一种掩模版存储定位装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种掩模版存储定位装置，包括版盒和与版盒相匹配的版盒盖，其中，所述版盒包括第一定位件组和导向件组，所述版盒盖中设置有与所述第一定位件组配合的第二定位件组，所述第一定位件组与第二定位件组共同配合形成横向和上下限位的限位槽，所述导向件组包括若干个用于纵向限位的导向件。本实用新型采用第一定位件组与第二定位件组通过限位槽将掩模版夹持固定在中间，实现对掩模版的六个空间方位的限位。掩模版在版盒内可以稳固可靠的定位和存储，盖上版盒盖后，操作人员取放掩模版的过程中，掩模版不会晃动，降低了取放本实用新型的掩模版存储定位装置的操作难度。
【专利说明】
一种掩模版存储定位装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种掩模版存储定位装置，用于光刻机中掩模版的定位存储及安全交接，属于光刻技术设备领域。
【背景技术】
[0002]微电子技术的发展促进了计算机技术、通信技术和其它电子信息技术的更新换代，在信息产业革命中起着重要的先导和基础作用，光刻机是微电子器件制造业中不可或缺的工具。在光刻机中，掩模版的传输是必不可少的一道程序，在掩模传输过程中掩模版在掩模存储装置中的定位方式各有不同，但目的都是为了使掩模版在版盒内能够安全准确地进行定位和交接，并且在交接过程中不出现掩模版撞坏现象等安全性问题。
[0003]为了保证掩模版在掩模存储装置内安全准确地定位及存储的问题，通常在与掩模版接触的表面使用洁净材料。对于掩模版在掩模存储装置内X、Y、Z向的定位，一般是增加定位件，在移动掩模存储装置时，掩模版容易出现移动，使得掩模版的交接精度变差，同时由于掩模版的位置发生变化，有可能使得机械手版叉在取放掩模版时撞到掩模版，这种硬碰硬的接触，容易使掩模版发生破裂。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种安全、准确的定位存储和交接的掩模版存储定位装置。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案予以实现:一种掩模版存储定位装置，包括版盒和与版盒相匹配的版盒盖，其中，所述版盒包括第一定位件组和导向件组，所述版盒盖中设置有与所述第一定位件组配合的第二定位件组，所述第一定位件组与第二定位件组共同配合形成横向和上下限位的限位槽，所述导向件组包括若干个用于纵向限位的导向件。
[0006]优选的，所述第一定位件组包括下台阶体和下凸台，所述下台阶体具有高低两个台阶，所述下凸台的高度与下台阶体的低台阶的高度相同。
[0007]优选的，所述第二定位件组包括与所述下台阶体相配合的上凸台，与所述下凸台相配合的上台阶体。
[0008]优选的，所述上台阶体具有高低两个台阶，所述上凸台的高度与上台阶体的低台阶的高度相同。
[0009]优选的，所述下台阶体和上凸台配合、所述下凸台和上台阶体配合，共同形成所述限位槽。
[0010]优选的，所述下凸台上表面具有一个凸起，所述凸起和下台阶体的高台阶分别对掩模版的横向两端限位。
[0011]优选的，所述凸起的高度低于所述下台阶体的高台阶的高度。
[0012]优选的，所述导向件上开设有导向槽，所述导向槽贯穿所述导向件。
[0013]优选的，所述导向槽底部向版盒内侧设有开口，所述开口上部形成下垂板，所述下垂板用于纵向限位。
[0014]优选的，所述凸起上表面与所述下凸台上表面的高度差小于所述下垂板底部与机械手版叉的沟槽底部的高度差。
[0015]优选的，所述下台阶体中两台阶的高度差小于所述下垂板底部与机械手版叉的沟槽底部的高度差。
[0016]优选的，掩模版与所述下垂板的间距大于或等于机械手版叉支杆与所述下垂板内壁的间距。
[0017]与现有技术相比，本实用新型采用第一定位件组限制掩模版横向方向的移动，导向件组限制掩模版纵向方向的移动，第二定位件组限制掩模版上下方向的移动，第一定位件组与第二定位件组通过限位槽将掩模版夹持固定在中间，实现对掩模版的六个空间方位的限位。掩模版在版盒内可以稳固可靠的定位和存储，盖上版盒盖后，操作人员取放掩模版的过程中，掩模版不会晃动，降低了取放本实用新型的掩模版存储定位装置的操作难度。
【附图说明】
[0018]图1是本实用新型掩模版存储定位装置中版盒的结构示意图；
[0019]图2是本实用新型掩模版存储定位装置中版盒盖的结构示意图；
[0020]图3是本实用新型掩模版存储定位装置中版盒和版盒盖的结构示意图；
[0021 ]图4是本实用新型掩模版存储定位装置中版盒和版盒盖的剖面示意图；
[0022]图5是本实用新型掩模版存储定位装置中版盒和版盒盖的剖面示意图；
[0023]图6是本实用新型掩模版存储定位装置中机械手版叉的结构示意图；
[0024]图7是本实用新型掩模版存储定位装置中机械手版叉进入版盒的结构示意图；
[0025]图8是本实用新型掩模版存储定位装置中机械手版叉与版盒交接的剖面示意图；
[0026]图9是本实用新型掩模版存储定位装置中机械手版叉与版盒交接的剖面示意图；
[0027]图10是本实用新型掩模版存储定位装置中机械手版叉与版盒交接的结构示意图；
[0028]图11是本实用新型掩模版存储定位装置中掩模版在版盒上的剖面示意图；
[0029]图12是本实用新型掩模版存储定位装置中图11所示A的局部剖面示意图；
[0030]图13是本实用新型掩模版存储定位装置中掩模版在版盒上交接的局部示意图。[0031 ]图中:10是版盒、101是下凸台、102是下台阶体、103是导向件、104是版盒底部、105是版盒承载面、106是凸起、20是版盒盖、201是上台阶体、202是上凸台、30是掩模版、40是机械手版叉、401是支杆、402是版叉承载面、403是导向棒、404是推板机构。
【具体实施方式】
[0032]下面结合附图对本实用新型作详细描述:
[0033]如图1至图5所示，本实用新型的掩模版存储定位装置，包括版盒10和与版盒10相匹配的版盒盖20，其中，所述版盒10包括第一定位件组和导向件组，所述版盒盖20中设置有与所述第一定位件组配合的第二定位件组，所述第一定位件组与第二定位件组共同配合形成横向和上下限位的限位槽，所述导向件组包括若干个用于纵向限位的导向件103。本实用新型通过版盒10上的第一定位件组与版盒盖20上的第二定位件组构成限位槽，将掩模版30夹持固定在限位槽中，限定其在横向和上下方向的移动，同时与导向件103配合，实现掩模版30六个空间方位的限位。所述掩模版30在版盒10内可以稳固可靠的定位和存储，盖上版盒盖20后，操作人员取放掩模版30的过程中，掩模版30不会晃动，降低了取放本实用新型的掩模版存储定位装置的操作难度。
[0034]具体地，所述第一定位件组包括位于版盒底部104上的下台阶体102和下凸台101，所述下台阶体102具有高低两个台阶，所述下凸台101的高度与下台阶体102的低台阶的高度相同。所述第二定位件组包括与所述下台阶体102相配合的上凸台202，与所述下凸台101相配合的上台阶体201。所述上台阶体201具有高低两个台阶，所述上凸台202的高度与上台阶体201的低台阶的高度相同。所述下凸台101上表面具有一个凸起106，所述凸起106和下台阶体102的高台阶分别对掩模版30的横向两端进行限位。所述凸起106的高度低于所述下台阶体102的高台阶的高度。
[0035]参照图6，在实际操作中，将待存储的掩模版30通过机械手版叉40传送到版盒10位置处，将掩模版30放置在版盒10的第一定位件组中下凸台101和下台阶体102低台阶的承载面105上，使掩模版30被限位在下凸台101的凸起106和下台阶体102的高台阶以及导向件103之间，即对掩模版30进行水平方向四个方位的限位。放置完成后，机械手版叉40退出。将版盒盖20对准版盒10进行合盖，使得版盒盖20内的第二定位件组与版盒10内的第一定位件组相配合以限制掩模版30在存储中发生上下移动。整个定位存储过程结束。此时，掩模版30在版盒10内可以稳固可靠的定位和存储，盖上版盒盖20后，操作人员取放掩模版30的过程中，掩模版30不会晃动，降低了取放本实用新型的掩模版存储定位装置的操作难度。
[0036]如图6所示，为与本实用新型配合使用的机械手版叉40，包括版叉主体、导向棒403、版叉承载面402、支杆401及推板机构404，所述导向棒403和所述支杆401—端固定连接在版叉主体上，所述版叉承载面402连接在所述支杆401上，所述支杆401通过所述导向槽进入版盒10，所述推板机构404位于所述版叉主体上。所述支杆401为2个。所述版叉承载面402具有凹陷台阶，所述凹陷台阶容纳掩模版30。参照图7至图12，所述导向件103沿与导向件103相同方向开设有导向槽，所述导向槽贯穿所述导向件103。所述导向槽底部向版盒10内侧设有开口，所述开口上部形成下垂板，所述下垂板用于纵向限位。所述下台阶体102中两台阶的高度差小于所述下垂板底部与机械手版叉40的沟槽底部的高度差。优选地，所述凸起106与所述下凸台101的高度差小于所述下垂板底部与机械手版叉40的沟槽底部的高度差。
[0037]参照图13所示，与所述装置配合使用的机械手版叉40通过导向槽进入版盒10，SP机械手版叉40的支杆401通过导向槽进入版盒10，掩模版30与所述下垂板的间距大于或等于机械手版叉支杆401与所述下垂板内壁的间距。如图中所示，所述支杆401与所述下垂板内壁的距离CU小于或等于掩模版30与所述下垂板的距离d2，S卩cU <d2。因为掩模版30与所述下垂板的距离大于或等于机械手版叉40的支杆401与所述下垂板内壁的距离，所以在掩模版30交接的过程中，可以保护掩模版30不会与版盒10的导向件103发生碰撞，起到保护掩模版30的作用。
[0038]在实际操作中，掩模版30放置在本装置的版盒10内，将机械手版叉40进行移动，使得机械手版叉40的支杆401对准版盒10的导向槽，并沿着导向槽前进，最终进入版盒10内。观察导向棒403使机械手版叉40行进至合适位置，S卩，使支杆401上的版叉承载面402对准掩模版30，换句话说，使掩模版30的四个角都位于支杆401的凹陷台阶内，此时，四个凹陷台阶可以容置掩模版30。上升支杆401，使得掩模版30离开版盒10的版盒承接面105。因为所述凸起106与所述下凸台101的高度差小于版叉40对应所述下垂板位置的沟槽距离下垂板底部的高度值。所以，当掩模版30高于下凸台101的凸起106时，所述支杆401仍可以沿所述导向槽移动。控制机械手版叉40的推板机构404固定掩模版30，然后沿着导向槽的方向，退出机械手版叉40，支杆401的版叉承载面402会承载着掩模版30—起移出，即完成整个掩模版30的交接过程。
[0039]同样地，在将掩模版30放置到版盒10内时，将载有掩模版30的机械手版叉40进行移动，使得版叉的支杆401对准版盒10的导向槽，并沿着导向槽前进，最终进入版盒10内。将机械手版叉40行进至合适位置，观察导向棒403的位置，使得掩模版30限位在下凸台101的凸起106和下台阶体102的高台阶之间，同时位于两个导向件103的下垂板之间。下降支杆401，使掩模版30放置在版盒10的第一定位件组中下凸台101和下台阶体102低台阶的承载面105上，即限位在下凸台101的凸起106和下台阶体102的高台阶之间以限制其发生横向移动，同时位于两个导向件103的下垂板之间以限制其发生纵向移动。放置完成后，机械手版叉40退出。由于在掩模版30进入侧(即退出侧)的第一定位件组中的下凸台101的凸起106高度较低，对机械手版叉40取出掩模版30的垂向行程要求更短。采用上述结构，使得在进行掩模版30交接过程中，缩短机械手版叉40的垂向行程。
【主权项】
1.一种掩模版存储定位装置，其特征在于，包括版盒和与版盒相匹配的版盒盖，其中，所述版盒包括第一定位件组和导向件组，所述版盒盖中设置有与所述第一定位件组配合的第二定位件组，所述第一定位件组与第二定位件组共同配合形成横向和上下限位的限位槽，所述导向件组包括若干个用于纵向限位的导向件。2.根据权利要求1所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述第一定位件组包括下台阶体和下凸台，所述下台阶体具有高低两个台阶，所述下凸台的高度与下台阶体的低台阶的高度相同。3.根据权利要求2所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述第二定位件组包括与所述下台阶体相配合的上凸台，与所述下凸台相配合的上台阶体。4.根据权利要求3所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述上台阶体具有高低两个台阶，所述上凸台的高度与上台阶体的低台阶的高度相同。5.根据权利要求3所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述下台阶体和上凸台配合、所述下凸台和上台阶体配合，共同形成所述限位槽。6.根据权利要求2所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述下凸台上表面具有一个凸起，所述凸起和下台阶体的高台阶分别对掩模版的横向两端限位。7.根据权利要求6所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述凸起的高度低于所述下台阶体的高台阶的高度。8.根据权利要求6所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述导向件上开设有导向槽，所述导向槽贯穿所述导向件。9.根据权利要求8所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述导向槽底部向版盒内侧设有开口，所述开口上部形成下垂板，所述下垂板用于纵向限位。10.根据权利要求9所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述凸起上表面与所述下凸台上表面的高度差小于所述下垂板底部与机械手版叉的沟槽底部的高度差。11.根据权利要求9所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，所述下台阶体中两台阶的高度差小于所述下垂板底部与机械手版叉的沟槽底部的高度差。12.根据权利要求9所述的掩模版存储定位装置，其特征在于，掩模版与所述下垂板的间距大于或等于机械手版叉支杆与所述下垂板内壁的间距。
【文档编号】G03F9/00GK205450558SQ201521134418
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2015年12月30日
【发明人】刘凯, 胡松立, 姜杰
【申请人】上海微电子装备有限公司