一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置的制作方法

文档序号:23068400发布日期:2020-11-25 17:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种转盘式双面光刻机,包括光刻机本体(1),其特征在于,所述光刻机本体(1)的下端固定连接有多个行走机构,所述光刻机本体(1)的下方设有多个支撑机构,所述光刻机本体(1)侧壁上固定连接有斜杆(13),所述斜杆(13)的上端固定连接有物料传送装置。

2.根据权利要求1所述的一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置,其特征在于,所述行走机构包括固定连接在光刻机本体(1)下端的行走腿(2),所述行走腿(2)的下端设有转动槽,所述转动槽的内壁上固定连接有转轴,所述转轴上转动连接有连接板(3),所述连接板(3)位于转动槽外的一端转动连接有万向轮(4),所述转动槽的槽口朝向行走腿(2)外侧以及下方。

3.根据权利要求2所述的一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置,其特征在于,所述支撑机构包括固定连接在两个行走腿(2)之间的固定杆(11),所述固定杆(11)上固定连接有固定座(7),所述固定座(7)的下端设有滑槽,所述滑槽内的两侧内壁分别贯穿固定座(7)的侧壁,所述滑槽内滑动设有连接杆(6),所述连接杆(6)的侧壁上固定连接有两个支撑杆(5),两个所述支撑杆(5)的下端均固定连接有支撑垫(9),所述连接杆(6)的侧壁上贯穿设有限位槽(30),所述固定座(7)的侧壁上贯穿设有两个限位孔(8),其中一个所述限位孔(8)内贯穿设有第一限位销(10)且第一限位销(10)的尾端贯穿延伸至限位槽(30)内。

4.一种转盘式双面光刻机的物料传送装置,包括权利要求1中所述的物料传送装置,其特征在于,所述物料传送装置包括固定连接在斜杆(13)上端的传送平台(16),所述传送平台(16)上设有多个传送辊(15),所述传送平台(16)上固定连接有两个装置座(14),其中一个所述装置座(14)的上端固定连接有驱动机构,另外一个所述装置座(14)上设有导向机构,两个所述装置座(14)之间共同设有清洁机构。

5.根据权利要求4所述的一种转盘式双面光刻机的物料传送装置,其特征在于,所述驱动机构包括固定连接在装置座(14)上端的电机(17),所述电机(17)的输出轴末端固定连接有转动杆(20),该装置座(14)上贯穿设有凹槽与转动槽,所述凹槽位于转动槽的上方且与凹槽相连通,所述转动槽的内底部转动连接有螺纹杆(22),所述螺纹杆(22)的上端与转动杆(20)的侧壁均固定连接有第一锥齿轮(18),两个所述第一锥齿轮(18)相互啮合。

6.根据权利要求5所述的一种转盘式双面光刻机的物料传送装置,其特征在于,所述导向机构包括贯穿设在该装置座(14)上的导向槽,所述导向槽的内壁上固定连接有导向杆(28)。

7.根据权利要求6所述的一种转盘式双面光刻机的物料传送装置,其特征在于,所述清洁机构包括设在两个装置座(14)之间的压板(19),所述压板(19)上转动连接有竖杆(25),所述竖杆(25)的上端与转动杆(20)的尾端均固定连接有第二锥齿轮(21),两个所述第二锥齿轮(21)可相互啮合,所述竖杆(25)位于压板(19)下方的一端固定连接有清洁板(27),所述压板(19)的上端固定连接有两个直杆(24),两个所述直杆(24)上共同固定连接有导向套(26),所述导向套(26)套设在竖杆(25)上,所述压板(19)的两端分别固定连接有螺纹连接杆(23)与滑动连接杆(29),所述转动槽的内壁上贯穿设有移动槽,所述螺纹连接杆(23)贯穿移动槽且与螺纹杆(22)螺纹连接,所述滑动连接杆(29)滑动套设在导向杆(28)上。


技术总结
本发明公开了一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置,包括光刻机本体,所述光刻机本体的下端固定连接有多个行走机构,所述光刻机本体的下方设有多个支撑机构,所述光刻机本体侧壁上固定连接有斜杆,所述斜杆的上端固定连接有物料传送装置。本发明结构设计合理,具有方便移动与放置光刻机以及可以事先清洁物料,提高光刻机工作效率的好处。

技术研发人员:王群
受保护的技术使用者:江苏九迪激光装备科技有限公司
技术研发日:2020.09.01
技术公布日:2020.11.24
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1