专利名称：一种膜片钳芯片微孔加工方法
技术领域：
本发明涉及激光微孔加工技术领域，具体涉及一种膜片钳芯片微孔加工方法。
背景技术：
膜片钳技术是离子通道研究中的重要技术。经典膜片钳虽然具有技术信息含量大、分辨率高的优点，但是通量低、操作烦琐、实验条件要求高等缺点限制了它在细胞生理和药物发现等研究中的应用。因此膜片钳芯片技术应运而生。膜片钳芯片技术能够进行高通量的电生理测量、自动形成高阻抗封接，并能与光学测量手段相结合，它促进了离子通道和高通量药物筛选的研究。膜片钳芯片技术采用带有微米级孔洞的平面结构代替玻璃微电极(如图1所示)与细胞形成封接，只需将细胞悬液滴在孔洞上，施加一个负压或是一个静电场，将细胞引导到孔洞上，再施加一个负压即可使细胞与芯片间形成高阻抗封接。这样操作更加方便、快捷。并且可将芯片制作为电极阵列对多个细胞同时进行记录。上述膜片嵌芯片的微孔呈漏洞状(如图2所示)，微孔的入口孔径大于出口孔径，微孔入口孔径的范围为2 10 μ m，微孔出口孔径的范围为1 2μπι，这种结构有利于细胞悬液的灌注。目前，已经采用的制作膜片钳芯片的材料有硅、石英晶体或玻璃和有机聚合体。采用基于硅材料基底制作的膜片钳芯片，在打孔实验中存在一系列的问题，难以形成上述漏洞状微孔；利用石英晶体良好的绝缘性质制作的膜片钳芯片，可以用标准的平面加工技术， 得到微米到亚微米级的孔洞，实验中发现这种膜片钳芯片的性能参数很好，但是打出的孔洞的形状总是三角形，使得细胞与芯片间很难形成高阻抗的封接；玻璃和有机聚合体也是很好的绝缘材料，而且还具有透明，方便观察以及可与其他光学检测手段如荧光检测技术相结合的优点，玻璃膜片钳芯片与细胞能较好地形成高阻抗封接。另外，玻璃具有很好的电和机械性质、表面具有亲水性，是比较理想的膜片嵌芯片材料。目前在玻璃上加工微孔的方法通常采用单个离子追踪刻蚀技术，在芯片上加工的孔洞直径可达1 μ m，甚至更小，且孔洞圆润、光滑。但是该方法效率比较低，推广难度较大。 因此如何在玻璃上加工出1 10 μ m孔径的漏洞状微孔是大规模应用膜片钳芯片技术的关键。众所周知，激光打孔加工是激光加工技术的重要组成部分，激光打孔与其他打孔方法相比，最大区别是它具有高速、高精度和高适应性的特点。除此之外，它还具有打孔均勻、热影响区小、加工时无噪声、切缝边缘垂直度好、切边光滑、加工过程容易实现自动化控制等优点，但是目前的激光打孔技术最小加工的孔径在100 μ m左右，且难以打出漏洞状微孔。另外，传统的YAG激光和(X)2激光很难作用于玻璃材料，加工的效果差，而且所加工的玻璃很容易产生裂纹和崩边，不能满足膜片嵌芯片加工的要求。因此如何将激光打孔技术应用到膜片嵌芯片的加工是本发明要解决的关键问题。
发明内容
本发明的目的是针对上述技术问题，提供一种能实现在玻璃上加工微米级孔洞的
3膜片钳芯片微孔加工方法，使其能适用于工业化大规模生产。为实现此目的，本发明所设计的一种膜片钳芯片微孔加工方法，其特征在于，它包括如下步骤步骤1)将紫外激光器发出的功率为1 7瓦的紫外高斯激光束，通过扩束镜扩束；步骤2)将扩束镜扩束后的紫外高斯激光束通过调节光圈取出光束直径范围为 1. 2 1. 8mm的紫外高斯激光束的中心光斑；步骤；3)将所述紫外高斯激光束的中心光斑通过聚焦镜聚焦到玻璃膜片钳芯片表面进行打孔，打孔过程中通过控制步骤1)中紫外激光器发出的紫外高斯激光束功率的大小和步骤2、中调节光圈的中心直径，来使玻璃膜片钳芯片上形成漏斗状微孔。在上述步骤；3)中，所述紫外高斯激光束的中心光斑可以先通过反射镜反射后再进入所述聚焦镜。在上述方案中，还可以采用紫外高斯激光束不动，通过水平移动玻璃膜片钳芯片的方法，完成整个玻璃膜片钳芯片上阵列式排列微孔的加工。优选地，所述玻璃膜片钳芯片置于运动控制平台上，运动控制平台通过计算机数控系统控制水平移动，并带动玻璃膜片钳芯片水平移动；计算机数控系统还控制紫外激光器的工作状态。优选地，所述紫外激光器发出的紫外高斯激光束的波长范围为266 355nm，频率范围为10 ΙΟΟΚΗζ，脉宽范围为15 50ns ；所述调节光圈的光圈直径可调范围为1. 2 1. 8mm ；所述扩束镜将紫外高斯激光束进行8 10倍的扩束。优选地，所述微孔的入口孔径大于出口孔径，微孔入口孔径的范围为2 10 μ m， 微孔出口孔径的范围为1 2μπι。优选地，所述玻璃膜片钳芯片厚度为0. Imm 0. 15mm ；所述聚焦镜为远心透镜，紫外高斯激光束经过该透镜聚焦后的最小光斑直径为0. 7 μ m。下面介绍本发明的激光微孔加工原理。1)紫外激光与玻璃无机材料的相互作用机理激光微孔加工中依据被加工材料的不同特性及对不同波长的激光的吸收程度不同，往往选择某一特定波长的激光对材料进行加工，以期达到最好的加工效果。考虑到玻璃材料的特性，申请人选择输出波长范围为266nm 355nm的紫外激光器来对玻璃膜片钳芯片的微孔进行加工。该波长的激光非常适合于无机材料。由于光束的衍射现象是限制加工部件最小尺寸的主要因素，激光可达到的聚焦点的最小光斑直径随着波长的增加而线性增加，因此较短波长的激光能够加工出更小的部件。另外，紫外激光微处理过程从本质上来说不是“热”处理过程，紫外激光高能量的光子可以直接破坏玻璃材料的化学键，这一加工过程称为“光蚀”效应，紫外激光加工是实质上是冷处理过程，热影响微乎其微，高能量的紫外光直接破坏玻璃材料的化学键，使得这种“冷”加工出来的孔径直径可控并具有光滑均勻的边缘。2)微孔成型机理激光器发出的激光理论上是高斯光束，理想的高斯光束有利于图2所示的漏洞状微孔的成型，但是实际上激光不可能达到这种理想状态。为了能够使激光尽可能的接近理想高斯光束模式，本发明将扩束镜和调节光圈组合起来起到筛选光束的作用(如图3所示)。首先，紫外激光器发出的紫外高斯激光经过扩束镜扩束，扩束镜扩束后的光束比较粗， 该光束到达调节光圈后只有光轴中间部分可以通过调节光圈。如图4所示，通过控制调节光圈中心孔直径的大小可以起到选择光束的作用，光圈中心孔直径越小透过去的激光越接近高斯光束，也确保了得到更小的聚焦光斑，从调节光圈出来的激光束经过远心透镜聚焦后焦点的激光功率密度分布也是高斯分布，靠近紫外高斯激光束光轴的激光经过聚焦后功率密度更高，在极短的时间内破坏玻璃材料的分子结构形成微孔，远离紫外高斯激光束光轴的激光功率密度要小很多，所以在短时间内难以穿透玻璃材料，远离紫外高斯激光束光轴的激光打在玻璃膜片钳芯片上形成微孔的锥面。通过控制调节光圈的中心直径，可使玻璃膜片钳芯片上形成漏斗状微孔。本发明采用紫外激光加工玻璃膜片钳芯片，紫外高斯激光束通过扩束、调节光圈、 反射、聚焦后作用于玻璃膜片钳芯片上，直接破坏玻璃材料的化学键，来形成入口孔径的范围为2 10 μ m、出口孔径的范围为1 2 μ m的微孔，通过调节光圈的直径大小间接可以调节所加工微孔的直径大小，通过调节紫外高斯激光束的功率和调节光圈的中心直径来调节玻璃膜片钳芯片上形成的微孔的锥度。通过计算机数控系统和运动控制平台可以实现整个玻璃膜片钳芯片的大批量工业化加工。本发明为在玻璃膜片钳上加工出微米级的孔洞以及使芯片进行大规模生产开辟了一条新途径。
图1为单个膜片钳芯片的工作原理图；图2为膜片钳芯片微孔的结构示意图；图3为本发明的膜片钳芯片微孔加工装置的结构示意图；图4为高斯光束调节的原理图；其中，1-紫外激光器、2-扩束镜、3-调节光圈、4-反射镜、5-聚焦镜、6_膜片钳芯片夹具、7-运动控制平台、8-计算机数控系统。
具体实施例方式以下结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明本实施例所述的一种膜片钳芯片微孔加工方法，采用如图3所示的一种膜片钳芯片微孔加工装置，该装置包括紫外激光器1、扩束镜2、调节光圈3、反射镜4、聚焦镜5、玻璃膜片钳芯片夹具6、计算机数控系统8和运动控制平台7，其中，紫外激光器1的输出光路上设置扩束镜2，扩束镜2的输出光路上设置调节光圈3，调节光圈3的输出光路上设置反射镜4，反射镜4的反射输出光路上设置聚焦镜5，聚焦镜5的输出光路上设置玻璃膜片钳芯片夹具6。计算机数控系统8的激光控制信号输出端连接紫外激光器1的控制接口，计算机数控系统8的位置控制信号输出端连接运动控制平台7的控制接口，玻璃膜片钳芯片夹具 6置于运动控制平台7上。本装置的扩束镜2的激光扩束倍数为8 10倍；调节光圈3的光圈直径可调范围为1. 2mm 1. 8mm ；紫外激光器1发出的紫外高斯激光束的波长为 355nm ；紫外激光器1发出的紫外高斯激光束的频率为IOKHz ΙΟΟΚΗζ，紫外激光器1发出的紫外高斯激光束的功率为1 7瓦。本发明的工作过程为将待加工的玻璃膜片嵌芯片放置在运动控制平台上，通过红光指示找到第一个待加工孔的位置，打开紫外激光器1，设置紫外激光器1相应的工作参数(包括电流20A、频率为15-20KHZ)，使激光器工作在额定电流和温度下，紫外激光器1的模式设置为M0DE_1 (首脉冲抑制模式)，使输出的激光能量处于比较稳定的状态。紫外高斯激光束通过扩束镜2扩束后再由调节光圈3取出孔径范围为1. 2 1. 8mm的紫外高斯激光束的中心光斑，然后由反射镜4改变紫外高斯激光束的角度，最后通过聚焦镜5对紫外激光聚焦，聚焦后到达玻璃膜片钳钳芯片夹具6夹住的玻璃材料上的光功率为1 7W之间，并在玻璃材料上钻出微孔洞，调节聚焦镜5将使紫外高斯激光束的焦点刚好落在待加工玻璃膜片嵌芯片的上表面。通过控制调节光圈的中心直径，来使玻璃膜片钳芯片上形成入口孔径范围为2 10 μ m，微孔出口孔径范围为1 2μπι的漏斗状微孔。另外，在加工过程中， 采用激光束不动，通过计算机数控系统8控制运动控制平台7，进行水平移动玻璃膜片钳芯片的方法，完成整个玻璃膜片钳芯片上阵列式排列微孔的加工，实现了整个加工流程的自动化。另外，本实施例实施时，调节光圈直径大小为1. 5mm，开激光并延时1秒钟后，取下玻璃膜片钳芯片夹具6在光学显微镜下测量孔径大小；如果玻璃材料没有被打穿，则无法测量其大小，表明激光能量还不够，需要将激光能量适度调大直到刚好能打穿为止，反之， 如果出光孔孔径大于了 2 μ m，则需要将激光能量适度调小直到满足要求为止；如果入光孔孔径偏大则将调节光圈的直径调小，反之亦然。通过反复的调节测试最终确保加工的孔径达到所要求的值为止。根据第一个孔的加工参数，通过数控软件完成批量加工。本发明采用紫外激光加工玻璃材料的膜片钳芯片，高峰值功率的紫外激光在极短时间内破坏材料的微观结构形成大小均勻孔洞，为在玻璃上加工出微米级的孔洞以及使芯片进行大规模生产开辟了一条新途径。本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
权利要求
1.一种膜片钳芯片微孔加工方法，其特征在于，它包括如下步骤步骤1)将紫外激光器发出的功率为1 7瓦的紫外高斯激光束，通过扩束镜扩束；步骤2、将扩束镜扩束后的紫外高斯激光束通过调节光圈取出光束直径范围为1. 2 1. 8mm的紫外高斯激光束的中心光斑；步骤幻将所述紫外高斯激光束的中心光斑通过聚焦镜聚焦到玻璃膜片钳芯片表面进行打孔，打孔过程中通过控制步骤1)中紫外激光器发出的紫外高斯激光束功率的大小和步骤2、中调节光圈的中心直径，来使玻璃膜片钳芯片上形成漏斗状微孔。
2.根据权利要求1所述的膜片钳芯片微孔加工方法，其特征在于所述步骤3)中，紫外高斯激光束的中心光斑先通过反射镜反射后再进入所述聚焦镜。
3.根据权利要求1或2所述的膜片钳芯片微孔加工方法，其特征在于在步骤幻中， 采用紫外高斯激光束不动，通过水平移动玻璃膜片钳芯片的方法，完成整个玻璃膜片钳芯片上阵列式排列微孔的加工。
4.根据权利要求3所述的膜片钳芯片微孔加工方法，其特征在于所述玻璃膜片钳芯片置于运动控制平台上，运动控制平台通过计算机数控系统控制水平移动，并带动玻璃膜片钳芯片水平移动；计算机数控系统还控制紫外激光器的工作状态。
5.根据权利要求1或2所述的膜片钳芯片微孔加工方法，其特征在于所述紫外激光器发出的紫外高斯激光束的波长范围为266nm 355nm，频率范围为10 ΙΟΟΚΗζ，脉宽范围为15 50ns ；所述调节光圈的光圈直径可调范围为1. 2mm 1. 8mm ；所述扩束镜将紫外高斯激光束进行8 10倍的扩束。
6.根据权利要求1或2所述的膜片钳芯片微孔加工方法，其特征在于所述微孔的入口孔径大于出口孔径，微孔入口孔径的范围为2 10 μ m，微孔出口孔径的范围为1 2 μ m0
7.根据权利要求1或2所述的膜片钳芯片微孔加工方法，其特征在于玻璃膜片钳芯片厚度为0. Imm 0. 15mm;所述聚焦镜为远心透镜，紫外高斯激光束经过该透镜聚焦后的最小光斑直径为0. 7 μ m。
全文摘要
本发明公开了一种膜片钳芯片激光微孔加工方法，包括1)将紫外激光器发出的功率为1～7瓦的紫外高斯激光束，通过扩束镜扩束；2)将扩束镜扩束后的紫外高斯激光束通过调节光圈取出孔径范围为1.2～1.8mm的紫外高斯激光束的中心光斑；3)将所述紫外高斯激光束的中心光斑通过聚焦镜聚焦到玻璃膜片钳芯片表面进行打孔，打孔过程中通过控制步骤2)中调节光圈的中心直径，来使玻璃膜片钳芯片上形成漏斗状微孔。本发明使得聚焦后的紫外激光的高能量在极端的时间内能破坏钳芯片夹具上玻璃材料的分子结构，并在玻璃材料上形成均匀的孔洞。
文档编号B23K26/36GK102151997SQ20111003474
公开日2011年8月17日 申请日期2011年1月31日 优先权日2011年1月31日
发明者刘斌波, 吴浩, 应花山, 徐骏平, 胡兵 申请人:华中科技大学