压印装置的调整方法、压印方法和物品制造方法与流程

文档序号:12800153阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种压印装置的调整方法、压印方法和物品制造方法。一种用于调整压印装置的调整方法包括:准备步骤,准备用于对测试模具的接触区域与供给在基板上的压印材料接触的状态进行评估的样品;评估步骤,对样品进行评估;以及调整步骤,基于在评估步骤中获得的评估结果来调整压印装置。接触区域包括不包括图案的平坦区域,评估步骤中的评估包括第一评估,该第一评估是对平坦区域中的压印材料的状态的评估,并且,在调整步骤中基于第一评估的结果来调整压印装置。

技术研发人员:浅田邦彦;石田晋吾;笹健太
受保护的技术使用者:佳能株式会社
技术研发日:2016.12.21
技术公布日:2017.07.04
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