一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置的制作方法

本发明涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置。

背景技术：

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，光刻的意思是用光来制作一个图形，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程。

现有技术中，光刻机体积庞大，移动困难，需要移动的时候需要额外的吊装机器或者大量人工，非常不方便，而且现有的光刻机的物料传送装置的结构过于简单，功能单一，因此，我们提出了一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置来解决上述问题。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种转盘式双面光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体的下端固定连接有多个行走机构，所述光刻机本体的下方设有多个支撑机构，所述光刻机本体侧壁上固定连接有斜杆，所述斜杆的上端固定连接有物料传送装置。

优选地，所述行走机构包括固定连接在光刻机本体下端的行走腿，所述行走腿的下端设有转动槽，所述转动槽的内壁上固定连接有转轴，所述转轴上转动连接有连接板，所述连接板位于转动槽外的一端转动连接有万向轮，所述转动槽的槽口朝向行走腿外侧以及下方。

优选地，所述支撑机构包括固定连接在两个行走腿之间的固定杆，所述固定杆上固定连接有固定座，所述固定座的下端设有滑槽，所述滑槽内的两侧内壁分别贯穿固定座的侧壁，所述滑槽内滑动设有连接杆，所述连接杆的侧壁上固定连接有两个支撑杆，两个所述支撑杆的下端均固定连接有支撑垫，所述连接杆的侧壁上贯穿设有限位槽，所述固定座的侧壁上贯穿设有两个限位孔，其中一个所述限位孔内贯穿设有第一限位销且第一限位销的尾端贯穿延伸至限位槽内。

优选地，所述物料传送装置包括固定连接在斜杆上端的传送平台，所述传送平台上设有多个传送辊，所述传送平台上固定连接有两个装置座，其中一个所述装置座的上端固定连接有驱动机构，另外一个所述装置座上设有导向机构，两个所述装置座之间共同设有清洁机构。

优选地，所述驱动机构包括固定连接在装置座上端的电机，所述电机的输出轴末端固定连接有转动杆，该装置座上贯穿设有凹槽与转动槽，所述凹槽位于转动槽的上方且与凹槽相连通，所述转动槽的内底部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的上端与转动杆的侧壁均固定连接有第一锥齿轮，两个所述第一锥齿轮相互啮合。

优选地，所述导向机构包括贯穿设在该装置座上的导向槽，所述导向槽的内壁上固定连接有导向杆。

优选地，所述清洁机构包括设在两个装置座之间的压板，所述压板上转动连接有竖杆，所述竖杆的上端与转动杆的尾端均固定连接有第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮可相互啮合，所述竖杆位于压板下方的一端固定连接有清洁板，所述压板的上端固定连接有两个直杆，两个所述直杆上共同固定连接有导向套，所述导向套套设在竖杆上，所述压板的两端分别固定连接有螺纹连接杆与滑动连接杆，所述转动槽的内壁上贯穿设有移动槽，所述螺纹连接杆贯穿移动槽且与螺纹杆螺纹连接，所述滑动连接杆滑动套设在导向杆上。

本发明具有以下有益效果；

1、通过设置行走机构与支撑机构相互配合，方便光刻机随时进行移动与放置，省去了额外的吊装机器，经济效益高；

2、通过设置物料传送装置、驱动机构、导向机构与清洁机构相互配合，可以在传送平台上设置用来清洁物料的装置对物料进行初步清洁，提高了光刻机的工作效率。

附图说明

图1为本发明提出的一种转盘式双面光刻机的结构示意图；

图2为本发明提出的一种转盘式双面光刻机的支撑机构结构示意图；

图3为本发明提出的一种转盘式双面光刻机的行走机构结构示意图；

图4为本发明提出的一种转盘式双面光刻机的物料传送装置的俯视示意图；

图5为本发明提出的一种转盘式双面光刻机的物料传送装置上的清洗机构结构示意图。

图中：1光刻机本体、2行走腿、3连接板、4万向轮、5支撑杆、6连接杆、7固定座、8限位孔、9支撑垫、10第一限位销、11固定杆、12第二限位销、13斜杆、14装置座、15传送辊、16传送平台、17电机、18第一锥齿轮、19压板、20转动杆、21第二锥齿轮、22螺纹杆、23螺纹连接杆、24直杆、25竖杆、26导向套、27清洁板、28导向杆、29滑动连接杆、30限位槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

参照图1-3，一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，包括光刻机本体1，光刻机本体1的下端固定连接有多个行走机构，行走机构包括固定连接在光刻机本体1下端的行走腿2，行走腿2的下端设有转动槽，转动槽的内壁上固定连接有转轴，转轴上转动连接有连接板3，连接板3位于转动槽外的一端转动连接有万向轮4，转动槽的槽口朝向行走腿2外侧以及下方。

其中，光刻机本体1的下方设有多个支撑机构，支撑机构包括固定连接在两个行走腿2之间的固定杆11，固定杆11上固定连接有固定座7，固定座7的下端设有滑槽，滑槽内的两侧内壁分别贯穿固定座7的侧壁，滑槽内滑动设有连接杆6，连接杆6的侧壁上固定连接有两个支撑杆5，两个支撑杆5的下端均固定连接有支撑垫9，连接杆6的侧壁上贯穿设有限位槽30，固定座7的侧壁上贯穿设有两个限位孔8，其中一个限位孔8内贯穿设有第一限位销10且第一限位销10的尾端贯穿延伸至限位槽30内。

光刻机本体1侧壁上固定连接有斜杆13，斜杆13的上端固定连接有物料传送装置。

参照图4-5，一种转盘式双面光刻机的物料传送装置，包括固定连接在斜杆13上端的传送平台16，传送平台16上设有多个传送辊15，传送平台16上固定连接有两个装置座14，其中一个装置座14的上端固定连接有驱动机构，驱动机构包括固定连接在装置座14上端的电机17，电机17的输出轴末端固定连接有转动杆20，该装置座14上贯穿设有凹槽与转动槽，凹槽位于转动槽的上方且与凹槽相连通，转动槽的内底部转动连接有螺纹杆22，螺纹杆22的上端与转动杆20的侧壁均固定连接有第一锥齿轮18，两个第一锥齿轮18相互啮合。

具体地，另外一个装置座14上设有导向机构，导向机构包括贯穿设在该装置座14上的导向槽，导向槽的内壁上固定连接有导向杆28。

具体地，两个装置座14之间共同设有清洁机构，清洁机构包括设在两个装置座14之间的压板19，压板19上转动连接有竖杆25，竖杆25的上端与转动杆20的尾端均固定连接有第二锥齿轮21，两个第二锥齿轮21可相互啮合，竖杆25位于压板19下方的一端固定连接有清洁板27，压板19的上端固定连接有两个直杆24，两个直杆24上共同固定连接有导向套26，导向套26套设在竖杆25上，压板19的两端分别固定连接有螺纹连接杆23与滑动连接杆29，转动槽的内壁上贯穿设有移动槽，螺纹连接杆23贯穿移动槽且与螺纹杆22螺纹连接，滑动连接杆29滑动套设在导向杆28上。

本发明中，光刻机本体1需要移动的时候，在各个行走腿2上转动各个连接板3，让各个万向轮4着地，插入第二限位销12到行走腿2的侧壁对连接板3限位，然后再拔出各个第一限位销10，将各个连接杆6往上提拉，再插入各个第一限位销10到对应固定座7上位于上方的限位孔8内，重新对各个连接杆6限位即可仅让各个万向轮4着地，方便移动光刻机本体1。

输送物料的时候，多个传送辊15带着物料在传送平台16上运动，物料运动到清洁板27下方时，停止移动，通过现有技术中的启动器启动电机17，电机17的输出轴末端带动第一锥齿轮18与第二锥齿轮21同步转动，第一锥齿轮18带着另外一个第一锥齿轮18转动，该第一锥齿轮18带着螺纹杆22转动，螺纹杆22转动带着螺纹连接杆23往下运动，从而让清洁板27抵住物料，此时第二锥齿轮21正好与另外一个第二锥齿轮21相互啮合从而带动竖杆25转动则带动清洁板27转动，对物料表面进行清洁。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。