技术总结
本发明公开了一种DMD结构单轴固定光路直写曝光机，属于直写曝光技术领域。本发明的DMD结构单轴固定光路直写曝光机，主要对真空吸盘结构进行了改进，有效解决了生产小板时由于漏气而造成的吸力不足的问题。进一步地，吸盘上的气孔分布为中间疏、四周密，有效杜绝了板子边缘翘起的问题，节省了气孔数量，减少了成本。本发明的DMD结构单轴固定光路直写曝光机，可生产55英寸的超大板。同时，分区对位聚焦方法改进可以确保图像曝光位置准确，图像曝光清楚。
技术研发人员：李显杰
受保护的技术使用者：江苏影速光电技术有限公司
文档号码：201611025003
技术研发日：2016.11.22
技术公布日：2017.02.22