光调制器及光调制系统的制作方法

文档序号:11916921阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光调制器,其特征在于,包括调制芯片,所述调制芯片包括光波导衬底、第一马赫-曾德尔干涉仪、第二马赫-曾德尔干涉仪以及按照预设规则设置在所述第一马赫-曾德尔干涉仪和第二马赫-曾德尔干涉仪上的第一电极组和第二电极组;

所述第一马赫-曾德尔干涉仪和第二马赫-曾德尔干涉仪对称设置在所述光波导衬底表面,所述第一马赫-曾德尔干涉仪包括第一光波导和第二光波导,所述第一光波导的长度大于所述第二光波导的长度,所述第二马赫-曾德尔干涉仪包括第三光波导和第四光波导,所述第三光波导的长度大于所述第四光波导的长度;

所述第一光波导与所述第二光波导之间的光相位差为第一相位差,所述第三光波导与所述第四光波导之间的光相位差为第二相位差,所述第一相位差与所述第二相位差之间的差值满足预设条件以使得外部干扰导致的相移相互抵消。

2.根据权利要求1所述的光调制器,其特征在于,所述第一马赫-曾德尔干涉仪还包括第一入射波导和第一出射波导,所述第二马赫-曾德尔干涉仪还包括第二入射波导和第二出射波导;所述第一光波导与所述第二光波导的一端均与所述第一入射波导光学耦合,另一端均与所述第一出射波导光学耦合;所述第三光波导与所述第四光波导的一端均与所述第二入射波导光学耦合,另一端均与所述第二出射波导光学耦合;

所述光波导衬底上还设置有Y型波导,所述Y型波导包括输入波导、第一分支波导和第二分支波导,所述第一分支波导用于将所述输入波导光学耦合到所述第一入射波导,所述第二分支波导用于将所述输入波导光学耦合到所述第二入射波导。

3.根据权利要求1所述的光调制器,其特征在于,所述第一光波导和所述第三光波导均为弧线形波导。

4.根据权利要求3所述的光调制器,其特征在于,所述第二光波导和所述第四光波导为直线形波导,所述第一电极组包括第一子电极和第二子电极,所述第二电极组包括第三子电极和第四子电极,所述第一子电极和所述第二子电极对称设置在所述第二光波导的两侧,所述第三子电极和所述第四子电极对称设置在所述第四光波导的两侧。

5.根据权利要求1所述的光调制器,其特征在于,所述第一光波导和所述第三光波导相互靠近设置。

6.根据权利要求1所述的光调制器,其特征在于,所述第一光波导和所述第三光波导相互远离设置。

7.根据权利要求1所述的光调制器,其特征在于,所述光波导衬底为铌酸锂衬底。

8.根据权利要求1所述的光调制器,其特征在于,还包括壳体,所述调制芯片封装在所述壳体内,所述壳体上设置有第一光波导端口和第二光波导端口,所述第一光波导端口用于输入信号光,所述第二光波导端口用于输出经所述调制芯片调制后的信号光。

9.一种光调制系统,其特征在于,包括激光器、第一光电探测器、第二光电探测器及权利要求1-8中任一项所述的光调制器,所述第一光电探测器与所述第二光电探测器均与所述光调制器耦合;

所述激光器产生的信号光传输至所述光调制器、被分束为第一信号光和第二信号光,所述第一信号光经第一马赫-曾德尔干涉仪及第一调制信号处理后形成第一干涉信号,所述第二信号光经第二马赫-曾德尔干涉仪及第二调制信号处理后形成第二干涉信号,所述第一干涉信号入射到所述第一光电探测器,所述第二干涉信号入射到所述第二光电探测器。

10.根据权利要求9所述的光调制系统,其特征在于,还包括电合路器,所述电合路器包括第一输入端、第二输入端和输出端,所述第一输入端与所述第一光电探测器的输出端电连接,所述第二输入端与所述第二光电探测器的输出端电连接,所述电合路器用于将所述第一光电探测器输出的第一电信号和所述第二光电探测器输出的第二电信号进行叠加后由所述输出端输出。

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