专利名称：加工夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于保持由加工装置进行加工的工件的加工夹具。
磁盘装置等所用的上浮型薄膜磁头一般呈在其后端形成薄膜磁头元件的滑块形状。滑块一般在具有其表面成为载体相对面(空气轴承面)的磁轨部的同时，还在空气流入侧的端部附近具有锥面部或阶梯部，利用经锥面部或阶梯部流入的空气，磁轨部从磁盘等记录载体的表面上略微上浮。
此外，作为薄膜磁头元件，人们广泛采用了具有书写用感应电磁转换元件与读取用磁阻元件(以下标为MR(Magneto Resistive))重叠结构的复合型薄膜磁头元件。
滑块一般是这样制成的，即在一个方向上切断构成包含薄膜磁头元件的部分(以下称之为滑块部)分别排成许多列的晶片，形成了滑块部排成一列的条状磁头材料(以下称之为条材)，对构成载体相对面的条材面(以下为方便起见，称之为载体相对面)进行研磨等加工，随后切断条材而分断成各滑块。
通常，为了使薄膜磁头输出特性稳定，薄膜磁头的磁极部分与记录载体表面之间的距离要保持在很小的预定值，这是很重要的。为此，薄膜磁头载体相对面的平面度要精确地位于预定值内，并且在谋求上浮量稳定的同时，薄膜磁头的喉部高度以及MR高度的值位于预定范围内，这是薄膜磁头加工的重要条件。而喉部高度是指从感应型电磁转换元件的磁极部分的载体相对面侧端部到相反侧端部的长度(高度)。MR高度是指从MR元件的载体相对面到相反侧端部的长度(高度)。
目前，已经有许多种获得使薄膜磁头的喉部高度与MR高度的值成为目标值地对载体相对面进行研磨的方法，而能够高精度研磨并进行普通研磨的方法是这样的，即这种方法使用了具有后述功能的加工夹具、具有使这种加工夹具承受适当负荷并且一边使与该夹具相连的条材变形一边自动进行研磨的功能的研磨装置。
这种方法所用的夹具包括被固定在研磨装置上的本体部，用于保持条材的纵长条形保持部，与保持部相连并施加使保持部变形的负荷的多个加载部。保持部因承受外力而成弯曲细长梁结构。在利用这种夹具的情况下，当外界对加载部施加负荷时，保持部弯曲，由于保持部弯曲，能够使由保持部保持的条材弯曲。
以下，说明利用这种夹具的条材研磨方法。在这种研磨方法中，首先用粘结剂等将条材固定在夹具保持部上，以使要研磨的面成为外表侧。
接着，利用光学或电学方式来测定被固定在夹具上的条材的内部各薄膜磁头元件的喉部高度以及MR高度的值，计算所述测定值与目标值之差、即必要的研磨量。
随后，为了针对对应于条材内的各薄膜磁头元件的研磨部分中与对应于其它薄膜磁头元件的部分相比其必要研磨量大的部分进行更多的研磨，对加载部施加负荷使条材变形，使上述部分的研磨面变成凸面。另一方面，为了针对对应于条材内的各薄膜磁头元件的研磨部分中与对应于其它薄膜磁头元件的部分相比其必要研磨量小的部分尽可能地不进行研磨，对加载部施加负荷使条材变形，使上述部分的研磨面变成凹面。随后，在使条材变形的状态下，通过使条材的载体相对面接触转动的研磨板，进行条材的研磨。
这样，自动地进行以下一系列动作，即测定各薄膜磁头元件的喉部高度与MR高度的值，计算出所述测定值与目标值之差、即必要的研磨量，根据这个必要研磨量使条材变形以进行研磨，从而修正各薄膜磁头元件的喉部高度和MR高度的误差，最终将各薄膜磁头元件的喉部高度和MR高度保持在预定范围内。
美国专利US5,620,356描述了一种进行上述条材研磨的研磨装置，在US5,607,340中描述了一种磁头研磨用夹具，而在特开平2-95572公报中描述了一种监测MR元件的阻值地控制喉部高度的研磨控制装置。
但过去，作为条材的载体相对面的加工及条材切断方法，存在着例如US5,406,694的图7所示的方法。在该方法中，从晶片上切下包括数列滑块部的预定长度的晶体块，把晶体块载体相对面的相对面粘在预定夹具上地将晶体块固定在夹具上，在完成固定在夹具上的晶体块的载体相对面的加工后，从晶体块上切下媒体相对面的加工已完成的条材。
在如上所述地用晶体块进行载体相对面的加工和条材切断的情况下，在构成工件的晶体块的载体相对面的垂直方向上的尺寸(以下称为高度)按顺序变化。
另外，为了由圆板状晶片获得许多个滑块(薄膜磁头)，考虑到要从晶片上切下许多种其滑块部排列方向的尺寸(以下称为长度)不同的晶体块。
如上所述，在利用高度、长度不同的晶体块进行载体相对面的加工的场合中，晶体块高度和长度通常是不同的，所以必须需要能够使晶体块载体相对面变形成理想形状的夹具。
作为这样的晶体块加工夹具，也考虑了沿用被设计用于条材加工的传统夹具。但是，在被设计用于条材加工的夹具中，由于是为能使具有预定高度和预定长度的条材变形成理想形状而设计的，所以在高度和长度不同的晶体块为工件的情况下，因晶体块的高度和长度不同而不能使晶体块变形成理想形状，所以存在着不能精确地进行加工的问题。
本发明的目的是提供这样一种加工夹具，即它能够精确地加工高度和长度的至少一方不同的多种工件。
本发明的加工夹具为一种有选择地保持高度和长度中至少一方是不同的多种加工工件，并将其固定在对所述工件进行加工的加工装置上的加工夹具，包括固定在所述加工装置上的本体部，保持所述工件用的细长保持部，与所述保持部中长度方向的中央部相连、施加使所述保持部变形的负荷的中央加载部，与所述保持部中长度方向的两端部附近相连、施加使所述保持部变形的负荷的两个端部加载部，设置在所述中央加载部与各端部加载部之间、连接所述保持部与本体部的两个中间连接部，连接所述保持部长度方向上的两端部与所述本体部的两个端部连接部；在所述保持部的长度方向上，从所述保持部中央到所述保持部端部的长度比从所述保持部中央到所述端部加载部的长度大。
在本发明的加工夹具中，由于在保持部的长度方向上，从保持部中央到保持部端部的长度比从保持部中央到端部加载部的长度大，所以比两个端部加载部之间距离短的工件就不用说了，即使是比两个端部加载部之间距离长的工件，也可以使它变形成理想形状。另外，在加工高度不同的多种加工工件的场合中，保持部不必是能变形成复杂形状的部件，倒不如希望它一边基本保持平直度，一边能够根据需要缓慢地变形。在本发明的加工夹具中，由于从保持部中央到保持部端部的长度大于从保持部中央到端部加载部的长度，所以能够使细长的保持部缓慢变形。
在本发明的加工夹具中，在保持部的长度方向上，从保持部中央到所述中间连接部的长度可以大于从保持部中央到端部加载部的长度的3/7。
在本发明的加工夹具中，在保持部的长度方向上，从保持部中央到中间连接部的长度可以大于从保持部中央到端部加载部的长度的1/2。
另外，在本发明的加工夹具中，在长度方向的中央和各中间连接部之间，保持部可以具有其厚度随着离开长度方向中央或中间连接部而增大的部分。
在本发明的加工夹具中，在长度方向的各端部和各中间连接部之间，保持部的厚度可以是一定的。
在本发明的加工夹具中，端部连接部可以具有一端与本体部相连、向垂直方向延伸的垂直部，一端与保持部相连、向水平方向延伸的水平部，与垂直部的另一端和水平部的另一端相连、斜向延伸的倾斜部。在这种情况下，水平部的厚度可以小于保持部的厚度。
在本发明的加工夹具中，在端部加载部与保持部之间，可以从保持部长度方向的在中央一侧朝向端部一侧地设置缝隙。
在本发明的加工夹具中，中间连接部的长度可以是对应于中间连接部的部分的保持部厚度的1.5倍-2.5倍。
在本发明的加工夹具中，工件可以是构成包括薄膜磁头元件的滑块的部分排列成一列以上的薄膜磁头材料。
根据以下说明，本发明的其它目的、特征和优点将一清二楚。
图1是表示本发明一实施例的夹具的主视图。
图2是表示本发明一实施例的夹具使用状态的主视图。
图3是表示本发明一实施例的夹具使用状态的主视图。
图4是表示使用本发明一实施例的夹具的加工装置一例的斜视图。
图5是表示薄膜磁头元件结构的一例的剖视图。
图6是表示加工装置电路结构的一例的框图。
图7是本发明一实施例的滑块制造过程的说明图。
图8是本发明一实施例的滑块制造过程的说明图。
图9是本发明一实施例的滑块制造过程的说明图。
图10是本发明一实施例的滑块制造过程的说明图。
图11是本发明一实施例的滑块制造过程的说明图。
图12是本发明一实施例的滑块制造过程的说明图。
图13是本发明一实施例的滑块制造过程的说明图。
图14是表示对比例的夹具的主视图。
图15是表示本发明一实施例的夹具与对比例的夹具的特性比较结果的说明图。
以下，参照附图来详细说明本发明的实施例。
首先，参照图4来说明使用本发明一实施例的加工夹具的加工装置的一个例子。图4是表示该加工装置大致结构的斜视图。加工装置1是用于研磨构成包括薄膜磁头元件的滑块的部分(以下称为滑块部)排成一列以上的晶体块状薄膜磁头材料(以下称为晶体块)中成为载体相对面的表面(以下为方便起见而称其为载体相对面)的研磨装置。加工装置1包括工作台10，设置在工作台10上的转动研磨台11，在转动研磨台11的侧面设置在工作台10上的支柱12，通过悬臂13安装在支柱12上的工件支承部20。转动研磨台11具有接触晶体块的研磨板11a。
工件支承部20包括夹具保持部23，等间隔地设置在夹具保持部23前方的三个加载杆25A、25B、25C。本实施例的加工夹具(以下简称为夹具)50被固定在夹具保持部23上。如以后所详细描述的那样，由截面成矩形的孔构成的三个加载部设置在夹具50上。在加载杆25A、25B、25C的各下端上，分别设置了插入夹具50的各加载部(孔)中的具有截面成矩形的头部的加载销。各加载销分别通过未示出的致动器而可以在上下、左右方向(夹具50的长度方向)及转动方向上被驱动。
接着，参见图1来说明本实施例的夹具结构。图1是表示本实施例夹具的主视图，本实施例的夹具50包括固定在例如图4所示的加工装置1上的本体部51，用于保持作为加工件的晶体块的纵长保持部52，与保持部52长度方向的中央部相连、施加使保持部52变形的负载的中央加载部54B，与保持部52长度方向的两端部相连、施加使保持部52变形的负载的两个端部加载部54A和54C，连接加载部54A-54C与保持部52的横臂部55A-55C，设置在中央加载部54B和端部加载部54A、54C之间、连接保持部52与本体部51的两个中间连接部53B、53C，以及连接保持部52长度方向的两端与本体部51的两个端部连接部53A、53D。
在本体部51上，在长度方向中央且比上下方向中央更靠上的位置上形成了固定孔56。用于将本体部51固定在置于加工装置1的夹具保持部23上的未示出的夹具固定销的螺栓插入所述固定孔56中。夹具50仅通过固定孔56位置处21固定在加工装置1上。
另外，在本体部51上形成了两个卡合部57、57。设置在加工装置1的夹具保持部23上的未示出的两个导销与卡合部57、57卡合。设置卡合部57、57的目的是为了防止夹具50以固定孔56为中心转动。
保持部52成因受外力作用而弯曲的细长梁结构。在保持部52的下端上设置固定晶体块的晶体块固定部58。在晶体块固定部58上形成有多个槽。
夹具50例如是由不锈钢或氧化锆(ZrO2)、氧化铝(Al2O3)等陶瓷材料制成的。
在本实施例中，加载部54A-54C是截面成长圆形的孔。端部加载部54A、54C设置在本体部51上下方向的大致中央位置上。中央加载部54B设置在比本体部51上下方向的中央更靠下的位置上。
中间连接部53B、53C分别通过一端与本体部51相连，并通过另一端与保持部52相连。中间连接部53B、53C成具有挠性的板状。
端部连接部53A具有一端与本体部51相连、向垂直方向延伸的垂直部53Aa，一端与保持部52的端部相连、向水平方向延伸的水平部53Ab，连接垂直部53Aa的另一端和水平部53Ab的另一端、斜向延伸的倾斜部53Ac。同样地，端部连接部53D具有一端与本体部51相连、向垂直方向延伸的垂直部53Da、一端与保持部52的端部相连、向水平方向延伸的水平部53Db、连接垂直部53Da的另一端和水平部53Db的另一端、斜向延伸的倾斜部53Dc。端部连接部53A、53D成具有挠性的板状。另外，倾斜部53Ac、53Dc的长度与垂直部53Aa、53Da和水平部53Ab、53Db的长度相比很小。
在本实施例中，在保持部52的长度方向上，从保持部52的中央到保持部52的端部的长度L2比从保持部52的中央到端部加载部54A、54C的长度L1大。
在保持部52的长度方向上，从保持部52的中央到中间连接部53B、53C的长度L3最好大于从保持部52的中央到端部加载部54A、54C的长度L1的3/7，大于1/2则更好。
另外，在长度方向中央与各中间连接部53B、53C之间，保持部52的厚度随着离开长度方向中央或中间连接部53B、53C而增厚。
保持部52在长度方向各端部与各中间连接部53B、53C之间的厚度是一定的。
端部连接部53A、53D中各水平部53Ab、53Db的厚度小于保持部52的厚度。
在设置在端部加载部54A、54C与保持部52之间的横臂部55A、55C上，分别从保持部52长度方向的中央一侧朝向端部一侧地开设有缝隙59。
在本实施例中，中间连接部53B、53C的长度d2最好是对应于中间连接部53B、53C的部分的保持部52的厚度d1的1.5倍-2.5倍。
以下，参见图2、3来说明本实施例夹具50的作用。如图2、3所示，高度和长度中至少一方是不同的多种晶体块111被有选择地固定在夹具50的晶体块固定部58上。晶体块111通过粘接等方式固定在晶体固定部58上，使其载体相对面成为外表侧(图2、3的下侧)。在这里，晶体块111的高度是指在垂直于晶体块111的载体相对面的方向(图2、3的上下方向)上的尺寸。另外，晶体块111的长度是指在晶体块111的滑块部的排列方向上(图2、3的左右方向)的尺寸。图2表示晶体块111长度的变化情况，图3表示晶体块111高度的变化情况。
当夹持晶体块111的夹具50固定在加工装置1上时，晶体块11的被加工面、即载体相对面靠在转动研磨台11的研磨板11a上。在这种状态下，通过在上下、左右和转动方向的三个方向上驱动加工装置1的加载销，可分别给加载部54A、54B、54C施加三维负荷。
如上所述，通过给夹具50的加载部54A、54B、54C施加各种方向的负荷，保持部52、晶体块固定部58及晶体块111变形。由此一来，可以一边使晶体块111的载体相对面内的各薄膜磁头元件的喉部高度及MR高度的值成为目标值地进行控制，一边可以研磨晶体块111的载体相对面。
在这里，参见图5来说明薄膜磁头元件结构的一个例子。图5是表示与薄膜磁头元件的载体相对面垂直的截面的剖视图。这个例子是具有书写用感应电磁转换元件与读取用MR元件重叠设置结构的复合型薄膜磁头元件的例子。
本实施例的薄膜磁头元件71包括由氧化铝·碳化硅(Al2O3·SiC)等陶瓷材料构成的基片72，形成于基片72上的由氧化铝(Al2O3)等绝缘材料构成的绝缘层73，形成于绝缘层73上的由磁性材料构成的下屏蔽层74，形成于屏蔽层74上由氧化铝等绝缘材料构成的下屏蔽间隙膜75，形成于下屏蔽间隙膜75上的一端设置成载体相对面(图5的左侧面)的再生用MR元件76，形成于下屏蔽间隙膜75上的与MR元件76导电连接的一对电极层77，覆盖下屏蔽间隙膜75、MR元件76以及电极层77地形成的上屏蔽间隙膜78，形成于上屏蔽间隙膜78上的由磁性材料构成的上屏蔽层兼下磁极层(以下称为下磁极层)79。至于MR元件76，能够采用AMR(各向异性磁阻效应)元件、GMR(巨磁阻效应)元件或TMR(隧道磁阻效应)元件等表现出磁阻效应的磁感膜的元件。
另外，薄膜磁头还包括形成于下磁极层79上的由氧化铝等绝缘材料构成的记录间隙层80，形成于记录间隙层80上的通过例如由热硬化的光刻胶构成的绝缘层81围住的薄膜线圈82，形成于绝缘层81上的由磁性材料构成的上磁极层83，覆盖上磁极层83地形成的由氧化铝等绝缘材料构成的防护层84。尽管没有画出来，但在防护层84上形成有与MR元件76与薄膜线圈82相连的多个电极片。
构成上磁极层83的载体相对面侧的一部分的磁极部分与构成下磁极层79的载体相对面侧的一部分的磁极部分通过记录间隙层80而彼此面对。上磁极层83的磁极部分的宽度等于记录磁轨宽度。另外，与上磁极层83的载体相对面相反的端部通过形成于记录间隙层80上的导孔而与下磁极层79导磁连接。
在图5所示的薄膜磁头71中，载体相对面(图的左侧面)是由图4所示的加工装置1进行研磨的面。在进行研磨时，加工装置1将晶体块111的载体相对面所含的各薄膜磁头元件71的喉部高度TH与MR高度MR-h全部控制在允许误差范围内。这样的控制例如如特开平2-95572号公报所述，是通过监测MR元件和电动研磨导向机构(Electrical Lapping Guide:ELG)的阻值来进行的。在晶体块111上，电动研磨导向机构是在形成薄膜磁头71时如此形成于基片72上的，即它例如设置在晶体块111的滑块部排列方向的两端部上。
图6是表示如上所述地通过监测电动研磨导向机构和MR元件的阻值来控制研磨的加工装置电路结构的一个例子。这个例子中的加工装置监测晶体块111内的电动研磨导向机构(在图中，标为ELG)85和MR元件76的阻值，它包括对用于分别给夹具50的加载部54A、54B、54C施加三维负荷的9个致动器91-99进行控制的控制器86，通过未示出的连接器而有选择地与晶体块111内的多个电动研磨导向机构85和MR元件76连接、并有选择地将电动研磨导向机构85和MR元件76中的任何一个与控制器86相连的多路调制器87。
在这个加工装置中，控制器86通过多路调制器87来检测晶体块111内的多个电动研磨导向机构85和MR元件76的阻值并且控制着致动器91-99。控制器86首先通过监测电动研磨导向机构85的阻值来进行粗研磨，随后，通过监测MR元件76的阻值，将各薄膜磁头71的喉部高度TH及MR高度MR-h完全控制在允许误差范围内。
接着，参见图7-图13来说明从晶片开始并经过是本发明实施例的工件的晶体块111直到切制出滑块的过程。
在这个过程中，首先由包括薄膜磁头元件的滑块部排成多列的圆晶片切断出长度互不相同的多种晶体块。图7表示这种晶体块的切断方法的一个例子。在这个例子中，由晶片101切出了三种晶体块111A、111B、111C。在图7中，滑块列左右延伸并且该列滑块上下并排。在图7中，晶体块111A、111B、111C的长度是指晶体块111A、111B、111C左右方向上的尺寸。在晶体块111A、111B、111C中，晶体块111A的长度最大，晶体块111B次之，晶体块111C最小。各晶体块111A、111B、111C分别具有包括排列成多列的滑块部的一定长度。
接着，当在晶体块111(表示晶体块111A、111B、111C)上研磨完与载体相对面的反面后，如图8所示地，晶体块111载体相对面131的反面被连接到本实施例的夹具50上。
随后，如图9所示，对与夹具50相连的晶体块111的载体相对面131进行采用磨削装置的磨削(研磨)，如进行利用图4所示加工装置的研磨，正确地规定MR高度和喉部高度。
接着，如图10所示，为了不使经过研磨的载体相对面131受损及腐蚀，在载体相对面131上贴上保护材料134。
接着，如图11所示，在保护材料134覆盖载体相对面131的情况下，利用切断装置如此切断晶体块111，即包括载体相对面131在内的一列滑块部与其余晶体块111分开。与晶体块111分开的一列滑块部成为由加工后的一列滑块部构成的条材141。只要还有晶体块111，则重复进行载体相对面的加工和切断。
随后，把保护材料134切成适当大小。随后，研磨条材141载体相对面的反面。通过这种研磨来控制最终滑块厚度和载体相对面的形状。
接着，如图12所示，并排设置多个条材141，对条材141的载体相对面形成蚀刻用光刻胶，用光刻胶对条材141进行干蚀刻，从而在条材141的载体相对面上形成了磁轨部。
随后，如图13所示，形成有磁轨部的多个条材141并排贴在IC带142上，通过切断装置切断条材141，从而形成滑块143。
如上所述，本实施例的夹具50中，在保持部52的长度方向上，从保持部52中央到保持部52端部的长度L2比从保持部52中央到端部加载部54A、54C的长度L1大。因此，根据本实施例，短于两个端部加载部54A、54C之间距离的晶体块111自不用提，即使是比两个端部加载部54A、54C之间距离长的晶体块111也可以变形成理想形状。
另外，在用晶体块111对载体相对面进行加工的场合中，与用条材对载体相对面进行加工的情况相比，载体相对面的畸变减小，所以在加工高度不同的多种晶体块111的情况下，保持部52不必是能变形成复杂形状的部件，倒不如它一边基本上保持平直度，一边能够根据需要缓慢变形。在本实施例的夹具50中，由于从保持部52中央到保持部52端部的长度L2比从保持部52中央到端部加载部54A、54C的长度L1大，所以能够使细长保持部52缓慢变形。因而，根据本实施例的夹具50，可以更精确地加工高度和长度中至少一方是不同的多种晶体块111。
在本实施例中，在保持部52的长度方向上，从保持部52中央到中间连接部53B、53C的长度L3最好大于从保持部52中央到端部加载部54A、54C的长度L1的3/7，最佳地是大于长度L1的1/2。由此一来，在保持部52的端部附近，可以很容易地变形成理想形状，从而可以更精确地加工长度不同的多种晶体块111。
而当为了能够如上所述地对应于长度不同的多种晶体块111地增大从保持部52的中央到中间连接部53B、53C的长度L3时，保持部52长度方向的中央和各中间连接部53B、53C之间的部分的刚性变小，尤其是当晶体块111的高度变小时，在该部分上可能会因研磨板的反作用力等而产生不希望有的变形。
对此，在本实施例的夹具50中，在长度方向中央与各中间连接部53B、53C之间，保持部52的厚度随着离开长度方向中央或中间连接部53B、53C而增厚。由此一来，保持部52长度方向的中央与各中间连接部53B、53C之间的部分的刚性增大了，由此能够防止在该部分产生不希望有的变形。因而，能够使高度和长度中至少一方是不同的多种晶体块111的加工精度提高。
另外，在本实施例中，如图2所示，主要在保持部52长度方向的各端部与各中间连接部53B、53C之间的部分内，长度不同的多种晶体块111的端部对应于晶体块111长度地设置在不同位置上。因此，为了更精确地加工长度不同的多种晶体块111，在保持部52长度方向的各端部与中间连接部53B、53C之间的部分内，最好局部不要存在着时而易弯曲时而难弯曲的部分。在本实施例的夹具50中，保持部52长度方向的各端部与中间连接部53B、53C之间的部分的厚度是一定的。而该部分的厚度比端部连接部53A、53D的水平部53Ab、53Db的厚度大。通过这些措施，在本实施例中，在保持部52长度方向的各端部与中间连接部53B、53C之间的部分上，局部不存在着时而易弯曲时而难弯曲的部分，所以可以更精确地加工长度不同的多种晶体块111。
另外，在本实施例中，端部连接部53A、53D包括垂直部53Aa、53Da、水平部53Ab、53Db和连接它们的斜向延伸的倾斜部53Ac、53Dc。由于如此形成端部连接部53A、53D，所以在端部连接部53A、53D上没有形成角度突变部分，由此能够防止应力集中在角度突变部分上。另外，在本实施例中，倾斜部53Ac、53Dc的长度与垂直部53Aa、53Da和水平部53Ab、53Db的长度相比十分小。因而，能够防止端部连接部53A、53D的刚性过度减小。
在本实施例中，端部连接部53A、53D的各水平部53Ab、53Db的厚度比保持部52的厚度小。因而，保持部52端部附近的部分可以柔软的变形，从而可以更精确地加工长度不同的多种晶体块111。
在本实施例，在设置在端部加载部54A、54C与保持部52之间的横臂部55A、55C上，分别从保持部52长度方向的中央一侧朝向起端部一侧地开设有缝隙。由此一来，在保持部52上可以使更靠近端部的部分变形成理想形状。
而当中间连接部53B、53C的长度d2与对应于中间连接部53B、53C的部分的保持部52厚度d1相比过大时，朝向中间连接部53B、53C的下端部水平方向的位移量增大，保持部52与理想形状的偏差要增大。为了避免于此，中间连接部53B、53C的长度d2最好是对应于中间连接部53B、53C的部分的保持部52厚度d1的1.5倍-2.5倍。
通过如上所述的特征，根据本实施例的夹具50，在加工高度和长度中至少一方是不同的多种晶体块的场合中，与被设计用于加工预定长度条材的传统夹具相比，加工精度可以提高10％以上。
最后，说明本实施例的夹具50与被设计用于加工预定长度条材的夹具的特性比较结果。图14是表示对比例的夹具150的主视图。夹具150包括本体部151，保持条材用的细长保持部152，连接保持部152与本体部151的四个连接部153A-153D，与保持部152相连、施加使保持部152变形的负荷的三个加载部154A-154C，连接加载部154A-154C与保持部152的横臂部155A-155C。夹具150的保持部152的长度与本实施例的夹具50的保持部52相比要短，而且在保持部152的长度方向上，从保持部152中央到保持部152端部的长度比从保持部152中央到加载部154A、154C的长度小。
图15是表示采用本实施例夹具50与对比例夹具150，对长度不同的三种条材一边分别使MR高度一定地进行控制一边进行载体相对面研磨时的MR高度变动量比较结果。在图15中，A1表示用夹具150进行短条材研磨的场合，B1表示用夹具50进行短条材研磨的场合，A2表示用夹具150进行中等条材研磨的场合，B2表示用夹具50进行中等条材研磨的场合，A3表示用夹具150进行长条材研磨的场合，B3表示用夹具50进行长条材研磨的场合。夹具150被设计用于短条材加工。
如图15所示，在采用对比例夹具150的场合中，条材越长，MR高度变动量越大。相反地，在本实施例的夹具50中，与条材长度无关地，MR高度变动量几乎不变并且与采用夹具150的场合相比减小了。
本发明不局限于上述实施例，可以有各种变动。例如，尽管加载部54A-54C在实施例中被设计成能够承受三维负荷，但加载部54A-54C也可以是能够只承受垂直方向或垂直方向和其它方向的二维负荷的加载部。
本发明也能适用于研磨以外的加工如进行抛光、打磨的场合。本发明也能适用于接受加工的工件是非薄膜磁头元件的场合。
如上所述，根据本发明的加工夹具，由于在保持部长度方向上，从保持部中央到保持部端部的长度大于从保持部中央到端部加载部的长度，所以可以更精确地加工高度和长度中至少一方是不同的多种工件。
另外，在本发明的加工夹具中，在保持部长度方向上，当从保持部中央到中间连接部的长度大于从保持部中央到端部加载部的长度的3/7时，可以更精确地加工长度不同的多种工件。
另外，在本发明的加工夹具中，在保持部长度方向上，当从保持部中央到中间连接部的长度大于从保持部中央到端部加载部的长度的1/2时，可以更精确地加工长度不同的多种工件。
另外，在本发明的加工夹具中，当保持部在长度方向的中央与各中间连接部之间具有随离开长度方向中央或中间连接部而厚度增大的部分时，高度和长度中至少一方是不同的多种工件的加工精度可以提高。
另外，在本发明的加工夹具中，当保持部的厚度在长度方向的各端部与各中间连接部之间一定时，可以更精确地加工长度不同的多种工件。
另外，在本发明的加工夹具中，当端部连接部具有一端与所述本体部相连、向垂直方向延伸的垂直部，一端与所述保持部相连、向水平方向延伸的水平部，与所述垂直部的另一端和水平部的另一端相连、斜向延伸的倾斜部时，能够防止应力集中在特定部位上。
另外，在本发明的加工夹具中，当水平部厚度小于保持部厚度时，能够防止端部连接部的刚性过分减小。
在本发明的加工夹具中，当在端部加载部与保持部之间从保持部长度方向的中央一侧朝向端部一侧地开设缝隙时，可以在保持部上使更靠近端部的部分变形成理想形状。
在本发明的加工夹具中，当所述中间连接部的长度是对应于中间连接部的部分的保持部厚度的1.5倍-2.5倍时，能够防止保持部与理想形状的偏差增大。
基于以上描述，显然可以实现本发明的各种实施例和变形例。因此，在以下权利要求书范围的等同范围内，也可以通过上述最佳实施例以外的形式来实现本发明。
权利要求
1．一种加工夹具，有选择地保持高度和长度中至少一方是不同的多种加工工件，并将其固定在对所述工件进行加工的加工装置上，其特征在于，包括固定在所述加工装置上的本体部，保持所述工件用的细长保持部，与所述保持部中长度方向的中央部相连、施加使所述保持部变形的负荷的中央加载部，与所述保持部中长度方向的两端部附近相连、施加使所述保持部变形的负荷的两个端部加载部，设置在所述中央加载部与各端部加载部之间、连接所述保持部与本体部的两个中间连接部，连接所述保持部长度方向上的两端部与所述本体部的两个端部连接部；在所述保持部的长度方向上，从所述保持部中央到所述保持部端部的长度比从所述保持部中央到所述端部加载部的长度大。
2．如权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，在所述保持部的长度方向上，从所述保持部中央到所述中间连接部的长度大于从所述保持部中央到所述端部加载部的长度的3/7。
3．如权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，在所述保持部的长度方向上，从所述保持部中央到所述中间连接部的长度大于从所述保持部中央到所述端部加载部的长度的1/2大。
4．如权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，在长度方向的中央和各中间连接部之间，所述保持部具有其厚度随着离开长度方向中央或中间连接部而增大的部分。
5．如权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，在长度方向的各端部和各中间连接部之间，所述保持部的厚度是一定的。
6．如权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，所述端部连接部具有一端与所述本体部相连、向垂直方向延伸的垂直部，一端与所述保持部相连、向水平方向延伸的水平部，与所述垂直部的另一端和水平部的另一端相连、斜向延伸的倾斜部。
7．如权利要求6所述的加工夹具，其特征在于，所述水平部的厚度小于所述保持部的厚度。
8．如权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，在所述端部加载部与所述保持部之间，从所述保持部长度方向的中央一侧朝向端部一侧地开设有缝隙。
9．如权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，所述中间连接部的长度是对应于中间连接部的部分的所述保持部厚度的1.5倍-2.5倍。
10．如权利要求1所述的加工夹具，其特征在于，所述工件是构成包括薄膜磁头元件的滑块的部分排成一列以上的薄膜磁头材料。
全文摘要
一种夹具,具有本体部,用于保持构成滑块的部分排成一列以上的晶体块的保持部,与保持部长度方向的中央部相连的中央加载部,与保持部长度方向的两端部相连的端部加载部,设置在中央加载部与各端部加载部之间、连接保持部与本体部的中间连接部,连接保持部长度方向上的两端部与本体部的端部连接部。从保持部中央到保持部端部的长度大于从保持部中央到端部加载部的长度。
文档编号B24B37/04GK1303757SQ0110301
公开日2001年7月18日 申请日期2001年1月12日 优先权日2000年1月13日
发明者石崎和夫, 长谷川诚 申请人:Tdk株式会社