承载台、承载装置和激光切割设备的制造方法

文档序号:9387970阅读:412来源:国知局
承载台、承载装置和激光切割设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示装置的生产领域,具体涉及一种承载台、一种
[0002]承载装置和一种激光切割设备。
【背景技术】
[0003]在显示器的制作过程中,通常利用激光切割设备对尺寸较大的基板进行切割,以获得所需尺寸的基板。承载装置用于在基板切割的过程中对基板进行承载并固定,其结构和性能对切割效率和切割效果有很大的影响。
[0004]如图1所示的现有技术中的常用的承载装置的结构示意图,其包括承载台11和吸附基台12,吸附基台12内部形成有空腔13,承载台11通常为形成有通孔111的硬质塑料板,吸附基台12上形成有吸附孔121和出气口 131,通孔111和吸附孔121对应连通,出气口 131将空腔13与抽气装置的抽气口相连通,从而使得第一通孔111与抽气装置的抽气口连通,承载台上放置有基板时,通过抽气装置的抽气作用,可以将基板吸附在承载台11上。对基板进行吸附时,需要将基板所在区域以外的通孔覆盖或堵塞,以防止空腔与外界连通而无法对基板进行吸附,对通孔的覆盖过程需要花费一定的时间,尤其是承载不同尺寸的基板时,所需要覆盖的区域也不同,重新覆盖的过程更会延长产线时间,生产效率降低。

【发明内容】

[0005]本发明的目的在于提供一种承载台、承载装置和激光切割设备,以提高生产效率。
[0006]本发明提供一种承载台,包括承载板,该承载板上形成有多个贯穿该承载板的第一通孔,所述第一通孔用于与抽气装置的抽气口连通,所述承载板具有承载面,所述承载台还包括设置在所述承载面上的多孔膜。
[0007]优选地,所述多孔膜的材料包括超高分子量聚乙烯。
[0008]优选地,所述承载台还包括设置在所述多孔膜上的盖板,所述盖板、多孔膜和所述承载板固定连接,所述盖板上形成有多个贯穿该盖板的第二通孔,所述盖板的背离所述承载板的表面的平整度为±100μπι。
[0009]优选地,所述盖板的朝向所述承载板的表面上设置有多个凸起,所述承载板上设置有与所述凸起相对应的凹槽;或者,所述承载板的朝向所述盖板的表面上设置有多个凸起,所述盖板上设置有与所述凸起相对应的凹槽;
[0010]所述多孔膜上形成有与所述凸起相对应的第三通孔,所述凸起穿过所述第三通孔伸入相应的凹槽内。
[0011]优选地,所述盖板为玻璃盖板,所述盖板的背离所述承载板的表面为磨砂表面。
[0012]优选地,所述磨砂表面的粗糙度在Ra25?RalOO之间。
[0013]优选地,所述承载板的侧面设置有导向轮。
[0014]优选地,所述承载台还包括设置在所述承载板上的限位框,所述限位框的顶端凸出于所述盖板的上表面,所述限位框用于限定承载基板的区域。
[0015]优选地,所述限位框为设置在所述承载板边缘的三个挡板形成的半封闭框架。
[0016]相应地,本发明还提供一种承载装置,包括吸附基台和本发明提供的上述承载台,所述吸附基台内形成有空腔,所述吸附基台还包括出气口和多个吸附孔,所述吸附孔用于将所述承载台上的多个第一通孔与所述空腔连通,所述出气口用于将所述空腔与所述抽气装置的抽气口连通。
[0017]相应地,本发明还提供一种激光切割设备,包括本发明提供的上述承载装置。
[0018]优选地,所述承载板的侧面设置有导向轮,所述激光切割设备还包括导向槽,当所述承载台位于所述导向槽内时,所述导向轮能够沿所述导向槽滚动。
[0019]本发明中,所述承载台包括承载板和多孔膜,多孔膜上形成有很多微小的气孔,以容许空气在相对较高的吸附阻力下通过多孔膜。当承载有基板的承载台放置在吸附基台上,并通过抽气装置进行抽气时,即使基板区域以外的第一通孔不被覆盖,空气通过这些第一通孔进入空腔内的速度也是远小于抽气装置的抽气速度的,以使得基板可以被稳定地吸附。因此,本发明的承载台和吸附基台配合使用吸附基板时,不需要将基板所在区域以外的第一通孔进行覆盖,从而缩短了生产线上的时间,提高了生产效率。另外,所述承载台还包括玻璃盖板,盖板上形成由磨砂表面,可以防止基板切割的碎片贴附在盖板表面。并且,承载板侧面设置有导向滚轮,可以使得承载台的移动更稳定,承载板上还设置有限位框,可以防止承载台移动时基板脱离承载台。
【附图说明】
[0020]附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0021]图1是现有技术中的承载装置示意图;
[0022]图2是本发明的实施例中提供的承载台的结构示意图;
[0023]图3是本发明的实施例中提供的承载台的承载板的俯视图;
[0024]图4是本发明的实施例中提供的承载台的多孔膜的俯视图;
[0025]图5是本发明的实施例中提供的承载台的俯视图;
[0026]图6是本发明的实施例中提供的承载装置的结构示意图;
[0027]图7是本发明的实施例中承载台在导向槽内移动的俯视图。
[0028]其中,附图标记为:
[0029]11-承载台;12_吸附基台;13_空腔;111_通孔;121_吸附孔;131_出气口 ;21_承载板;211_第一通孔;212_凹槽;22_多孔膜;221_第三通孔;23_盖板;231_凸起;232_第二通孔;24_导向轮;25_限位框;251、252、253_挡板;32_吸附基台;33_空腔;321_吸附孔;331-出气口 ;40_导向槽。
【具体实施方式】
[0030]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
[0031]作为本发明的一方面,提供一种承载台,如图2所示,包括承载板21,承载板21上形成有多个贯穿该承载板21的第一通孔211,第一通孔211用于与抽气装置(未示出)的抽气口连通,承载板21具有承载面(即图2中承载板21的上表面),所述承载台还包括设置在该承载板21的承载面上的多孔膜22。
[0032]现有技术中,当承载有基板的承载台放置在吸附基台上,并通过抽气装置的抽气作用对基板进行吸附时,如果基板所在区域以外的第一通孔没有被覆盖,那么抽气装置进行抽气时,会有空气进入吸附基台的空腔,导致空腔内达不到吸附时的负压。而本发明中,承载台包括承载板21和多孔膜22,多孔膜22上形成有很多微小的气孔,以容许空气在相对较高的吸附阻力下通过多孔膜。当承载有基板的承载台放置在吸附基台上,并通过抽气装置进行抽气时,即使基板区域以外的第一通孔不被覆盖,空气通过这些第一通孔进入空腔内的速度也是远小于抽气装置的抽气速度的,以使得基板可以被稳定地吸附。因此,本发明的承载台和吸附基台配合使用吸附基板时,不需要将基板所在区域以外的第一通孔进行覆盖,从而缩短了生产线上的时间,提高了生产效率。
[0033]具体地,多孔膜22的材料包括超高分子量聚乙烯。在本发明中,多孔膜22可以为由日东电工公司生产的Sunmap。
[0034]本发明的承载台尤其适用于激光切割设备中,承载有基板的承载台移动至吸附基台位置,通过抽气装置的抽气作用将基板吸附在承载台上并进行激光切割,切割结束后,利用承载台将基板传输走并通过倾倒的方式使基板脱离承载台。
[0035]进一步地,
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