1.一种微间隙电解辅助激光微细加工方法,其特征在于,包括:
步骤一:将工件通过夹具安装于伺服进给装置上;
步骤二:通过所述伺服进给装置将所述工件浸入工作箱内的电解液中,并调整所述工件的位置,进行对准;
步骤三:在时间T1内,通过所述伺服进给装置将所述工件移动至激光加工区域,打开激光器,通过聚焦系统使激光聚焦于电解液下的所述工件表面,去除工件材料;
步骤四:在时间T2内,通过所述伺服进给装置将所述工件移动至电解加工区域,打开电解电源,微间隙电解加工去除激光加工产生的再铸层,完成一个复合加工周期T=T1+T2;
步骤五:根据金属微结构(微孔或微槽)加工的深度,设计复合加工循环次数并重复上述步骤三和步骤四,直至所述工件加工完成。
2.根据权利要求1所述的微间隙电解辅助激光微细加工方法,其特征在于:所述激光器为毫秒级脉冲激光器。
3.一种微间隙电解辅助激光微细加工装置,其特征在于,包括:盛放有电解液的工作箱,所述工作箱上方设有伺服进给装置,所述伺服进给装置通过夹具安装有工件,所述工件浸入所述电解液内,所述工件的一侧设有激光器及聚焦系统,另一侧设有电极,所述电极的底部进入所述电解液内,所述电极的顶部固定于进液接头上,所述进液接头通过输液管连接于电解液箱,所述电极和所述工件分别连接于电解电源的负极和正极。
4.根据权利要求4所述的微间隙电解辅助激光微细加工装置,其特征在于:所述工件位于所述电解液的表面下方1mm~2mm厚度处。
5.根据权利要求4所述的微间隙电解辅助激光微细加工装置,其特征在于:所述输液管靠近所述电解液箱设有过滤器,用于过滤所述电解液。
6.根据权利要求4所述的微间隙电解辅助激光微细加工装置,其特征在于:所述输液管上还设有液压泵及压力调节装置,通过所述压力调节装置调节所述输液管内电解液的压力,通过所述液压泵持续地提供一定压力的电解液,进入所述电极,形成电解液流体。
7.根据权利要求4所述的微间隙电解辅助激光微细加工装置,其特征在于:所述电极为中空、侧壁绝缘的金属管。
8.根据权利要求4所述的微间隙电解辅助激光微细加工装置,其特征在于:所述电解液为低浓度酸性钝化电解液。
9.根据权利要求4所述的微间隙电解辅助激光微细加工装置,其特征在于:所述工作箱的下部设有出液管,所述出液管连接于所述工作箱和所述电解液箱。