一种实现非对称传输的单层金纳米结构及其制备方法与流程

文档序号:11229295阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明实现非对称传输的单层金纳米结构及其制备方法,该结构通过准备基底、涂光刻胶、涂胶后烘干、电子束曝光结构图形、显影、定影、定影后烘干、镀金、剥离光刻胶、吹干十个步骤制备;本发明的结构简单,其结构的连通性可以增强光和金属微纳结构的耦合,实现光的非对称透射特性;且通过将该结构的第一竖体与第三竖体的长度设置不相等,会比第一竖体与第三竖体长度相等时多出两个共振模式,可以实现多个频段的调控;并且产生两个相对较大的非对称传输效应;另外,本发明的制备方法曝光结构图形过程中,电子束是对结构的图形部分进行刻蚀,节省了结构图形的曝光时间,提高了制备效率。

技术研发人员:张中月;白瑜;王明艳;吐达洪·阿巴;陈语嫣
受保护的技术使用者:陕西师范大学
技术研发日:2017.04.06
技术公布日:2017.09.08
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