大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置的制作方法

文档序号:12158247阅读:来源:国知局

技术特征:

1.大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置,其特征在于包括底板、固定板、电动推杆、移动板、第一感应器、支撑板、面板、第二感应器、真空泵,所述的固定板位于底板顶部前后两端,所述的固定板与底板螺纹相连,所述的电动推杆位于底板顶部两侧,所述的电动推杆与底板螺纹相连,所述的移动板位于底板顶部两侧,所述的移动板与电动推杆螺纹相连,所述的第一感应器位于移动板前后两侧,所述的第一感应器与移动板螺纹相连,所述的支撑板位于固定板中端,所述的支撑板与固定板螺纹相连,所述的面板数量为若干件,所述的面板位于支撑板顶部,所述的面板与支撑板活动相连,所述的第二感应器位于面板内部上端,所述的第二感应器与面板螺纹相连,所述的真空泵位于底板顶部右侧,所述的真空泵与底板螺纹相连。

2.如权利要求1所述的大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置,其特征在于所述的真空泵顶部还设有加压泵,所述的加压泵与真空泵螺纹相连。

3.如权利要求2所述的大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置,其特征在于所述的加压泵左侧还设有管道,所述的管道与加压泵螺纹相连。

4.如权利要求3所述的大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置,其特征在于所述的底板内部中端还设有抽气孔,所述的抽气孔与管道螺纹相连。

5.如权利要求4所述的大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置,其特征在于所述的面板内部还均设有定位孔,所述的定位孔为圆形通孔。

6.如权利要求5所述的大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置,其特征在于所述的固定板和移动板内壁还设有密封圈,所述的密封圈分别与固定板和移动板胶水相连。

7.如权利要求6所述的大幅面蚀刻机真空吸附平台实用新型装置,其特征在于所述的底板顶部右侧还设有定时器,所述的定时器与底板螺纹相连。

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