基板切割粉尘的吸尘装置的制作方法

技术总结
本实用新型公开一种基板切割粉尘的吸尘装置，在基板切割工位的两侧分别增加消除静电空气的喷嘴和吸嘴，喷嘴与离子发生器连接，离子发生器与空气泵连接，吸嘴通过吸管与过滤桶连接，吸管上装有真空泵，吸嘴在真空泵的作用下将遗留的少量粉尘吸走。本实用新型的优点是提高了成品的质量率。

技术研发人员：唐炯麟
受保护的技术使用者：上海北陆微电子有限公司
文档号码：201621036363
技术研发日：2016.09.04
技术公布日：2017.03.15