专利名称：光电倍增管以及放射线检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及具有通过电子的倍增检测入射到受光面板的微弱光的结构的光电倍增管及其制造方法，更详细地讲，本发明涉及利用了这种光电倍增管的放射线检测装置。
这样，为了制造由玻璃制密封容器构成的光电倍增管，用煤气燃烧器把侧管与杆加热熔解气密熔接，另外，由于在碱金属蒸气导入后用煤气燃烧器熔解切断排气管，因此电子倍增部需要防止由于热而受到损伤。为此，需要把从气密熔接部到电子倍增部下部的距离确保为20～30mm左右。这成为阻止光电倍增管小型化的原因之一。
而光电倍增管依据其用途有所不同，但是一般在小型化的情况下优点突出。例如，在用光电倍增管检测由药剂与细菌的反应发生的光的卫生监视装置中，由于使用在餐厅等的细菌检查中，因此最好使用便携式。为此所使用的光电倍增管也需要小型化。另外，如果是小型的光电倍增管，则能够直接搭载在电路基板上，能够进行与电阻或者电容器相同的处理，增大了装置结构上的方便性。
根据这样的要求，近年来，开发使用了金属制侧管的小型的光电倍增管并且使之实用化。如在特开平5-290793号公报或者特开平9-306416号公报中记载的那样，在方柱形的金属制侧管的下端，设置伸出到侧方的凸缘部，在相同的金属制的杆板上也设置伸出到侧方的凸缘部。使侧管的凸缘部与杆板的凸缘部重合，通过进行电阻熔接形成密封容器。由于电阻熔接是在接合的构件上通电，利用所发生的电阻热加热构件，在构件达到适当温度时加入压力进行熔接的方法，因此能够避免伴随着电阻熔接的向电子倍增部的热影响。因此，能够缩短杆板与电子倍增部之间的距离，能够得到缩短了管轴方向长度的小型的光电倍增管。
然而，使用了金属制侧管的小型的光电倍增管由于分别在侧管以及杆板上形成凸缘部，利用电阻熔接形成密封容器，因此电阻熔接所需要的凸缘部在使用光电倍增管方面成为障碍。特别是，在伽玛照相机等中利用光电倍增管时，需要形成密集排列多个光电倍增管的很大的感光区，使凸缘部之间邻接，其结果，具有凸缘的部分成为空闲空间，在追求高性能的检测装置方面存在问题。
为了达到上述目的，本发明提供由受光面板；根据入射到受光面板的光释放电子的光电面；使从光电面释放出的电子倍增的电子倍增部；根据由电子倍增部倍增了的电子发出输出信号的阳极；通过杆梢使电子倍增部以及阳极固定的杆部；包围电子倍增部以及阳极的同时，在一侧的开口端固定杆部，在另一侧的开口端固定受光面板的侧管构成的光电倍增管的制造方法，其特征在于准备金属制侧管和至少固定在金属制侧管的部分用金属制做的杆部，在杆部的最外边缘部不从金属制侧管的外壁面突出到外方的状态下使金属制侧管与杆部进行位置重合，通过激光熔接或者电子束熔接把金属制侧管与杆部的接合部分气密熔接。
在通过对金属制侧管与杆部进行激光熔接或者电子束熔接形成的密封容器的外侧壁面，在根据需要成型了之后，对金属制侧管和杆部进行啮合使得仅出现金属制侧管的外壁面，或者在同样根据需要成型了之后，对金属制侧管和杆部进行啮合使得金属制侧管的外壁面与杆部的至少最外缘部分的一部分露出。
另外，本发明的光电倍增管具有根据入射到受光面板上的光释放电子的光电面，在密封容器内具有使从光电面释放的电子倍增的电子倍增部，具有根据用电子倍增部倍增了的电子发出输出信号的阳极，其特征在于密封容器由通过过杆销使电子倍增部以及阳极固定的杆部，包围电子倍增部以及阳极的同时，在一侧的开口端固定杆部的金属制侧管，固定在侧管的另一侧的开口端的受光面板形成，使侧管的沿着大致管轴方向延伸的下端连接到杆部的上表面上，至少把侧管的沿着大致管轴方向延伸的下端连接的杆部的上表面部分采用金属制，把侧管的外壁面与杆部的边缘面做成同一平面，对侧管与杆部进行熔接。
在该光电倍增管中，在把金属制侧管的外壁面与杆部的边缘面做成同一平面的状态下，熔接固定侧管与杆部的结果，在光电倍增管的下端，没有凸缘那样的突出。从而，虽然难以进行电阻熔接，然而能够缩小光电倍增管的外形尺寸，在并排利用光电倍增管的情况下，也能够使侧管之间靠紧。由此，能够实现通过熔接金属制的杆部与金属制的侧管而组装时的光电倍增管的高密度排列。
也可以在杆部的上表面的边缘端，设置载置侧管下端的落座用切口部。采用了这样结构的情况下，由于在切口部内插入了侧管下端的状态下，能够熔接固定杆部与侧管，因此能够在熔接之前在杆部上使侧管稳定地落座，能够容易地把侧管定位。而且，还能够采用反抗侧管向密封容器内侧弯曲的力的增强结构。
最好使侧管与杆部熔焊，采用熔接方法中的熔焊法，使杆部与侧管接合时，由于与电阻熔接不同，不需要在侧管与杆部的接合部分施加压力，因此在接合部分不发生残余应力，使用过程中在接合部位上难以发生龟裂，能够谋求耐久性的显著提高。
作为具体的溶焊，激光熔接或者电子束熔接比较适宜。激光熔接或者电子束熔接在接合部分发生的热很少。其结果，即使在把杆销接近侧管的情况下，在用于使杆销固定在杆部上的玻璃制的垫片上，也难以发生由热影响产生的裂纹。由此，通过使杆销靠近侧管一侧，能够进行电子倍增部向侧方的扩展，能够加大电子倍增部的电子接收面积。
杆部既可以总体是金属制，也可以由金属制杆板支撑构件与玻璃制杆板构成。在后者的情况下，在金属制杆板支撑构件上连接侧管的沿着大致管轴方向延伸的下端。
本发明还提供具备根据从被检测体发生的放射线的入射发生荧光的闪烁体，排列成使得受光面板与闪烁体相对，输出基于来自闪烁体的萤光的电荷的多个光电倍增管，运算处理来自光电倍增管的输出并且输出被检测体内发出的放射线的位置信息信号的位置运算部的放射线检测装置。在该放射线检测装置内使用的光电倍增管的特征在于具有根据入射到受光面板的光释放电子的光电面，在密封容器内具有使从光电面释放的电子倍增的电子倍增部，根据由电子倍增部倍增了的电子发出输出信号的阳极，其中，密封容器由通过杆销使电子倍增部以及阳极固定的金属制的杆板，包围电子倍增部以及阳极的同时，在一侧的开口端固定杆板的金属制的侧管，固定在侧管另一侧的开口端的受光面板形成，在杆板最外边缘部不从金属制侧管的外壁面突出到外方的状态下，对金属制侧管与杆板部进行熔接。
在该放射线检测装置中利用的光电倍增管中，在使金属制侧管的外壁面与杆板边缘面成为同一平面的状态下，熔接固定侧管与杆板的结果，在光电倍增管的下端没有凸缘那样的突出。从而，虽然难以进行电阻熔接，然而能够缩小光电倍增管的外形尺寸，在并排利用光电倍增管的情况下，能够使侧管之间靠紧。由此，在排列光电倍增管使得受光面板与闪烁体相对的情况下，能够进行光电倍增管的高密度排列。其结果，能够容易地确保形成不感光部分的空闲空间极少的感光区，在提高放射线检测装置的性能方面做出贡献。
第2图是沿着第1图的Ⅱ-Ⅱ线的剖面图。
第3图是第2图的主要部分的放大剖面图。
第4图是示出本发明的光电倍增管的第2实施形态的剖面图。
第5图是第4图的主要部分的放大剖面图。
第6图是示出本发明的光电倍增管的第3实施形态的剖面图。
第7图是第6图的主要部分的放大剖面图。
第8图是示出本发明的光电倍增管的第4实施形态的剖面图。
第9图是第8图的主要部分的放大剖面图。
第10图是示出本发明的光电倍增管的第5实施形态的剖面图。
第11图是第10图的主要部分的放大剖面图。
第12图是示出本发明的光电倍增管的第6实施形态的主要部分的剖面图。
第13图是示出本发明的光电倍增管的第7实施形态的主要部分的剖面图。
第14图是示出本发明的光电倍增管的第8实施形态的主要部分的剖面图。
第15图是示出本发明的光电倍增管的第9实施形态的主要部分的剖面图。
第16图是示出利用了本发明的光电倍增管的放射线检测装置一例的斜视图。
第17图是示出放射线检测装置中利用的检测部的内部结构的侧面图。
第18图是示出矩阵形地排列了第1图的光电倍增管的状态的平面图。
用于实施发明的最佳形态下面，与附图一起详细地说明本发明的光电倍增管的理想实施形态。
第1图是示出本发明第1实施形态的光电倍增管的斜视图，第2图是第1图的剖面图。这些图面所示的光电倍增管1具有大致方柱形状的金属制(例如，科瓦(Kovar)铁镍钴合金制或者不锈钢制)的侧管2，在该侧管2的一侧的开口端2A上熔焊固定着玻璃制的受光面板3，在该受光面板3的内表面上，形成把光变换为电子的光电面3a，该光电面3a通过使碱金属蒸气与预先在受光面板3上蒸镀的锑发生反应而形成。另外，在侧管2的开口端2B上，熔接固定着金属制(例如，科瓦铁镍钴合金金属制或者不锈钢制)的杆板4。这样，由侧管2，受光面板3和杆板4构成密封容器5。
在杆板4的中央固定着金属制的排气管6。该排气管6在光电倍增管1的组装作业结束以后，在用真空泵(未图示)对密封容器5的内部进行排气形成真空状态时使用，同时，还在光电面3a形成时把碱金属蒸气导入到密封容器5内时使用。
在该密封容器5内，以决形设置着层叠类型的电子倍增器7，该电子倍增器7具有层叠了10片板形的倍增管电极8的10级结构的电子倍增部9，电子倍增器7由设置成贯通杆板4的科瓦铁镍钴合金金属制的杆销10支撑在密封容器5内，各个杆销10的前端与各个倍增管电极8电连接。另外，在杆板4中，设置着用于使各个杆销10贯通的销孔4a，在各个销孔4a上，充填着作为科瓦铁镍钴合金制的密封而利用的垫片11，各个杆销10通过垫片11固定在杆板4。另外，杆销10接近杆板4的边缘面4b环形地排列。
进而，在电子倍增器7中，设置着位于电子倍增部9的下方的绝缘基板(未图示)，在该绝缘基板上并排设置着阳极12。另外，在电子倍增器7的最上级，在光电面3a与电子倍增部9之间配置着平板形状的聚束电极板13。在该聚束电极板13上形成多条缝隙形的开口部13a，各个开口部13a成为沿着单一方向直线排列。同样，在电子倍增部9的各个倍增管电极8上，形成着多条与开口部13a相同数目的缝隙形的电子倍增孔8a，使各个电子倍增孔8a沿着单一方向直线排列。
通过使分别沿着级方向排列各个倍增管电极8的各个电子倍增孔8a构成的各个电子倍增路径L与聚束电极板13的各个开口部13a一对一地对应，在电子倍增器7中形成多条直线的通道。另外，设置在电子倍增器7内的各个阳极12设置成一对一地与各个通道对应，通过把各个阳极12分别连接到各个杆销10，通过各个杆销10在外部取出个别的输出。
这样，电子倍增器7具有直线通道。通过连接在未图示的分压电路上的杆销10，在电子倍增部9以及阳极12上供给预定的电压。把光电面3a与聚束电极板13设定为相同的电位，各个倍增管电极8与阳极12从上一级开始顺序地完成高电位的设定。入射到受光面板3的光由光电面3a变换为电子，其电子根据聚束电极板13的电子透镜效应，入射到预定的通道内。在入射了电子的通道中，电子通过倍增管电极8的电子倍增路径L的同时，由各个倍增管电极8进行多级倍增，入射到阳极12。其结果，从各个阳极可以得到每个通道的输出。
其次，说明金属制的杆板4与相同的金属制侧管2的接合方法。
在本发明的第1实施形态中，如第3图所示，首先，使侧管2的沿着大致管轴方向延伸的下端2a连接到杆板4的上表面4c，使侧管2的外壁面2b与杆板4的边缘面4b沿管轴方向成为同一平面。这样，在电子倍增管1的下端没有凸缘那样的突出。在该状态下，对于接合部分F从外侧的正侧面和/或以预定的角度照射激光束，对接合部分F进行激光熔接。
以下，说明关于金属制杆板4与金属制的侧管2的接合的其它实施形态。由于以下说明的各个种实施形态的光电倍增管的基本结构以及外观与第1实施形态的光电倍增管大致相同，因此在与第1实施形态相同或者同等的结构部分上标注相同的符号，并且省略其说明。
第4图以及第5图示出本发明的光电倍增管的第2实施形态。
如第4图以及第5图所示，光电倍增管1A具有金属制的杆板4，在该杆板4的上表面4c的边缘端，形成阶梯形并且形成载置侧管2的下端2a的落座用切口部20a，该切口部20a在杆板4的上表面4c的外周端以矩形的环状遍布全周形成以使其与侧管2的形状一致。另外，如果在切口部20a内嵌入侧管2的下端，则侧管2的外壁面2b与杆板4的边缘面4b沿着管轴方向成为同一平面状态。
采用这样的侧管2的嵌入结构的结果，能够在接合部分F处进行熔接之前使侧管2稳定地落座在杆板4上，能够在杆板4上容易地把侧管2定位。而且，能够作成在熔接后反抗侧管2向密封容器5A的内侧弯曲的力的增强结构。
对于接合部分F，沿着外侧的正侧面以及/或者以预定的角度照射激光束，激光熔接接合部分F。代替激光熔接也可以通过照射电子束进行熔接。在每种情况下，在熔焊时，射束不照射到真空容器5A内，可以避免对内部部件的热影响。这是因为用切口部20a遮挡住了射束的侵入。
第6图以及第7图示出了本发明的光电倍增管的第3实施形态。
在第6图所示的光电倍增管1B中，如果在熔焊时利用激光熔接，则能够减少接合部分中发生的热。其结果，如第7图所示，把金属制的侧管的下端2a嵌入到切口部20a中，使侧管2的外壁面2b与杆板4的边缘面4b成为同一平面的状态下，能够使杆销10接近侧管2。这是因为对于使杆销10固定在杆板4的玻璃制的垫片11，难以发生由热影响引起的裂纹。因此，能够把杆销10靠近侧管2一侧，能够把电子倍增部9的各个倍增管电极8向侧方扩展，增加电子倍增部9的通道数量，能够加大电子倍增部9的有效面积。通过加大电子倍增部9的有效面积，由于从光电面3a释放的光电子不以大角度朝向聚束电极板13，因此能够把电子倍增部9接近光电面3a，能够减小密封容器5B的高度尺寸。通过这样做，构成小型而且有效利用面积大的光电倍增管。
例如，在现有的电阻熔接中，必须把从杆板4的端部到杆销10中心的距离确保为3.5mm左右，但已查明，如果利用激光熔接或电子束熔接，则为1.1mm即可。而且，伴随着电子倍增部9向横方向的扩展，在第4图的光电倍增管1A中从光电面3a到聚束电极板13的距离是7mm，而在第6图的实施形态中能够缩短到2.5mm。如果采用这些射束熔接，则没有从光电倍增管突出的凸缘的同时，还能够缩短高度尺寸。其结果，光电倍增管在向小型化方面得到很大进步。
另外，在使多个光电倍增管密集地排列的情况下，光电倍增管的外形尺寸越小，则有无凸缘对于其排列状态带来的影响越大。例如，侧管2具有25mm方形的外形尺寸的情况下，如果电阻熔接中利用的凸缘以2mm的宽度遍布全周突出，则凸缘对于侧管2的尺寸所占有比例达到接近两成，在密集地并排了多个这样的光电倍增管的情况下，将以相当大的比例发生空闲空间。
第8图以及第9图示出了本发明的光电倍增管的第4实施形态。
如第9图所示，在气密熔接金属制的杆板4与金属制的侧管2时，从侧管2的开口端2B插入杆板4，使侧管2的下端2a的内壁面2c连接到杆板4的边缘面4b，使杆板4的下表面4d与侧管2的下端面2d成为同一平面，使得侧管2的下端面2d不从杆板4突出。因此，在使侧管2的下端2a的外壁面2b沿着大致管轴方向延伸的同时，在光电倍增管1C的下端没有凸缘那样的突出。在该状态下，对于接合部分F，从外侧的正下方照射激光束，对接合部分F进行激光熔接。这样，在光电倍增管1的下端，没有凸缘那样的突出的结果，虽然难以进行电阻熔接，然而能够缩小光电倍增管1的外形尺寸，在并排利用光电倍增管1的情况下，也能够尽可能排除空闲空间，能够使侧管2之间靠紧。因此，在金属制的杆板4与金属制的侧管2接合处采用激光熔接，能够实现光电倍增管1的小型化以及其高密度排列。
第10图以及第11图示出了本发明的光电倍增管的第5实施形态。
如第10图以及第11图所示，在光电倍增管1D中，作为沿着管轴方向延伸的游端形成了侧管2的下端2a。从而，从侧管2的开口端2B插入杆板4，在使杆板4的边缘面4b连接到侧管2的下端2a的内壁面2c的状态下，能够使杆板4向内方滑动。其结果，在把杆板4的底面4d压入到侧管2内的同时，能够根据需要在熔接前简单地调整在杆板4上固定的电子倍增部9的最上级的倍增管电极8与设置在受光面板3上的光电面3a的间隔。另外，第10图所示的光电倍增管1D的侧管2沿着管轴方向延伸，而在考虑了压入杆板4的情况下，也可以是对于开口端2A扩展了开口端2B的形状。
另外，如果在接合部分F进行熔焊时利用激光熔接，则能够减少在接合部分F中发生的热。其结果，与第6图和第7图所示的第3实施形态相同，能够把杆销10靠近侧管2，能够制造与第3实施形态相同尺寸的小型光电倍增管。
第12图示出了本发明的光电倍增管的第6实施形态。
如第12图所示，第6实施形态的光电倍增管1E中，在侧管2的下端2a的内壁面2c上形成可以从外部插入杆板4的外周端的剖面L形的嵌入用切口部30d，该切口部30d在侧管2的内壁面2c上以矩形的环状遍布全周形成以使其与杆板4的外周形状一致。采用这样嵌入结构的结果，能够在熔接接合部分F之前，使侧管2稳定地落座在杆板4上，能够在杆板4上容易地把侧管2定位。而且，通过调整切口部30d的切入量，能够容易地进行固定在杆板4上的电子倍增部9的最上级的倍增管电极8与设置在受光面板3上的光电面3a的间隔设定。
对于接合部分F，照射激光束，对接合部分F进行激光熔接。另外，也有照射电子束的情况。在每种情况下，在熔焊时，射束都不入射到真空容器内，避免对内部部件带来的热影响。这是因为用缺口部分30d遮挡了射束的侵入。
第13图示出了本发明的光电倍增管的第7实施形态。
如第13图所示，第7实施形态的光电倍增管1F中，在侧管2的下端2a的内壁面2c上形成可以从外部插入杆板4的外周端的嵌合用锥形面35d，该锥形面2e在侧管2的内壁面2c上以矩形的环状遍布全周形成以使其与杆板4的锥形边缘面4e一致。采用这样嵌合结构的结果，能够在熔接接合部分F之前，使侧管2稳定落座在杆板4上，能够在杆板4上容易地把侧管2定位。
第14图示出了本发明的光电倍增管的第8实施形态。
第8实施形态的光电倍增管1G中，金属制的杆板支撑构件40内接于侧管2的下端2a内，该杆板支撑构件40支撑玻璃制杆板41。杆板支撑构件40的剖面是大致L形，其水平部40a的平面固定在正方形的玻璃制杆板41的各个侧面上。杆板支撑构件40的铅直部40b与侧管2的内壁面2c接触并且沿着管轴方向延伸，使铅直部40b的下端面40c与侧管2的下端面2d成为同一平面。杆销10贯通了玻璃制杆板41。在第1至第7实施形态中，为了保证杆销10与金属制的杆板4的绝缘性，在用于使杆销10贯通的销孔4a上，充填科瓦铁镍钴合金玻璃制的垫片11，而在本实施形态中，由于使杆销10贯通玻璃制杆板41，因此不需要垫片11。
另外，为了制造本实施刑态的光电倍增管1G，预先在玻璃制杆板41的四方固定杆板支撑构件40，形成杆部4，从侧管2的开口端2B把杆部4插入到内部，在使杆板支撑构件40的铅直部40b连接到侧管2的下端2a的内壁面2c上的状态下，使杆部4向内方滑动。在铅直部40b的下端面40c与侧管2的下端面2d成为同一平面的状态下停止滑动，在该状态下对接合部分F进行激光熔接。
在本实施形态下，通过调整杆板支撑构件40的铅直部40b的长度，能够调整固定在杆部4上的电子倍增部9的最上级的倍增管电极8与设置在受光面板3上的光电面3a的间隔。
第15图示出了本发明的光电倍增管的第9实施形态。
第15图所示的光电倍增管1H与第14图所示的第9实施形态相同，把由杆支撑构件40和玻璃制杆板41构成的杆部4气密熔接在侧管2的下端2a。杆支撑构件40的剖面大致是T形，使侧管2的下端2a连接到水平突起部分40d的上表面上，使侧管2的外壁面2b与沿水平方向延伸的突出部分4d的边缘面40e沿着管轴方向成为同一平面。
预先进行加工使得杆支撑构件40的突出部分4d的突出长度与侧管2的厚度相等，在接合部分F处进行激光熔接之前能够使侧管2稳定地落座在杆部4上，能够容易地进行侧管2的定位。
在上述任一个实施形态中，都构成为在光电倍增管的下端没有凸缘那样的突出。其结果，虽然难以进行现有使用的电阻熔接的杆板4与侧管2的连接，然而能够进行激光熔接的接合，作为其结果能够缩小光电倍增管的外形尺寸。因此，在并排利用光电倍增管的情况下，也能够尽可能地消除空闲空间，能够使侧管2之间靠紧。这样，在金属制的杆板4与金属制的侧管2的接合处采用激光熔接，能够实现光电倍增管的小型化以及其高密度排列。
另外，在通过激光熔接把侧管2熔接固定在杆板4的情况下，与电阻熔接不同，由于不需要在侧管2与杆板4的接合部分F施加压力，因此在接合部分F不发生残余应力，在使用过程中在接合部位也难以发生龟裂，能够谋求耐久性以及气密密封性的显著提高。
在上述实施形态中，为了熔接固定侧管2与杆板4使用了激光熔接，然而代替激光熔接也可以使用电子束熔接。与电阻熔接相比，由于激光熔接或者电子束熔接能够把接合部分F中发生的热抑制到很少，因此在光电倍增管1的组装时，能够极度减少对于配置在密封容器5内的各个结构部件的热影响。
其次，说明在密集排列的状态下利用了本发明的光电倍增管的放射线检测装置的一例。在以下的说明中，为了方便，假设利用
图1所示的光电倍增管1，而使用上述任一个实施形态的光电倍增管也能够构成同样的放射线检测器。
如第16图所示，作为放射线检测装置一例的伽玛照相机50是作为核医学中的诊断装置而开发的。该伽玛照相机50具有由从支撑架49延伸的臂52保持的检测器53，该检测器53配置在用于使患者P躺下的床51的正上方。
在检测器53的框体54内，如第17图所示，收容位于其最下级的准直仪55。该准直仪55与患者P的患部相对。另外，在框体54内，在准直仪55上配置闪烁体56，闪烁体56通过导光器57固定在光电倍增管群A上。该光电倍增管群A并排了多个光电倍增管1，为了通过导光器57使从闪烁体56发出的萤光入射到各个光电倍增管1的受光面板3，各个受光面板3朝向下侧与闪烁体56相对。
利用平板形的准直仪56的情况下，光电倍增管群A矩阵形地高密度排列使得第1图所示的光电倍增管1的侧管2之间靠紧(参照第18图)。光电倍增管群A通过在插座58中插入固定各个光电倍增管1的杆销10实现矩阵排列。另外，在框体54内，设置根据来自各个光电倍增管1的各个杆销10的输出电荷，进行运算处理的位置运算部59，从该位置运算部59输出用于在显示器(未图示)上实现3维监视的X信号，Y信号以及Z信号。这样，从患者P的患部发生的伽玛射线由闪烁体57变换为预定的荧光，在各个光电倍增管1中把该荧光能量变换为电荷，通过由位置运算部59作为位置信息信号输出到外部，能够进行放射线的能量分布的监视，在使用画面的诊断方面加以利用。
作为放射线检测装置一例简单地说明了伽玛照相机50，而作为核医学诊断中利用的放射线检测装置有正电子CT(通常称为PET)，在该装置中当然也能够利用本发明的多个光电倍增管1。产业上的可利用性基于本发明的光电倍增管作为利用特定波长的吸收、反射、偏振，进行各个种物质分析的光分析装置，能够广泛地利用在医疗设备、分析设备、工业用计测设备等中。
权利要求
1．一种光电倍增管的制造方法，该光电倍增管由受光面板(3)、利用入射到上述受光面板(3)上的光来释放电子的光电面(3a)、使从上述光电面(3a)释放的电子倍增的电子倍增部(9)、基于由上述电子倍增部(9)倍增了的电子发出输出信号的阳极(12)、通过杆销(10)使上述电子倍增部(9)和上述阳极(12)固定的杆部(4)、以及包围上述电子倍增部(9)和上述阳极(12)且在一侧的开口端处固定上述杆部(4)而在另一侧的开口端处固定上述受光面板(3)的侧管(2)构成，其特征在于准备金属制侧管以及至少被固定在上述金属制侧管的部分用金属制成的杆部(4)，在上述杆部(4)的最外边缘部不从上述金属制侧管(2)的外壁面突出到外方的状态下，上述金属制侧管(2)与上述杆部(4)进行位置重合，通过激光熔接或者电子束熔接对上述金属制侧管(2)与上述杆部(4)的接合部分(F)进行气密熔接。
2．如权利要求1中所述的光电倍增管的制造方法，其特征在于在通过对上述金属制侧管(2)与上述杆部(4)进行激光熔接或者电子束熔接形成的密封容器的外侧壁面上，对上述金属制侧管(2)与上述杆部(4)进行啮合以便仅出现上述金属制侧管(2)的外壁面。
3．如权利要求1中所述的光电倍增管的制造方法，其特征在于在通过对上述金属制侧管(2)与上述杆部(4)进行激光熔接或者电子束熔接形成的密封容器的外侧壁面上，对上述金属制侧管(2)与上述杆部(4)进行啮合使得上述金属制侧管(2)的外壁面与上述杆部(4)的至少最外边缘部的一部分露出。
4．一种光电倍增管，具有利用入射到受光面板(3)上的光释放电子的光电面(3a)，在密封容器(5)内具有使从上述光电面(3a)释放的电子倍增的电子倍增部(9)，具有基于用上述电子倍增部倍增了的电子发出输出信号的阳极(12)，其特征在于上述密封容器由下述部分形成通过杆销(10)使上述电子倍增部(9)以及上述阳极(12)固定的杆部(4)；包围上述电子倍增部(9)以及上述阳极(12)且在一侧的开口端处固定上述杆部(4)的金属制侧管(2)；以及固定在上述侧管(2)的另一侧的开口端处的上述受光面板(3)，使上述侧管(2)的大致沿管轴方向延伸的下端连接到上述杆部(4)的上表面(4c)上，至少把上述侧管(2)的大致沿管轴方向延伸的下端(2a)连接的上述杆部的上表面(4c)的部分做成金属制的，使上述侧管(2)的外壁面(2b)与上述杆部(4)的边缘面(4b)成为同一平面，对上述侧管(2)与上述杆部(4)进行了熔接。
5．如权利要求4中所述的光电倍增管，其特征在于设置了使上述侧管(2)的上述下端(2a)放置在上述杆部(4)的上述上表面(4c)的边缘端上的落座用切口部(20a,40d)。
6．如权利要求4或5中所述的光电倍增管，其特征在于对上述侧管(2)与上述杆部(4)进行熔接。
7．如权利要求4～6的任一项中所述的光电倍增管，其特征在于上述熔焊是激光熔接或者电子束熔接。
8．如权利要求4～7的任一项中所述的光电倍增管，其特征在于上述杆部(4)的整体是金属制的。
9．如权利要求4～8的任一项中所述的光电倍增管，其特征在于上述杆部(4)由金属制杆板支撑构件(40)与玻璃制杆板(41)构成，上述侧管(2)的大致沿管轴方向延伸的下端与上述金属制杆板支撑构件(40)相接。
10．一种放射线检测装置，该放射线检测装置具备利用从被检测体(P)发生的放射线的入射发出萤光的闪烁体(56)、排列成使受光面板(3)与上述闪烁体(56)相对且使基于来自上述闪烁体(56)的荧光的电荷输出的多个光电倍增管(1)和对来自上述光电倍增管(1)的输出进行运算处理且输出在上述被检测体(P)内发出的放射线的位置信息信号的位置运算部(59)，其特征在于上述光电倍增管(1)中具有利用入射到上述受光面板(3)上的光释放电子的光电面(3a)，在密封容器(5)内具有使从上述光电面(3a)释放的电子倍增的电子倍增部(9)，具有根据由上述电子倍增部(9)倍增了的电子发出输出信号的阳极(12)，上述密封容器(5)由下述部分形成通过杆销(10)使上述电子倍增部(9)以及上述阳极(12)固定的金属制的杆板(4)；包围上述电子倍增部(9)以及上述阳极(12)且在一侧的开口端处固定上述杆板(4)的金属制的侧管(2)；以及固定在上述侧管(2)的另一侧的开口端处的上述受光面板(3)，在上述杆板(4)最外边缘部不从上述金属制侧管(2)的外壁面突出到外方的状态下，对上述金属制的侧管(2)与上述杆部(4)进行了熔接。
全文摘要
为了实现光电倍增管的小型化,在使金属制的侧管2的外壁面2b与杆板4的边缘面4b成为同一平面的状态下,熔接固定侧管2与杆板4,在光电倍增管1的下端没有凸缘那样的突出。从而,虽然难以进行电阻熔接,然而能够缩小光电倍增管1的外形尺寸,在并排利用光电倍增管的情况下,能够使侧管2之间密切相邻。由此,能够实现通过激光熔接组装了金属制的杆板4与金属制的侧管2的光电倍增管1的高密度排列。
文档编号H01J43/28GK1304543SQ99806917
公开日2001年7月18日 申请日期1999年6月1日 优先权日1998年6月1日
发明者久嶋浩之, 渥美明, 下井英树, 冈田知幸, 伊藤益保 申请人:滨松光子学株式会社