技术总结
本实用新型公开了一种回收光刻胶过滤装置，包括胶罐、过滤装置、控制器；过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于第二过滤器内的第二过滤网的网孔，第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于第三过滤器内的第三过滤网的网孔；第一过滤器的进口通过胶管与回收胶瓶相连接，第一过滤器的出口通过第一阀门与第二过滤器的进口相连接，且通过第二阀门与第一光刻胶胶瓶相连接；第二过滤器的出口通过第三阀门与第三过滤器的进口相连接，且通过第四阀门与第二光刻胶胶瓶相连接；第三过滤器的出口通过第五阀门与第三光刻胶胶瓶相连接。本实用新型对回收光刻胶进行过滤处理，以保证过滤后得到的光刻胶干净清洁。
技术研发人员：张诚;李伟;徐根;李翼;周学文
受保护的技术使用者：湖南普照信息材料有限公司
文档号码：201620753116
技术研发日：2016.07.15
技术公布日：2016.12.28