专利名称：曝光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及能够对与产生在工件基板上的变形相对应的掩模图形像进行投影的曝光装置。
背景技术：
以往，在曝光装置中周知的是测定工件基板的温度，对应工件基板的温度，并使配置在投影光路中的两张平行平面板中的一者沿厚度方向以一对纵向边为支点进行弯曲， 从而在横向(X方向)弯曲变形；使另一平行平面板以一对横边为支点沿厚度方向弯曲而在纵向方向(Y方向)弯曲变形，从而改变横向(X方向)、纵向(Y方向)的倍率，由此，将对应于工件基板的伸缩的掩模图形像投影到工件基板上(例如参考专利文献1)。此外，还周知一种具有可转动所述两张平行平面板的结构的曝光装置(例如参考专利文献2。)。而且，还周知一种无需变更所述两张平行平面板的弯曲率而将对应于工件基板的伸缩的掩模图形像投影到工件基板上的曝光装置(例如参考专利文献3。)。上述工件基板中，有印制电路布线基板和IAB卷带、多层化印制电路布线基板等各种基板，例如在印制电路布线基板中，通过由环氧树脂和铜箔的热膨胀差引起的张紧来改变纵横比，TAB卷带同样也可以利用聚酰亚胺树脂和铜箔的热膨胀差来改变纵横比。此外，例如在多层化印制电路布线基板中，当使新的上部图形形成在已经最初形成的下部图形之上时，最初形成的下部图形会由于工件基板的伸缩而伸展或者收缩。上述的现有技术中的曝光装置，均能够伴随着它们的工件基板的伸缩而不断校正纵横比。(现有技术文献)(专利文献1)日本特开平10-303115号公报(专利文献2)日本特开2003-223003号公报(专利文献3)日本特开2006-292902号公报然而，近年来对形成在工件基板上的微细曝光图形的要求日益升高，另外，在工件基板上，不仅产生由热膨胀差或是其它原因引起的纵横伸缩变形，还产生朝向如对角方向的其它方向的变形，例如在工件基板上产生梯形变形和菱形形状的应变变形等各种应变变形。以往的曝光装置存在如下问题点，即由于进行倍率校正而难以将与在工件基板上产生的应变变形相极力对应的掩模图形像投影到上述工件基板。
发明内容
本发明正是鉴于上述情况而提出，其目的是提供一种能够对与在工件基板上产生的应变变形相极力对应的掩模图形像进行投影的曝光装置。本发明的曝光装置的特征在于，具备应变变形形成机构，该应变变形形成机构包括应变变形用平行平面板，设置在投影到工件基板的掩模图形的投影光路中而被应变变形；约束部件，将由平行平面板的彼此相交的两边构成的角部和角部之间的中间部作为支点；加压部件，沿投影光路的光轴方向对该平行平面板的各角部施加加压力，以约束部件作为支点使该平行平面板应变变形。根据本发明，使设置在工件基板的投影光路中的应变变形用平行平面板和该平行平面板的角部沿光轴方向变形，从而能够形成具有与该工件基板的应变变形对应的应变变形的掩模图形像，进而具有如下效果，即能够将如下掩模图形像投影到工件基板上，这种掩模图形像的形状与不能由横向倍率校正机构和纵向倍率校正机构彻底校正的、又在工件基板上产生的应变变形相对应。
图1是表示本发明所述的曝光装置的光学系统的概况的说明图；图2是表示在图1中所示的倍率校正机构的详细机构的俯视图；图3是表示在图2中所示的倍率校正机构的详细机构的侧视图；图4是表示在图2中所示的横向倍率校正机构的详细机构的俯视图；图5是表示在图2中所示的横向倍率校正机构的详细机构的侧视图；图6是表示在图4、图5中所示的横向倍率校正机构的详细机构的立体图；图7是表示在图2中所示的应变变形形成机构的详细结构的俯视图；图8是表示在图7中所示的约束部件的约束状态的侧视图；图9是表示在图7中所示的加压夹持部件的加压夹持状态的侧视图；图10是用来说明在图2中所示的横向倍率校正机构的作用的模式图，(a)是表示第1平行平面板的支承状态的模式图，(b)是从侧面观察在(a)中所示的横向平行平面板的弯曲状态的模式图。图11是用来说明应变变形形成机构的作用的模式图，(a)是在从俯视方向观察的情况下，对于第3平行平面板的一对角方向的一对顶点施加同向的加压力，而且对于其它的对角方向的一对顶点，施加与上一对角方向的一对顶点施加的加压力的方向相反的加压力的状况下的模式图；(b)是从侧视方向对施加有(a)中所示的加压力的第3平行平面板进行观察的情况下的模式图；(c)是夸张表示通过该加压力使第3平行平面板呈菱形变形的状况的模式图。图12是用来说明应变变形形成机构的作用的模式图，(a)是在从俯视方向观察的情况下，对于第3平行平面板的横向的一边的一对顶点施加同向的加压力，而且对于与横向的一边相平行的其它边的一对顶点，施加与给上一边的一对顶点施加的加压力的方向相反的加压力的状况下的模式图；(b)是从侧视方向对施加了(a)中所示的加压力的第3平行平面板进行观察的情况下的模式图；(c)是夸张表示通过该加压力使第3平行平面板呈纵向梯形变形的状况的模式图。图13是用来说明应变变形形成机构的作用的模式图，(a)是在从俯视方向观察的情况下，对于第3平行平面板的纵向的一边的一对顶点施加同向的加压力，而且对于与纵向的一边相平行的其它边的一对顶点，施加与给上一边的一对顶点施加的加压力的方向相反的加压力的状况下的模式图；(b)是从侧视方向对施加了(a)中所示的加压力的第3平行平面板进行观察的情况下的模式图；(C)是夸张表示通过该加压力使第3平行平面板呈横向梯形变形的状况的模式图。附图标记说明13’掩模图形14工件基板17应变变形形成机构31第3平行平面板(应变变形用平行面板)3IA 角部33加压夹持部件(加压部件)
具体实施例方式(实施例)图1是表示本发明所涉及的曝光装置的光学系统的概况的说明图，1是光源部、2 是冷镜、3是曝光快门、4是紫外线(i线)带通滤波器、5是积分透镜、6是准直透镜、7是平面镜、8是掩模台、9是掩模盲区部、10是投影透镜保持筒、11是倍率校正机构、12是曝光台。 另外，该曝光快门3在曝光时，可以适当从光学系统的光路退避。光源部1由水银灯Ia和旋转椭圆镜Ib构成，水银灯Ia配置在旋转椭圆镜Ib的第1焦点位置，从水银灯Ia发出的发光光束被旋转椭圆镜Ib反射而集聚在第2焦点位置， 利用冷镜2去除长波长大于红外波长的红外线并反射比可见红外光的波长短的短波范围的光束，并引导至带通滤波器4，利用该带通滤波器4滤除紫外线(i线)以外的其它的波长范围的光线，从而将曝光用光束P引导至积分透镜5。曝光用光束P在积分透镜5作用下，其光量分布大概相同并被引导至准直透镜6。 该准直透镜6在上述第2焦点位置具有焦点，曝光用光束P利用上述准直透镜6成为平行光束，光路由平面镜7弯折后引导至掩模台8。在掩模台8上设置有掩模13。在该掩模13上，形成有应当形成在工件基板14上的掩模图形13’。该掩模13具有用来与后述的工件基板14进行对位的对位标记13a。上述掩模台8能够借助省略图示的驱动机构，在横向(X)以及纵向(Y)上移动。在用曝光用光束P曝光工件基板14时，掩模盲区部9可以适当从光学系统的光路退避。在投影透镜保持筒10的内部设置有投影透镜组10a。在本实施例中，该投影透镜组IOa将掩模13的图形放大并使其成像于工件基板14上。工件基板14放置在曝光台12上。上述工件基板14例如是正方形，在该工件基板 14上，在适当的部位预先形成有对位标记14a。上述曝光台12能够借助省略图示的驱动机构，在横向(X)以及纵向(Y)上移动。另外，在图1中以肉眼可目视确认的大小表示对位标记13a、14a，不过其是夸张显示，实际上大小难以被肉眼目视确认出。如图2、3所示，倍率校正机构11由横向倍率校正机构15、纵向倍率校正机构16和应变变形形成机构17构成。横向倍率校正机构15如图2 图6所示的那样，包括将横向取作长边并将纵向取作短边的长方形的第1平行平面板(横向平行平面板)18、一对约束部件19和一对加压夹持部件(加压部件)20。纵向倍率校正机构16包括将纵向取作长边并将横向取作短边的长方形的第2平行平面板(纵向平行平面板)21、一对约束部件22和一对加压夹持部件(加压部件)23。在掩模图形13’的投影光路中，横向倍率校正机构15与纵向倍率校正机构16的第1平行平面板18和第2平行平面板21，沿上下方向彼此隔有间隔且在彼此正交的方向配置，而且，与所述第1平行平面板18和第2平行平面板21的正交配置相对应的这一对约束部件19、22和这一对加压夹持部件20、23，除它们的配置部位不同以外，其余的结构均一致，因而就横向倍率校正机构15的结构来说明。另外，在所述图2中，双点点划线所示的正方形框体是第1平行平面板18与第2 平行平面板21彼此重叠的正方形的相交区域，也是曝光用光束P的有效投影光路区域ET。 曝光用光束P穿过该有效投影光路区域ET而照射到工件基板14。这对约束部件19由第1平行平面板18的沿短边方向较长延伸的支承框部件27 和圆筒部件28构成。该支承框部件27由下框部件27a、上框部件27b和连接框部件27c构成，在下框部件27a与上框部件27b之间，如图6所示形成有引导第1平行平面板18的引导口 27d。圆筒部件观包括由铁等材料构成的圆柱状芯部件^a和包覆该圆柱状芯部件^a 的包覆树脂^b。该圆筒部件28设置在下框部件27a的凹槽部27e和上框部件27b的凹槽部27e之中。该圆筒部件观分别邻接第1平行平面板18的两面，与支承框部件27协同运动，以可应变变形的方式约束第1平行平面板18。如图5、6所示，这一对加压夹持部件20与约束部件19同样，由第1平行平面板18 的沿短边方向较长延伸的夹持框部件四和圆筒部件30构成。该夹持框部件四由下框部件^a、上框部件29b和连接框部件29c构成。该连接框部件29c与驱动臂(图示省略)连接。圆筒部件30包括圆筒部件28、同样由铁等材料构成的圆柱状芯部件30a和包覆该圆柱状芯部件30a的包覆树脂30b。该圆筒部件30设置在下框部件29a和上框部件29b 之中。所述圆筒部件四分别邻接第1平行平面板18的两面，以与支承框部件四协同运动的方式握持第1平行平面板18。应变变形形成机构17如图7 图9所示的那样，包括第3平行平面板(应变变形用平行平面板)31、4个指型形状的约束部件32和4个指型形状的加压夹持部件(加压部件)33。第3平行平面板31由正方形板构成，该正方形板具有边长长度大于第1平行平面板18、第2平行平面板21的短边、且又比第1平行平面板18、第2平行平面板21的长度短一些的边。所述第3平行平面板31与第2平行平面板21邻接配置。另外，在此处，第1平行平面板18、第2平行平面板21和第3平行平面板31采用石英玻璃材料来形成。该约束部件32如图8所示，由支承框部件34和树脂制半球体35构成。支承框部件34由下框部件34a、上框部件34b和连接框部件3 构成。该约束部件32设置在第3平行平面板31的各边的中点位置。所述树脂制半球体 35与支承框部件34协同运动，从上面、下面和侧面三个方向，来约束第3平行平面板31的各边的中点位置。加压夹持部件33由支承框部件36和球体37构成。支承框部件36由下框部件 36a、上框部件36b和连接框部件36c构成。该连接框部件36c与驱动臂(图示省略)连接。球体37由球状铁芯37a和包覆该球状铁芯37a的包覆树脂37b构成。该加压夹持部件33如图7所示，被配置在所述第3平行平面板31的四角的角部31A，并以可挠性变形的方式夹持三角形区域KB，该三角形区域KB以连结第3平行平面板31的各边的中点31b 的线段为底边K，而且以第3平行平面板31的两边相交汇的点31a为顶点。下面，参考图10中所示的模式图对横向倍率校正的作用进行说明。如以在图 10 (a)中以模式化方式表示的那样，以一对圆筒部件观为支点，驱动一对加压夹持部件20， 如图10(b)所示，若使第1平行平面板18沿投影光路的光轴方向(第1平行平面板18的厚度方向)弯曲变形，则横向倍率对应于该第1平行平面板18的弯曲率而被缩小校正，掩模图形像与工件基板14的横向收缩率对应而被收缩，并投影到工件基板14上。此外，若使第1平行平面板18反向弯曲，则横向倍率被扩大校正，掩模图形像与工件基板14的横向的伸展率对应而被伸展，并投影到工件基板14上。像这样对工件基板14进行横向的倍率校正。对于纵向上的倍率校正，除使得第2平行平面板21弯曲变形以外，其余均与横向的倍率校正同样，因而其说明省略。另外，在上述图10(a)中，双点点划线所示的圆周IOa'表示掩模图形像的投影光路的外缘。下面，参考图11 图13中所示的模式图对于应变变形形成机构17的作用进行说明。在以模式化方式表示在图11(a)中的第3平行平面板31的四个角部顶点31a之中，如图11(b)所示，如果对于形成一条对角线的两个顶点31a施加加压力F1，该加压力Fl 的方向指向工件14所在的方向，并且，对于形成与上述一条对角线正交的对角线的两个顶点31a施加加压力F2，该加压力F2的方向与方向是指向工件14的所在方向的加压力Fl的方向相反，则第3平行平面板31如图11(c)所示，呈菱形形状应变变形，在工件基板14呈菱形形状应变变形的情况下，按照对应于呈菱形形状应变变形的工件基板14的形状进行变形的掩模图形像，被投影到该工件基板14上。此外，如图12(b)所示，如果对于以模式化方式表示在图12(a)中的、形成横向的一边的两个顶点31a施加加压力F1，该加压力Fl的方向指向工件14所在的方向，并且，对于形成与上述的横向的一边相平行的其它边的两个顶点31a施加加压力F2，该加压力F2的方向与方向是指向工件14的所在方向的加压力Fl的方向相反，则第3平行平面板31如图 12(c)所示变形为梯形形状，该梯形的横向的一边为底边，其它边为上边，在工件基板14变形为梯形的情况下，按照对应于呈梯形形状变形的工件基板14的形状进行变形的掩模图形像，被投影到该工件基板14上。此外，如图13(b)所示，如果对于以模式化方式表示在图13(a)中的、形成纵向的一边的两个顶点31a施加加压力F1，该加压力Fl的方向指向工件14所在的方向，并且，对于形成与上述的纵向的一边相平行的其它边的两个顶点31a施加加压力F2，该加压力F2的方向与方向是指向工件14的所在方向的加压力Fl的方向相反，则第3平行平面板31如图13(c)所示变形为梯形形状，该梯形的纵向的一边为底边，其它边为上边，在工件基板14变形为梯形的情况下，按照对应于呈梯形形状变形的工件基板14的形状进行变形的掩模图形像，被投影到该工件基板14上。此外，利用加压夹持部件33来调节加压力，从而也可以将不同形状的菱形、梯形的掩模图形像投影在工件基板14上。并且，在本实施例中，对于同时对4个角部31A施加加压力以使第3平行平面板31 变形的内容进行了说明，但是，如果仅利用位于4个角部31A的加压夹持部件33之中的其中之一来加压第3平行平面板31的话，则可以仅使三角形区域KB局部呈异形形状变形。此外，在本实施例中，采用了将约束部件32配置在第3平行平面板31的各边的中点31b的结构来说明，然而并不限定于此，若采用配置在角部31A和角部31A之间的中间部的结构的话，则可以更加进一步把复杂的掩模图形像投影到工件基板14。除此之外，若将多个所述应变变形形成机构17重叠在一起设置的话，则例如可以形成具有梯形变形和菱形形状的合成形状的掩模图形像、可以形成具有横向梯形变形和纵向梯形变形的合成形状的掩模像、可以形成具有因调节加压力而不同的梯形形状和不同的菱形形状的合成形状的掩模像等。因而，若将横向倍率校正机构15、纵向倍率校正机构16、应变变形形成机构17适当组合，则可以将与工件基板14的复杂形状的变形相对应的形状的掩模图形像投影在该工件基板14上，从而能够保证工件基板14和掩模图形13’的精密对位。如图2所示，在本实施例中，由于结构构成为由第1平行平面板18的长边18a之中的不与第2平行平面板21相重叠的端边部18a’、和第2平行平面板21的长边21a之中不与第1平行平面板18重叠的端边部21a’所形成的角部空间S中，第3平行平面板31的各角部31A暴露，所以可以邻接地配置横向倍率校正机构15、纵向倍率校正机构16、应变变形形成机构17，从而可以实现校正机构整体紧凑化。此外在本实施例中，由于将第1平行平面板18、第2平行平面板21、第3平行平面板31设置在了工件基板14与投影透镜组IOa之间，所以，即使有从在工件基板14上形成的感光剂产生的气体等出现了飞散，也能够遮断这些气体等朝向投影透镜组飞散，因而，可以防止因气体等附着在投影透镜组IOa上而引发模糊不清。另外，第1平行平面板18、第2平行平面板21、第3平行平面板31可以适当更换。此外，由于采用了如下结构，即利用约束部件19、22、32、加压夹持部件20、23、 33，经硬度、强度较高的树脂支承第1平行平面板18、第2平行平面板21、第3平行平面板 31，所以可以使各平行平面板18、21、31产生伤痕或者裂纹的情况极力降低。也就是说，根据本实施例，应变变形形成机构17包括应变变形用平行平面板31， 设置在将掩模图形13’投影到工件基板14的投影光路中而被应变变形；约束部件32，将由应变变形用平行平面板31的彼此相交的两边构成的角部31A和角部31A之间的中间部作为支点；加压部件33，沿投影光路的光轴方向，对应变变形用平行平面板31的所述各角部施加加压力，以约束部件32作为支点，使应变变形用平行平面板31应变变形，由此，能够将如下掩模图形像投影到工件基板14上，该掩模图形像的形状与不能由横向倍率校正机构 15和纵向倍率校正机构16彻底校正的、又在工件基板14上产生的应变变形相对应。此外，若将横向倍率校正机构15、纵向倍率校正机构16和所述应变变形形成机构17适当组合使用，则可以进一步精密地对位，其中，所述横向倍率校正机构15包括第1平行平面板18，设置在将掩模图形13’投影到工件基板14上的投影光路中；一对约束部件 19，在第1平行平面板18上纵向延伸以便形成纵向延伸的支点，约束第1平行平面板18 ； — 对加压部件20，沿第1平行平面板18的纵向延伸，并且沿投影光路的光轴方向对于第1平行平面板18的一对纵边(短边)施加加压力，以一对约束部件19为支点，使第1平行平面板18在投影光路的光轴方向上弯曲变形，所述横向倍率校正机构15进行掩模图形13’的在横向上的倍率校正；另外，所述纵向倍率校正机构16包括设置在投影光路中的第2平行平面板21 ；—对约束部件22，在第2平行平面板21上横向延伸以便形成横向延伸的支点，约束第2平行平面板21 ；—对加压部件23，沿第2平行平面板21的横向延伸，并且，沿投影光路的光轴方向对第2平行平面板21的一对横边(短边)施加加压力，以一对约束部件19为支点，使第2平行平面板21在投影光路的光轴方向上弯曲变形，所述纵向倍率校正机构16进行掩模图形13’的在纵向上的倍率校正。如实施例详细说明的那样，由于具备应变变形形成机构17，因而，通过对给四个角部31A施加加压力的方向加以选择，能够使所述平行平面板31变形为菱形或者梯形形状， 上述应变变形形成机构17包括平行平面板31，设置在将掩模图形13’投影到工件基板14 上的投影光路中；4个约束部件32，在平行平面板31的彼此相交的两边构成的角部31A和角部31A之间且以各边的中点为支点，因而分别约束该各边的中点部；4个加压部件33，沿投影光路的光轴方向对平行平面板31的各角部31A施加加压力，并以各约束部件32为支点使平行平面板31应变变形。在结构上构成为具备横向倍率校正机构15、纵向倍率校正机构16和应变变形形成机构17，其中，所述横向倍率校正机构15包括第1平行平面板18，设置在将掩模图形像投影到工件基板14上的投影光路中；一对约束部件19，在第1平行平面板18上纵向延伸以便形成纵向延伸的支点，约束第1平行平面板18 ；—对加压部件20，沿第1平行平面板18 的纵向延伸，并且沿投影光路的光轴方向对于第1平行平面板18的一对纵边施加加压力， 以一对约束部件19为支点，使第1平行平面板18在投影光路的光轴方向上弯曲变形，所述横向倍率校正机构15进行掩模图形13’的在横向上的倍率校正；所述纵向倍率校正机构16 包括设置在投影光路中的第2平行平面板21 ；—对约束部件22，在第2平行平面板21上横向延伸以便形成横向延伸的支点，约束第2平行平面板21 ；—对加压部件23，沿第2平行平面板21的横向延伸，并且，沿投影光路的光轴方向对第2平行平面板21的一对横边施加加压力，以一对约束部件22为支点，使第2平行平面板21在投影光路的光轴方向上弯曲变形，所述纵向倍率校正机构进行掩模图形13’的在纵向上的倍率校正；所述应变变形形成机构17包括设置在投影光路中的第3平行平面板31 ；4个约束部件32，在第3平行平面板31的彼此相交的两边构成的角部31A和角部31A之间且以各边的中点31b为支点，因而分别约束各边的中点部；4个加压部件33，沿投影光路的光轴方向对第3平行平面板31的各角部31A施加加压力，并以各约束部件32为支点使第3平行平面板31应变变形，并且， 横向倍率校正机构15、纵向倍率校正机构16和应变变形形成机构17如图2所示重叠设置在工件基板14和投影透镜组IOa之间的投影光路中，在由第1平行平面板8的长边18a之中的不与第2平行平面板21重叠的端边部18a’、和第2平行平面板21的长边21a之中的不与第1平行平面板18重叠的端边部21a’形成的角部空间S内，第3平行平面板31的各角部3IA被露出配置，从而，可以实现曝光装置的紧凑化。
权利要求
1.一种曝光装置，其特征在于，具备应变变形形成机构，该应变变形形成机构包括应变变形用平行平面板，设置在将掩模图形投影到工件基板的投影光路中而被应变变形；约束部件，将由该平行平面板的彼此相交的两边构成的角部和角部之间的中间部作为支点；加压部件，沿所述投影光路的光轴方向对所述平行平面板的所述各角部施加加压力，以所述约束部件作为支点使所述平行平面板应变变形。
2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于， 具备横向倍率校正机构和纵向倍率校正机构，所述横向倍率校正机构包括横向平行平面板，设置在将掩模图形投影到工件基板上的投影光路中；一对约束部件，在该横向平行平面板上纵向延伸以便形成纵向延伸的支点， 约束所述横向平行平面板；一对加压部件，沿所述横向平行平面板的纵向延伸，并且沿所述投影光路的光轴方向对所述横向平行平面板的一对纵边施加加压力，以所述的一对约束部件为支点，使所述横向平行平面板在投影光路的光轴方向上弯曲变形， 所述横向倍率校正机构进行所述掩模图形的在横向上的倍率校正； 所述纵向倍率校正机构包括设置在所述投影光路中的纵向平行平面板；一对约束部件，在该纵向平行平面板上横向延伸以便形成横向延伸的支点，约束所述纵向平行平面板; 一对加压部件，沿所述纵向平行平面板的横向延伸，并且，沿所述投影光路的光轴方向对所述纵向平行平面板的一对横边施加加压力，以所述的一对约束部件为支点，使所述纵向平行平面板在投影光路的光轴方向上弯曲变形，所述纵向倍率校正机构进行掩模图形的在纵向上的倍率校正。
3.—种曝光装置，其特征在于，具备应变变形形成机构，该应变变形形成机构包括平行平面板，设置在将掩模图形投影到工件基板的投影光路中；4个约束部件，在该平行平面板的彼此相交的两边构成的角部和角部之间且以各边的中点为支点，因而分别约束该各边的中点部；4个加压部件，沿投影光路的光轴对所述平行平面板的所述各角部施加加压力，并以所述各约束部件为支点使所述平行平面板应变变形。
4.一种曝光装置，其特征在于，具备横向倍率校正机构、纵向倍率校正机构和应变变形形成机构， 所述横向倍率校正机构包括第1平行平面板，设置在将掩模图形投影到工件基板上的投影光路中；一对约束部件，在该第1平行平面板上纵向延伸以便形成纵向延伸的支点， 约束所述第1平行平面板；一对加压部件，沿所述第1平行平面板的纵向延伸，并且沿所述投影光路的光轴方向对所述第1平行平面板的一对纵边施加加压力，以所述的一对约束部件为支点，使所述第1平行平面板在所述投影光路的光轴方向上弯曲变形， 所述横向倍率校正机构进行所述掩模图形的在横向上的倍率校正； 所述纵向倍率校正机构包括设置在所述投影光路中的第2平行平面板；一对约束部件，在该第2平行平面板上横向延伸以便形成横向延伸的支点，约束所述第2平行平面板； 一对加压部件，沿所述第2平行平面板的横向延伸，并且，沿所述投影光路的光轴方向对所述第2平行平面板的一对横边施加加压力，以所述的一对约束部件为支点，使所述第2平行平面板在所述投影光路的光轴方向上弯曲变形，所述纵向倍率校正机构进行掩模图形的在纵向上的倍率校正；所述应变变形形成机构，包括设置在所述投影光路中的第3平行平面板；4个约束部件，在该第3平行平面板的彼此相交的两边构成的角部和角部之间且以各边的中点为支点，因而分别约束该各边的中点部；4个加压部件，沿所述投影光路的光轴对所述第3平行平面板的所述各角部施加加压力，并以所述各约束部件为支点使所述第3平行平面板应变变形。
5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述横向倍率校正机构、所述纵向倍率校正机构和所述应变变形形成机构，重叠设置在所述工件基板和投影透镜组之间的投影光路中。
6.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，在由所述第1平行平面板的长边之中不与所述第2平行平面板重叠的端边部、和所述第2平行平面板的长边之中不与所述第1平行平面板重叠的端边部形成的角部空间内，所述第3平行平面板的各角部被露出配置。
7.根据权利要求3到6中任一项所述的曝光装置，其特征在于，通过对给所述四个角部施加的加压力的方向加以选择，从而能够使所述平行平面板变形为菱形或者梯形形状。
全文摘要
本发明提供一种曝光装置，能够对与产生在工件基板上的应变变形极力对应的掩模图形像进行投影。本发明的曝光装置具备应变变形形成机构(17)，该应变变形形成机构(17)包括平行平面板(31)，设置在将掩模图形(13’)投影到工件基板(14)的投影光路中；约束部件，将由平行平面板(31)的彼此相交的两边构成的角部(31A)和角部(31A)之间的中间部作为支点；加压部件，沿投影光路的光轴方向，对平行平面板(31)的各角部(31A)施加加压力，以约束部件作为支点使平行平面板(31)应变变形。
文档编号G03F7/20GK102262360SQ201110130118
公开日2011年11月30日 申请日期2011年5月19日 优先权日2010年5月31日
发明者仲野健一, 渡边幸二, 石叶幸生 申请人:株式会社拓普康