专利名称：以离子化气体流覆盖宽广面积的制作方法
技术领域：
本发明涉及从游离器至大的目标面积的离子化气体流的分配。更特别的，本发明涉及对于不相等地划分离子化气体流的新颖方法，及用于不相等地划分离子化气体流的装置，以提升离子更均匀地传递至大的目标面积。
背景技术：
如本领域中已知的许多游离器，离子发射器在一段时间期间接收正电压且在另ー段时间期间接收负电压。因此，这种发射器产生包括正及负离子两者的双极性电荷载子，且这些电荷载子通过某些或其他形式的歧管被引导向目标。分配气体离子的传统的离子流歧管(例如，见线游离器及日本专利JP20070486682中的离子系统4210)典型地包含具有沿着歧管的长度所分配的多重孔的细长圆柱形管道，以准许离子离开管道。在此装置中，孔的直径通过尺寸设计以在管道中建立遍及压カ(overpressure)且迫使离子化的气体向外通过孔。这些歧管沿着最长的歧管轴相等地划分离子化的气体流，使得粗略相同量的气体通过各孔而脱离。然而，离子化气体流的分配是复杂的物理现象，因为包含三个不同种类的媒介-承载气体、正及负离子。所以，寻求均等地划分离开歧管的气体流的歧管将无法提供离子的相等分配至大的带电荷目标面积。
发明内容
在ー个形式中，本发明通过提供与游离器一起使用的离子传递歧管克服先前技术的上述及其他缺点，该游离器的类型为将非离子化的气体流转变成离子化的气体流。歧管可具有气体传输通道，其具有从游离器接收离子化气体流的入ロ，及将离子化气体流划分成第一及第ニ中和气体流而分别引导向宽广面积目标的第一及第ニ区域的至少第一及第ニ出口。为了达成横跨第一及第ニ区域的至少大致相等的离子分配，通过第一出口的离子流速比通过第二出ロ的离子流速更高，且第一区域与第一出ロ的距离可比第二区域与第二出口的距离更远。进ー步的优点在将离子化气体流传递至目标表面的区域期间通过最小化离子复合而达成。复合是不良的，因其消耗两个带相反电荷(有用的)离子化的气体分子，且产生两个中性(对中和非有用的)气体分子。当带电荷的离子化分子被消耗时，在目标上中和电荷的能力被降低。通过减少复合且通过以某些方式补偿预料到的复合，本发明能够更靠近地在横跨中和电荷目标上达到近似均匀的离子分配。
本发明的歧管可最小化离子化气体流离开歧管的停留时间且引导至离歧管最远的宽广面积的区域。因为离子分配取决于歧管中的停留时间，所以停留时间越低，离子复合发生的情况越少。根据本发明的某些实施例，通过消除死角(dead zones)或反向流(由混乱的气体运动建立)而最小化在传输通道中的停留时间。因此，所发明的歧管被设计成从入ロ更迅速地传输离子通过某些出ロ，从而最小化在这些部份歧管中的停留时间。在某些实施例中，所发明的歧管可使用气体流的动量进行移动通过歧管，以将至少ー个中和气体流推送离开歧管朝向更远的距离。在ー个理想的配置中，从歧管入ロ位于沿着畅通路径的至少ー个出口及进入的离子化气体流的动量被用于将经划分的离子化气体流之一推送通过其孔ロ。在某些实施例中，传输通道的至少一部分可具有弯曲的内部表面，且多个出口可从传输通道的弯曲的内部表面延伸出。此外，至少ー个出口可为至少实质上与穿过信道的内部表面的曲线切向地对齐。所发明的歧管如果与工具及自动应用一起使用可具有小的底面积，且可与高频离子来源相客。·所发明的方法实施例包括传递多个中和气体流至分别的宽广面积中和电荷目标的多个区域的方法。这些方法可包括以下步骤接收以下游方向流动的离子化气体流，将离·子化气体流划分成多个中和气体流，且将多个中性气体流引导向宽广面积目标的分别的多个区域。为了达成横跨宽广面积目标的至少大致相等的离子分配，中和气体流之一的离子流速可比其他中和气体流的离子流速更高，且具有最高离子流速的中和气体流可被引导至宽广面积目标的最远区域。总之，根据本发明的歧管结构及/或分配方法通过依赖一个或多个下列四种方针而改善中和气体流的传递(I)最小化横跨至少一部分的歧管本身的压カ落差，(2)最小化在至少一部分的歧管中的停留时间，(3)相比近的位置，引导更多离子至距离较远的目标位置，因为在距离较远的位置复合损失较大，及/或(4)利用歧管的空气或气体逸入下游以降低离子密度。
图I是具有发射器且被附加至第一优选歧管的直列(in-line)游离器的图；图2示出图I的歧管实施例在歧管入口及通过最大部份的离子化气体流的孔ロ之间提供畅通路径；图3示出使用离子导入管道的另ー个优选实施例，其中靠近歧管入口且与歧管入ロ轴对齐的管道被理想地放置，以捕捉动量且传输离子至距离较远的位置；图4示出ー个优选实施例，其中离子导入管道与喇叭形或大致截锥形的歧管结合使用；图5示出进ー步优选的实施例，其中离子化単元具有离子发射器及參考电极且被并入所发明的歧管中，其中通过缩短发射器及歧管出口孔之间的距离而最小化复合且改善效率；图6示出另ー个优选实施例，其中歧管出口采取小管的形式以引导多个经划分的中和流离开歧管朝向宽广面积目标表面的分别区域；图7示出另ー个优选实施例，其利用至少实质上切向地对齐歧管曲线的出口管道，以通过使得离子流动量能够行进通过短的管道且继续至直线路程而有效率的捕捉动
量;及图8 是图表，其显示ー个优选实施例引导至1400mm乘以400mm的宽广面积目标的放电时间及离子分配(离子化中和覆盖)的結果。
具体实施例方式图I示出具有经证实的性能的歧管I实施例。歧管I传输通道3的入口通过与游离器出ロ 8交合而连接至气体游离器7。将传输通道3的入口与游离器出ロ 8交合的方式可为公至母滑动配合、具螺纹的配合、键入配合(keyed fitted)表面及/或此领域中已知的其他方式的任何ー个或多个。在一个实施例中，离子发射器7E可为具有压尖端的电晕放电电极，其面朝向歧管I的气体传输通道3,且其中电极7E布置在非离子化气体流中，该气体流将通过游离器转变为离子化气体流。离子化气体流可在30-200L/min的范围中，优选为 60-100L/min。在使用中，游离器接收界定下游方向的非离子化气体流(气体进ロ)，且产生离子6，从而形成离子化气体流。通过游离器7所产生的离子6由离子化气体流承载通过离子出ロ 8而至穿过通道3的入口。如所显示，歧管I包括外部表面2及由内部表面所限定的包覆的气体传输通道3，其内部表面在许多图中以虚线表示。在传输通道3中的离子化气体流6向多个出口/孔ロ4流动，其被非均匀地划分成多个中和流。该多个中和流离开孔ロ 4(其可为喷散孔ロ)且沿着箭头5被引导向宽广面积目标，以中和目标(未显示)的分别区域上的电荷。在某些优选实施例中，被包封的气体传输通道3可具有改变的截面面积，其向通道的ー个闭合端减小(即，通道可从ー侧关闭)。以此方式，可増加通道3内部的气体压力且可引导离子流至出口 4。在某些优选实施例中，气体传输通道3可包含具有100秒或更多的电荷松弛时间的介电聚合物，且气体传输通道的内部表面(见虚线)可具有不超过Ra = 32微英寸的表面粗糙度。此类型的传统材料包括具有良好的可塑造性(可处理)、热稳定性、温度抵抗力、化学抵抗力及/或疲乏抵抗力的经加工的热塑性树脂，例如热塑性塑料及热固性聚合物。具有某些或所有这种特性的某些传统聚碳酸酯树脂包括PEEK 、聚碳酸酯(Polycarbonate)、DELRIN 、及ACRYLIC 。此处讨论的所发明的歧管可以此说明书其余部分所组成的任何传统方式形成，包括将其ー个或多个部份进行加工或成型，且将此进行组装在一起(如果以不只ー个部份成型)。图2显示如图I中所显示实质上相同的歧管I。应注意顶端喷散出口 4T放置在出ロ 4T及游离器出口 8(及穿过通道3的入口)之间的通畅的路径9上。直列置放的重要性为流过游离器出ロ 8的离子化气体流的动量继续穿过顶端出ロ /孔ロ 4T。所以，离开孔ロ4T的离子流将比离开中间出口 /孔ロ 4M及较低出口 /孔ロ 4L的离子流更大。出口 4T优选地将中和离子流引导向待中和的带电荷目标的距离最远的区域，因为气体移动通过所保存的动量能够以较少损失传递离子更远的距离。应注意中间孔ロ 4M及较低孔ロ 4L并非沿着路径9放置。来自离子出口 8的大量气体动量在离子流离开中间孔ロ 4M及较低孔ロ 4L之前损失。虽然较少离子通过中间孔4M及较低孔4L离开(与孔4T比较)，出口 4M及4L分别地被引导至中目标及近目标区域。这理想地用于目标表面的均匀离子分配，因为即使较少离子离开中间及较低出ロ 4M及4L，复合将在这些较短距离上破坏较少离子(与孔4T及其相关联的更长距离目标区域比较)。因此，宽广覆盖歧管故意传递非相等量的离子化气体穿过所有孔4T、4M、4L。各出口的截面面积可取决于其标定中和区域的尺寸和与其的位置(距离)。例如，供应离子流至最遥远的目标区域的孔ロ 4T (见畅通路径9)可具有比出口 4M的截面面积更小(提供较高的气体速度及逸入)或相等的截面面积。出口 4M准许离子流至较靠近的目标区域，但该目标具有较大的中和区域(见图2)。出口 4L可具有比出口 4M较小的截面面积，因其位于最靠近目标，且离子流是最低的。此安排实质上补偿固有的非相等离子复合，从而在带电荷目标表面提供实质上均匀的离子电流密度。由于内部压カ的构建，这使得所发明的歧管比平均地分配气体流的歧管更有效率。此外，可通过减少离子的密度且通过減少至目标的运送(行迸)时间而最小化复合。而且，通过最小化离子化气体流与歧管壁的交互作用而减少复合。现转向图3，此处显示使用可选配置的管道歧管，且能够分配离子在6平方英尺的面积而距歧管的出口管道20英寸。如所显示，游离器17传递离子化的气体流通过连接至 所发明的歧管19的离子出口 18。一系列的管道11、12在歧管19内部。尽管本发明并非如 此限制，仍出于简洁而仅显示两个管道11、12。管道11位于靠近游离器出ロ 18的位置，且与游离器出ロ 18的中央轴对齐。靠近的位置及对齐的方式两者均通过歧管19贡献优选的离子流。管道11被引导至距离较远的目标位置。相反地，管道12的开ロ与游离器出ロ 18的距离比管道11更远，且管道12并非与离子出口 18的中央轴对齐。所以，管道12被引导至近的目标位置。在某些实施例中，管道11、12可具有不同的截面面积，且管道11、12优选地以非导体材料制成。此外，歧管19的离开开ロ的截面形状可取决于目标形状，而为椭圆或圆形(或其他几何形状)。图4示出最靠近关于图3的实施例的优选实施例。其差别在于歧管29具有喇叭形或截锥形的形状。此实施例中管道21利用动量及位置以将离子流传输至目标的长距离区域。相反地，管道22接收较少动量且对来自离子出口的主要流倾斜地定位。所以，管道22被引导向目标的短距离区域。图5不出歧管51,其具有离子发射器55及ー个或多个參考电极58、58A并入歧管51本身。參考电极可电气耦接至接地59或耦接至电容电路56，且透过缆线57耦接至控制系统用于控制高电压/高频电源供应器(未显示)。在此配置中，在较靠近歧管出口 54处产生双极性离子化气体。这对歧管中离子复合的发生给予显著的较少时间(与此处所述的各种其他实施例比较)，所以离子的收获被改善。入口埠52作为引进非离子化(且可能经压缩的)气体的导管且作为电缆线及/或连接器53的导管。在图5的优选实施例中，游离器可为具有进行游离的尖端的电晕放电电极，其经定位朝向歧管的气体传输通道，其中电极位于具有真空埠及出口的屏蔽内部，其至少部份地布置于气体传输通道之中。图6示出歧管61，其中出口孔以短管道/小管64T、64M、64L取代。在变型中，短的小管64T、64M、64L以改变的截面面积插入。以这种方式，离子以较大的角度控制分配。流过管道64T的离子流速度比流过管道64M及64L的离子流速度更高。这建立逸入效应将额外容量的周围气体吸引向宽广面积目标以形成多个中和流。额外容量的周围气体稀释了离子化气体流而减少复合损失。离子化气体流可在30-200L/min的范围中，优选的为60-100L/
mirio图7示出具有短管道/小管74T、74M、74L的歧管71，与图6所示出的至少某些出ロ不同，这些管道/小管与歧管的弯曲的内部表面切向对齐，以使用其所在位置的动量线75。如古典物理学中叙述，动量通过施加向心(向内的)力而被限制在圆形路径。在此情况中，通过穿过通道的内部表面的形状而提供向心力。当向心力被释放(由于出口的呈现)，动量继续作为直线动量76。在此图中，出ロ圆柱/小管74T、74M、74L作用为移除向心力，且提供优化的直线动量76朝向宽广面积目标的分别区域。エ业应用通常需要长且窄的面积的电荷中和，而非圆的或方形的。如此领域中已 知，在半导体晶圆生产期间一般遭遇的宽广面积带电荷目标的类型的ー个例子是大致长方形的表面，1400毫米乘以400毫米，位于与歧管相距特定的最短距离。尽管本发明并非如此限制，仍凭经验决定所发明的歧管具有3至5个孔ロ，其每个具有直径介于大约O. 188英寸及O. 125英寸之间的圆形截面面积，特别适合传递实质上均匀的离子电流密度(即，均匀离子分配)在以上即刻所述的一般类型及/或尺寸的宽广面积目标。这些3至5个歧管孔ロ可零散地位于沿着相对应于最远目标面积的直线。如此处所使用，“零散地”ー词可包括出口孔(或孔ロ)不必实质上沿着单一直线对齐。如此处所使用，“出口”ー词可包括孔、孔ロ、倾斜的孔ロ、小管(例如此处所显示且叙述的短的出口管道)、出口圆柱及/或喷散孔ロ。如此处所使用，游离器ー词可包括游离能量的任何来源，且可包括进行游离的电晕电极、核子崩解、及X射线。如此领域已知且如此处所使用，“离子流速”ー词意味着I = U Ne :其中I是离子电流密度[A/m2]、U是气体速度[m/sec]、N是离子浓度[Ι/m3]、且e是离子电荷，其通常等于电子电荷[C]。图8中示出以3孔歧管达成的放电时间(即，电荷中和效率的标准测量)及电压平衡的实验实施例。带电荷的目标面积是平坦的格板，其为1400mm长且400mm宽。结果以显示中央线性能、在左边200mm的性能、及在右边200mm的性能的形式记录。此处所显示的数据如本领域中已知采取标准测试条件。这些包括电气浮动板的测试(优选地具有大约20微微法拉(PF)对接地的电容)，其被充电(以测试离子平衡)且被放电(优选地从1000伏特至100伏特以测试效率)以产生图8的表中的各行中所显示的数据。表的各行中所显示的读取值以重复的测试汇编，其中平坦的格板被移动20公分的距离用于迭代。如图8的表中所显示，本发明的优选实施例能够放电宽广面积目标的任何区域，其为100公分乘以40公分，在大约小于100秒，具有氮气流速大约60L/min且具有电压平衡小于大约10伏特。此处披露的所发明的歧管优选地但不限于与AC电晕游离器相客。例如，基于核子、X射线、场发射或在离子领域原理中任何已知的游离来源也可与所披露的装置及方法一起使用。尽管本发明已与当前考虑为最实际且优选的实施例结合而说明，应了解本发明并非限于所披露的实施例，但g在包括所附权利要求的精神及范围中所包括的各种修改及等同安排。例如，相对于以上说明，应理解对本发明的部份的优化尺寸关系包括尺寸、材料、形状、形式、功能及操作、组件及使用的形式的改变，被视为对本领域技术人员是显而易见的，且对附图中所示出及说明书中所述的所有等同关系通过随附的权利要求包含。所以，以上应认为为对本发明的原理的说明性、非排除性、叙述性描述。
用于说明书及权利要求中代表成份、反应条件等等的量的所有数字或表达，应了解为通过“大约” ー词而在所有情况中可修改。因此，以下说明书及随附权利要求中所述的数值參数为大概，其可取决于所需的特性而改变，该特性为本发明想获得的。而且，应了解此处所列举的任何数值范围意图包括其中納入的所有子范围。例如，“I至10”的范围g在包括介于其中的所有子范围，且包括所列举的最小值I及所列举的最大值10 ;即，具有等于或大于I的最小值及等于或小于10的最大值。因为所披露的数值范围是连续的，所以其包括最小及最大值之间的每个值。除非另外明确指示，在此申请中所表明的各种数值范围是大概的。此处所讨论的本发明的某些优选实施例包括各种数值的值及范围。然而，应了解特定应用至详细讨论的实施例及发明内容及申请专利范围中表明的较广发明概念的特定的值及范围轻易地可调整而适当地用于其他应用/环境/内容。因此，此处所表明的值及范围必须被认为是对本发明的原理作说明性、非排除性、叙述性描述。
各种游离设备及技术被说明在以下美国专利及公开的专利申请中，其整体内容在此处并入作为參考=Suzuki的美国专利案5，847，917，相关申请08/539，321，在1995年10月 4 日申请，在 1998 年 12 月 8 日发证，且名为 “Air Ionizing Apparatus And Method”；Leri的美国专利案6，563，110，相关申请09/563，776，在2000年5月2日申请，在2003年5月13日发证，且名为“ In-Line Gas Ionizer And Method” ；Kotsuji的美国公开案号US2007/0006478，相关申请案案号10/570，085，在2004年8月24日申请，且在2007年I月11日公开，且名为“Ionizer”。
权利要求
1.ー种与游离器一起使用的离子传递歧管，该游离器的类型为将非离子化的气体流转变成离子化的气体流，包含 具有至少ー个入ロ的气体传输通道，该至少ー个入ロ从该游离器接收该离子化的气体流； 至少第一及第ニ出口，其将流过该气体传输通道的该离子化的气体流划分成第一及第ニ中和气体流而引导向宽广面积目标的分别的第一及第ニ区域，其中离开该第一出口的该离子流速比离开该第二出口的该离子流速更高，其中该第一区域与该第一出口的距离比该第二区域与该第二出口的距离更远，且其中到达该第一及第ニ区域的这些离子的分配至少大致相等。
2.如权利要求I的离子传递歧管，其中该游离器与该第一出口的距离比其与该第二出ロ的距离更靠近，由此使得从该游离器流至该第一出ロ的该离子化的气体流的复合损失比从该游离器流至该第二出口的该离子化的气体流的该复合损失更低。
3.如权利要求I的离子传递歧管，其中该歧管进ー步包含外部表面，且至少该外部表面包含PEEK 树脂。
4.如权利要求I的离子传递歧管，进ー步包含交合构件，交合构件用于将该气体传输通道交合至该游离器，该交合构件选自以下构成的群组公至母滑动配合、具螺纹的配合、及键合配合表面。
5.如权利要求I的离子传递歧管，其中该传输通道的至少一部分包括弯曲的内部表面，其中该第一及第ニ出口延伸穿过具有该弯曲的内部表面的该传输通道的该部份，且其中该第一及第ニ出口的至少ー个至少实质上与该穿过通道的该内部表面的该曲线切向地对齐。
6.如权利要求5的离子传递歧管，其中该传输通道具有改变的截面面积及ー个闭合端，且其中该传输通道的该截面面积向该闭合端逐渐減少，由此使得该离子化的气体流的该压カ向该闭合端逐渐增加。
7.如权利要求5的离子传递歧管，其中该第一出口是长距离出口，其经定位使得在该游离器及该第一出口之间存在畅通的路径，且其中该第二出口是近目标出口，其经定位使得在该游离器及该第二出ロ之间不存在畅通的路径，从而使得从该游离器流至该第一出ロ的该离子化的气体流的复合损失比从该游离器流至该第二出口的该离子化的气体流的该复合损失更低。
8.如权利要求I的离子传递歧管，其中该第一及第ニ出口包含小管，且其中该非离子化的气体流包含正电气体。
9.如权利要求I的离子传递歧管，其中该第一及第ニ出口具有截面面积，且其中该第一出口的该截面面积小于或等于该第二出ロ的该截面面积。
10.如权利要求I的离子传递歧管，至少进一歩包含第三出口，其中该第一、第二及第三出口实质上并非沿着单一直线排列，且其中该出口的至少ー个包括倾斜边缘。
11.如权利要求I的离子传递歧管，其中该传输通道包含具有至少100秒的电荷松弛时间的耐高温热塑性通道，且其中该游离器是高频AC游离器，其将该非离子化的气体流转变成一双极性离子化的气体流。
12.如权利要求I的离子传递歧管，其中该气体传输通道的该内部表面具有不超过Ra=32微英寸的表面粗糙度，从而减少流过该传输通道的该离子化的气体流的该停留时间及复合损失。
13.如权利要求I的离子传递歧管，其中该游离器至少部份地布置于该气体传输通道中，由此使得将该非离子化的气体流转变成离子化的气体流发生在该传输通道中，且在该歧管中的该离子化的气体流的复合损失及停留时间被最小化。
14.如权利要求I的离子传递歧管，其中该游离器具有面向该第一出口的进行游离尖端的电晕放电电极，且其中该电极位于具有真空埠及出口的屏蔽内的位置，该屏蔽至少部份地布置在该气体传输通道中。
15.如权利要求I的离子传递歧管，其中该歧管进ー步包含多个管道，且其中该第一出 ロ连接至比任何其他管道更靠近该传输通道入ロ的管道。
16.—种将多个中和气体流传递至宽广面积中和电荷目标的分别的多个区域的方法，其包含以下步骤 接收双极性离子化的气体流； 将该离子化的气体流划分成多个中和气体流；及 将该多个中和气体流引导向该宽广面积目标的分别的多个区域，其中该中和气体流之一的该离子流速比该其他中和气体流的该离子流速更高，其中具有该最高离子流速的该中和气体流被引导至该宽广面积目标的长距离区域，且其中到达该多个区域的该离子的分配至少大致相等。
17.如权利要求16的方法，其中该引导的步骤进一歩包含以下步骤从1000伏特至100伏特，对至少大约100公分乘以40公分的宽广面积目标的任何区域，以小于大约10伏特的电压平衡，放电小于大约100秒。
18.如权利要求16的方法，其中 该划分的步骤进一歩包含以下步骤将该离子化的气体流划分成第一、第二及第三中和气体流，其中该第一中和气体流的该离子流速比该第二中和气体流的该离子流速更高，且该第二中和气体流的该离子流速比该第三中和气体流的该离子流速更高；及 该引导的步骤进一歩包含以下步骤将该第一、第二及第三中和气体流引导向该宽广面积目标的分别的第一、第二及第三区域，其中该第一中和气体流被引导至该宽广面积目标的长距离区域，其中该第二中和气体流被引导至该宽广面积目标的中目标区域，且其中该第三中和气体流被引导至该宽广面积目标的近目标区域。
19.如权利要求16的方法，其中将该离子化的气体流划分成多个中和气体流的步骤包含以下步骤将该离子化的气体流划分成双极性的高速度、中速度及低速度的中和气体流，且其中该高速度中和气体流具有该最高离子流速。
20.一种用于接收非离子化的气体流且用于传递多个中和气体流至宽广面积目标的进行游离的歧管，包含 AC游离器，其具有电晕放电电极用于在该非离子化的气体流中产生双极性电荷载子，从而形成以下游方向流动的离子化的气体流； 气体传输通道，其具有使该离子化的气体流流过的内部，其中该电极至少部份地布置于该传输通道之中； 參考电极，其至少部份地布置在该电晕放电电极的下游；及至少第一及第ニ出口，其将该离子化的气体流划分成离开该传输通道的第一及第ニ中和气体流，其中该第一中和气体流的该离子流速不同于该第二中和气体流的该离子流速。
21.如权利要求20的进行游离的歧管，其中 该第一及第ニ中和气体流被引导向宽广面积目标的分别的第一及第ニ区域， 离开该第一出ロ的该离子流速比离开该第二出ロ的该离子流速更高， 该第一区域与该第一出口的距离比该第二区域与该第二出口的距离更远，及 到达该第一及第ニ区域的该离子的分配至少大致相等。
22.如权利要求20的进行游离的歧管，其中 该传输通道进ー步包含外部表面，该外部表面的至少一部分以具有至少100秒的电荷松弛时间的聚合物形成， 该游离器是高频AC游离器，及 该參考电极布置在以聚合物形成的该外部表面的该部份上。
23.如权利要求20的进行游离的歧管，其中该參考电极被整合至该传输通道中，且其中该非离子化的气体流包含正电气体。
24.如权利要求20的进行游离的歧管，其中该传输通道的至少一部分包括弯曲的内部表面，其中该第一及第ニ出口延伸穿过具有该弯曲的内部表面的该传输通道的该部份，且其中该第一及第ニ出口的至少ー个至少实质上与该穿过通道的该内部表面的该曲线切向地对齐。
25.如权利要求20的进行游离的歧管，其中 该第一出口是长距离出口，其经定位使得在该电极及该第一出ロ之间存在畅通的路径，且 该第二出ロ是近目标出口，其经定位使得在该电极及该第二出ロ之间不存在畅通的路径，由此使得从该电极流至该第一出口的该离子化的气体流的复合损失比从该电极流至该第二出口的该离子化的气体流的该复合损失更低。
26.如权利要求20的进行游离的歧管，其中该第一及第ニ出口具有截面面积，且其中该第一出口的该截面面积小于或等于该第二出口的该截面面积。
27.如权利要求20的进行游离的歧管，其中该电极与该第一出口的距离比其与该第二出口的距离更靠近，由此从该游离器流至该第一出口的该离子化的气体流的复合损失比从该游离器流至该第二出口的该离子化的气体流的该复合损失更低。
28.如权利要求20的进行游离的歧管，其中该传输通道的至少一部分包括弯曲的内部表面，其中该第一及第ニ出口延伸穿过具有该弯曲的内部表面的该传输通道的该部份，且离开该传输通道的该第一及第ニ中和流由于在通过该传输通道的该弯曲的内部表面所建立的切向及向心力，而移向该第一及第ニ区域。
全文摘要
本发明披露一种具有气体传输通道的离子传递歧管，其用于接收离子化的气体流，及多个出口，其将气体流划分成多个中和气体流而引导向分别的多个目标区域。通过使用通过多个出口的不同离子的流速达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。将多个中和流传递至分别的多个目标区域的方法包括以下步骤接收离子化的气体流，将离子化的气体流划分成多个中和流，及将中和流引导向分别的目标区域。通过中和流的离子流速的差异达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。
文档编号H01J3/14GK102668009SQ201080059356
公开日2012年9月12日 申请日期2010年10月26日 优先权日2009年10月26日
发明者彼得·格夫特, 约翰·E·米尼尔, 阿列克谢·克洛奇科夫 申请人:伊利诺斯工具制品有限公司