玻璃板的激光熔断方法_4

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部分)C照射。并且, 通过该激光LB的照射热沿着切断预定线化将玻璃板G烙断,分离成作为产品的产品部Ga 和被废弃等而不作为产品的非产品部Gb。需要说明的是,激光LB的焦点位置FP也可W是 玻璃板G的厚度方向中间位置。而且,也可W将激光LB的焦点位置FP设定在玻璃板G的 上方,使激光LBW散焦的状态向切断部C照射。
[0134] 此外,玻璃板切断装置1具备从产品部Ga运一侧的上方位置朝着切断部C向斜下 方喷射侧辅助气体Al的侧辅助气体喷射喷嘴4。该侧辅助气体Al起到将烙渣等烙融杂质 向非产品部Gb侧吹飞的作用。
[0135] 说明如上那样构成的玻璃板切断装置1的动作。
[0136] 如图1及图2所示,通过支承台2的输送设备22来搬运玻璃板G,使得从W静止状 态配置在搬运路径上的激光照射器3照射的激光LB沿着玻璃板G的切断预定线化进行扫 描。
[0137] 并且,在运样照射激光LB的同时,如图3所示,从配置在玻璃板G的产品部Ga运 一侧的上方位置的侧辅助气体喷射喷嘴4朝着玻璃板G的位于切断预定线化上的切断部C 向斜下方喷射侧辅助气体A1。由此,从切断部C除去烙融杂质,有效地进行烙断。而且,由 于烙融杂质被向非产品部Gb侧吹飞,因此能够防止烙融杂质附着于产品部Ga的事态。在 此,"烙融杂质"是指在玻璃板G烙断时产生的烙渣等杂质,包括处于烙融状态的杂质和处于 固化状态的杂质运双方。
[0138]另外,在玻璃板G的上方空间中,对玻璃板G喷射气体的机构仅为侧辅助气体喷射 喷嘴4。并且,该侧辅助气体喷射喷嘴4对玻璃板G的切断部C倾斜地喷射侧辅助气体Al, 因此与对玻璃板G的切断部C从正上方大致铅垂地喷射气体的情况(例如,喷射中屯、辅助 气体的情况)相比,不易作用将处于烙融状态的切断部C附近向下方按压的力。因此,能够 防止处于烙融状态的玻璃板G的切断部C附近向下方的垂下。并且,在运样防止了切断部C 的垂下的状态下,通过侧辅助气体Al使在切断部C产生的烙融杂质优先向非产品部Gb运 一侧飞散,因此烙融杂质不易滞留在产品部Ga的烙断端面Gal上。
[0139] 而且,若如上述那样将玻璃板G烙断,则玻璃板G的切断部C的一部分被烙融除 去,在产品部Ga的烙断端面Gal与非产品部Gb的烙断端面Gbl之间形成间隙。因此,产品 部Ga的烙断端面Gal与非产品部Gb的烙断端面Gbl分离该间隙的量,因此能够防止烙断 端面GaUGbl彼此接触而发生破损的事态,并能够使产品部Ga与非产品部Gb顺杨地分离。
[0140] 详细而言,如图4所示,在玻璃板G的厚度设为曰,烙断后的产品部Ga的烙断端 面Gal与非产品部Gb的烙断端面Gbl之间的最小间隙设为b时,W通过烙断而形成满足 0. 1《b/a《2的关系的最小间隙b的方式进行管理。运样的话,按照与玻璃板G的厚度的 相对关系来严格地管理产品部Ga的烙断端面Gal与非产品部Gb的烙断端面Gbl之间的间 隙,因此能够良好地维持产品部Ga的烙断端面Gal附近的形状,并能够使产品部Ga与非产 品部抓安全地分离。目P,当b/a超过2时,通过烙断而烙融除去的玻璃板G的量变得过多, 可能在产品部Ga的烙断端面Gbl产生形状不良。而且,也可能因应变而导致玻璃板G的变 形或破损。另一方面,当b/a小于0. 1时,烙断端面GaUGbl彼此过分接近,可能在分离时 烙断端面GaUGbl彼此接触而导致产品部Ga(或非产品部Gb)发生破损。 阳141]在此,作为调整最小间隙b的大小的方法,可列举(1)变更激光LB的输出功率、 似变更光斑直径相对于玻璃板G的大小、(3)变更侦巧甫助气体Al的假想中屯、线Ll相对于 玻璃板G的表面(上表面)的倾斜角a1 (参照图3)、(4)变更侧辅助气体Al等向玻璃板 G供给的气体的喷射压、(5)变更激光的脉冲宽度或图案、等变更烙断条件的方法。 阳142]激光LB及侧辅助气体Al的各条件如下那样。需要说明的是,激光LB及侧辅助气 体Al的各条件当然并未限定于此。 阳143]激光LB的光斑直径设定为比图4的最小间隙b小。
[0144] 激光LB的照射能量在玻璃板G的上表面处设定为100~100000 [W/mm2]。
[0145] 侧辅助气体Al的喷射压设定为0.Ol~0.5 [MPa]。
[0146]侧辅助气体Al的倾斜角a1设定为25。~60。,优选设定为30。~50。,更优 选设定为35°~45°。目P,当侧辅助气体Al相对于玻璃板G的表面的倾斜角小于25°时, 侧辅助气体Al向玻璃板G过浅地入射,可能产生无法向切断部C有效地供给侧辅助气体Al 的问题。另一方面,当侧辅助气体Al相对于玻璃板G的表面的倾斜角超过60°时,侧辅助 气体Al向玻璃板G过深地入射,将切断部C附近向下方按压的力可能变大。因此,侧辅助 气体Al的倾斜角a1优选在上述数值范围内,若在该范围内,则能够将侧辅助气体Al有效 地向切断部C供给,并能够适当地抑制侧辅助气体Al将切断部C附近向下方按压的力。 阳147] 需要说明的是,从防止烙融杂质向产品部Ga的附着的观点出发,侧辅助气体Al的 倾斜角aI优选设定为15°~45°。因此,在考虑到产品部Ga的烙断端面Gal的形状和烙 融杂质向产品部Ga的附着的情况下,侧辅助气体Al的倾斜角Ql优选设定为25°~45°。
[0148] 侧辅助气体Al的指向方向只要在切断部C附近即可。例如,在图示例中,侧辅助 气体Al的假想中屯、线Ll与切断部C交叉,但假想中屯、线Ll也可W在比切断部C靠产品部 Ga运一侧的位置处与玻璃板G的上表面或下表面交叉。
[0149] 作为侧辅助气体Al,可W将例如氧(或空气)、水蒸气、二氧化碳、氮、氣等气体W 单独或与其它气体混合的状态使用。而且,侧辅助气体Al也可WW热风的形式喷射。 阳150]如W上那样烙断后的玻璃板G具有如下的特征。
[0151] 第一,如图4所示,产品部Ga的烙断端面Gal的形状成为大致圆弧状的良好的凸 曲面形状。附带而言,产品部Ga的烙断端面Gal由锻造面构成。需要说明的是,也存在如下 情况:由侧辅助气体Al吹飞了的烙融杂质(烙渣等)附着于非产品部Gb的烙断端面Gbl, 而使烙断端面Gbl的形状偏离大致圆弧状。 阳152]第二,产品部Ga的烙断端面Gal的算术平均粗糖度Ra成为0.3ymW下,且其粗 糖度曲线要素的平均长度RSm成为150ymW上。在此,若对Ra的下限值及RSm的上限值 进行说明的话,则Ra优选无限接近零,RSm优选无限接近无限大。然而,由于在实际应用上 存在基于加工设备等的界限,因此规定Ra的下限值或RSm的上限值是缺乏意义的。因此, 在上述中,未设定Ra的下限值和RSm的上限值。
[0153] 第S,产品部Ga的烙断端面Gal的残余压缩应力成为20MPa~500MPa。
[0154] (2)第二实施方式
[0155] 如图5所示,第二实施方式的玻璃板切断装置1在第一实施方式的玻璃板切断装 置1的结构上还附加了中屯、辅助气体喷射喷嘴5。W下,省略对共同点的说明,仅说明区别 点。 阳156] 中屯、辅助气体喷射喷嘴5与激光照射器3的前端部连接,向激光照射器3的内部 空间(比透镜31靠下方的空间)供给中屯、辅助气体A2。供给到激光照射器3的内部空间 中的中屯、辅助气体A2从激光照射器3的前端朝着玻璃板G的切断部C向正下方喷射。良P, 从激光照射器3的前端射出激光LB并喷射中屯、辅助气体A2。中屯、辅助气体A2起到将在烙 断玻璃板G时产生的烙融杂质从玻璃板G的切断部C除去的作用、保护激光照射器3的透 镜31等光学部件免遭该烙融杂质的侵害的作用、W及对透镜的热进行冷却的作用。 阳157]并且,在侧辅助气体Al的喷射压设为P1,中屯、辅助气体A2的喷射压设为P2时,P2/P1设定为0~2。详细而言,例如,中屯、辅助气体A2的喷射压设定为0~0. 02 [MPa],侧 辅助气体Al的喷射压设定为0.Ol~0. 5 [MPa]。并且,优选的是,侧辅助气体Al的喷射压 设定得比中屯、辅助气体A2的喷射压大。例如,P2/P1设定为0. 1~0. 5。运种情况下,中屯、 辅助气体A2的喷射压优选设定为保护激光照射器3的透镜31等光学部件免遭烙融杂质的 侵害运种程度的压力。 阳15引运样的话,由于中屯、辅助气体A2的喷射压相对减弱,因此主要通过侧辅助气体Al将在切断部C产生的烙融杂质吹飞。该侧辅助气体Al从产品部Ga运一侧的上方位置朝着 切断部C向斜下方喷射,因此与中屯、辅助气体A2相比,将处于烙融状态的玻璃板G的切断 部C附近向下方按压的力弱。因此,通过将侧辅助气体Al的喷射压设定得比中屯、辅助气体 A2的喷射压大,由此能够防止处于烙融状态的玻璃板G的切断部C的垂下。并且,在运样防 止了切断部C的垂下的状态下,通过侧辅助气体Al使在切断部C产生的烙融杂质优先向非 产品部Gb运一侧飞散,因此烙融杂质不易滞留在产品部Ga的烙断端面Gal上。因此,与图 4所示的情况同样地,能够将产品部Ga的烙断端面Gal的形状维持成大致圆弧状的良好的 形状。
[0159] 侧辅助气体Al和中屯、辅助气体A2既可W是同种的气体,也可W是不同种的气体。
[0160] (3)第S实施方式 阳161]如图6所示,第=实施方式的玻璃板切断装置1与第一~第二实施方式的玻璃板 切断装置1的区别之处是,在玻璃板G的下方空间具备协助侧辅助气体喷射喷嘴6。W下, 省略对共同点的说明,仅说明区别点。需要说明的是,在图示例中,设置了中屯、辅助气体喷 射喷嘴5,但也可W省略。
[0162]协助侧辅助气体喷射喷嘴6配置在玻璃板G的产品部Ga运一侧的下方位置,朝着 切断部C向斜上方喷射协助侧辅助气体A3。 阳163]而且,在本实施方式中,产品部Ga侧的台主体21的面向非支承空间S的侧面部 21a形成为W上方比下方更接近玻璃板G的切断部C的方式倾斜的锥面。并且,通过该形 成为锥面的侧面部21a,将从协助侧辅助气体喷射喷嘴6喷射的协助侧辅助气体A3向斜上 方引导而向玻璃板G的切断部C供给。需要说明的是,在图示例中,非产品部Gb侧的台主 体21的面向非支承空间S的侧面部21a也形成为W上方比下方更接近玻璃板G的切断部 C的方式倾斜的锥面。当然,也可W仅将产品部Ga侧的台主体21的侧面部21a设为锥面。 [0164]如W上那样的话,通过侧辅助气体Al和侧辅助气体A3,能够将在玻璃板G的切断 部C产生的烙融杂质向非产品部抓运一侧有效地吹飞。而且,由于协助侧辅助气体A3作 用于玻璃板G的下表面,因此认为也可期待对玻璃板G的切断部C附近从下方进行支承的 效果,有助于防止切断部C附近的垂
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