感光性转印材料、滤色片及显示装置的制作方法

文档序号:2673005阅读:223来源:国知局

专利名称::感光性转印材料、滤色片及显示装置的制作方法
技术领域
:本发明涉及一种在滤色片的制造中优选使用的感光性转印材料,在笔记本电脑、电视监视器等大画面的显示装置等中优选使用的滤色片及具有该滤色片的显示装置。
背景技术
:滤色片是液晶显示器(以下也称为"液晶显示装置"。)中不可缺少的构成零件。作为简单地制作该滤色片的方法,包括使用在临时支撑体上设置感光性树脂组合物的树脂层的树脂转印材料,利用层压机将该树脂层贴附于基板,通过曝光,显影形成图案的方法。所述方法中使用的树脂转印材料通常具有临时支撑体和至少一层感光性树脂层、覆盖薄膜,边剥离覆盖薄膜边被转印。有时在使用树脂转印材料制造的滤色片中发生气孔(pinhole)故障。特别是在大量加入颜料的黒图像或颜色深的RGB图像的形成中使用的树脂转印材料中,该趋势更显著。在显影前,从基板侧观察,不能在树脂层明显见到气泡等,但显影后有时会发生气孔故障。此外,还公开了涉及为了提高层叠性等而使用规定的覆盖薄膜的感光性元件的发明(例如参照专利文献1。)。专利文献l:特开2000—330291号公报
发明内容本发明正是鉴于所述以往的问题点而提出的,其目的在于提供一种制造成本低、气孔或图案脱落等缺陷的发生少的感光性转印材料、使用该感光性转印材料制作的滤色片及具有该滤色片的显示装置。鉴于这种实际情况,本发明人进行了潜心研究,结果发现了能够兼顾气孔或图案脱落等缺陷的数目和覆盖薄膜的生产率两方面的环点的个数范围,以至完成本发明。艮P,本发明中,<1〉一种感光性转印材料,其是至少具有临时支撑体、在所述临时支撑体上形成的至少一层感光性树脂层和覆盖所述感光性树脂层的覆盖薄膜的感光性转印材料,其特征在于,所述感光性树脂层按固体成分比含有颜料10质量%以上,所述覆盖薄膜的直径10pm以上的环点数目为50至500个/m2,直径300pm以上的环点数目为3个/m2以下。<2〉根据<1>所述的感光性转印材料,其特征在于,用于制造滤色片。<3>根据<1>或<2>所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的直径10pm以上的环点数目为50至400个/m2,直径300nm以上的环点数目为2个/1112以下。<4>根据<1>或<2>所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的直径10pm以上的环点数目为50至300个/m2,直径300pm以上的环点数目为1个/1112以下。<5>根据<1>或<2>所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的厚度为1100pm。<6>根据<1>或<2>所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的厚度为550tirn。<7>根据<1>或<2>所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的厚度为1030pm。<8>—种滤色片,其特征在于,使用至少一种<1>或<2>所述的感光性转印材料制作。<9>一种显示装置,其是具有<8>所述的滤色片的显示装置。<10>—种滤色片的制造方法,其中,包括在基板上转印<1>或<2>所述的感光性转印材料的感光性树脂层的工序、曝光工序、显影工序。利用本发明,可以提供一种制造成本低、气孔或图案脱落等缺陷的发生少的感光性转印材料、使用该感光性转印材料制作的滤色片及具有该滤色片的显示装置。具体实施例方式以下对本发明的感光性转印材料、滤色片及显示装置进行详细说明。<感光性转印材料>本发明的感光性转印材料是至少具有临时支撑体、在所述临时支撑体上形成的感光性树脂层和覆盖所述感光性树脂层的覆盖薄膜,其特征在于,所述感光性树脂层按固体成分比含有颜料10质量%以上,所述覆盖薄膜的直径10pm以上的环点数目为50至500个/m2,直径300pm以上的环点数目为3个/m2以下的感光性转印材料。感光性树脂层中的颜料的含有率(固体成分比)优选为1060质量%,更优选为1550质量%,进而优选为2045质量%。本发明的感光性转印材料优选用于制造滤色片。在本发明中,"环点"是指如果用显微镜观察覆盖薄膜而可以看作为牛顿环的点。如果感光性树脂层中的颜料的含有率(固体成分比)为10质量%以上,则该感光性树脂层的柔软性降低。由于在覆盖薄膜的环点的存在部分存在凹凸,所以如果感光性树脂层接触该部分,则该感光性树脂层的膜厚可能会变得不均一。如果向基板层叠膜厚不均一且柔软性较低的感光性树脂层,则在基板与该感光性树脂层之间发生空隙等,有时会成为显影后气孔故障发生的原因。本发明人进行了分析,结果发现气孔的发生与覆盖薄膜的批次(lot)差、其中环点的大小及数目相关。越减小在制作覆盖薄膜时的过滤器的筛孔尺寸,则环点数目越减小,其直径也变小,而越减小筛孔尺寸,则覆盖薄膜的生产率越降低,成本越提高。本发明人考虑到覆盖薄膜的制造成本和气孔的发生频率之间的平衡,发现了环点可存在的优选范围。在本发明的感光性转印材料中,可以在临时支撑体上形成至少一层感光性树脂层或多个感光性树脂层,根据需要也可以形成其他树脂层。更优选在临时支撑体上依次形成热塑性树脂层和中间层、感光性树脂层。例如可以利用特开2005—3861号公报分段落中记载的工序制造所述感光性转印材料。以下对构成感光性转印材料的各要素进行详细说明。(临时支撑体)作为本发明的感光性转印材料中使用的临时支撑体,优选具有挠性,即使在加压及加热下也不会发生显著的变形、收缩或伸长。作为这样的临时支撑体的例子,可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜、三乙酸纤维素薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚碳酸酯薄膜等,其中,特别优选双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯。(热塑性树脂层)作为感光性转印材料中的热塑性树脂层中使用的成分,优选特开平5一72724号公报中记载的有机高分子物质,特别优选从利用维氏(7V力一,Vicat)法(具体而言,利用美国材料试验法ASTMD1235的聚合物软化点测定法)的软化点约为8(TC以下的有机高分子物质中选择。具体而言,可以举出聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃,乙烯与醋酸乙烯的共聚物或其皂化物之类的乙烯共聚物,乙烯与丙烯酸酯之间的共聚物或其皂化物,聚氯乙烯、氯乙烯与醋酸乙烯之间的共聚物及其皂化物之类的氯乙烯共聚物,聚偏二氯乙烯、偏二氯乙烯共聚物、聚苯乙烯、苯乙烯与(甲基)丙烯酸酯之间的共聚物或其皂化物之类的苯乙烯共聚物,聚乙烯基甲苯、乙烯基甲苯与(甲基)丙烯酸酯之间的共聚物或其皂化物之类的乙烯基甲苯共聚物,聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯与醋酸乙烯之间的共聚物等(甲基)丙烯酸酯共聚物,醋酸乙烯共聚物尼龙、共聚合尼龙、N—烷氧基甲基化尼龙、N—二甲胺基化尼龙之类的聚酰胺树脂等有机高分子。(中间层)在本发明中的感光性转印材料中,为了防止在涂敷多层涂敷层时及涂敷后的保存时的成分的混合,优选设置中间层。作为该中间层,优选使用在特开平5—72724号公报中作为"分离层"记载的具有阻氧功能的阻氧膜,这种情况下,曝光时灵敏度提高,曝光机的时间负荷减少,生产率提咼。作为该阻氧膜,优选显示出较低透氧性且分散或溶解于水或碱水溶液的阻氧膜,可以从公知的阻氧膜中适当选择。其中,特别优选聚乙烯醇与聚乙烯吡咯烷酮之间的组合。(感光性树脂层)在将本发明中的感光性树脂层提供给黑矩阵等遮光部的形成时,可以与特开2005—3861号公报的感光性黑色树脂层或特开2004—240039号公报的着色组合物构成的层相同地形成感光性树脂层。在提供到RGB等着色像素的形成时,可以与特开2006—23696号公报或特开2006—276818号公报的着色感光性树脂组合物构成的层相同地形成感光性树脂层,形成间隙材等结构物的情况下,可以与特开2006—276496号公报或特开2006一64921号公报的感光性树脂组合物构成的层相同地形成感光性树脂层。(覆盖薄膜)为了避免在保存时受到污染或损伤而覆盖感光性树脂层,在本发明的感光性转印材料上设置薄的覆盖薄膜。覆盖薄膜可以由与临时支撑体相同或相似的材料构成,但必需容易从感光性树脂层分离。作为覆盖薄膜材料,可以为例如硅酮纸、聚烯烃或聚四氟乙烯片材。本发明中的覆盖薄膜的直径10pm以上的环点数目为50至500个/m2,直径300pm以上的环点数目为3个/m2以下,优选直径lOpm以上的环点为50至400个/m2且直径300pm以上的环点数目为2个/m2以下,特别优选直径lOpm以上的环点为50至300个/1!12且直径30(Him以上的环点数目为l个/m2以下。环点的直径及数目满足所述范围的环点水平良好的薄膜可以通过材料的选定、混炼方法的合理化、材料熔融后的过滤等制造。在此,环点的尺寸的测定方法例如可以使用光学显微镜测定。其中,本发明中的环点的直径是指环点的最大直径。在本发明中,覆盖薄膜的厚度优选为110(Him,更优选为550pm,特别优选为1030拜。该厚度如果为l)im以上,则由于覆盖薄膜的强度充分,所以在向感光性树脂层贴合覆盖薄膜时,覆盖薄膜难以断裂。如果为100pm以下,则覆盖薄膜的价格不会变高,另外,在层叠覆盖薄膜时难以发生铍纹。作为市售的这样的覆盖薄膜,例如可以举出王子制纸(株)制7W77乂MA—410、E—200C、E—501、信越薄膜(7々厶)(株)制等聚丙烯薄膜、帝人(株)制PS—25等PS系列等聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜等,但不被其所限定。另外,通过喷砂加工市售的薄膜,可以简单地制造。在本发明中,作为覆盖薄膜可以使用聚乙烯薄膜等聚烯烃薄膜。另外,作为覆盖薄膜通常使用的聚烯烃薄膜,可以利用铸造(casting)或膨胀(inflation)法,通过热熔融、混炼、挤压、双向拉伸原材料来制造。<滤色片>本发明的滤色片是至少使用一种所述本发明的感光性转印材料制作的。本发明的滤色片具有利用构成该感光性转印材料中的感光性树脂层的树脂组合物形成的结构物。作为该结构物,可以举出黑矩阵等遮光部(以下也称为K图像)、红(R)、绿(G)及蓝(B)等着色图像(像素)、覆盖薄膜层、树脂间隙材、液晶取向用肋材等。以下对构成使用本发明的感光性转印材料的滤色片的结构物的制造方法进行说明。该结构物可以通过在基板上转印感光性树脂层之后,曝光及显影该感光性树脂层来形成。(转印工序)在本发明中,作为在基板上转印感光性树脂层的方法,优选使用在临时支撑体上具有感光性树脂层的感光性转印材料,在基板上层叠该感光性树脂层,然后通过除去临时支撑体来进行的方法。感光性树脂层在基板表面的转印(贴合)通常通过在除去感光性转印材料的覆盖薄膜之后,在基板表面上重叠感光性树脂层,再加压、加热来进行的。贴合可以使用层压机、真空层压机及可以提高生产率的自动切割(才一卜力、乂卜)层压机等公知的层压机。(曝光、显影工序及其他工序)转印感光性树脂层之后,可以利用曝光、显影及其他工序形成图案。作为该工序的例子,在本发明中,可以优选使用特开2006—23696号公报的段落编号中记载的方法。(基板)在本发明中,作为构成滤色片的基板,例如可以使用透明基板,可以举出在表面具有氧化硅被膜的钠钙玻璃板、低膨胀玻璃、无碱玻璃、石英玻璃板等公知的玻璃板或者塑料薄膜等。另外,所述基板通过预先实施偶合处理,可以良好地与感光性树脂层粘附。作为该偶合处理,可以优选使用特开2000—39033号公报进行的方法。另外,作为基板的膜厚,没有特别限定,但通常优选700120(Him,特别优选5001100(im。<显示装置>作为本发明的显示装置只要是具备已述的本发明的滤色片的装置即可,没有特别限定,是指液晶显示装置、等离子显示器显示装置、EL显示装置、CRT显示装置等显示装置等。显示装置的定义或各显示装置的说明被记载于例如"电子显示器设备(佐佐木昭夫著,(株)工业调査会1990年发行)"、"显示器设备(伊吹顺章著,产业图书(株)平成元年发行)"等。本发明的显示装置特别优选为液晶显示装置。对于液晶显示装置,例如被记载于"下一代液晶显示器技术(内田龙男编集,(株)工业调查会1994年发行)"。对本发明可以适用的液晶显示装置没有特别限制,例如可以适用于所述"下一代液晶显示器技术"中记载的各种方式的液晶显示装置。本发明在这些中特别相对彩色TFT方式的液晶显示装置是有效的。对于彩色TFT方式的液晶显示装置,例如被记载于"彩色TFT液晶显示器(共立出版(株)1996年发行)"。进而本发明当然也可以适用于IPS等横电场驱动方式、MVA等像素分割方式等视角被扩大的液晶显示装置。对于这些方式,例如被记载于"EL、PDP、LCD显示器技术与市场的最新动向(东利研究中心(東VlJ寸一于iry夕一)调查研究部门2001年发行)"的43页。液晶显示装置除了滤色片以外,由电极基板、偏振光薄膜、相位差薄膜、背光灯、间隙材、视角补偿薄膜等各种构件构成。对于这些构件,例如记载于"'94液晶显示器外围材料化学药品(chemicals)的市场(岛健太郎(株)、乂一工厶^一(CMC)1994年发行)"、"2003液晶相关市场的现状与将来展望(下巻)(表良吉(株)富士季美乐(年>,))总研2003年发行)"。本发明的显示装置可以采用ECB(电动双折射)(ElectricallyControlledBirefringence)、TN(扭曲向列)(TwistedNematic)、IPS(面内转换)(In—PlaneSwitching)、FLC(铁电液晶)(FerroelectricLiquidCrystal)、OCB(光学补偿弯曲)(OpticallyCompensatoryBend)、STN(超扭曲向列)(SupperTwistedNematic)、VA(垂直排列)(VerticallyAligned)、HAN(混合排列向列)(HybridAlignedNematic)、GH(宾主)(GuestHost)之类的各种显示模式。本发明的显示装置的特征在于使用如上所述的滤色片,这样,用于搭载于电视机、显示器时没有显示不均,可以具有宽色再现区域和高对比度比,还可以优选用于笔记本个人用显示器或电视监视器等大画面显示装置等。[实施例]以下举出实施例对本发明进行更具体地说明。本发明不被这些实施例所限定。此外,只要不是特别断定,以下"份"、及"质量份"表示"质量份"、"质量%"及"重均分子量"。(覆盖薄膜制造例)用显微镜观察王子制纸(株)制7》7:r乂E—501,在该覆盖薄膜中,选出符合下述覆盖薄膜AF的环点条件的部分,剪切(ciitting)、使用。一覆盖薄膜A—直径10pm以上的环点为50个/1112、直径300拜以上的环点为0个/m2一覆盖薄膜B—直径10pm以上的环点为500个/m2、直径30(Him以上的环点为3个/m2一覆盖薄膜C一直径lOpm以上的环点为400个/m2、直径300nm以上的环点为2个/m2一覆盖薄膜D—直径10pm以上的环点为300个/m2、直径300pm以上的环点为1个/m2一覆盖薄膜E(比较例)一直径10pm以上的环点为30个/1112、直径300|im以上的环点为0个/m2一覆盖薄膜F(比较例)一直径10pm以上的环点为600个/m2、直径300nm以上的环点为4水/m2(实施例1)一感光性树脂转印材料的制作一在厚75pm的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜临时支撑体上,使用缝隙状喷嘴,涂敷、干燥下述处方H1构成的热塑性树脂层用涂敷液。接着,涂敷、干燥下述处方P1构成的中间层用涂敷液。进而,涂敷、干燥下述着色感光性树脂组合物Bl,在该临时支撑体上设置干燥膜厚14.6pm的热塑性树脂层、干燥膜厚l如m的中间层和干燥膜厚2.2拜的感光性树脂层,在该感光性树脂层上压粘覆盖薄膜A。这样制作临时支撑体、热塑性树脂层、中间层(阻氧膜)、蓝(B)感光性树脂层和覆盖薄膜成为一体的感光性树脂转印材料,样品名为感光性树脂转印材料B1。<热塑性树脂层用涂敷液处方H1〉甲醇11.1份.丙二醇一甲醚乙酸酯6.36份甲基乙基甲酮52.4份甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸2—乙基己基酯/甲基丙烯酸苄基酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚合组成比(摩尔比)=55/11.7/4.5/28.8,分子量=9万,Tg—70°C)5.83份*苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚合组成比(摩尔比)=63/37,分子量=1万,Tg—IOO'C)13.6份向双酚A脱水縮合2当量季戊四醇一甲基丙烯酸酯所得的化合物(新中村化学工业(株)制,商品名2,2—双[4—(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙垸)9.1份下述表面活性剂10.54份中间层用涂敷液处方P1PVA205(聚乙烯醇,(株)库里拉(夕,lz)制,皂化度=88%,聚合度550).聚乙烯吡咯烷酮(爱格日本(株)制,K—30)-蒸馏水甲醇<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>质量份着色感光性树脂组合物B1可以通过如下所述得到,即首先通过量取表1中记载的量的B颜料分散物1、B颜料分散物2、丙二醇一甲醚乙酸酯,在温度24。C(±2°C)下混合,以150RPM搅拌IO分钟,接着,量取表1中记载的量的甲基乙基甲酮、粘合剂3、DPHA液、2—三氯甲基—5—(对苯乙烯基苯乙烯基)一l,3,4一噁二唑、吩噻嗪,在温度25°C(±2°C)下依次添加,在温度40。C(±2°C)下以150RPM搅拌30分钟,进而量取表1中记载的量的表面活性剂1,在温度24'C(土2'C)下添加,以30RPM搅拌5分钟,用尼龙筛#200过滤。另外,表1记载的组合物中,B颜料分散物1使用御国色素(株)制的"商品名CF蓝EX3357",B颜料分散物2使用御国色素(株)审,"商品名CF蓝EX3383"。另外,粘合剂3的组成如下所述。聚合物32.2份14.9份524份429份(甲基丙烯酸苄基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯=36/22/42摩尔比的无规共聚物,分子量3.8万)27份*丙二醇一甲醚乙酸酯73份DPHA液的组成如下所述。二季戊四醇六丙烯酸(含有抗聚合剂MEHQ500ppm,日本化药(株)制,商品名KAYARADDPHA)丙二醇一甲醚乙酸酯表面活性剂1的组成如下所述。下述结构物1甲基乙基甲酮结构物l<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>icH2CH2CnF2rt+1i(PO)H(n=6,x=55,y=5,Mw=33940,Mw/Mn=2.55PO:环氧丙烷,EO:环氧乙垸)一蓝(B)像素的形成一利用喷淋,向300X400mm(0.12m2)的无碱玻璃基板上喷出20秒已调整为25'C的玻璃洗涤剂液,同时用具有尼龙毛的旋转刷清洗,纯水喷淋清洗之后,利用喷淋,喷出有机硅烷偶合剂液(n—P(氨基乙基)y一氨基丙基三甲氧基硅垸0.3质量%水溶液,商品名KBM603,信越化学工业(株)制)20秒,用纯水喷淋清洗。用基板预备加热装置,在100'C下加热该基板2分钟,送至下一个层压机。剥离所述感光性树脂转印材料B1的覆盖薄膜,然后使用层合机((株)日立工业(<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>)制(LamicII型)),向加热至IO(TC的所述基板,以橡胶辊温度130°C、线压100N/cm、输送速度2.2m/分钟层压。在与热塑性树脂层的界面剥离临时支撑体,之后,用具有超高压汞灯的近接式曝光机(日立高科技电子工程(株)制),以基板与掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)垂直立起的状态,设定曝光掩模面与该热塑性树脂层之间的距离为200pm,以曝光量70mJ/cn^进行图案曝光。接着,以3(TC50秒、平喷嘴压力0.04MPa,对三乙醇胺系显影液(用纯水稀释商品名T一PD2,富士胶片(株)制至12倍(以1质量份T一PD2与11质量份纯水的比例混合)的液体)进行喷淋显影,除去热塑性树脂层和中间层。接着,向该基板上面吹气,然后甩去液体之后,利用喷淋吹纯水10秒,进行纯水喷淋清洗,吹气,减少基板上的液体积存。接着,使用碳酸钠系显影液(用纯水5倍稀释含有0.38摩尔/升的碳酸氢钠、0.47摩尔/升的碳酸钠、5质量%的二丁基萘磺酸钠、阴离子表面活性剂、消泡剂、稳定剂,商品名T一CD1,富士胶片(株)制的液体),以29'C30秒、圆锥型喷嘴压力0.15MPa,进行喷淋显影,使感光性树脂层显影,得到图案图像。接着,用纯水将洗涤剂(含有磷酸盐《硅酸盐*非离子表面活性剂*消沫剂稳定剂,商品名T-SD1富士胶片(株)制)稀释至10倍,使用,以33'C20秒、圆锥型喷嘴压力0.02MPa,用喷淋吹,进而利用具有尼龙毛的旋转刷,擦拭形成的图像,除去残余物,得到蓝(B)像素。然后,对该基板,以500mJ/cr^的曝光量,用超高压汞灯,从两面进行后曝光,然后以220'C进行15分钟热处理。这样,得到滤色片基板。得到的图案的形状为纵30(Him、横100^im、高2.0pm,制作1000张形成了同样图案的基板。此时的图案部的总面积为0.3m2(估计RGB像素)。(实施例26、比较例13)在实施例1中,将着色感光性树脂组合物Bl变更成表1中记载的B2B4、将覆盖薄膜变更成具有表3记载的环点的覆盖薄膜B、C、D、E、F,除此以外,用与实施例1同样的方法形成蓝(B)像素,得到滤色片基板。(实施例7)一光敏间隙材(photospacer)形成用感光性转印材料的制作一在实施例1的感光性树脂转印材料B1的制作中,将使用的所述着色感光性树脂组合物B1变更成由下述组成构成的含有作为颜料的胶态二氧化硅的光敏间隙材形成用树脂组合物Sl,除此以外,利用与上述相同的方法,制作光敏间隙材形成用感光性转印材料Sl。感光性树脂层的干燥层厚为4.0|iim。_<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>单位质量份一光敏间隙材的形成一使用得到的光敏间隙材形成用感光性转印材料Sl,用与实施例1相同的方法,转印、曝光、显影,制作光敏间隙材图案。接着,在230'C下加热处理设置有间隙材图案的基板30分钟(热处理工序),制作带光敏间隙材的基板。得到的间隙材图案为直径20拜、平均高度3.4jim的柱状。另外,此时的图案部的总面积为0.3m2(估计RGB像素)。(实施例812、比较例45)在实施例7中,将光敏间隙材形成用树脂组合物Sl变更成表2中记载的S2S3、将覆盖薄膜变更成具有表4记载的环点的覆盖薄膜,除此以外,用与实施例1同样的方法形成带光敏间隙材的基板。一气孔—用光学显微镜(微分干涉模式,200倍)全面观察在实施例16、比较例13中作成的滤色片基板,观察气孔(大小30(im$以上)的发生数,对各滤色片基板判断产品是否合格。1000张滤色片基板中的合格品的数目如表3所示。合格品…0个以上不到20个不合格品…20个以上—脱落数—用面检机(夕力乂(株)CF检査装置LCF—3011XU)全面观察在实施例712、比较例45中作成的带间隙材基板,观察脱落的发生数,对各带间隙材的基板判断产品是否合格。1000张带间隙材的基板中的合格品的数目如表4所示。合格品…0个以上不到20个不合格品…20个以上一覆盖薄膜生产率一用显微镜观察王子制纸(株)制7々77乂E—501,在该覆盖薄膜中,选出、剪切符合环点条件的部分,然后评价可以使用的部分的比例。〇几乎都可以使用。存在少数不能使用的部分。X-大部分为不能使用的部分。<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>其中,在比较例3中制作的滤色片基板与在实施例中制作的滤色片基板相比,色纯度较低,不能用作显示装置用滤色片。[表4]<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>(实施例13)在实施例1的感光性树脂转印材料B1的制作中,将使用的所述着色感光性树脂组合物Bl变更成由下述组成构成的着色感光性树脂组合物Kl、Rl、Gl,除此以外,利用与上述相同的方法,制作感光性树脂转印材料K1、Rl、Gl。<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>质量份另外,在表5中记载的组合物内,K颜料分散物l的组成如下所述。.炭黑(商品名Nipex35,迪克森(f夕':y廿)日本(^亇六乂)(株)制)13.1份*分散剂(下述化合物l)0.65份聚合物(甲基丙烯酸节基酯/甲基丙烯酸=72/28摩尔比的无规共聚物,分子量3.7万)6.72份丙二醇一甲醚乙酸酯79.53份化合物1粘合剂2的组成如下所述。聚合物(甲基丙烯酸苄基酯/甲基丙烯酸=78/22摩尔比的无规共聚物,分子量3.8万)27份,丙二醇一甲醚乙酸酯73份R颜料分散液1的组成如下所述。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>CI.P,R,254(商品名IrgaphorRedB—CF,千叶特殊化学药品(于/《7X、乂亇^于^^r^力^乂)(株)制)8份,分散剂(所述化合物l)0.8份聚合物(甲基丙烯酸苄基酯/甲基丙烯酸=72/28摩尔比的无规共聚物,分子量3万)8份'丙二醇一甲醚乙酸酯83份R颜料分散物2的组成如下所述。《丄?.11.177(商品名CromophtalRedA2B,千叶特殊化学药品(株)制)18份聚合物(甲基丙烯酸苄基酯/甲基丙烯酸=72/28摩尔比的无规共聚物,分子量3万)12份.丙二醇一甲醚乙酸酯70份粘合剂1的组成如下所述。*聚合物(甲基丙烯酸苄基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯=38/25/37摩尔比的无规共聚物,分子量4万)27份'丙二醇一甲醚乙酸酯73份添加剂1使用磷酸酯系特殊活性剂(楠本化成(株)制,商品名-HIPLAADED152)。G颜料分散物1使用富士胶片电子综合材料(7,々厶工W夕卜口二夕77亍!J7WX)(株)制的"商品名GT—2"。Y颜料分散物1使用御国色素(株)制的"商品名CF黄EX3393"。一黒(K)图像的形成一利用喷淋,向无碱玻璃基板上喷出20秒已调整为25'C的玻璃洗涤剂液,同时用具有尼龙毛的旋转刷清洗,纯水喷淋清洗之后,利用喷淋,喷出有机硅垸偶合剂液(N—卩(氨基乙基)Y—氨基丙基三甲氧基硅垸0.3质量%水溶液,商品名KBM603,信越化学工业(株)制)20秒,用纯水喷淋清洗。用基板预备加热装置,在10(TC下加热该基板2分钟。剥离所述感光性树脂转印材料K1的覆盖薄膜,然后使用层合机((株)日立工业(0夕、、只卜y,乂)制(LamicII型)),向加热至IO(TC的所述基板,以橡胶辊温度130°C、线压100N/cm、输送速度2.2m/分钟层压。在与热塑性树脂层的界面剥离临时支撑体,之后,用具有超高压汞灯的近接式曝光机(日立高科技电子工程(株)制),以基板与掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)垂直立起的状态,设定曝光掩模面与该热塑性树脂层之间的距离为20(Him,以曝光量70mJ/cr^进行图案曝光。接着,以30°C50秒、平喷嘴压力0.04MPa,对三乙醇胺系显影液(用纯水稀释商品名T一PD2,富士胶片(株)制至12倍(以1质量份T一PD2与11质量份纯水的比例混合)的液体)进行喷淋显影,除去热塑性树脂层和中间层。接着,向该基板上面吹气,甩去液体之后,利用喷淋吹纯水10秒,进行纯水喷淋清洗,吹气,减少基板上的液体积存。接着,使用碳酸钠系显影液(用纯水5倍稀释含有0.38摩尔/升的碳酸氢钠、0.47摩尔/升的碳酸钠、5质量%的二丁基萘磺酸钠、阴离子表面活性剂、消泡剂、稳定剂,商品名T一CD1,富士胶片(株)制的液体),以29'C30秒、圆锥型喷嘴压力0.15MPa,进行喷淋显影,使感光性树脂层显影,得到图案图像。接着,用纯水将洗涤剂(含有磷酸盐,硅酸盐,非离子表面活性剂*消沫剂'稳定剂,商品名T一SD1富士胶片(株)制)稀释至10倍,使用,以33'C20秒、圆锥型喷嘴压力0.02MPa,用喷淋吹,进而利用具有尼龙毛的旋转刷,擦拭形成的图像,除去残余物,得到黒(K)的图像。然后,对该基板,以500mJ/ci^的曝光量,用超高压汞灯,从两面进行后曝光,然后以220'C进行15分钟热处理。再次如上所述地用刷子清洗该形成了K图像的基板,纯水喷淋清洗之后,不使用有机硅烷偶合剂液,送至基板预备加热装置。一红(R)像素的形成一使用所述感光性树脂转印材料Rl,以与所述感光性树脂转印材料Kl相同的工序,得到己热处理的红(R)像素。其中,曝光量为40mJ/cm2,利用碳酸Na系显影液的显影为35'C、35秒。再次如上所述地用刷子清洗该形成了K图像及R像素的基板,纯水喷淋清洗之后,不使用有机硅垸偶合剂液,送至基板预备加热装置。一绿(G)像素的形成一使用所述感光性树脂转印材料Gl,以与所述感光性树脂转印材料Rl相同的工序,得到己热处理的绿(G)像素。其中,曝光量为40mJ/cm2,利用碳酸Na系显影液的显影为34'C、45秒。再次如上所述地用刷子清洗该形成了K图像、R和G像素的基板,纯水喷淋清洗之后,不使用有机硅烷偶合剂液,送至基板预备加热装置。一蓝(B)像素的形成一使用所述感光性树脂转印材料Bl,以与所述感光性树脂转印材料Rl相同的工序,得到已热处理的蓝(B)像素。其中,曝光量为30mJ/cm2,利用碳酸Na系显影液的显影为36t:、40秒。在24(TC下烘焙50分钟该形成了R、G、B像素及K图像的基板,得到目的滤色片。在利用上述得到的滤色片基板的R像素、G像素及B像素以及K图像(黑矩阵)上,进而利用溅射形成铟锡氧化物(ITO:IndiumTinOxide)的透明电极。接着,按照所述实施例7,在相当于上述形成的ITO膜上的隔壁(黑矩阵)上部的部分形成间隙材。—液晶显示装置的制作一另外,再准备玻璃基板作为对置基板,向滤色片基板的透明电极上及对置基板上分别实施PVA模式用图案形成,在其上进一步设置聚酰亚胺构成的取向膜。然后,在相当于周围被设置成包围滤色片的像素组的黑矩阵的外框的位置,利用分散器(dispenser)方式,涂敷紫外线固化树脂的密封剂,滴下PVA模式用液晶,使其与对置基板贴合后,向已贴合的基板进行UV照射,然后进行热处理,使密封剂固化。在这样得到的液晶单元的两面上,贴上(株)三立磁(寸乂!;y,)制的偏振片HLC2—2518。接着,使用FR1112H(斯坦利(7夕yi^—)电气(株)制的片(chip)型LED)作为红色(R)LED、使用DG1112H(7夕yp—电气(株)制的片(chip)型LED)作为绿色(G)LED、使用DB1112H(斯坦利电气(株)制的片(chip)型LED)作为蓝色(B)LED,构成侧灯(sidelight)方式的背光灯(backlight),配置在设有上述偏振片的液晶单元的成为背面的一侧,制作液晶显示装置。(实施例1418、比较例6、7)在实施例13中,将使用的感光性树脂转印材料K1、Rl、Gl、Bl和光敏间隙材形成用感光性转印材料SI变更成使用表6记载的覆盖薄膜的转印材料,除此以外,用与实施例13相同的方法制作液晶显示装置。对在上述得到的液晶显示装置,分别用目视观察输入灰色的试验信号时的灰色显示,按照下述评价标准评价显示不均的发生有无。(评价标准l)〇完全未见显示不均,外观良好。略微可见显示不均,外观良好。X:显著可见显示不均,外观差。<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>其中,从上述评价可知,构成比较例6中使用的感光性树脂转印材料的覆盖薄膜的生产率差。权利要求1.一种感光性转印材料,其是至少具有临时支撑体、在所述临时支撑体上形成的至少一层感光性树脂层和覆盖所述感光性树脂层的覆盖薄膜的感光性转印材料,其特征在于,所述感光性树脂层按固体成分比含有颜料10质量%以上,所述覆盖薄膜的直径10μm以上的环点数目为50至500个/m2,直径300μm以上的环点数目为3个/m2以下。2.根据权利要求1所述的感光性转印材料,其特征在于,用于制造滤色片。3.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的直径10pm以上的环点数目为50至400个/m2,直径300pm以上的环点数目为2个/m2以下。4.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的直径10pm以上的环点数目为50至300个/m2,直径300pm以上的环点数目为l个/m2以下。5.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的厚度为1100jim。6.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的厚度为550nm。7.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料,其特征在于,所述覆盖薄膜的厚度为1030pm。8.—种滤色片,其特征在于,使用至少一种权利要求1或2所述的感光性转印材料制作。9.一种显示装置,其是具有权利要求8所述的滤色片的显示装置。10.—种滤色片的制造方法,其包括在基板上转印权利要求1或2所述的感光性转印材料的感光性树脂层的工序、曝光工序、显影工序。全文摘要本发明提供一种制造成本低、气孔或图案脱落等缺陷的发生少的感光性转印材料、使用该感光性转印材料制作的滤色片及具有该滤色片的显示装置。该感光性转印材料是一种至少具有临时支撑体、在所述临时支撑体上形成的至少一层感光性树脂层和覆盖所述感光性树脂层的覆盖薄膜的感光性转印材料,其特征在于,所述感光性树脂层按固体成分比含有颜料10质量%以上,所述覆盖薄膜的直径10μm以上的环点数目为50至500个/m<sup>2</sup>,直径300μm以上的环点数目为3个/m<sup>2</sup>以下。文档编号G03F7/11GK101187778SQ20071019279公开日2008年5月28日申请日期2007年11月20日优先权日2006年11月22日发明者吉野晴彦申请人:富士胶片株式会社
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