专利名称：光阻剥离液组成物及使用其剥离光阻的方法
技术领域：
本发明涉及一种光阻剥离液组成物，及一种使用所述光阻剥离液组成物剥离光阻的方法，本发明尤其涉及一种光阻剥离液组成物，其能够有效地移除光阻图案及制造平板显示器过程中的蚀刻残渣，且不会伤害铝(Al)及/或铜(Cu)配线，以及尤其涉及一种使用所述光阻剥离液组成物剥离光阻的方法。
背景技术：
近年来因高分辨率平面显示器的需求增加，已尝试许多增加每单位面积像素数目的方法。此趋势需减小图案宽度，因此，包括使用干式蚀刻的制程条件变得更为严苛。此外， 因平面显示器的尺寸增加，配线中的信号速度也应增加，因此实际上使用比Al具有更低电阻的Cu作为配线材料。因此，必须增进用于移除光阻剥离制程中的剥离液的性能需求。具体来说，依移除干式蚀刻后所产生的蚀刻残渣的能力及抑制金属配线腐蚀的能力而言，剥离性必须达到相当程度。特别是，剥离液需具有抑制Cu及Al腐蚀的能力。剥离液也应产生诸如增加处理基板的片材的数目等的经济效益以确保价格竞争性。
发明内容
因此，本发明意欲提供一种光阻剥离液组成物，在干式蚀刻及湿式蚀刻之后，该光阻剥离液组成物能够很好地移除光阻图案及蚀刻残渣，以及，其防止包括Al及/或Cu的金属配线的腐蚀，并且增加处理基板的片材的数目，因此产生经济效益。本发明还提供一种使用所述光阻剥离液组成物剥离光阻的方法。本发明的一方面在于提供一种光阻剥离液组成物，其包含(a)碱性化合物，所述碱性化合物包括选自由以下式1至式3所表示的化合物的一种或多种，(b)酰胺化合物，所述酰胺化合物由以下式4所表示，(c)极性溶剂，及(d)多元醇化合物，所以多元醇化合物由以下式5所表示[式1]
权利要求
1.一种光阻剥离液组成物，其特征在于，包含(a)碱性化合物，所述碱性化合物包括选自由以下式1至式3所表示的化合物的一种或多种，(b)酰胺化合物，所述酰胺化合物由以下式4所表示，c)极性溶剂，及(d)多元醇化合物，所述多元醇化合物由以下式5所表示[式1]RiI,N、 R2 R3[式2]丁 R4kVH[式3]HH其中礼、R2, R3> R4、R5及&各自独立地为氢、经胺基或未经胺基取代的Cl 10烷基、 C2 10烯基、Cl 10羟烷基、羧基、经Cl 10烷氧基取代或未经羟基取代的Cl 10烷基、经Cl 4烷基取代或未经Cl 4烷基取代的胺基、苯基或苄基；[式4]ζ又1其中&、&及1 9各自独立地为氢、Cl 10烷基、C2 10烯基、Cl 10羟烷基、羧基、 经Cl 10烷氧基取代的Cl 10烷基或经Cl 4烷基取代或未经Cl 4烷基取代的胺基，R7及&能够一起形成环；以及[式5]HO-R10-^ ^R11-OH其中Rltl及R11各自独立地为氢、Cl 10亚烃基、C2 10亚烃基、Cl 10羟基亚烃基、羰基、经Cl 10烷氧基取代的Cl 10亚烃基或键结。
2.根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物，其中，由式1所表示的(a)碱性化合物， 包含单乙醇胺、三乙醇胺、1-胺基-2-丙醇、2-(2-胺基乙氧基)乙醇、N-甲基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N，N-二甲胺基乙醇胺、N，N-二乙胺基乙醇或2-(2-胺乙基胺基)-1-乙醇；由式2所表示的化合物，包含吗啉、N-(3-胺丙基)吗啉、N-(甲氧基甲基)吗啉、N-(丁氧基甲基)吗啉或N-Q-羟乙基)吗啉；以及由式3所表示的化合物，包含哌嗪、1-甲基哌嗪、2-甲基哌嗪、1，4- 二甲基哌嗪、1，4- 二乙基哌嗪、1-(2-羟乙基)哌嗪、1-(2-羟乙基)-4-甲基哌嗪、1-(2-胺乙基)哌嗪、1-胺基-4甲基哌嗪、1-苄基哌嗪、1-苯基哌嗪、N，N’ - 二(甲氧基甲基)哌嗪或二(丁氧基甲基)哌嗪。
3.根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物，其中，由式4所表示的(b)酰胺化合物， 包含选自由甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-(2-羟乙基)乙酰胺、3-甲氧基-N，N-二甲基丙酰胺、3-(2-乙基己氧基)_N， N- 二甲基丙酰胺及3- 丁氧基-N，N- 二甲基丙酰胺所构成群组的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物，其中，(c)极性溶剂包含选自由乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、三乙二醇单异丙基醚、三乙二醇单丁基醚、聚乙二醇单甲基醚、聚乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、具有环状醚键结的醇、吡咯啶酮化合物、咪唑啶酮化合物、内酯化合物、亚砜化合物、磷酸酯化合物及碳酸酯化合物所构成群组的一种或多种。
5.根据权利要求4所述的光阻剥离液组成物，其中，(c)极性溶剂包含一种或更多种具有环状醚键结的醇。
6.根据权利要求5所述的光阻剥离液组成物，其中，具有环状醚键结的醇选自由呋喃甲醇及四氢呋喃甲醇所构成的群组。
7.根据权利要求4所述的光阻剥离液组成物，其中，(c)极性溶剂包含一种或更多种质子极性溶剂以及一种或更多种无质子极性溶剂。
8.根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物，其中，由式5所表示的(d)多元醇，包含选自由环己1，4_ 二醇、环己1，4_ 二甲醇及环己1，4_ 二乙醇所构成群组的一种或多种。
9.根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物，其中，所述光阻剥离液组成物，基于组成物的总重量计，包含(a) 5 30重量％的碱性化合物，所述碱性化合物包括选自由式1至式 3所表示的化合物的一种或多种，(b)20 80重量％的酰胺化合物，所述酰胺化合物由式4 所表示，(c) 10 70重量％的极性溶剂，以及(d)0. 05 20重量％的多元醇化合物，所述多元醇化合物由式5所表示。
10.根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物，其中，所述光阻剥离液组成物用于从具有包括铝或铜的金属配线的平面基板剥离光阻。
11.一种剥离光阻的方法，其特征在于，所述方法包含(I)在平板显示器用基板上沉积导电金属层；(II)在所述导电金属层上形成光阻层；(III)使所述光阻层进行选择性曝光；(IV)显影所述光阻层以形成光阻图案；(V)使用所述光阻图案作为光罩来蚀刻所述导电金属层；以及(VI)使用根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物来剥离因形成光阻图案及蚀刻所劣化并硬化的光阻。
12.一种制造显示器用平板的方法，其特征在于，包含使用根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物，从平面基板剥离光阻。
13.—种制造平板显示器的方法，其特征在于，包含使用根据权利要求1所述的光阻剥离液组成物，从平面基板剥离光阻。
全文摘要
本发明涉及一种光阻剥离液组成物及使用其剥离光阻的方法。该光阻剥离液组成物具有很好的移除光阻图案及干式蚀刻和湿式蚀刻残渣的能力，并且，由于该光阻剥离液组成物含有特定的多元醇化合物，其对包括铝及/或铜的金属配线具有优异的抗蚀性。另外，该光阻剥离液组成物，由于含有特定的酰胺化合物，可处理许多的基板，因此非常有助于降低成本。
文档编号G03F7/42GK102472985SQ201080034160
公开日2012年5月23日 申请日期2010年8月10日 优先权日2009年8月11日
发明者朴勉奎, 李承傭, 金正铉, 金泰熙, 金炳默 申请人:东友 Fine-Chem 股份有限公司