一种LDI自动除尘装置的制作方法

本实用新型涉及半导体光刻机技术领域，具体是一种LDI自动除尘装置。

背景技术：

PCB板除尘是光刻设备曝光前的重要工序，设备曝光工序前，需要将PCB板表面除尘。如果PCB板表面吸附有灰尘、金属屑、人体皮屑等颗粒物，曝光时会出现曝光不清晰甚至断点现象。

PCB板除尘是光刻过程的技术难题，传统PCB板除尘是人工用粘尘滚轮在PCB板上来回滚动达到除尘目的，此过程大概需要10～20秒，且此过程不可提前于曝光前太久，否则PCB板曝光前可能再次吸附灰尘，因此会大大影响工作效率，不利于PCB板曝光产能的提高。曝光过程中，PCB板吸附在曝光平台上在X、Y两个方向前后左右移动，此过程中也有再次吸附灰尘颗粒的可能，因此会增加产品不良率。因此，PCB板除尘，同时提高产能、降低不良率，便是摆在光刻机面前的难题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种LDI自动除尘装置，以解决PCB板曝光前的除尘问题，从而提高产能、降低不良率。

本实用新型的技术方案为：

一种LDI自动除尘装置，包括设置在曝光机头组后方的吹尘组件和设置在曝光机头组前方的吸尘组件；所述吹尘组件主要由吹尘气嘴和与所述吹尘气嘴连接的压缩空气源组成；所述吸尘组件主要由固定在机台上且具有一个出气孔和若干个进气孔的集成管、与所述集成管的出气孔连接的工业吸尘器、与所述集成管平行设置且通过连接杆固定连接的固定杆以及底端带有吸尘头且顶端穿过所述固定杆与所述集成管的进气孔一一对应连接的若干根吸尘管组成。

所述的LDI自动除尘装置，所述吹尘气嘴与压缩空气源通过气管连接。

所述的LDI自动除尘装置，所述集成管的出气孔与工业吸尘器通过真空管连接。

所述的LDI自动除尘装置，所述吸尘管的顶端与集成管的进气孔螺纹连接。

所述的LDI自动除尘装置，所述吸尘管通过顶丝固定在固定杆上。

所述的LDI自动除尘装置，所述吸尘头采用硅胶吸尘头。

本实用新型的有益效果为：

由上述技术方案可知，本实用新型结构简单、设计合理，能够将PCB板的除尘工艺由曝光前延伸到曝光过程中，有效解决了PCB板曝光前以及曝光过程中的除尘问题，提高了LDI设备的曝光产能，降低了产品不良率且无耗材。

附图说明

图1是本实用新型安装在机台的侧视图；

图2是本实用新型的吸尘组件的三维立体视图；

图3是本实用新型的吸尘组件的剖面视图；

图4是本实用新型的吸尘组件安装在机台上的三维立体视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例进一步说明本实用新型。

如图1～图4所示，一种LDI自动除尘装置，包括吹尘组件和吸尘组件，吹尘组件安装在曝光机头组04的后方，吸尘组件安装在曝光机头组的前方。吹尘组件结构简单，一个吹尘气嘴11通过气管连接到洁净的压缩空气源，使用电磁阀控制压缩空气源的通断。吸尘组件包括集成管21、吸尘管22、吸尘头23、固定杆24、连接杆25、真空管26和工业吸尘器27。集成管21固定在机台01上，具有一个出气孔和若干个进气孔，集成管21的出气孔通过真空管26与工业吸尘器27连接。吸尘管22有七根，相应的，吸尘头23也有七个。吸尘头23安装在吸尘管22的底端，吸尘管22的顶端穿过固定杆24与集成管21的进气孔一一对应螺纹连接。吸尘管22通过顶丝固定在固定杆24上。固定杆24与集成管21平行设置，通过两个连接杆25固定连接。吸尘头23采用硅胶吸尘头。采用工业吸尘器27吸尘，无耗材。集成管21直接连接于机台01上，吸尘组件不随PCB板03的曝光平台运动。

本实用新型的工作原理：

PCB板03放置于X-Y轴平台02上，曝光开始的同时，工业吸尘器27启动，X-Y轴平台02带动PCB板03向前运动，PCB板03经过紧靠曝光机头组04设置的吸尘组件除尘后即刻进入曝光区域05，避免曝光前再次吸附灰尘颗粒。曝光一路结束后，X-Y轴平台02带动PCB板03向后运动退回起点，随后X-Y轴平台02带动PCB板03向右运动，开始第二路曝光。第二路曝光开始，X-Y轴平台02带动PCB板03再次向前运动，PCB板03再次经过吸尘组件除尘，即使第一路曝光后PCB板03再次吸附灰尘颗粒，第二路曝光时吸尘组件也可再次除尘，避免曝光过程中的灰尘污染。在曝光的过程中，吹尘组件中的吹尘气嘴11对准曝光区域05，将正处于曝光区域05的PCB板03上的粘尘吹起，吸尘组件将粘尘吸走，吸尘组件一直工作，而吹尘组件在曝光过程中动作，配合使用，确保曝光区域无粘尘影响PCB板03的生产良率。

以上所述实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。