和第三部分p3的结构，但也能够省略第二部分p2以及第三部分p3中的一方。此外，虽然在上述的各个方式中，例示了第二部分p2和第三部分p3夹着中心线y而位于相反侧的结构，但也可以使第二部分p2和第三部分p3相对于中心线y而位于相同一侧。
(3)第一支承体242中的梁状部62的形状(或开口部60的形状)并不限定于在上述的各个方式中所例示的形状。例如，虽然在上述的各个方式中，例示了将第一支承部621、第二支承部622和中间部623相互连结的形状的梁状部62，但也能够在第一支承体242上形成省略了中间部623的形状(第一支承部621与第二支承部622相互分离的形状)的梁状部62。
(4)虽然在上述的各个方式中，例示了搭载有液体喷射头24的输送体262在x方向上移动的串行式的液体喷射装置100，但也能够将本发明应用在液体喷射头24的多个喷嘴n跨及介质12的整个宽度而分布的行式的液体喷射装置中。在行式的液体喷射装置中，也可以省略在上述的各个方式中所例示的移动机构26。
(5)向压力室sc的内部施加压力的要素(驱动元件)并不限定于在上述的各个方式中所例示的压电元件484。例如，也能够将通过加热而使压力室sc的内部产生气泡从而使压力变动的发热元件作为驱动元件来利用。从以上的示例可以理解出，驱动元件总括地被表现作为，用于喷射液体的要素(典型地为，向压力室sc的内部施加压力的要素)，而动作方式(压电方式/加热方式)或具体的结构则不予过问。
(6)虽然在上述的各个方式中例示了用于电连接的连接部(328、384、526、546)，但在用于对流通有油墨等液体的流道进行连接的连接部中也能够应用本发明。即，在本发明中的连接体中，除了对第一连接部与液体喷射单元进行电连接的要素(例如传输线56)之外，还包括对第一连接部的流道与液体喷射单元的流道进行连接的要素(例如由弹性材料形成的管)。
第六实施方式
对本发明的第六实施方式进行说明。另外，对与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
图26为第六实施方式所涉及的流道单元的内部流道的说明图。如图26所示，第六实施方式的流道单元42在脱泡空间q与脱泡路径75之间并未设置有第一实施方式的止回阀74。即，脱泡空间q与脱泡路径75经由连通孔hb而连通。
此外，与第一实施方式相同，脱泡路径75在中途处分支，并且被设置于控制室rc中的袋状体73的内部与脱泡空间q共同连通。即，在脱泡路径75中设置有使该脱泡路径75分支的分支点75a。而且，分支点75a与被设置于控制室rc中的袋状体73的内部被设置为连通，分支点75a与脱泡空间q被设置为连通。在本实施方式中，与分支点75a连通的袋状体73的内部相当于第一室，脱泡空间q相当于第二室。
此外，脱泡路径75的分支点75a经由与第二连接口75b连接的分配流道36而与压力调节机构18连接。即，压力调节机构18经由分配流道36而与脱泡路径75的分支为两个之前的一个流道的连接口、即第二连接口75b连接。
而且，压力调节机构18如上文所述能够根据来自作为控制部的控制单元20的指示而选择如下动作，即，向与该压力调节机构18连接的脱泡路径75供给空气等第二流体的加压动作(加压模式)、和从该脱泡路径75抽吸空气等第二流体而进行减压的减压动作(减压模式)。
通过压力调节机构18的加压动作而使作为第一室的袋状体73的内部空间和脱泡路径75内被加压。因此，控制室rc内的袋状体73膨胀而使袋状体73对可动膜71进行按压，并使阀体722移动从而将空间r1与空间r2连通。此外，由于此时在脱泡空间q与脱泡路径75之间并未设置有第一实施方式的止回阀74，因此脱泡空间q也同时被加压。然而，在脱泡空间q与作为油墨的流道的铅直空间rv以及空间rf1之间设置有透气膜ma及mc，从而在脱泡空间q中仅保持有透过了透气膜ma及mc的气体。此外，压力调节机构18的加压动作与减压动作相比在短时间内被实施。因此，在实施作为第一室的袋状体73的内部空间的加压时，即使作为第二室的脱泡空间q内的气体被加压了，第二室的气体也不会通过透气膜ma以及mc而透过到作为油墨的流道的铅直空间rv及空间rf1中。
此外，通过压力调节机构18的减压动作，从而使作为第二室的脱泡空间q被减压。由此，保持在脱泡空间q内的气体经由脱泡路径75而被排出。此外，通过压力调节机构18的减压动作，第一室内的第二流体也被减压，从而使袋状体73收缩、即容积缩小。由于即使袋状体73收缩了也不影响控制室rc内的压力，因此开闭阀b[1]被维持为关闭的状态。另外，虽然未进行特别图示，但控制室rc被设为大气开放，从而控制室rc内的压力将不会因袋状体73的状态、即膨胀或收缩而发生变动。也就是说，控制室rc成为不与作为第一室的袋状体73的内部空间和作为第二室的脱泡空间q连通的缓冲室。顺便说明一下，在未设置有作为缓冲室的控制室rc的情况下，能够在不会因袋状体73的收缩而影响可动膜71的条件下，对开闭阀b[1]的特性发生变化的情况进行抑制。此外，由于能够通过将控制室rc向大气开放这样的简单的结构来抑制由袋状体73的收缩所造成的开闭阀b[1]的特性变化的情况，因此能够在无需复杂的结构的条件下降低成本。
另一方面，供给作为第一流体的油墨的流道79经由与第一连接口79a连接的分配流道36而与液体压送机构16连接。即，从液体压送机构16经由第一连接口79a而被压送的油墨，经由处于开放状态的开闭阀b[1]而向铅直空间rv供给，并从铅直空间rv被供给至共同液室sr以及各个压力室sc。
以此方式，作为第一室的袋状体73的内部空间的加压以及作为第二室的脱泡空间q的减压是通过与第二连接口75b连接的一个压力调节机构18而被实施的。因此，在对液体喷射单元40进行拆装时，只要将液体压送机构16与用于使作为第一流体的油墨流通的第一连接口79a连接，并将压力调节机构18与使第二流体流通的第二连接口75b连接即可，从而能够很容易地实施液体喷射单元40的拆装。即，由于仅通过对第一连接口79a以及第二连接口75b这两个连接口进行连接就能够对液体喷射单元40进行拆装，因此能够简化拆装作业。顺便说明一下，在单独地设置连接有对第一室进行加压的加压单元的连接口和连接有对第二室进行减压的减压单元的连接口的情况下，必须实施包括第一连接口79a在内的共计三个连接口的连接，从而使连接口的拆装作业变得复杂。此外，在单独地设置加压用和减压用的连接口的情况下，必须针对每个连接口而设置加压泵等加压单元和减压泵等减压单元，从而成本变高。在本实施方式中，由于能够通过共同的第二连接口75b来实施加压以及减压，因此仅设置一个实施加压以及减压双方的压力调节机构18即可，从而能够降低成本。
另外，虽然在本实施方式中，作为第二流体而例示了空气，但并未被特别限定于此，第二流体也可以使用惰性气体、或油墨中所使用的液体、油墨以外的液体等。在其他实施方式中也是同样的。
此外，虽然在本实施方式中采用了通过对第一室进行加压从而使袋状体73膨胀进而对开闭阀b[1]进行开阀的方式，但对第一室进行加压的用途并未被特别限定于此。例如，也可以采用如下方式，即，通过对第一室进行加压，从而对流道内的油墨进行加压，进而实施在从喷嘴n渗出油墨的同时对喷射面进行擦拭的、所谓的加压擦拭。此外，也可以采用如下方式，即，通过对第一室进行加压，从而对用于吸收流道内的压力变动的阻尼室的容积进行变更，进而对阻尼室的特性进行变更。也就是说，第一室能够用于如下目的，即，通过被加压从而改变油墨所通过的流道的容积。当然，第一室也能够用于除了改变油墨所通过的流道的容积以外的用途。作为其他用途，例如也可以使第一室以面对喷嘴n的方式而开口，并通过对第一室进行加压，从而使第二流体从开口被吹出，进而通过第二流体而吹走附着于喷嘴n附近的灰尘。
此外，虽然采用了通过对第二室进行减压从而将作为第二室的脱泡空间q内的气泡去除的方式，但对第二室进行减压的用途并未被特别限定于此。例如，第二室只要是经由单向阀而与油墨所通过的流道连通并在第二室的减压时打开单向阀而与气泡一起对流道内的油墨进行回收的空间即可。也就是说，第二室能够用于如下目的，即，对油墨中所包含的气泡进行积存。当然，第二室也能够用于除了对油墨中所包含的气泡进行积存的目的以外的用途。作为其他用途，例如也可以通过对第二室进行减压，从而对用于吸收流道内的压力变动的阻尼室的容积进行变更，进而对阻尼室的特性进行变更。而且，也可以使第二室以面对喷嘴n的方式开口，并通过对第二室进行减压，从而抽吸去除附着于喷嘴n附近的灰尘。
另外，优选为，第一室与可动膜71相接的部分、即在内部具有第一室的袋状体73与可动膜71相接的部分被粗糙化。顺便说明一下，袋状体73与可动膜71相接的部分被粗糙化的含义为，袋状体73与可动膜71相接的部分、和可动膜71的与袋状体73相接的部分中的至少一方被粗糙面化。此外，被粗糙化的含义为，例如通过干蚀刻、喷砂加工以及湿蚀刻等以使所抵接的面的表面粗糙度变粗的方式进行加工、或形成表面粗糙度较粗的膜。以此方式，通过对袋状体73与可动膜71相接的部分进行粗糙化，从而能够对袋状体73与可动膜71因结露等而粘贴的情况进行抑制。
第七实施方式
对本发明的第七实施方式进行说明。另外，对与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
图27为第七实施方式所涉及的流道单元的内部流道的说明图。如图27所示，在第二连接口75b的与分支点75a相反一侧处，作为减压维持单元而连接有双向阀18a。即，在第二连接口75b与压力调节机构18之间设置有双向阀18a。
双向阀18a由例如电磁阀等构成，且以在预定的定时将流道关闭的方式通过控制单元20而被控制。在此，双向阀18a关闭流道的定时为，压力调节机构18实施了减压动作之后。即，通过在压力调节机构18实施了减压动作之后使双向阀18a进行闭阀，从而维持脱泡路径75以及脱泡空间q的减压状态。
以此方式，即使不持续驱动压力调节机构18，也能够通过设置双向阀18a，从而维持脱泡空间q以及脱泡路径75的减压状态。而且，通过维持脱泡空间q的减压状态，从而使空间rf1内的气泡经由透气膜mc而向脱泡空间q被排出，并使铅直空间rv内的气泡经由透气膜ma而向脱泡空间q被排出。而且，在减压状态被维持后，通过以预定的定时而实施由压力调节机构18实现的减压并且对双向阀18a进行开阀，从而使被排出至脱泡空间q内的气泡经由脱泡路径75而从第二连接口75b排出至外部，即从与第二连接口75b连接的双向阀18a以及压力调节机构18而排出至外部。
如以上所说明的那样，通过设置具有双向阀18a以及压力调节机构18的减压维持单元而维持脱泡空间q的减压状态，从而能够长时间地可靠地实施油墨中所包含的气泡的向脱泡空间q的脱泡。此外，由于对于脱泡空间q的减压状态的维持而言无需始终驱动压力调节机构18，因此能够减少电力消耗量。
此外，在本实施方式中，通过以使双向阀18a与第二连接口75b连接的方式、即在液体喷射单元40的外侧设置双向阀18a，从而能够使液体喷射单元40小型化。另外，设置双向阀18a的位置并未被特别限定于此，例如，既可以将双向阀18a设置在分配流道36上，也可以将双向阀18a设置在阀机构单元41或流道单元42等上。
此外，虽然在本实施方式中，作为减压维持单元而设置了双向阀18a和压力调节机构18，但并未被特别限定于此。例如，也可以采用如下方式，即，在不设置双向阀18a的条件下，始终或间歇性地驱动压力调节机构18，从而维持作为第二室的脱泡空间q的减压状态。此外，与第一实施方式相同，也可以在脱泡空间q与脱泡路径75之间设置仅容许从脱泡空间q向脱泡路径75的流动的单向阀、即止回阀74，从而通过止回阀74而维持作为第二室的脱泡空间q的减压状态。在此，如上文所述，图15以及图16所示的止回阀74为，容许从脱泡空间q朝向脱泡路径75的空气的流通，并且阻碍从脱泡路径75朝向脱泡空间q的空气的流通的阀机构。因此，通过设置止回阀74，从而压力调节机构18对脱泡空间q进行减压，并且即使由压力调节机构18实施的减压动作停止了，脱泡空间q的减压状态也会通过止回阀74而被维持。
第八实施方式
对本发明的第八实施方式进行说明。另外，对与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
图28为第八实施方式所涉及的流道单元的脱泡路径的说明图。如图28所示，脱泡路径75中的分支点75a与作为第二室的脱泡空间q之间的脱泡路径75成为，在x方向上往返的同时朝向z方向而蜿蜒的蜿蜒通道75c。以此方式，通过在脱泡路径75中设置蜿蜒通道75c，从而向脱泡路径75施加扩散阻力，由此能够抑制油墨的从透气膜ma及mb的蒸发。顺便说明一下，由于流道内的油墨的水分可透过透气膜ma及mb，因此如果不设置蜿蜒通道75c，则油墨的水分将变得易于蒸发，从而会产生油墨的粘度升高等不良状况。在本实施方式中，由于通过设置蜿蜒通道75c从而能够抑制透过透气膜ma及mb的油墨的水分的蒸发，因此能够对产生油墨的粘度升高等不良情况进行抑制。
此外，在本实施方式中，蜿蜒通道75c设置在分支点75a与作为第二室的脱泡空间q之间的脱泡路径75上。因此，与将脱泡路径75全部设为蜿蜒通道75c的情况相比，能够以较小的压力来实施由压力调节机构18实现的加压动作以及减压动作。也就是说，如果将脱泡路径75全部设为蜿蜒通道时，则脱泡路径75的路径长度会变长，从而将需要以较高的压力来实施由压力调节机构18实现的加压动作以及减压动作，或者以较低的压力且长时间地对压力调节机构18进行驱动。如此，输出较高压力的压力调节机构18将会大型化以及高成本化。此外，在以较低的压力且长时间地对压力调节机构18进行驱动的情况下，在加压动作以及减压动作中会耗费时间，从而将产生印刷待机时间变长等不良状况。在本实施方式中，通过仅将分支点75a与作为第二室的脱泡空间q之间的脱泡路径75设为蜿蜒通道75c，从而能够以较小的压力且以短时间而实施由压力调节机构18实现的加压动作以及减压动作，并能够抑制大型化以及高成本化，并且能够缩短加压动作以及减压动作的时间从而缩短印刷待机时间。当然，既可以将分支点75a与第二连接口75b之间的脱泡路径75设为蜿蜒通道，也可以将脱泡路径75全部设为蜿蜒通道。
第九实施方式
对本发明的第九实施方式进行说明。另外，对与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
图29为对第九实施方式所涉及的流道单元的主要部分进行说明的图。如图29所示，在透气膜ma及mc的脱泡空间q侧设置有多个梁状的第一限制部42a。此外，在透气膜ma及mc的铅直空间rv以及空间rf1侧设置有多个梁状的第二限制部42b。这些第一限制部42a以及第二限制部42b与形成各个空间的壁面一体地设置。
以此方式，通过设置第一限制部42a，从而能够在对作为第二室的脱泡空间q进行减压时，限制透气膜ma及mc向脱泡空间q侧变形的情况，进而抑制脱泡空间q的容积减少的情况。
此外，通过设置第二限制部42b，从而能够在对作为第二室的脱泡空间q进行加压时，限制透气膜ma及mc向与脱泡空间q相反一侧变形的情况，进而抑制脱泡空间q的容积增大的情况。
即，通过设置多个梁状的第一限制部42a以及第二限制部42b，从而能够在第一限制部42a以及第二限制部42b不阻碍气体透过透气膜ma及mc的条件下，通过第一限制部42a及第二限制部42b来限制透气膜ma及mc的变形，进而对由透气膜ma及mc的变形所造成的损坏进行抑制。
另外，第一限制部42a以及第二限制部42b只要为对作为第二室的脱泡空间q的扩缩进行抑制的结构即可，并不限定于上述结构，也可以为将多个梁状的限制部组合成格子状、即设置为网眼状的结构。此外，第一限制部42a以及第二限制部42b也可以为从与透气膜ma及mc相对置的壁面突出的凸部等。
第十实施方式
对本发明的第十实施方式进行说明。另外，对与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
图30为对第十实施方式所涉及的流道单元的主要部分进行说明的图。如图30所示，袋状体73以堵塞控制室rc的开口的方式而被设置。此外，在本实施方式中，袋状体73为，在通过压力调节机构18的加压动作而使脱泡路径75被加压时向可动膜71侧弹性变形为袋状的结构，且在不实施加压动作的情况下，具有板形形状。也就是说，作为板状部件的袋状体73通过脱泡路径75被加压而在控制室rc内变形为袋状。
此外，从脱泡路径75的与袋状体73相对置的面上设置有朝向该袋状体73而突出的第三限制部42c。通过设置第三限制部42c，从而能够在对脱泡路径75进行减压时，对袋状体73向与可动膜71相反一侧变形的情况进行抑制。另外，如上文所述，虽然在袋状体73变形为袋状的情况下，第一室为袋状体73的内部空间，但由于通常情况下袋状体73具有板形形状，因此第一室成为脱泡路径75。而且，在对脱泡路径75进行减压时，第三限制部42c限制了作为第一室的脱泡路径75的容积的减少。
以此方式，通过在袋状体73的与可动膜71相反一侧处设置第三限制部42c，从而在加压时第三限制部42c不阻碍袋状体73的变形，而在减压时第三限制部42c限制了袋状体73的变形，由此能够抑制由袋状体73的变形所造成的损坏等。另外，第三限制部42c与第一限制部42a以及第二限制部42b相同，也可以被设置为梁状。
如前文所述，在为了通过向第一室实施的加压而使开闭阀b[1]开阀或者进行所谓的加压擦拭或者改变阻尼室的特性而使用第一室的情况下，优选为，第一室的至少一部分通过橡胶或弹性体等的可挠性部件而被形成。在可挠性部件被用于第一室的一部分的情况下，第一室的其他的部分也可以通过热固化性树脂或金属等而被形成。此外，在为了通过向第一室实施的加压并利用第二流体来吹走附着于喷嘴n附近的灰尘而使用第一室的情况下，优选为，第一室通过热固化性树脂或金属等而被形成。
此外，在为了通过第二室的减压来去除脱泡空间q内的气泡而使用第二室的情况下，优选为，第二室的至少一部分通过具有透气性的薄片状部件(例如，聚缩醛或聚丙烯或聚苯醚等薄膜)、或具有透气性程度的厚度的刚性壁(例如，将包括透过区划壁在内的流道单元42的材质设为pom(聚缩醛)、m-ppe(改性聚苯醚)、或者pp(聚丙烯)等塑料或它们的合金，且将刚性壁的厚度一般设为0.5mm左右)而被形成。或者，在经由阀而与通过这些薄片状部件或刚性壁所形成的部室连通的部室相当于第二室的情况下，第二室也可以通过热固化性树脂或金属等而被形成。此外，在为了通过向第二室实施的减压来抽吸去除附着于喷嘴n附近的灰尘而使用第二室的情况下，优选为，第二室通过热固化性树脂或金属等而被形成。即，优选为，第一室和第二室的至少一部分由不同的部件形成。
如上文所述，在为了通过向第一室实施的加压而使开闭阀b[1]开阀或者进行所谓的加压擦拭或者改变阻尼室的特性而使用第一室的情况下，优选为，第一室与第一流体的流道邻接。此外，在为了通过向第一室实施的加压并利用第二流体来吹走附着于喷嘴n附近的灰尘而使用第一室的情况下，第一室可以不与第一流体的流道邻接。在此，在通过使第一室内的压力发生变化从而使第一流体的流道的压力变化的情况下，也可以使二者邻接。在邻接的情况下，能够将第一室内的压力变化有效地向第一流体的流道进行传递。
此外，在为了通过第二室的减压来去除脱泡空间q内的气泡而使用第二室的情况下，优选为，第二室与第一流体的流道邻接。此外，在为了通过向第二室实施的减压来抽吸去除附着于喷嘴n附近的灰尘而使用第二室的情况下，第二室可以不与第一流体的流道邻接。在此，在通过使第二室内的压力发生变化从而使第一流体的流道的压力变化的情况下，也可以使二者邻接。在邻接的情况下，能够将第二室内的压力变化有效地向第一流体的流道进行传递。
符号说明
100…液体喷射装置；12…介质；14…液体容器；16…液体压送机构；18…压力调节机构；20…控制单元；22…输送机构；24…液体喷射头；26…移动机构；262…输送体；264…输送带；242…第一支承体；244…组装体；32…连接单元；322…筐体；324…中继基板；326…驱动基板；328…连接部；342…支承部；344…连结部；346…开口部；34…第二支承体；36…分配流道；38…液体喷射组件；384…连接部；40…液体喷射单元；41…阀机构单元；42…流道单元；42a…第一限制部；42b…第二限制部；42c…第三限制部；44…液体喷射部；442…伸出部；444…伸出部；445…切口部；446…突起部；50…连结单元；52…第一中继体；522…收纳体；524…配线基板；526…连接部；53…连结件；54…第二中继体；542…安装基板；544…配线基板；546…连接部；56…传输线；60…开口部；62…梁状部；621…第一支承部；622…第二支承部；623…中间部；71…可动膜；73…袋状体；74…止回阀；75…脱泡路径；75a…分支点；75b…第二连接口；75c…蜿蜒通道；76…排出路径；78…关闭阀；781…连通管；782…移动体；783…密封部；784…弹簧；785…开口部；79…流道；79a…第一连接口；80…开阀单元；82…插入部；820…顶端部；822…连通流道；824…开口部；84…基础部；842…滞留空间；844…透气膜；846…排出口；b[n](b[1]～b[4])…开闭阀；f[n](f[1]～f[4])…过滤器；q…脱泡空间(第二室)；ma、mb、mc…透气膜；ta、tb、tc1、tc2…紧固件；j…喷射面；p1…第一部分；p2…第二部分；p3…第三部分。