专利名称：整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统。
背景技术：
薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display;以下 简称TFT-LCD)的生产过程中，需进行光刻工艺。光刻工艺首先需在玻璃基板上涂布均勻 的光刻胶，然后进行后续工艺。现有涂胶工艺有两种，一种是直涂式，直接在玻璃基板上涂布均勻的光刻胶，无需 对玻璃基板进行离心旋转；另一种是预涂式，在玻璃基板上部分区域涂布光刻胶，然后利用 离心设备将玻璃基板旋转，使得玻璃上预涂的光刻胶均勻覆盖整个玻璃基板，且具有较好 的平整度。玻璃基板经过离心设备旋转后，在进入下一道工序前，需要对流水线上的玻璃基 板进行整列，避免由于流水线上基板偏移而导致下一道工序中玻璃基板被撞碎。现有的基 板整列装置是采用气动方式即利用控制气阀开关信号来推动气缸往复运动，带动安装在支 架上的整列针(Pin)对基板从前后左右四个方向进行推移，当基板偏移时，由玻璃基板四 周的整列针将基板推移到合适位置。涂胶工序中，光刻胶会不可避免地附着在玻璃基板的侧面，且具有较强的粘性，当 整列针接触玻璃基板对其进行整列后，整列针上会粘黏光刻胶。为了保证后续整列过程的 顺利进行，通常应用整列针清洗装置对整列针进行清洗，去除其粘黏的光刻胶。现有的整列针清洗装置中，喷射清洗液对整列针进行清洗的四个清洗针分布在垂 直于整列针中心线的平面的四个方向上，对整列针进行清洗时，相对的两个清洗针所喷射 出来的清洗液是处于同一直线的，整列针在清洗过程中始终处于静止状态，整列针上粘黏 的光刻胶难以清洗干净。若长时间清洗不干净，光刻胶会在整列针上形成硬块，进行整列时 有可能将玻璃基板撞碎。而且，由于整列针上附着的光刻胶会对玻璃基板的侧面造成污染， 当玻璃基板进入到后续工艺的处理设备时，将对该处理设备造成污染。
实用新型内容本实用新型提供一种整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统，在应用整列针 清洗装置清洗整列针的同时促使整列针旋转，将整列针清洗干净。本实用新型提供一种整列针，包括用于与基板接触的接触柱体，在所述接触柱体 上设置有一能够带动所述接触柱体进行旋转的旋转装置。如上所述的整列针，其中，所述旋转装置为设置在所述接触柱体上的至少一个能 够基于空气流动而带动所述接触柱体进行旋转的叶轮。如上所述的整列针，其中，所述接触柱体上还设置有用于带动所述接触柱体以所 述接触柱体的中心线为轴进行旋转的外螺纹套，所述叶轮设置在所述外螺纹套的外表面 上。[0011]如上所述的整列针，其中，所述叶轮的延长线与所述外螺纹套的切线平行。如上所述的整列针，其中，所述叶轮的延长线与所述外螺纹套的切线的夹角为a， 其中0 < a彡90°。如上所述的整列针，其中，在所述外螺纹套的外表面上设置有多个所述叶轮，且多 个所述叶轮均勻分布。本实用新型提供一种整列针清洗装置，包括用于对整列针上用于与基板接触的接 触柱体进行清洗的基座，所述基座的一端设置有用于容置所述接触柱体的凹槽，所述凹槽 的侧壁上设置有用于向容置在所述凹槽内的接触柱体喷射清洗液的清洗装置，在所述基座 上方还设置有一换风管，所述换风管能够促使空气流动而带动所述叶轮进行旋转。如上所述的整列针清洗装置，其中，所述基座的另一端还设置有一用于回收清洗 液的负压排气管。如上所述的整列针清洗装置，其中，所述换风管与所述负压排气管连通，用于通过 吸附所述接触柱体周围的空气触发所述接触柱体旋转。如上所述的整列针清洗装置，其中，所述换风管与一鼓风设备连接，用于通过向所 述接触柱体喷气触发所述接触柱体旋转。如上所述的整列针清洗装置，其中，所述换风管包括两个支管，所述两个支管的换 风口分别位于所述接触柱体的两侧，且相对设置。本实用新型提供一种整列针清洗系统，包括上述的整列针和整列针清洗装置。本实用新型提供的整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统，通过对整列针和 整列针清洗装置结构上的匹配改变，使得整列针清洗装置在清洗整列针的同时，促使整列 针旋转，更好地达到清洗目的；解决了原整列针清洗不干净而给后序带来的问题；避免由 于整列针清洗不干净长期处于空气中形成硬块而撞碎玻璃基板，提高良品率。同时还可以 避免污染玻璃基板侧面，减少当玻璃基板进入后续工序时，对后续工序的设备造成的污染。
[0021]图1为本实用新型一实施例提供的整列针结构示意图；[0022]图2为图1的剖面示意图；[0023]图3为本实用新型一实施例提供的整列针清洗装置结构示意图；[0024]图4为图3的俯视剖面示意图；[0025]图5为本实用新型一实施例提供的整列针清洗系统结构示意图；[0026]图6为本实用新型一实施例提供的整列针清洗系统的工作示意图[0027]附图标记[0028]1-整列针； 2-整列针清洗装置；12-接触柱体；[0029]13- 一字头螺杆；14-固定螺母；15-卡圈；[0030]16-球轴承； 17-套筒；18-外螺纹套；[0031]19-叶轮； 21-基座；22-凹槽；[0032]23-清洗探针；24-负压排气管；25-换风管。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新 型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描 述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施 例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于 本实用新型保护的范围。本实用新型实施例针对现有整列针在清洗过程中因静止导致清洗不干净等缺陷， 提供一种新型的整列针，包括接触柱体，该接触柱体用于对基板进行整列，即作为整列针与 基板相接触的部分。为了实现整列针在清洗时能够进行旋转，本实施例中在接触柱体上设 置一能够带动接触柱体进行旋转的旋转装置，该旋转装置可以基于空气流动或外力触发而 旋转，从而带动接触柱体进行旋转。本实施例中旋转装置可以为至少一个叶轮，该叶轮能够 基于空气流动而带动接触柱体进行旋转。本实用新型各实施例中，叶轮可以固定设置在接 触柱体上，此时接触柱体可以通过叶轮带动实现旋转。当然也可以通过其他方式实现旋转，
以下结合附图详细介绍如下。图1为本实用新型一实施例提供的整列针结构示意图，图2为图1的剖面示意图， 如图1和图2所示，该整列针1主体部分呈圆柱形，整列针1是通过位于其下端部的接触柱 体12与基板接触的，也就是说整列针1通过接触柱体12的外表面接触基板的侧面并推动 基板移动，达到整列目的。整列针1还包括一字头螺杆13、固定螺母14、卡圈15、球轴承16、 套筒17和外螺纹套18，其中，一字头螺杆13用于将整列针1通过卡圈15卡设在固定支架 上，外螺纹套18套设在球轴承16和套筒17外，并与接触柱体12连接。外螺纹套18可以通过 球轴承16和套筒17实现以整列针1的中心线为轴进行旋转，由于外螺纹套18与接触柱体12 连接，因此当外螺纹套18旋转时便可以带动接触柱体12旋转，具体地，外螺纹套18与接触柱 体12同轴，因此接触柱体12可以随着外螺纹套18以接触柱体12的中心线为轴进行旋转。为了在被清洗的过程中能够旋转以达到清洗干净的目的，本实施例提供的整列针 在外螺纹套18上增设至少一个叶轮19，具体地，叶轮19设置在外螺纹套18的外表面上，叶 轮19能够基于周边空气的流动而旋转，并且带动外螺纹套18旋转，而又进一步带动接触柱 体12旋转，实现整列针旋转的目的。当整列针1回到整列针清洗装置上时，通过清洗装置 上匹配设置的喷气或抽气设备来改变叶轮19周围空气的流动，实现整列针旋转。在上述整列针的实施例中，叶轮可以根据实际需求以不同的方式设置在外螺纹套 上，例如一种设置方式为将叶轮的延长线与外螺纹套的切线平行，即叶轮的整体结构是沿 着外螺纹套的切线向外延伸；当然，也可以将叶轮的延长线与外螺纹套的切线设置成具有 一定夹角《，其中0< a彡90°。当a为90°时，叶轮的整体结构与外螺纹套的切线垂 直设置。叶轮的材质可以选用轻薄具有一定硬度的材料制成，例如硬塑料等。进一步地，为了较容易地实现整列针的旋转，外螺纹套上设置可以设置多个叶轮， 而且该多个叶轮可均勻地分布在外螺纹套上。上述各实施例提供的整列针可以是在现有的整列针结构上增设叶轮，叶轮可通过 焊接或螺接等方式固设在整列针上，通过空气流动带动叶轮运动而实现整列针旋转。该整 列针不但能够完成基板整列功能，而且在由整列位置回到整列针清洗位置进行清洗即回程 清洗的过程中通过旋转而达到清洗干净的目的，避免残留光刻胶，解决了原整列针清洗不干净而给后续工艺带来的一系列问题；减少由于整列针清洗不干净长期处于空气中形成硬 块而撞碎玻璃基板的可能性，从而提高设备稼动率。图3为本实用新型一实施例提供的整列针清洗装置结构示意图，图4为图3的俯 视剖面示意图，如图3和图4所示，该整列针清洗装置2包括基座21，该基座21用于对整列 针上用于与基板接触的接触柱体进行清洗。在基座21 —端设置有一凹槽22，该凹槽22用 于容置整列针的接触柱体。具体地，当整列针整列回程后到达整列针清洗装置的基座21位 置时，接触柱体可以沿着凹槽22进到基座21内部的清洗空间内进行清洗，当清洗结束后， 再沿着原路远离基座21。凹槽22的侧壁上设置有用于向容置在凹槽22内的接触柱体喷 射清洗液的清洗装置，具体地，为了达到更好的清洗效果，本实施例中在凹槽22的侧壁上 设置有四个清洗探针23，可以向容置在该清洗空间中的接触柱体的四周喷射清洗液。具体 地，四个清洗探针23分别设置在凹槽22的四个侧壁上且两两相对，并分别与输液管连接。进一步地，为了及时回收用过的清洗液，本实施例提供的整列针清洗装置2中还 可以在基座21的另一端设置一负压排气管24，该负压排气管24通过阀门控制向内抽气，使 得落到基座底部的清洗液被吸到负压排气管24内实现回收。为了配合上述实施例提供的增设有叶轮的整列针，并实现整列针在清洗的过程中 旋转，本实施例提供的整列针清洗装置中，在基座21的上方还增设一换风管25，由于要应 用该换风管25对整列针上的叶轮进行作用，因此换风管25的位置需要根据整列针上叶轮 的高度进行实际调整设置。以带有外螺纹套的整列针为例，换风管25可以与整列针上用于 带动接触柱体以接触柱体的中心线为轴进行旋转的外螺纹套等高，其目的是通过换风管25 改变外螺纹套周边的空气流动以触发外螺纹套旋转。进一步地，换风管25的换风口沿着与 接触柱体外表面相切的方向设置，由于外螺纹套与接触柱体同轴，因此，换风管25的换风 口沿着与外螺纹套的外表面相切的方向设置。本实施例中通过将换风管25的换风口沿着 与接触柱体外表面相切的方向设置，可以使得在换风管25的换风口处交换的气体的流向 与外螺纹套的外表面相切，这样交换的气体可直接对外螺纹套上的叶轮施力，便可通过气 体的流动带动整列针进行旋转。本实施例提供的整列针清洗装置中，增设的换风管既可以用来抽气，也可以用来 喷气。具体地，当换风管用来抽气时可以将换风管25与负压排气管24连通，使用同一抽气 设备。当换风管用来喷气时可以将换风管25单独与一喷气设备连接，通过向外螺纹套喷气 触发外螺纹套带动接触柱体旋转。进一步地，本实施例提供的整列针清洗装置中，换风管还可以是包括两个支管的 结构，且该两个支管的换风口分别位于外螺纹套的两侧，且相对设置。本实施提供的整列针清洗装置可以是在现有的整列针清洗装置上增设换风管，通 过设置的换风管，整列针清洗装置不但能够完成自身的清洗整列针的功能，而且清洗的过 程中通过触发整列针旋转而达到清洗干净的目的，避免整列针上残留的光刻胶，解决了原 整列针清洗不干净而给后序带来的一系列问题；减少由于整列针清洗不干净长期处于空气 中形成硬块而撞碎玻璃基板的可能性，从而提高设备稼动率；同时整列针清洗干净，还可以 避免污染玻璃基板侧面，减少当玻璃基板进入后续工序时，对后续工序的设备造成的污染。图5为本实用新型一实施例提供的整列针清洗系统结构示意图，图6为本实用新 型一实施例提供的整列针清洗系统的工作示意图，如图5和图6所示，该整列针清洗系统包
6括整列针1和用于对整列针1进行清洗的整列针清洗装置2，其中整列针1和整列针清洗装 置2可以采用上述各装置实施例提供的整列针和整列针清洗装置，本实施例结合附图，以 在整列针清洗装置增设抽气管为例，介绍整列针清洗装置在清洗整列针的过程中如何实现 整列针的旋转。如图所示，整列针清洗装置2中在原负压排气管24上通过安装三通接头连接换风 管25，通过阀门控制负压排气管24和换风管25同时抽气，通过基座21内部的四个清洗探 针23清洗接触柱体12的同时，负压排气管24回收清洗液，同时换风管25通过负压来带动 叶轮19进行旋转，从而带动下端接触柱体12 —起旋转，起到清洗同时进行旋转作用，使整 列针清洗干净。本实施例中，换风管25包括两个支管，分别为第一支管251和第二支管252，且第 一支管251和第二支管252分别位于外螺纹套18的两侧，且相对设置。在清洗过程中，第 一支管251和第二支管252同时进行抽气，第一支管251抽气口的周围空气沿F1方向流动， 第二支管252抽气口的周围空气沿F2方向流动，这样便触发整列针1沿着顺时针即W方向 旋转。本实用新型提供的整列针清洗系中，通过对整列针和整列针清洗装置结构上的匹 配改变，使得整列针清洗装置在清洗整列针的同时，促使整列针旋转，更好地达到清洗目 的；解决了原整列针清洗不干净而给后序带来的问题；避免由于整列针清洗不干净长期处 于空气中形成硬块而撞碎玻璃基板，从而提高良品率；同时整列针清洗干净，还可以避免污 染玻璃基板侧面，减少当玻璃基板进入后续工序时，对后续工序的设备造成的污染。最后应说明的是以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制； 尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解: 其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等 同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术 方案的精神和范围。
权利要求一种整列针，包括用于与基板接触的接触柱体，其特征在于，在所述接触柱体上设置有一能够带动所述接触柱体进行旋转的旋转装置。
2.根据权利要求1所述的整列针，其特征在于，所述旋转装置为设置在所述接触柱体 上的至少一个能够基于空气流动而带动所述接触柱体进行旋转的叶轮。
3.根据权利要求2所述的整列针，其特征在于，所述接触柱体上还设置有用于带动所 述接触柱体以所述接触柱体的中心线为轴进行旋转的外螺纹套，所述叶轮设置在所述外螺 纹套的外表面上。
4.根据权利要求3所述的整列针，其特征在于，所述叶轮的延长线与所述外螺纹套的 切线平行。
5.根据权利要求3所述的整列针，其特征在于，所述叶轮的延长线与所述外螺纹套的 切线的夹角为α，其中0 < α彡90°。
6.根据权利要求3或4或5所述的整列针，其特征在于，在所述外螺纹套的外表面上设 置有多个所述叶轮，且多个所述叶轮均勻分布。
7.—种整列针清洗装置，包括用于对整列针上用于与基板接触的接触柱体进行清洗的 基座，所述基座的一端设置有用于容置所述接触柱体的凹槽，所述凹槽的侧壁上设置有用 于向容置在所述凹槽内的接触柱体喷射清洗液的清洗装置，其特征在于，在所述基座上方 还设置有一换风管，所述换风管能够促使空气流动而带动所述叶轮进行旋转。
8.根据权利要求7所述的整列针清洗装置，其特征在于，所述基座的另一端还设置有 一用于回收清洗液的负压排气管。
9.根据权利要求8所述的整列针清洗装置，其特征在于，所述换风管与所述负压排气 管连通，用于通过吸附所述接触柱体周围的空气触发所述接触柱体旋转。
10.根据权利要求7所述的整列针清洗装置，其特征在于，所述换风管与一鼓风设备 连接，用于通过向所述接触柱体喷气触发所述接触柱体旋转。
11.根据权利要求7或8或9或10所述的整列针清洗装置，其特征在于，所述换风管包 括两个支管，所述两个支管的换风口分别位于所述接触柱体的两侧，且相对设置。
12.—种整列针清洗系统，其特征在于，包括如权利要求1至6任一所述的整列针以及 如权利要求7至11任一所述的整列针清洗装置。
专利摘要本实用新型公开了一种整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统。本实用新型提供的实施例通过对整列针和整列针清洗装置结构上的匹配改变，使得整列针清洗装置在清洗整列针的同时，促使整列针旋转，更好地达到清洗目的；解决了原整列针清洗不干净给后续工序带来的问题；避免由于整列针清洗不干净长期处于空气中形成硬块而撞碎玻璃基板，从而提高良品率；同时还可以避免污染玻璃基板侧面，减少当玻璃基板进入后续工序时，对后续工序的设备造成的污染。
文档编号G02F1/1333GK201765414SQ201020171479
公开日2011年3月16日 申请日期2010年4月20日 优先权日2010年4月20日
发明者张学智, 张琨鹏, 焦宇 申请人:北京京东方光电科技有限公司