衰减带通滤光片的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及光学薄膜【技术领域】，尤其是一种衰减带通滤光片。包括基片，所述衰减带通滤光片结构为：αM(0.5H?L0.5H)m/基片/(0.5L?H0.5L)n，其中(0.5L?H0.5L)n为长波通滤光膜系，(0.5H?L0.5H)m为短波通滤光膜系，M为衰减匹配层，H代表光学厚度为λ/4的高折射率材料TiO2层，其折射率在2.0-2.5之间；L代表光学厚度为λ/4的低折射率SiO2层，其折射率在1.4-1.6之间；α为膜层厚度系数，m、n为整数。本实用新型用于光学薄膜【技术领域】，具有结构紧凑、制作成本低，而且能够更大范围的满足衰减透过率要求。
【专利说明】衰减带通滤光片
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及光学薄膜【技术领域】，尤其是一种衰减带通滤光片。
【背景技术】
[0002]带通滤光片是一种应用非常广泛的薄膜器件，其主要作用是对光进行光谱选择，使需要的光通过，不需要的光截止，常用的带通滤光片分为窄带滤光片和宽带滤光片。光束通过滤光片，对在带通滤光片的通带范围内要求透光能量按特定比例衰减，得到一定数值透过率稳定的、光学性能好的滤光效果，这种滤光片我们约定称为衰减带通滤光片。
[0003]目前的衰减带通滤光片，一般由带通滤光片和光学衰减片组合在一起使用，达到衰减滤光的目的，但该类产品主要存在以下不足:
[0004](I)带通滤光片加光学衰减片组合使用，增加系统负担使系统不紧凑，同时使系统的光学损耗增加；
[0005](2)两片组合使用增加制造成本；
[0006](3)对衰减的透过率在50%?90%要求的滤光片比较容易制备，但对衰减的透过率在10%?50%要求的滤光片很难实现，对于衰减的透过率低于10%的就更难实现。
【发明内容】
[0007]本实用新型要解决的技术问题是提供一种衰减带通滤光片，该衰减带通滤光片结构紧凑、制作成本低，而且能够更大范围的满足衰减透过率要求。
[0008]为了解决上述技术问题，本实用新型包括基片，所述衰减带通滤光片结构为:
[0009]a M (0.5Η L0.5Η) 7 基片 / (0.5L H0.5L)η
[0010]其中(0.5L H0.5L)n为长波通滤光膜系，(0.5H L0.5H)m为短波通滤光膜，M为衰减匹配层，H代表光学厚度为λ /4的高折射率材料TiO2层，其折射率在2.0-2.5之间山代表光学厚度为λ /4的低折射率SiO2层，其折射率在1.4-1.6之间；α为膜层厚度系数，m、η为整数。
[0011]优选地，所述基片为玻璃片。
[0012]优选地，所述衰减匹配层为镍铬合金层。
[0013]本实用新型在不改变带通滤光膜的基本结构的前提下，加入一层衰减匹配层，实现了在通带衰减透过率的目的，设计的衰减带通滤光膜具有对膜层厚度误差不敏感的特性，便于制备。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为衰减带通滤光片的结构示意图；
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型进行详细的说明，所列举的实施例，只是用于帮助理解本实用新型，不应理解为对实用新型保护范围的限定，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理和思想的前提下，还可对本实用新型进行改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求保护的范围。
[0016]如图1所示，本实用新型包括基片1，所述基片I优选为K9、BK7等玻璃片，所述基本I的两面分别镀制有长波通滤光膜系2和短波通滤光膜系3，所述长波通滤光膜系2的一面镀制有衰减匹配层4，所述衰减匹配层4优选为镍铬合金层，形成如下结构的衰减带通滤光片:
[0017]a M (0.5Η L0.5Η) 7 基片 / (0.5L H0.5L)η
[0018]其中(0.5L H0.5L)η为长波通滤光膜系2，(0.5Η L0.5H)m为短波通滤光膜系3，M为衰减匹配层4，H代表光学厚度为λ /4的高折射率材料TiO2层，其折射率在2.0-2.5之间；L代表光学厚度为λ /4的低折射率SiO2层，其折射率在1.4-1.6之间；α为膜层厚度
系数，可根据公式
【权利要求】
1.衰减带通滤光片，包括基片(1)，其特征在于，所述衰减带通滤光片结构为: a M (0.5Η L0.5Η) 7 基片 / (0.5L H0.5L)η 其中(0.5L H0.5L)n为长波通滤光膜系(2)，(0.5H L0.5H)m为短波通滤光膜系(3)，M为衰减匹配层(4)，H代表光学厚度为λ /4的高折射率材料TiO2层，其折射率在2.0-2.5之间；L代表光学厚度为λ /4的低折射率SiO2层，其折射率在1.4-1.6之间；α为膜层厚度系数，m、n为整数。
2.根据权利要求1所述的衰减带通滤光片，其特征在于，所述基片(I)为玻璃片。
3.根据权利要求1或2所述的衰减带通滤光片，其特征在于，所述衰减匹配层(4)为镍铬合金层。
【文档编号】G02B5/22GK203786316SQ201420173595
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年4月10日 优先权日:2014年4月10日
【发明者】唐乾隆, 查家明, 李斯成, 杨洋 申请人:江苏北方湖光光电有限公司