光学膜的制造装置以及光学膜的制造方法与流程

本发明涉及一种光学膜的制造装置以及光学膜的制造方法。
背景技术：
：光学膜是指被用作光学装置的构件等用于光学用途的膜。在图像显示装置(液晶显示装置、有机EL显示装置等)那样的光学装置中使用各种光学膜，其代表例为用于液晶显示装置等的偏振板。偏振板通常为在偏振膜的至少一面上贴合有保护膜的层叠光学膜。另外，构成偏振板的偏振膜、保护膜也分别为光学膜。光学膜的制造方法包括输送膜(包括原料膜、以及对原料膜实施各种处理而制造出的光学膜)的输送工序。偏振板的制造方法包括偏振膜、保护膜、以及将它们贴合而成的层叠光学膜的输送工序，与该输送工序同时地沿着输送路径而实施各种处理(例如，贴合处理)。然而，在上述那样的膜的输送工序中，在膜的表面上有时会产生损伤、污染、针孔等缺陷。以往，提出有用于检测这样的缺陷的各种方法(日本特开平11-223608号公报、日本特开2003-344301号公报等)。这样的缺陷会降低光学装置的品质，因此应该被去除，并且为了不降低成品率而优选抑制缺陷的产生。在先技术文献专利文献1：日本特开平11-223608号公报专利文献2：日本特开2003-344301号公报在对输送的膜实施处理而制造光学膜的制造装置中，具备供膜接触的各种辊(引导辊、贴合辊、冷却辊、加热辊等)。在这样的辊中，若表面被污染，则该污染会转印到膜上，从而在膜的表面上产生损伤、污染。在光学膜的制造装置中使用的辊的表面上，附着有用于膜的贴合的粘接剂，或者析出有用于膜的处理的处理液的盐，从而容易产生污染。辊的表面的污染虽然多能够通过由清洗液清洗等简单的方法去除，但很难目视确定污染的辊，而另一方面，不确定污染的辊而将所有的辊作为对象进行清洗的话也是很困难的。技术实现要素：本发明人等认为，在光学膜的制造工序中，在光学膜上产生缺陷的情况下，只要能够简单地确定可能会引起缺陷的辊组就很有用。这是由于，通过确定可能会引起缺陷的辊组，由此能够对确定出的辊组进行清洗等维护，从而能够有效且简单地抑制缺陷的产生。于是，本发明的目的在于提供一种能简单地确定可能会引起缺陷的辊组的光学膜的制造装置以及光学膜的制造方法。本发明提供以下所示的光学膜的制造装置以及光学膜的制造方法。[1]一种光学膜的制造装置，其对输送的膜实施处理来制造光学膜，其中，所述光学膜的制造装置具备与所述膜接触的多个辊，所述多个辊根据各辊的固有值而被划分为多个组，在所述各辊的周向上的一点处的标记被转印到所述膜上的情况下，所述固有值以与所述处理后的膜上的所述标记的间距对应的方式被决定。[2]根据[1]所述的光学膜的制造装置，其中，所述标记的间距是基于所述辊的周长、以及从所述辊的通过点到所述处理完成为止对所述膜实施的延伸的倍率而被算出的。[3]根据[1]所述的光学膜的制造装置，其中，所述标记的间距是通过在所述辊的周向上的一点处将标记向所述膜转印而被预先测定出的。[4]根据[1]～[3]中任一项所述的光学膜的制造装置，其中，所述光学膜的制造装置还具备：检查部，其对所述处理完成后的所述膜上的周期性缺陷的间距进行测定；以及确定部，其基于所述缺陷的间距和所述固有值，来确定可能会引起缺陷的所述辊所属的所述组。[5]根据[1]～[3]中任一项所述的光学膜的制造装置，其中，所述光学膜的制造装置还具备维护部，所述维护部对属于由所述确定部确定出的所述组中的所述辊进行维护。[6]根据[4]所述的光学膜的制造装置，其中，所述光学膜的制造装置还具备维护部，所述维护部对属于由所述确定部确定出的所述组中的所述辊进行维护。[7]根据[5]所述的光学膜的制造装置，其中，所述维护部包括对所述辊进行清洗的清洗部。[8]根据[6]所述的光学膜的制造装置，其中，所述维护部包括对所述辊进行清洗的清洗部。[9]一种光学膜的制造方法，其对输送的膜实施处理来制造光学膜，其中，所述光学膜的制造方法包括一边使膜与多个辊接触一边输送膜的输送工序，所述多个辊根据各辊的固有值而被划分为多个组，在所述各辊的周向上的一点处的标记被转印到所述膜上的情况下，以与所述处理后的所述膜上的所述标记的间距对应的方式来决定所述固有值。[10]根据[9]所述的光学膜的制造方法，其中，基于所述辊的周长、以及从所述辊的通过点到所述处理完成为止对所述膜实施的延伸的倍率来算出所述标记的间距。[11]根据[9]所述的光学膜的制造方法，其中，通过在所述辊的周向上的一点处将标记向所述膜转印而预先测定出所述标记的间距。[12]根据[9]～[11]中任一项所述的光学膜的制造方法，其中，所述光学膜的制造方法还包括：检查工序，其中，对所述处理完成后的所述膜上的周期性缺陷的间距进行测定；以及确定工序，其中，基于所述缺陷的间距和所述固有值，来确定可能会引起缺陷的所述辊所属的所述组。[13]根据[9]～[11]中任一项所述的光学膜的制造方法，其中，所述光学膜的制造方法还包括维护工序，所述维护工序对属于通过所述确定工序确定出的所述组中的所述辊进行维护。[14]根据[12]所述的光学膜的制造方法，其中，所述光学膜的制造方法还包括维护工序，所述维护工序对属于通过所述确定工序确定出的所述组中的所述辊进行维护。[15]根据[13]所述的光学膜的制造方法，其中，所述维护工序包括对所述辊进行清洗的工序。[16]根据[14]所述的光学膜的制造方法，其中，所述维护工序包括对所述辊进行清洗的工序。发明效果根据本发明，在光学膜的制造装置以及光学膜的制造方法中，能够简单地确定可能会引起缺陷的辊组。附图说明图1是示出本发明的光学膜(偏振膜)的制造装置的一例的剖视图。图2是示出本发明的光学膜(偏振板)的制造装置的一例的剖视图。图3的(a)、(b)是示出用于对辊的固有值的决定方法进行说明的光学膜的制造装置的剖视图。图4是示出用于对辊的固有值的决定方法进行说明的光学膜的制造装置的剖视图。图5是示出本发明的光学膜的制造装置的一例的剖视图。附图标记说明1、1’、1”辊2、2’、2”辊3膜4a、4b处理部5检查部10坯料膜11坯料辊13溶胀浴15染色浴17交联浴19清洗浴21～35引导辊50～55捏夹辊60偏振膜61、62保护膜63、70干燥炉64偏振板65、81检查部71～73加热辊具体实施方式[光学膜的制造装置以及制造方法]本发明涉及对输送的膜实施处理而制造光学膜的光学膜的制造装置以及制造方法。本发明的光学膜的制造装置具备与膜接触的多个辊，多个辊根据各辊的固有值而被划分为多个组。在各辊的周向上的一点处的标记被转印到膜上的情况下，各辊的固有值以与处理后的膜上的该标记的间距对应的方式被决定。此处所说的标记是用于决定辊的固有值的概念，在通过以下的〔a〕的方法决定固有值的情况下是假设的，而在通过以下的〔b〕的方法决定固有值的情况下，在预备试验时实际地向辊赋予标记。在通过上述〔b〕的方法决定固有值的情况下，在预备试验时向辊赋予的标记只要是能向膜转印的标记即可，没有特别限定，可以是能将形状向膜转印的凸状物，也可以是能将颜色向膜转印的着色标记。用于决定辊的固有值的标记的间距与在膜的制造工序中在膜上检测到的来源于辊的周期性缺陷的间距一致。作为来源于辊的周期性缺陷，设想是在辊的表面上产生损伤、污染、针孔等缺陷，它们转印至膜而形成的缺陷等。作为在辊的表面上产生的污染，设想是用于膜的贴合的粘接剂附着而产生的污染、用于膜的处理的处理液的盐析出而产生的污染等。(固有值的决定)各辊的固有值可以通过以下的方法〔a〕或者方法〔b〕来决定。〔a〕设辊的周长为L、从辊的通过点到处理完成为止对膜实施的延伸的倍率为n，将与n×L对应的值作为辊的固有值。例如，将n×L作为固有值。〔b〕作为预备试验，对辊的周向上的一点赋予能向膜转印的标记，对处理后的膜上的标记的间距进行测定，将与所述测定值对应的值作为辊的固有值。例如，将所述测定值作为固有值。根据光学膜的制造装置中的处理内容，准确的延伸的倍率n有时是不明确的。在这种情况下，优选通过上述的方法〔b〕来决定辊的固有值。利用图3的(a)、(b)，对光学膜的制造装置中的各辊的固有值的决定方法具体进行说明。图3的(a)、(b)所示的制造装置具备周长不同的两个辊1、2、和处理部4a，是对输送的膜3通过处理部4a实施处理而制造光学膜的装置。将辊1的周长设为L1，将辊2的周长设为L2。辊1与辊2相比为小径，因此周长L1＜周长L2。如图3的(a)所示，在对辊1的周向上的一点赋予标记1a的情况下，该标记1a被转印至膜3。若设转印至通过辊1后的膜3上的标记1a’的间距为P1，则间距P1与辊1的周长L1一致。然后，通过处理部4a对膜3实施处理。设转印至通过处理部4a后的膜3上的标记1a’的间距为P11。在处理部4a中，若设膜3被沿长度方向延伸n倍，则P11＝n×P1＝n×L1。图3的(a)示出处理部4处的延伸倍率n倍为1倍的情况。在图3的(a)所示的装置中，辊1的固有值以与间距P11对应的方式被决定。间距P11可以是在预备试验中测定出的值(方法〔b〕)，也可以是由n×L1算出的值(方法〔a〕)。如图3的(b)所示，在对辊2的周向上的一点赋予标记2a的情况下，该标记2a被转印至膜3。若设转印至通过辊2后的膜3上的标记2a’的间距为P2，则间距P2与辊2的周长L2一致。然后，通过处理部4a对膜3实施处理。设转印至通过处理部4a后的膜3上的标记2a’的间距为P21。在处理部4a中，若设膜3被沿长度方向延伸n倍，则P21＝n×P2＝n×L2。图3的(b)示出处理部4a的延伸倍率n倍为1倍的情况。在图3的(b)所示的装置中，辊2的固有值以与间距P21对应的方式被决定。间距P21可以是在预备试验中测定出的值(方法〔b〕)，也可以是由n×L2算出的值(方法〔a〕)。图4示出处理部4b的总延伸倍率n倍比1倍大的情况。在图4中，设转印至通过处理部4b后的膜3上的标记1a’的间距为P12。若设处理部4b处的总延伸倍率为n倍，则P12＝n×P1＝n×L1，P12与n倍为1倍时的图3的(a)所示的装置中的P11不同。即，即使是相同的辊1，在从辊1的通过点到处理完成为止的长度方向的延伸倍率不同的情况下，辊的固有值也为不同的值。(组的划分)在本发明的光学膜的制造装置中，多个辊根据固有值而被划分为多个组。利用图5，对在光学膜的制造装置中多个辊根据固有值如何被划分为组的情况示出具体例。图5所示的光学膜的制造装置是在图3的(a)、(b)所示的制造装置中还具备具有与辊1相同的直径、即相同的周长L1的辊1’、1”，且还具备具有与辊2相同的直径、即相同的周长L2的辊2’、2”的装置。对通过辊1、1’、1”后的膜3利用相同的处理部4a实施处理，因此它们具有相同的固有值。处理部4a的延伸倍率为1倍，因此将辊1、1’、1”的固有值设为周长L1，将具有固有值L1的辊划分为组G1。对通过辊2、2’、2”后的膜3利用相同的处理部4a实施处理，因此它们具有相同的固有值。处理部4a的延伸倍率为1倍，因此将辊2、2’、2”的固有值设为周长L2，将具有固有值L2的辊划分为组G2。在表1中示出组划分。[表1]组名辊的固有值属于组的辊组G1L1辊1、1’、1”组G2L2辊2、2’、2”(检查工序)图5所示的光学膜的制造装置具备对通过处理部4a后的膜3上的周期性缺陷的间距进行测定的检查部5。检查部5只要能够对膜3的表面的缺陷进行检测即可，其检测方法没有特别限定，例如，对膜3的表面的光学图像进行检测，对检测出的图像通过进行平滑化、二次微分、二值化等图像处理而检测出缺陷。而且，在检测出的缺陷中，针对周期性产生的缺陷，算出其间距。(确定工序)图5所示的光学膜的制造装置具备未图示的确定部。确定部基于表1所示的组划分的数据，进行对可能会引起测定出间距的缺陷的辊的组进行确定的确定工序。也可以取代确定部，而由人根据表1所示的组划分的数据来进行确定工序。在由检查部5测定出的周期性缺陷的间距例如为L1的情况下，将含有与所述间距L1相同的固有值的组G1确定为可能会引起缺陷的辊的组。在由检查部5测定出的周期性缺陷的间距例如为L2的情况下，将含有与所述间距L2相同的固有值的组G2确定为可能会引起缺陷的辊的组。需要说明的是，也存在引起缺陷的辊的固有值与由检查部5测定出的周期性缺陷的间距之间发生偏差的情况，因此在确定部中，优选考虑该偏差来确定引起缺陷的组。另外，上述对以一个组与一个固有值对应的方式进行组的划分的情况进行了说明，但也可以以一个组与包含于某数值范围的固有值对应的方式进行组的划分。属于各组的辊可以是一个，也可以是多个。(维护工序)优选在确定工序之后进行维护工序。在维护工序中，对属于通过确定工序确定出的组的辊，根据其不良的状况而进行清洗、修复、更换等。也可以对确定出的辊的状态通过目视进行确认，由此判断适合进行怎样的维护。或者，也可以首先进行清洗，然后在通过检查工序检测出缺陷的情况下还进行下一维护。也可以在属于组内的辊中，进一步确定哪个辊引起缺陷，然后仅对该辊进行维护。维护工序在通过喷淋来清洗辊等不停止膜的输送即能够进行的情况下，可以不停止膜的输送而进行，而在需要修复、更换等的情况下，停止膜的输送而进行。对于多个辊的组的划分方法，可以以维护的方法能共通化的辊属于同一组的方式进行划分。例如，能够以相同的清洗液清洗的辊容易实现维护的方法共通化。另外，由相同的材质构成的辊容易实现维护的方法共通化。可以选择在各工序中配置的辊的周长(或直径)，使得各辊划分在所希望的组中。根据本发明，能够容易地确定可能会引起缺陷的辊的组。另外，通过基于所述确定来进行维护，由此能够有效且简便地抑制膜的周期性缺陷的产生。通过本发明的制造装置以及制造方法制造出的光学膜例如是被用作图像显示装置(液晶显示装置等)那样的光学装置的一个构件的光学构件，能够举出偏振膜、具有表面处理层的保护膜、具有相位差特性的保护膜(相位差膜)、以及在偏振膜的至少一面上贴合有保护膜而成的偏振板等。作为在保护膜的表面设置的表面处理层，能够举出硬涂层、防眩层、防静电层、防反射层、防污层等。在本说明书中，光学膜可以是多层体也可以是单层体。<第一实施方式>在第一实施方式中，在示出偏振膜的制造装置以及制造方法的实施方式的同时，对本发明的光学膜的制造装置以及制造方法进行详细地说明。(输送工序)图1是示意性地示出在偏振膜的制造方法中使用的制造装置的一例的剖视图。图1所示的偏振膜的制造装置如下构成：将由聚乙烯醇系树脂构成的膜10一边从坯料辊11连续地卷出一边沿着膜输送路径输送，从而使膜10依次通过在膜输送路径上设置的溶胀浴13、染色浴15、交联浴17、以及清洗浴19，然后通过干燥炉70(输送工序)。得到的偏振膜60在由检查部81进行缺陷检查之后，例如，可以直接向下一偏振板制作工序(在偏振膜60的单面或两面上贴合保护膜的工序)输送。图1中的箭头示出膜的输送方向。图1中的溶胀浴13、染色浴15、交联浴17以及清洗浴19那样的、设于膜输送路径上的收容对聚乙烯醇系树脂膜实施处理的处理液的浴也总称为“处理浴”。偏振膜的制造装置除了上述各处理浴以及干燥炉70以外，还具备对输送的膜进行支承及/或处理的多个辊。在图1中，对输送的膜进行支承、或进而能够对膜输送方向进行变更的引导辊21～35、能够对输送的膜进行按压、夹持而将其旋转引起的驱动力赋予膜、或进而能够对膜输送方向进行变更的捏夹辊50～55、对干燥炉70内的膜的干燥进行促进的加热辊71～73作为辊而配置在适当的位置。引导辊、捏夹辊能够在各处理浴、干燥炉的前后、处理浴中配置，由此能够进行膜向处理浴的导入、浸渍以及从处理浴的导出〔参照图1〕。例如，在各处理浴中设置一个以上的引导辊，沿着上述的引导辊来输送膜，由此能够将膜浸渍于各处理浴。本说明书中所说的辊并不限定于上述的引导辊、捏夹辊以及加热辊，而包括在与输送的膜接触时旋转的所有辊，例如包括向膜表面成型用的辊、冷却膜的冷却辊等。辊可以是驱动辊也可以是自由辊。图1所示的偏振膜制造装置在各处理浴的前后配置有捏夹辊(捏夹辊50～54)，由此能够在任意一个以上的处理浴中实施辊间延伸，该辊间延伸通过对在处理浴前后配置的捏夹辊之间施加周速差来进行纵向单轴延伸。(组的划分)图1的制造装置所具备的多个辊(引导辊21～35、捏夹辊50～55、加热辊71～73)根据辊的周长、以及从辊的通过点到检查部81为止对膜实施的延伸的倍率来决定各辊的固有值，从而划分为各组。在图1中，采用具有三种周长的辊(设为“小径辊”、“中径辊”、“大径辊”)。设小径辊的周长为L3，中径辊的周长为L4，大径辊的周长为L5。对从坯料辊11卷出的膜10是已延伸的延伸膜且从坯料辊11到检查部81为止膜未被延伸的情况下、即从各辊的通过点到检查部81为止的膜的延伸倍率n倍为1倍的情况下的组的划分方法的一例进行说明。各辊的固有值采用基于周长以及延伸倍率算出的值。表2举出基于所述的固有值所进行的组的划分的一例。[表2]组名辊的固有值属于组的辊组G3L3引导辊21～35组G4L4捏夹辊50～55组G5L5加热辊71～73引导辊21～35被划分为小径辊的组G3，捏夹辊50～55被划分为中径辊的组G4，加热辊71～73被划分为大径辊的组G5。组的划分的信息例如在未图示的确定部内、或外部的确定部内保持。根据表2所示的组的划分方法，相同种类(引导辊、捏夹辊、加热辊)的辊以属于同一组的方式被划分，因此能够使维护的方法共通化，故而优选。不限定于表2所示的组的划分方法，例如也可以如下这样设计制造装置：将容易附着来源于溶胀浴的污染的辊组、容易附着来源于染色浴的污染的辊组、容易附着来源于交联浴的污染的辊组、以及容易附着来源于清洗浴的污染的辊组分别划分为同一组。在该情况下，对各组的辊，能够将作为污染的原因的处理浴内的溶液作为清洗液来进行清洗等，从而能够使维护的方法共通化，故而优选。在本实施方式中，将组数设为3，但只要是2以上则没有特别限定。在本发明的制造装置的确定部中，对可能会引起缺陷的辊的确定通过确定其所属的组来进行。在辊的周长的种类被限定的情况下，辊的固有值的种类也被限定，因此优选以根据各固有值来构成不同的组的方式进行组划分。其中，在辊的周长的种类多的情况、在光学膜的制造工序中以各种倍率实施延伸处理的情况即固有值的种类多的情况下，也可以规定属于各组的固有值的范围而进行组的划分。在规定属于各组的固有值的范围来进行组的划分的情况下，可以通过增多组数来减少属于各组的辊的数量。从而，在将对确定出的组内的辊进行维护的维护工序设置于后段的情况下，能够减少成为维护对象的辊的数量，能够降低维护工序的繁杂性。属于各组的辊的数量也可以是一个。需要说明的是，关于组的划分，可以针对与组无关地设置在装置内的辊，之后根据固有值来适当进行组划分，也可以预先计算配置后的固有值并选择成为所希望的固有值的辊来配置在各位置而进行组划分。在预先计算配置后的固有值并选择成为所希望的固有值的辊来配置在各位置的情况下，例如，能够以按区域属于不同的组的方式来选择辊。在该情况下，在确定工序中，能够确定可能会引起缺陷的辊所配置的区域，作为维护对象的辊配置在同一区域内，因此具有维护工序中的维护容易进行这一优点。(检查工序)本发明的制造装置具备进行检查工序的检查部81，该检查工序对偏振膜60的表面的缺陷进行检测。检查部81只要能够对偏振膜60的表面的缺陷进行检测即可，其检测方法没有特别限定，例如，对偏振膜60的表面的光学图像进行检测，对检测出的图像通过进行平滑化、二次微分、二值化等图像处理而检测出缺陷。而且，在检测出的缺陷中，针对周期性产生的缺陷，算出其间距。在图1所示的制造装置中，将检查部81的位置设为干燥炉70的后段，但检查部81的位置并不限定于所述的位置，也可以设置在比干燥炉70靠前段的位置。在后段的确定工序中，能够根据检查部81的位置，仅将比检查部81靠前段的辊作为对象来确定可能会引起缺陷的辊的组。需要说明的是，在本实施方式的制造装置以及制造方法中，也可以取代检测缺陷的检查部81，而采用对偏振膜60的表面的缺陷通过目视进行检测的检查工序。在该情况下，也针对周期性产生的缺陷测定其间距。另外，检查工序可以如图1所示那样在膜的输送路径上进行，也可以通过如下方式进行：部分地切取制造出的偏振膜来制作检查对象的样品，对所述样品检测有无周期性缺陷的产生、以及在产生了的情况下检测缺陷的间距。(确定工序)然后，在未图示的确定部中，基于保存的组划分的固有值的数据，进行对包括与测定出的缺陷的间距对应的固有值在内的组进行确定的确定工序。也可以由人根据管理的组划分的数据来进行确定工序。在偏振膜60等光学膜中使成品率降低的缺陷的大小通常为10μm～50μm这种程度。光学膜被用作光学装置的构件，因此由于光入射时的散射、折射、衍射等，目视观察光学膜时的缺陷的大小可能会比存在于辊的成为缺陷的原因的不良状况(异物、损伤等)的大小更大。因此，仅是对辊的状态目视进行确认的话，有时难以对存在引起缺陷的不良状况(异物、损伤等)的辊进行确定。即使在这样的情况下，根据本发明的装置以及方法，也能够对可能会引起缺陷的辊所属的组进行确定，能够通过对组内的辊进行维护工序来有效且简单地抑制缺陷的产生。(维护工序)优选在确定工序之后进行维护工序。在维护工序中，对属于通过确定工序确定出的组中的辊，根据其不良状况而进行清洗、修复、更换等。也可以对确定出的辊的状态通过目视进行确认，由此判断适合进行怎样的维护。或者，也可以首先进行清洗，然后在通过检查工序检测出缺陷的情况下还进行下一维护。也可以在属于组内的辊中，进一步确定哪个辊引起缺陷，然后仅对该辊进行维护。维护工序在通过喷淋来清洗辊等不停止膜的输送即能够进行的情况下，可以不停止膜的输送而进行，而在需要修复、更换等的情况下，停止膜的输送而进行。<第二实施方式>在第二实施方式中，在示出偏振板的制造装置以及制造方法的实施方式的同时，对本发明的光学膜的制造装置以及制造方法的组的划分详细地进行说明。图2是示意性地示出在偏振板的制造方法中使用的制造装置的一例的剖视图。在图2所示的偏振板的制造装置中，与偏振膜60一起在其上下并行输送保护膜61、62，使在膜间夹有粘接剂(未图示)而层叠三片膜(偏振膜60、保护膜61、62)而成的层叠体通过一对贴合辊39之间。然后，通过干燥炉63使得粘接剂干燥，从而制造出在偏振膜60的两面上贴合有保护膜61、62的偏振板64。偏振板64在由检查部65进行检查后被卷取。在图2所示的制造装置中，偏振膜60的输送用的引导辊91、92、保护膜61的输送用的引导辊93、94、以及保护膜62的输送用的引导辊95、96采用不同周长的引导辊，以分别属于不同的组的方式进行划分。通过这样以按区域(偏振膜60的输送区域、保护膜61的输送区域、保护膜62的输送区域)而属于不同的组的方式选择并配置辊，从而在确定工序中，能够对可能会引起缺陷的辊所配置的区域(组)进行确定，因而作为维护对象的辊配置在同一区域内，因此具有维护工序中的维护容易进行这一优点。本实施方式中的检查工序、确定工序、维护工序的详细内容如第一实施方式中的上述说明所述那样。当前第1页1 2 3