1.一种曝光设备,其特征在于,包括一掩膜板(110)、设于所述掩膜板(110)左侧下方的第一平台(121)、设于所述掩膜板(110)右侧下方的第二平台(122)、设于所述掩膜板(110)右侧上方的第一光源(131)、及设于所述掩膜板(110)左侧上方的第二光源(132);
所述第一平台(121)、第二平台(122)均用于承载基板(200);
所述第一光源(131)射出的光线穿过所述掩膜板(110)射到所述第一平台(121);
所述第二光源(132)射出的光线穿过所述掩膜板(110)射到所述第二平台(122)。
2.如权利要求1所述的曝光设备,其特征在于,所述掩膜板(110)为水平设置;所述第一平台(121)、第二平台(122)均为相对水平面倾斜设置;
所述第一平台(121)的上表面面向第一光源(131),所述第二平台(122)的上表面面向第二光源(132)。
3.如权利要求2所述的曝光设备,其特征在于,所述第一光源(131)与第二光源(132)射出的光线均为平行光线;
所述第一光源(131)射出的光线从所述掩膜板(110)的上方倾斜射到所述掩膜板(110)的上表面,穿过所述掩膜板(110)垂直射到所述第一平台(121);
所述第二光源(132)射出的光线从所述掩膜板(110)的上方倾斜射到所述掩膜板(110)的上表面,穿过所述掩膜板(110)垂直射到所述第二平台(122)。
4.如权利要求3所述的曝光设备,其特征在于,所述第一平台(121)与第二平台(122)为左右对称设置;所述第一光源(131)与第二光源(132)为左右对称设置;
所述第一光源(131)射出的光线从所述掩膜板(110)的上方以入射角为θ1入射到所述掩膜板(110)的上表面,所述第二光源(132)射出的光线从所述掩膜板(110)的上方以入射角为θ2入射到所述掩膜板(110)的上表面,其中,θ1等于θ2。
5.如权利要求1所述的曝光设备,其特征在于,还包括容纳所述掩膜板(110)、第一平台(121)、第二平台(122)、第一光源(131)、及第二光源(132)的曝光腔。
6.一种曝光方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、提供曝光设备、及两个基板(200),所述曝光设备包括一掩膜板(110)、设于所述掩膜板(110)左侧下方的第一平台(121)、设于所述掩膜板(110)右侧下方的第二平台(122)、设于所述掩膜板(110)右侧上方的第一光源(131)、及设于所述掩膜板(110)左侧上方的第二光源(132);将两个基板(200)分别放置于第一平台(121)、第二平台(122)上;
步骤2、开启第一光源(131)与第二光源(132),所述第一光源(131)射出的光线穿过所述掩膜板(110)射到放置于所述第一平台(121)上的基板(200)上;所述第二光源(132)射出的光线穿过所述掩膜板(110)射到放置于所述第二平台(122)上的基板(200)上。
7.如权利要求6所述的曝光方法,其特征在于,所述掩膜板(110)为水平设置;所述第一平台(121)、第二平台(122)均为相对水平面倾斜设置;
所述第一平台(121)的上表面面向第一光源(131),所述第二平台(122)的上表面面向第二光源(132)。
8.如权利要求7所述的曝光方法,其特征在于,所述步骤2中,所述第一光源(131)与第二光源(132)射出的光线均为平行光线;
所述第一光源(131)射出的光线从所述掩膜板(110)的上方倾斜射到所述掩膜板(110)的上表面,穿过所述掩膜板(110)垂直射到放置于所述第一平台(121)上的基板(200)上;
所述第二光源(132)射出的光线从所述掩膜板(110)的上方倾斜射到所述掩膜板(110)的上表面,穿过所述掩膜板(110)垂直射到放置于所述第二平台(122)上的基板(200)上。
9.如权利要求8所述的曝光方法,其特征在于,所述第一平台(121)与第二平台(122)为左右对称设置;所述第一光源(131)与第二光源(132)为左右对称设置;
所述步骤2中,所述第一光源(131)射出的光线从所述掩膜板(110)的上方以入射角为θ1入射到所述掩膜板(110)的上表面,所述第二光源(132)射出的光线从所述掩膜板(110)的上方以入射角为θ2入射到所述掩膜板(110)的上表面,其中,θ1等于θ2。
10.如权利要求6所述的曝光方法,其特征在于,所述曝光设备还包括容纳所述掩膜板(110)、第一平台(121)、第二平台(122)、第一光源(131)、及第二光源(132)的曝光腔。