激光剥离设备及其控制方法与流程

本发明涉及柔性显示技术领域，特别涉及一种激光剥离设备及其控制方法。

背景技术：

随着柔性显示技术的快速发展，使得柔性屏从屏幕的尺寸到显示的质量都取得了很大的进步，由于柔性屏本身特有的可弯曲的特点，决定了它会有很多特殊的用户体验。为获得柔性屏，通常采用激光剥离技术来获取。激光剥离技术是利用激光束对形成有柔性屏的玻璃基板进行加热，使得柔性屏与玻璃基板接触处发生分解，从而将柔性屏与玻璃基板分离。

目前，采用激光剥离技术实现指定形状的柔性屏的剥离，可以通过掩膜版来实现，通常采用包括指定形状的透光区域的掩膜版对承载有柔性屏的玻璃基板进行掩膜，激光可以透过该透光区域对对应的柔性屏和玻璃基板进行加热，得到形状为该指定形状的柔性屏。

在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

现有技术中，由于每张掩膜版唯一对应一种图形，为获得不同形状的柔性屏，需要使用与之对应的不同图形的掩膜版，因此，柔性屏的制造工艺较复杂，且制造成本较高。

技术实现要素：

为了解决现有技术中柔性屏的制造工艺较复杂，且制造成本较高的问题，本发明实施例提供了一种激光剥离设备及其控制方法。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种激光剥离设备，所述激光剥离设备包括：

激光发生器、偏振片、液晶光阀和检振片，

所述激光发生器的激光出口设置有所述偏振片；

所述液晶光阀和所述检振片沿远离所述激光出口的方向依次设置在所述激光出口与承载台之间，所述承载台上承载有待剥离物。

可选的，所述激光剥离设备包括多个矩阵状排布的所述液晶光阀，每个液晶光阀包括：

相对设置的两个透明衬底基板，每个所述透明衬底基板的内侧形成有透明电极，所述两个透明衬底基板之间填充有液晶；

每个所述液晶光阀连接有一个电压控制开关。

可选的，所述激光剥离设备包括一个所述液晶光阀，所述液晶光阀包括：相对设置的两个透明衬底基板，所述两个透明衬底基板之间填充有液晶；

所述两个透明衬底基板包括第一透明衬底基板和第二透明衬底基板，所述第一透明衬底基板的内侧形成有一个第一透明电极，所述第二透明衬底基板内侧形成有矩阵状排布的多个第二透明电极，所述多个第二透明电极在所述第一透明衬底基板上的正投影位于所述第一透明衬底基板内；

每个所述第二透明电极连接有一个电压控制开关。

可选的，所述检振片与所述偏振片的偏振方向垂直。

可选的，所述预设电压为小于15伏的电压。

可选的，所述待剥离物包括衬底基板和形成于所述衬底基板上的待剥离的柔性屏。

另一方面，提供了一种激光剥离设备的控制方法，所述方法包括：

确定待剥离物的指定形状；

确定所述指定形状在所述待剥离物上的目标位置；

在激光扫描过程中，通过向液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上，使指定形状的待剥离物剥离。

可选的，所述待剥离物包括衬底基板和形成于所述衬底基板上的待剥离的柔性屏；

所述确定待剥离物的指定形状，包括：

确定所述待剥离的柔性屏的指定形状。

可选的，所述激光剥离设备包括多个矩阵状排布的所述液晶光阀；

所述通过向液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上，包括：

向位于所述目标位置正上方的液晶光阀加载预设电压，使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上。

可选的，所述激光剥离设备包括一个所述液晶光阀，所述液晶光阀包括：相对设置的两个透明衬底基板，所述两个透明衬底基板之间填充有液晶，

所述两个透明衬底基板包括第一透明衬底基板和第二透明衬底基板，所述第一透明衬底基板的内侧形成有一个第一透明电极，所述第二透明衬底基板内侧形成有矩阵状排布的多个第二透明电极，所述多个第二透明电极在所述第一透明衬底基板上的正投影位于所述第一透明衬底基板内；

所述通过向液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上，包括：

向所述第一透明电极加载第一电压；

向位于所述目标位置正上方的第二透明电极加载第二电压，使所述使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上，其中，所述第一电压和所述第二电压的差值为所述预设电压。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明实施例提供的激光剥离设备及其控制方法，由于激光发生器发出的激光通过偏振片后可以转变为线偏光，可以通过控制电压来控制液晶光阀的状态，实现线偏光的偏振方向的转变，从而可以决定线偏光能否透过检振片照射在衬底基板上，实现指定形状的柔性屏的剥离。因此，在制造不同形状的柔性屏的过程中，无需使用包括不同图形的掩膜版，简化了柔性屏的制造工艺，降低了柔性屏的制造成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种激光剥离设备的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种矩阵状排布的液晶光阀的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种液晶光阀的放大结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种指定形状为圆形的柔性屏的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的另一种液晶光阀的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的一种激光剥离设备的控制方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

本发明实施例提供了一种激光剥离设备，如图1所示，该激光剥离设备包括：

激光发生器01、偏振片02、液晶光阀03和检振片04。

激光发生器01的激光出口B设置有偏振片02。

液晶光阀03和检振片04沿远离激光出口B的方向依次设置在激光出口B与承载台05之间，承载台05上承载有待剥离物10。

本发明实施例中，该待剥离物可以包括衬底基板和形成于衬底基板上的待剥离的柔性屏。

其中，激光发生器01发出的激光通过偏振片02后得到线偏光，液晶光阀03在加载预设电压时，能够对线偏光旋光，使旋光后的线偏光通过检振片04，液晶光阀03在未加载预设电压时，线偏光从液晶光阀03透射，无法通过检振片04。在本发明实施例中，液晶光阀未加载预设电压通常指的是液晶光阀未加载电压。

综上所述，本发明实施例提供的激光剥离设备，由于激光发生器发出的激光通过偏振片后可以转变为线偏光，可以通过控制电压来控制液晶光阀的状态，实现线偏光的偏振方向的转变，从而可以决定线偏光能否透过检振片照射在衬底基板上，实现指定形状的柔性屏的剥离。因此，在制造不同形状的柔性屏的过程中，无需使用包括不同图形的掩膜版，简化了柔性屏的制造工艺，降低了柔性屏的制造成本。

需要说明的是，偏振片是指可以使自然光变成偏振光的光学元件，能够让某一方向上振荡的光透过，而把该某一方向垂直方向上振荡的光挡住。激光发生器发出的激光是一种自然光，也即圆偏光，透过偏振片可以转变为线偏光。通过在液晶光阀加载预设电压，能够改变线偏光的偏振方向。

在本发明实施例中，上述激光剥离设备可以包括多个矩阵状排布的液晶光阀，也可以包括一个液晶光阀，具体设置情况可以依据实际情况而定。本发明实施例以以下两方面为例进行说明。

第一方面，该激光剥离设备可以包括多个矩阵状排布的液晶光阀，具体的，参见图2，图2是本发明实施例提供的一种矩阵状排布的液晶光阀的结构示意图，图2中所示的每个小方格代表液晶光阀03，且多个液晶光阀03呈矩阵状排布。其中，图3是本发明实施例提供的一种液晶光阀的放大结构示意图，如图3所示，每个液晶光阀03包括：相对设置的两个透明衬底基板031，每个透明衬底基板031的内侧形成有透明电极032，两个透明衬底基板031之间填充有液晶033。

其中，每个液晶光阀可以连接有一个电压控制开关，且该电压控制开关可以为TFT(英文：Thin Film Transistor；简称：薄膜晶体管)开关，该TFT开关可以用于控制液晶光阀中的电压，通常控制的是电压的加载或不加载，可选的，该TFT开关可以设置在液晶光阀内。在本发明实施例中，液晶光阀在不加载电压和加载电压(通常加载预设电压)时，其液晶存在两种状态，分别为常规状态和偏转状态，液晶处于常规状态时，液晶光阀不影响光线的出射方向，液晶处于偏转状态时，液晶光阀对入射的线偏光进行旋光，影响光线的出射方向。在本发明实施例中，旋光的角度和偏振片与检振片的夹角关联，例如，当偏振片的偏振方向与检振片的偏振方向之间的夹角为0°，即偏振片的偏振方向与检振片的偏振方向相同，则可以通过TFT开关控制液晶光阀中的电压，即对液晶光阀不加载电压，使得线偏光的旋光角度为0°；又例如，当偏振片的偏振方向与检振片的偏振方向之间的夹角为45°时，则可以通过TFT开关控制液晶光阀中的电压，使得线偏光的旋光角度可以达到45°。其中，偏振片的偏振方向与检振片的偏振方向之间的夹角可以依据实际情况而定，本发明实施例对此不作限定。

实际应用中，可以直接将偏振片的偏振方向与检振片的偏振方向之间的夹角设定为90°，也即是偏振片与检振片的偏振方向相互垂直，其操作过程比较简单，相应的，液晶光阀的旋光角度也为90°，以下对本发明实施例进行的描述均以此为例进行说明。

示例的，本发明实施例可以通过TFT开关控制液晶光阀的开启与关闭，通常TFT开关开启时，液晶光阀开启，该液晶光阀上加载预设电压，在TFT开关关闭时，该液晶光阀关闭，该液晶光阀上不加载电压，通过控制液晶光阀的开启与关闭，可以控制是否对线偏光进行旋光，从而决定线偏光能否透过检振片照射在衬底基板上，实现指定形状的柔性屏的剥离。具体的，当对液晶光阀加载预设电压为0伏的电压(也即不加载电压)时，液晶光阀内的液晶不发生旋转，则线偏光的偏振方向也不发生旋转，从而透过液晶光阀的线偏光不能透过检振片，即不能照射在衬底基板上；当对液晶光阀加载预设电压，例如小于15伏且不为0伏的电压时，能够控制液晶光阀内的液晶旋转90°，由于光线可以随着液晶的排列方向传播，则线偏光的偏振方向也随着液晶的旋转而旋转90°，由于偏振片与检振片的偏振方向相互垂直，则旋转90°后的线偏光能够透过检振片，照射在衬底基板上，且透光率可以达到100％。

其中，预设电压可以为正的预设电压，也可以为负的预设电压，也即是可以对液晶光阀加载小于15伏的正电压，也可以对液晶光阀加载绝对值小于15伏的负电压。例如，当预设电压为正电压时，液晶光阀内的液晶可以沿顺时针方向旋转90°，则线偏光的偏振方向也沿着顺时针的方向旋转90°；反之，当预设电压为负电压时，液晶光阀内的液晶可以沿逆时针方向旋转90°，则线偏光的偏振方向也沿着逆时针的方向旋转90°。在本发明实施例中，上述液晶旋转的方向只是示意性说明，具体的旋转方向可以通过所加载的预设电压来决定。此外，在实际应用中，本发明实施例提供的对液晶光阀加载的预设电压的方向可以依据实际情况而定，本发明实施例对此不作限定。

如图1所示，本发明实施例提供的激光剥离设备还可以包括承载台05、支撑架06和机架07。其中，承载台05用于承载待剥离物10，支撑架06设置在承载台05上，用于支撑检振片04和液晶光阀03，机架07用于放置激光发生器01。

需要说明的是，用于承载待剥离物的承载台为可移动承载台，在激光扫描过程中，可以根据实际需要进行移动。

在本发明实施例中，激光发生器发出的激光的宽度通常为固定宽度，例如0.4mm(单位：毫米)，长度为可调长度，例如370mm，并且，激光发生器可以根据待剥离物的尺寸，调节发出的激光的长度。实际应用中，通常使用的待剥离物的长可以为400mm，宽度可以为300mm。在激光扫描过程中，承载有待剥离物的载台可以沿着待剥离物的宽度方向进行缓慢的移动，且每次移动距离可以为0.04mm，直至激光能够完全扫描该待剥离物。

在本发明实施例中，采用上述激光剥离设备可以实现异形柔性屏的剥离，该异形柔性屏的形状可以为圆形、三角形或梯形等，以指定形状(也即最终剥离出的形状)为圆形的柔性屏为例进行说明，如图4所示，激光剥离设备可以包括多个矩阵状排布的液晶光阀，假设图4中每个方格代表一个液晶光阀，待剥离的柔性屏的指定形状如图4中M所代表的圆形区域的形状。

示例的，可以确定该圆形区域在柔性屏上的目标位置，对于目标位置正上方对应的液晶光阀(即该多个液晶光阀中在衬底基板正投影与该圆形区域在衬底基板正投影重叠的液晶光阀)，可以通过TFT开关的控制，在激光扫描到该液晶光阀时为该液晶光阀加载预设电压，或者在激光扫描过程中持续为该液晶光阀加载预设电压，该预设电压为小于15伏且不为0伏的电压，在电压加载过程中，该液晶光阀能够对透过偏振片的线偏光进行旋光，且旋转角度可以为90°，旋光后的线偏光能够透过检振片，且透光率可以达到100％；对于非目标位置正上方对应的液晶光阀(即该多个液晶光阀中在衬底基板正投影与该圆形区域在衬底基板正投影不重叠的液晶光阀)，可以通过TFT开关的控制，在激光扫描到该液晶光阀时不为该液晶光阀加载电压，或者在激光扫描过程中持续不为该液晶光阀加载电压。这样一来，该目标位置上的柔性屏在被激光照射后与衬底基板分离，然后可以使用激光切割技术将处于该圆形区域的柔性屏的边缘进行切割，从而能够获得指定形状为圆形的柔性屏。

本发明实施例中，获取其他指定形状的柔性屏均可采用上述的激光剥离的方法，具体实施过程可以参考上述过程，本发明实施例对此不作赘述。

第二方面，该激光剥离设备可以包括一个液晶光阀，图5是本发明实施例提供的另一种液晶光阀的结构示意图，如图5所示，该液晶光阀03包括：相对设置的两个透明衬底基板034，两个透明衬底基板之间填充有液晶035。

两个透明衬底基板034包括第一透明衬底基板和第二透明衬底基板，第一透明衬底基板的内侧形成有一个第一透明电极036，第二透明衬底基板内侧形成有矩阵状排布的多个第二透明电极037，多个第二透明电极037在第一透明衬底基板上的正投影位于第一透明衬底基板内。

其中，每个第二透明电极连接有一个电压控制开关，且该电压控制开关可以为TFT开关，该TFT开关可以用于控制液晶光阀中的电压，通常控制的是电压的加载或不加载，可选的，该TFT开关可以设置在液晶光阀内。

在本发明实施例中，采用上述激光剥离设备可以实现异形柔性屏的剥离，该异形柔性屏的形状可以为圆形、三角形或梯形等，以指定形状(也即最终剥离出的形状)为圆形的柔性屏为例进行说明，如图4所示，该激光剥离设备可以包括一个液晶光阀，假设图4中每个方格代表一个第二透明电极，待剥离的柔性屏的指定形状如图4中M所代表的圆形区域。

示例的，可以确定该圆形区域在柔性屏上的目标位置，在激光扫描过程中，持续为第一透明电极加载0伏的电压(也可以视为第一透明电极接地，或不加在电压)，对于目标位置正上方对应的第二透明电极(即该多个第二透明电极中在衬底基板正投影与该圆形区域在衬底基板正投影重叠的第二透明电极)，可以通过TFT开关的控制，在激光扫描到该第二透明电极时为该第二透明电极加载预设电压，或者在激光扫描过程中持续为该第二透明电极加载预设电压，该预设电压为小于15伏且不为0伏的电压，这样保证第一透明电极和第二透明电极之间的压差为该预设电压，在电压加载过程中，该液晶光阀能够对透过偏振片的线偏光进行旋光，且旋转角度可以为90°，旋光后的线偏光能够透过检振片，且透光率可以达到100％；对于非目标位置正上方对应的第二透明电极(即该多个第二透明电极中在衬底基板正投影与该圆形区域在衬底基板正投影不重叠的第二透明电极)，可以通过TFT开关的控制，在激光扫描到该第二透明电极时不为该第二透明电极加载电压，或者在激光扫描过程中持续不为该第二透明电极加载电压。这样一来，该目标位置上的柔性屏在被激光照射后与衬底基板分离，然后可以使用激光切割技术将处于该圆形区域的柔性屏的边缘进行切割，从而能够获得指定形状为圆形的柔性屏。

在本发明实施例提供的第二方面中，可以通过一个液晶光阀对线偏光进行旋光或透光，该激光剥离设备的其他结构可以参考上述第一方面中的内容，本发明实施例对此不作赘述。

需要说明的是，实际应用中，液晶光阀的结构还可以有其他多种形式，例如在第二方面中，第一透明衬底基板的内侧也可以形成有多个第一透明电极036，该多个第一透明电极036和多个第二透明电极037一一对应，每两个对应的第一透明电极和第二透明电极在任一透明衬底基板上的正投影重叠，每两个对应的第一透明电极和第二透明电极连接有一个电压控制开关，且该电压控制开关可以为TFT开关，该TFT开关可以用于控制液晶光阀中的电压，通常控制的是电压的加载或不加载，可选的，该TFT开关可以设置在液晶光阀内。本发明实施例对液晶光阀的结构只是示意性说明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

综上所述，本发明实施例提供的激光剥离设备，由于激光发生器发出的激光通过偏振片后可以转变为线偏光，可以通过控制电压来控制液晶光阀的状态，实现线偏光的偏振方向的转变，从而可以决定线偏光能否透过检振片照射在衬底基板上，实现指定形状的柔性屏的剥离。因此，在制造不同形状的柔性屏的过程中，无需使用包括不同图形的掩膜版，简化了柔性屏的制造工艺，降低了柔性屏的制造成本。

本发明实施例提供了一种激光剥离设备的控制方法，如图6所示，该方法包括：

步骤101、确定待剥离物的指定形状。

步骤102、确定指定形状在待剥离物上的目标位置。

步骤103、在激光扫描过程中，通过向液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在目标位置上，使指定形状的待剥离物剥离。

在本发明实施例中，待剥离物可以包括衬底基板和形成于衬底基板上的待剥离的柔性屏，其中，确定待剥离物的指定形状可以包括确定待剥离的柔性屏的指定形状。

综上所述，本发明实施例提供的激光剥离设备的控制方法，可以确定指定形状在柔性屏上的目标位置，通过向液晶光阀加载预设电压，使得激光发生器发出的激光照射在目标位置上，实现指定形状的柔性屏的剥离。因此，在制造不同形状的柔性屏的过程中，无需使用包括不同图形的掩膜版，简化了柔性屏的制造工艺，降低了柔性屏的制造成本。

本发明实施例提供的激光剥离设备的控制方法可以通过多个矩阵状排布的液晶光阀来实现；也可以由一个液晶光阀来实现。具体实现方式可以依据实际情况而定，本发明实施例以以下两种可实现方式为例进行说明。

第一种可实现方式，参见图2，该激光剥离设备可以包括多个矩阵状排布的液晶光阀。

具体的，步骤103中，通过向液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在目标位置上，具体实施过程包括：向位于目标位置正上方的液晶光阀加载预设电压，使激光发生器发出的激光照射在目标位置上。这样一来，该目标位置上的柔性屏在被激光照射后与衬底基板分离，然后可以使用激光切割技术将处于该圆形区域的柔性屏的边缘进行切割，从而能够获得指定形状为圆形的柔性屏。

需要说明的是，当激光剥离设备包括多个液晶光阀时，该多个液晶光阀可以不是矩阵状排列，而是根据指定形状设置的，例如在步骤103中，可以根据确定指定形状在柔性屏上的目标位置，将多个液晶光阀设置在目标位置的正上方，使得该多个液晶光阀形成的形状与指定形状相同，在激光扫描过程中，该多个液晶光阀上加载预设电压，实现线偏光的旋光，经过液晶光阀旋光的线偏光经过检振片，照射在柔性屏上，相应的位于目标位置非正上方的区域由于未设置液晶光阀，光线经过偏振片得到的线偏光被检振片吸收，无法照射在柔性屏上。这样一来，该目标位置上的柔性屏在被激光照射后与衬底基板分离，然后可以使用激光切割技术将处于该圆形区域的柔性屏的边缘进行切割，从而能够获得指定形状为圆形的柔性屏。

在本发明实施例提供的第一种可实现方式中，可以通过多个液晶光阀对透过偏振片的线偏光进行旋光或透光，该激光剥离设备的控制方法可以参考上述装置实施例中第二方面的说明，本发明实施例对此不作赘述。

第二种可实现方式，激光剥离设备还可以包括一个液晶光阀，该液晶光阀包括：相对设置的两个透明衬底基板，两个透明衬底基板之间填充有液晶。

其中，两个透明衬底基板包括第一透明衬底基板和第二透明衬底基板，第一透明衬底基板的内侧形成有一个第一透明电极，第二透明衬底基板内侧形成有矩阵状排布的多个第二透明电极，多个第二透明电极在第一透明衬底基板上的正投影位于第一透明衬底基板内。

具体的，步骤103中，可以通过向该液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在目标位置上。具体实施过程包括：向第一透明电极加载第一电压；向位于目标位置正上方的第二透明电极加载第二电压，使激光发生器发出的激光照射在目标位置上，其中，第一电压和第二电压的差值为预设电压。

实际应用中，向该液晶光阀加载的预设电压可以为小于15伏的电压，也即是该液晶光阀的第一电压与第二电压的差值为小于15伏的电压。例如，当对第一透明电极加载的第一电压和对第二透明电极加载的第二电压的值相等，或者，可以对第一透明电极加载0伏的电压(也可以视为第一透明电极接地)，对第二透明电极不加载电压，即第一电压和第二电压的差值为0伏，则液晶光阀不能够对线偏光进行旋光，或者两个透明电极均不加载电压，线偏光不能透过检振片照射在衬底基板上；当第一电压与第二电压的差值为小于15伏且不为0伏的电压时，则液晶光阀能够对线偏光进行旋光，旋光后的线偏光能够透过检振片照射在目标位置上。这样一来，该目标位置上的柔性屏在被激光照射后与衬底基板分离，然后可以使用激光切割技术将处于该圆形区域的柔性屏的边缘进行切割，从而能够获得指定形状为圆形的柔性屏。

在本发明实施例提供的第二种可实现方式中，可以通过一个液晶光阀对透过偏振片的线偏光进行旋光或透光，该激光剥离设备的控制方法可以参考上述装置实施例中第二方面的说明，本发明实施例对此不作赘述。

综上所述，本发明实施例提供的激光剥离设备的控制方法，由于激光发生器发出的激光通过偏振片后可以转变为线偏光，可以通过控制电压来控制液晶光阀的状态，实现线偏光的偏振方向的转变，从而可以决定线偏光能否透过检振片照射在衬底基板上，实现指定形状的柔性屏的剥离。因此，在制造不同形状的柔性屏的过程中，无需使用包括不同图形的掩膜版，简化了柔性屏的制造工艺，降低了柔性屏的制造成本。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的激光剥离设备的控制方法的具体工作过程，可以参考前述装置实施例中的对应过程，在此不再赘述。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。