技术总结
一种LCD生产的刻蚀工艺，包括以下步骤，1）备料，将14×14的ITO玻璃的表面用清洗剂和DI水清洗干净，并且烘干；2）涂胶，在ITO玻璃的ITO面上均匀的涂一层光刻胶；3）前烘烤，使涂有光刻胶的ITO玻璃在80‑120摄氏的环境下烘烤30‑60秒；4）曝光，在干燥后的胶膜的表面覆盖模板，紫外线通过模板垂直的照射在胶膜上，所述模板上设置有预设的图案；并且在模板的底部设置有一层透明的无色薄膜；本发明中在曝光前设置前烘烤这样就使得光刻胶干燥并且固化，这样在曝光的时候模板稍微接触光刻胶，光刻胶不会粘在模板上，这样模板可以无限的接近光刻胶，最大程度的保证曝光位置的精确。
技术研发人员：曾周
受保护的技术使用者：曾周
文档号码：201611128499
技术研发日：2016.12.09
技术公布日：2017.05.31