技术特征：
技术总结
本发明提供一种可使放射线感度与所谓的PCD裕度、PED裕度特性并存的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。所述感放射线性树脂组合物，包含：聚合体成分(A)，在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)(其中，源自芳香族不饱和羧酸及含羟基氟化烷基的单体的结构单元除外)；感放射线性化合物(B)；以及有机溶媒(G)。
技术研发人员：成子朗人;浅冈高英;松本晃幸;工藤和生
受保护的技术使用者：JSR株式会社
技术研发日：2018.09.20
技术公布日：2019.04.05