在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置及内表面覆膜容器的制造方法

专利名称：在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置及内表面覆膜容器的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种对容器内表面进行覆膜的覆膜形成装置及内表面 覆膜容器的制造方法。
背景技术：
塑料容器、例如PET瓶，为了防止从外部透过氧气以及/或者防止 从内部(例如碳酸饮料)透过二氧化碳，而尝试在其内表面形成阻膜、 例如DLC (Diamond Like Carbon，类金刚石碳)等碳膜(专利文献1)。作为这种在塑料容器内壁面上形成碳膜的方法，在本申请人已经 申请并公开的专利文献2中有记载。在该专利文献2的图7中公开了 一种在塑料容器内表面形成碳膜的碳膜形成装置，其包括外部电极， 具有在插入作为被处理物的塑料容器时包围该容器的大小；由电介质 材料构成的隔离物，在插入上述塑料容器时至少位于该容器的口部及 肩部和上述外部电极之间；排气管，经由绝缘部件安装在上述容器口 部所处一侧的上述外部电极的端面上；内部电极，从上述排气管侧插 入到上述外部电极内的上述塑料容器内，与接地侧连接；排气单元， 安装在上述排气管上；气体供给单元，用于向上述内部电极供给介质 气体；和高频电源，与上述外部电极连接。以下对这种构成的专利文献2所述的碳膜形成装置在塑料容器、 例如PET瓶内表面形成碳膜的方法进行说明。首先在外部电极内插入PET瓶。将设有由绝缘材料构成的气体吹 出部的内部电极从排气管插入到上述PET瓶的内部，以使上述气体吹出部位于上述PET瓶的底部侧，上述排气管经由绝缘部件安装在上述 PET瓶的口部所处一侧的上述外部电极的端面上。由排气单元将上述PET瓶内外的气体经过上述排气管排出后，由气体供给单元向上述内 部电极供给介质气体，并从该内部电极的气体吹出部向上述PET瓶内 吹出介质气体，将包含上述PET瓶内的排气管内部设定为预定的气体 压力。接着，从高频电源向上述外部电极供给高频电力，在位于上述 PET瓶内的内部电极的周围生成等离子体，通过该等离子体使上述介 质气体离解，而在上述PET瓶内表面形成碳膜。此时，放电区域可能 不仅仅是内部电极的周围，还扩展到排气管(也包括与之连通的分支 排气管)内。但是，在上述构成的碳膜形成装置中，准备多个具有外部电极及 排气管的成膜室，对这些成膜室经过排气管(分支排气管)分别与作 为排气单元的旋转式真空密封机构连接时，存在上述放电区域经过排气管到达旋转式真空密封机构的问题。进而可能与到达了相邻的其他 成膜室的上述旋转式真空密封机构的放电(等离子体)相互干扰而导 致放电不稳定、电源异常。此外，放电区域扩展到排气管时，注入到PET瓶内部的电力减少， 导致电力效率降低。因此，本发明人进行了研究、开发，以将放电区 域尽可能限制在PET瓶内的内部电极的周围。专利文献l:日本特开平8-53116号公报 专利文献2:日本特开2003-286571号公报发明内容本发明人对在塑料容器内表面形成阻膜的阻膜形成装置、以及利 用该阻膜形成装置在塑料容器内表面形成碳膜等阻膜的方法进行了锐 意研究，所述阻膜形成装置的构成为使多个成膜室经过由导电材料构 成的排气管与旋转式真空密封机构连通，所述多个成膜室用于在作为被处理物的塑料容器的内表面形成阻膜。经过研究发现，通过使放电 区域从成膜室扩展到排气管，与预料相反地，较大的等离子罩电压施 加在外部电极和包含成膜室及排气管的接地电极之间，由在等离子体 内离解的介质气体这种阻膜生成气体产生的高能量的正离子可以入射 到上述塑料容器内表面，可以在塑料容器内表面高速形成膜质良好的 碳膜等阻膜。但是，使放电区域从成膜室扩展到排气管，也会如背景 技术中所说明的那样，因与旋转式真空密封机构的关系而产生放电不 稳定、电源异常的问题。本发明鉴于上述问题，其目的在于提供一种在容器内表面形成覆 膜的覆膜形成装置及内表面覆膜容器的制造方法，其可以限制在排气 管内产生的放电区域到达旋转式真空密封机构，防止放电不稳定、电 源异常的产生。由此，本发明人进一步进行了研究发现，通过在由导电材料构成 的排气管内部的预期位置配置通气性且具有导电性的电场屏蔽材料， 可以限制在排气管内产生的放电区域到达旋转式真空密封机构，防止 放电不稳定、电源异常的产生，从而得到本发明。此外，本发明人研究得知，取代在排气管中配置上述电场屏蔽部 件，通过使排气管包括由导电材料构成的管部和绝缘材料构成的管部， 并使该由导电材料构成的管部侧与成膜室连接，可以同样地限制在排 气管内产生的放电区域到达旋转式真空密封机构，防止放电不稳定、 电源异常的产生，从而得到本发明。基于上述见解的本发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置 及内表面覆膜容器的制造方法，其特征为具有以下构成。第1发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，其特征在于， 具有旋转式真空密封机构；和多个成膜室，经过排气管与所述旋转式真空密封机构连通，用于在作为被处理物的容器的内表面通过等离 子体放电形成覆膜，所述排气管由导电材料构成，在从所述成膜室离 开预期距离的内部配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件。第2发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，其特征在于， 具有旋转式真空密封机构；和多个成膜室，经过排气管与所述旋转 式真空密封机构连通，用于在作为被处理物的容器的内表面通过等离 子体放电形成覆膜，所述排气管由导电材料构成，在从所述成膜室离 开预期距离的内部配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件，所述 电场屏蔽部件具有蜂窝结构或网形状。第3发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，在第1或第 2发明中，其特征在于，所述成膜室具有外部电极，具有在插入所述 容器时包围该容器的大小的空洞；导电性的室盖部件，经由绝缘部件 安装在所述容器的口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与所述排 气管连接并且接地；气体吹出部件，从所述室盖部件侧插入到所述外 部电极内的所述容器内，用于吹出覆膜生成气体；和电场施加单元， 用于在所述外部电极与接地的所述室盖部件及排气管之间施加电场。第4发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，在第1或第 2发明中，其特征在于，所述成膜室具有外部电极，具有在插入所述 容器时包围该容器的大小的空洞；导电性的室盖部件，经由绝缘部件 安装在所述容器的口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与所述排 气管连接并且接地；气体吹出部件，从所述室盖部件侧插入到所述外 部电极内的所述容器内，用于吹出覆膜生成气体；和电场施加单元， 用于在所述外部电极与接地的所述室盖部件及排气管之间施加电场， 并且由电介质材料构成的隔离物，在插入所述容器时至少介于该容器 的口部及肩部和所述外部电极之间。第5发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，在第l或第2发明中，其特征在于，所述容器为塑料容器。第6发明的内表面覆膜容器的制造方法，其特征在于，在利用第 3发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置制造内表面覆膜容器 时，包括以下工序(a)将作为被处理物的容器分别插入到多个成膜 室的各外部电极内；(b)将气体吹出部件从导电性的室盖部件插入到所述容器的内部，所述室盖部件经由绝缘部件安装在所述容器的口部所处一侧的所述外部电极的端面上；(c)在旋转式真空密封机构的作 用下，将所述容器内外及所述室盖部件的气体经过在内部的预期位置 配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件的排气管排出，并且从所 述气体吹出部件向所述容器内吹出覆膜生成气体，将包含所述容器内 部的所述室盖部件及排气管内部设定为预定的气体压力；和(d)通过 电场施加单元在所述外部电极与接地电极之间施加电场，所述接地电 极包含所述室盖部件及从电场屏蔽部件到所述室盖部件之间的所述排 气管部分，在包含所述容器内部的所述室盖部件及所述排气管部分生 成等离子体，通过该等离子体使所述覆膜生成气体离解，在所述容器 内表面形成覆膜。第7发明的内表面覆膜容器的制造方法，其特征在于，在利用第 3发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置制造内表面覆膜容器 时，包括以下工序(a)将作为被处理物的容器分别插入到多个成膜 室的各外部电极内；(b)将气体吹出部件从导电性的室盖部件插入到 所述容器的内部，所述室盖部件经由绝缘部件安装在所述容器的口部 所处一侧的所述外部电极的端面上；(c)在旋转式真空密封机构的作 用下，将所述容器内外及所述室盖部件的气体经过在内部的预期位置 配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件的排气管排出，并且从所 述气体吹出部件向所述容器内吹出覆膜生成气体，将包含所述容器内 部的所述室盖部件及排气管内部设定为预定的气体压力；和(d)通过 电场施加单元在所述外部电极和接地电极之间施加电场，所述接地电 极包含所述室盖部件及从电场屏蔽部件到所述室盖部件之间的所述排气管部分，在包含所述容器内部的所述室盖部件及所述排气管部分生 成等离子体，通过该等离子体使所述覆膜生成气体离解，在所述容器 内表面形成覆膜，将所述容器插入所述外部电极时，使由电介质材料 构成的隔离物至少介于所述容器的口部及肩部与所述外部电极之间。第8发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，其特征在于， 具有旋转式真空密封机构；和多个成膜室，经过排气管与所述旋转 式真空密封机构连通，用于在作为被处理物的容器的内表面形成覆膜， 所述排气管由导电材料构成的导电管部和绝缘材料构成的绝缘管部构 成，所述导电管部与所述各成膜室连接。第9发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，其特征在于， 具有旋转式真空密封机构；和多个成膜室，经过排气管与所述旋转 式真空密封机构连通，用于在作为被处理物的塑料容器的内表面形成 覆膜，所述排气管由导电材料构成的导电管部和绝缘材料构成的绝缘 管部而构成，所述导电管部与所述各成膜室连接，并且所述成膜室具 有外部电极，具有在插入所述容器时包围该容器的大小的空洞；导 电性的室盖部件，经由绝缘部件安装在所述容器的口部所处一侧的所 述外部电极的端面上，与所述排气管连接并且接地；气体吹出部件， 从所述室盖部件侧插入到所述外部电极内的所述容器内，用于吹出覆 膜生成气体；和电场施加单元，用于在所述外部电极与接地的所述室 盖部件及排气管之间施加电场。第IO发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，在第9发明 中，其特征在于，由电介质材料构成的隔离物，在插入所述容器时至 少介于该容器的口部及肩部和所述外部电极之间。第11发明的内表面覆膜容器的制造方法，其特征在于，在利用第 9发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置制造内表面覆膜容器 时，包括以下工序(a)将作为被处理物的容器分别插入到多个成膜室的各外部电极内；(b)将气体吹出部件从导电性的室盖部件插入到 所述容器的内部，所述室盖部件经由绝缘部件安装在所述容器的口部 所处一侧的所述外部电极的端面上；(c)在旋转式真空密封机构的作用下，将所述容器内外及所述室盖部件的气体经过由导电材料构成的 管部和绝缘材料构成的管部而构成的排气管排出，并且从所述气体吹 出部件向所述容器内吹出覆膜生成气体，将包含所述塑料容器内部的所述室盖部件及排气管内部设定为预定的气体压力；和(d)通过电场 施加单元在所述外部电极与包含所述室盖部件及所述由导电材料构成的管部的接地电极之间施加电场，在包含所述容器内部的所述室盖部 件及由所述导电材料构成的管部生成等离子体，通过该等离子体使所 述覆膜生成气体离解，在所述容器内表面形成覆膜。第12发明的内表面覆膜容器的制造方法，其特征在于，在利用第 9发明的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置制造内表面覆膜容器 时，包括以下工序(a)将作为被处理物的容器分别插入到多个成膜 室的各外部电极内；(b)将气体吹出部件从导电性的室盖部件插入到 所述容器的内部，所述室盖部件经由绝缘部件安装在所述容器的口部 所处一侧的所述外部电极的端面上；(c)在旋转式真空密封机构的作 用下，将所述容器内外及所述室盖部件的气体经过由导电材料构成的 管部和绝缘材料构成的管部而构成的排气管排出，并且从所述气体吹 出部件向所述容器内吹出覆膜生成气体，将包含所述塑料容器内部的 所述室盖部件及排气管内部设定为预定的气体压力；和(d)通过电场 施加单元在所述外部电极与包含所述室盖部件及所述由导电材料构成 的管部的接地电极之间施加电场，在包含所述容器内部的所述室盖部 件及所述导电材料构成的管部生成等离子体，通过该等离子体使所述 覆膜生成气体离解，在所述容器内表面形成覆膜，将所述容器插入所 述外部电极时，使由电介质材料构成的隔离物至少介于所述容器的口 部及肩部和所述外部电极之间。第13发明的内表面覆膜容器的制造装置，其特征在于，具有用于在作为被处理物的容器的内表面通过等离子体放电形成覆膜的成膜 室，所述成膜室具有外部电极，具有在插入所述容器时包围该容器 的大小的空洞；导电性的室盖部件，经由绝缘部件安装在所述容器的 口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与所述排气管连接并且接地； 气体吹出部件，从所述室盖部件侧插入到所述外部电极内的所述容器 内，用于吹出覆膜生成气体；和电场施加单元，用于在所述外部电极 与接地的所述室盖部件及排气管之间施加电场，所述排气管由导电材 料构成，在从所述成膜室离开预期距离的内部配置有通气性且具有导 电性的电场屏蔽部件，将收纳所述容器的所述外部电极内表面的面积 设为Sl、所述接地电极的面积设为S2时，使二者的面积比S2/S1为1 以上。发明效果根据本发明，可以提供一种在塑料容器内表面形成阻膜的阻膜形 成装置，其可以防止因与旋转式真空密封结构的关系产生放电不稳定、 电源异常，并且在经过排气管与旋转式真空密封机构连通的多个成膜 室中，可以在塑料容器内表面高速形成膜质良好的碳膜等阻膜。此外根据本发明，可以提供一种可制造塑料容器的方法，其可以 防止因与旋转式真空密封结构的关系产生放电不稳定、电源异常，并 且在经过排气管与旋转式真空密封机构连通的多个成膜室中，在内表 面形成膜质良好的碳膜等阻膜，对氧气及二氧化碳的阻挡性优良。


图1是表示本发明第一实施方式的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置的俯视图。图2是表示包含图1的成膜室的主要部分剖视图。图3是表示本发明第一实施方式的其他方式的覆膜形成装置的主要部分剖视图。图4是表示本发明第一实施方式的另一方式的覆膜形成装置的主要部分剖视图。图5是表示本发明的实施例l及比较例1中的阻气性的特性图。 图6是表示本发明第二实施方式的覆膜形成装置的主要部分剖视图。标号说明1、 旋转式真空密封机构2、 旋转盘11、排气管12a、由导电材料构成的管部(导电管部) 12b、由绝缘材料构成的管部(绝缘管部) 21、成膜室 27、外部电极 30、圆柱状隔离物 32、室盖部件34、 气体供给管35、 高频电源39、 蜂窝形导体(通气性的具有导电性的电场屏蔽部件)40、 层叠金属网(通气性的具有导电性的电场屏蔽部件)41、 挡板(通气性的具有导电性的电场屏蔽部件) B、 PET瓶具体实施方式
以下根据附图详细说明本发明的覆膜形成装置的实施例。另外本 发明不限于该实施例。(第一实施方式)图1是表示第一实施方式的覆膜形成装置的俯视图，图2是包含 图1的成膜室的主要部分剖视图。如图1所示，覆膜形成装置的旋转式真空密封机构1，在固定盘 (未图示)上设有例如在逆时针方向上旋转的旋转盘2。在该旋转盘的 外周侧面连接有放射状地排列的多个排气管11，且在这些排气管11的 前端分别连接有成膜室21。在上述旋转式真空密封机构1中，在上述 旋转盘2上贯通与上述排气管11的个数对应数量的排气孔，这些排气 孔的一端与上述排气管11连通，另一端经过在固定盘上穿设的预定数 量的长孔(例如四个长孔)而与具有4级的真空度的真空泵(未图示)连通。并且，通过未图示的传送装置将作为被处理物的容器(例如PET 瓶，以下在实施方式中称为"PET瓶B")传送到位于图1的S点上 的成膜室21后，将上述容器存储在该成膜室21中。并且通过上述旋 转盘2在逆时针方向上旋转的同时在成膜室21中成膜，在图1的F点 将形成了作为覆膜的阻膜的PET瓶B取出。在此，从上述S点开始到 该F点前的阻膜成膜位置为止的区间，上述成膜室21内的真空度以四 个区域从低真空到高真空逐渐提高真空度，达到适于成膜的真空度。接下来图2表示上述成膜室21的简要构成。上述成膜室21如图2所示，具备在设于圆环状基台22上的上下 端上具有凸缘23a，23b的、由导电材料构成的圆筒状支撑部件24，该 成膜室21从室盖部件32经由上端凸缘23a而垂下。此外，筒状的由导电材料构成的外部电极主体25被配置在上述支 撑部件24内。呈圆板状的由导电材料构成的外部电极底部件26，可装 卸地安装在上述外部电极主体25的底部。通过上述外部电极主体25 及上述外部电极底部件26构成有底圆筒状的外部电极27，该外部电极 27具有可设置形成阻膜(例如碳膜)的塑料容器(PET瓶)B的较大 空间。此外，在上述基台22和上述外部电极底部件26之间配置有圆 板状绝缘体28。此外，上述外部电极底部件26、上述圆板状绝缘体28及上述基 台22，通过未图示的推动器而相对于上述外部电极25—体地上下移动， 以开闭上述外部电极主体25的底部。另外，在打开底部时可以依次拆 卸基台22、绝缘体28及外部电极底部件26，在关闭时可以相反地依 次组装外部电极底部件26、绝缘体28及基台22。圆柱状隔离物30，具有与插入到内部的PET瓶B的口部及肩部对 应的、组合了圆柱及圆台的形状的空洞部29，由电介质材料构成。该 圆柱状隔离物30被插入到上述主体25的上部。该隔离物30通过从放置于其上的后述环状绝缘部件螺紧的螺钉 (未图示)而固定。环状绝缘部件31被放置在上述外部电极27上表 面，以使该环状绝缘部件31上表面与上述筒状支撑部件24的上部凸 缘23a平齐。该环状绝缘部件31的中空部，具有与上述隔离物30上 端的与PET瓶B的口部抵接的空洞部29相同的直径。由此将圆柱状隔离物30插入到上述外部电极27中的上述主体25 的上部，且将上述环状绝缘部件31固定在该隔离物30及外部电极27 上表面上。其结果，将PET瓶B从上述外部电极主体25的底部侧插入 到其内部时，该PET瓶B的口部上端收纳在上述环状绝缘部件31的中 空部内，PET瓶B的口部及肩部收纳在上述隔离物30的空洞部29内， 其余的PET瓶B部分收纳在上述外部电极27内。作为构成上述圆柱状隔离物30的电介质材料，例如可以包括介电 常数为1.5 20的塑料或陶瓷。作为塑料可以使用各种物质，但特别优 选高频损耗低(例如tan0为20X10—4以下)、耐热性优良的聚四氟乙 烯等氟树脂。作为陶瓷优选高频损耗低(例如tar^为20X104以下) 的氧化铝、滑石、或机械加工性高的MACOR (73—AO 。接下来对构成成膜室21的室盖部件32进行说明。在此，由导电材料构成的矩形块状的室盖部件32在其侧面连接有上述排气管11以 使其与放电室33连通。并且，上述圆筒状支撑部件24从室盖部件32经由上部凸缘23a 而垂下，室盖部件32位于上述环状绝缘部件31的上面侧且接地。该 室盖部件32从底面至侧面(图2的左侧面)形成截面为大致L形的放 电室33。该放电室33在其底部侧与上述环状绝缘部件31的中空部(插 入PET瓶B时为其口部)连通。作为气体吹出部件的气体供给管34，贯通上述室盖部件32，并插 入到上述外部电极27的外部电极主体25内的PET瓶B的底部附近。该气体供给管34可以用例如铝、不锈钢等金属之类的导电材料制 作，也可以用例如氧化铝等陶瓷之类的绝缘材料制作。其中，由于气 体供给管34贯通接地的上述室盖部件32，因此在由导电材料制作时与 室盖部件32 —起接地。用于在上述外部电极27与后述接地电极之间施加电场的电场施 加单元、即例如输出频率为13.65MHz的高频电力的高频电源35，经 电缆36及供电端子37而与上述外部电极27的主体25侧面连接。耦 合器38安装在上述高频电源35和上述供电端子37之间的上述电缆36 上。上述排气管11例如由不锈钢等金属之类的导电材料制作，通过与 上述室盖部件32连接而接地。在此，本发明的通气性且具有导电性的电场屏蔽部件、即蜂窝形 导体39被配置在上述排气管11内的预期位置上。通过将该蜂窝形导 体39设置在预期位置上，可以由该蜂窝形导体39限制在排气管11内产生的放电区域，阻止该放电区域到达旋转式真空密封机构1。其结果， 可以防止放电不稳定、电源异常的产生。此外，通过改变蜂窝形导体39在上述排气管11内的配置位置(即 改变实际作为接地电极发挥作用的排气管11的长度)，可以控制外部 电极和接地电极的面积比(S2/S1)。在此，Sl为收纳塑料容器的上述外部电极27内表面的面积，S2 为接地电极的面积，即将上述室盖部件32的放电室33内表面以及从 蜂窝形导体39到室盖部件32为止的排气管11内表面的面积相加后的 面积。另外，上述气体供给管34由导电材料制作时作为接地电极发挥 作用，因此作为S2也将该室盖部件32以及位于外部电极27内的气体 供给管34的外周面积相加计算。接下来利用上述图1及图2所示的阻膜形成装置说明内表面阻膜 被覆塑料容器的制造方法。在图1所示的S点，通过未图示的推动器，将成膜室21的基台 22、外部电极底部件26及圆板状绝缘体28作为一体而打开外部电极 主体25的底部。接着，从打开的外部电极主体25打开的底部侧，从 PET瓶B的口部侧插入。其后，通过未图示的推动器在外部电极主体 25的底部侧将外部电极底部件26、圆板状绝缘体28及基台22依次作 为一体而关闭。从而如图2所示，分别以抵接的方式将PET瓶B的口 部上端收纳在上述环状绝缘部件31的中空部内，将PET瓶B的口部及 肩部收纳在上述隔离物30的空洞部29内，将其余的PET瓶B部分收 纳在上述外部电极27内。此时，上述PET瓶B经过其口部与室盖部件 32的放电室33连通。接下来，通过旋转式真空密封机构1的旋转盘2使收纳有PET瓶 B的成膜室21在逆时针方向旋转。并且，在图1中，到形成有阻膜的PET瓶被取出的F点前的阻膜的成膜位置为止的区间，经过排气管11排出上述成膜室21的室盖部件32的放电室33以及上述PET瓶B内外 的气体，使这些空间的真空度按照旋转式真空密封机构1的四个区域 从低真空向高真空逐渐上升。接着，在图2中，向气体供给管34供给 阻膜生成气体(例如介质气体)，并从其下端吹出到PET瓶B内。该 介质气体进一步流向PET瓶B的口部。然后，取得气体供给量和气体 排气量的平衡，将上述PET瓶B内设定为预定的气体压力。接着，从高频电源35经过电缆36、耦合器38及供电端子37向 上述外部电极27的主体25供给例如频率为13.56MHz的高频电力。此 时，在上述外部电极27、和从作为接地电极的上述室盖部件32及蜂窝 形导体39的配置位置开始到室盖部件32为止的排气管11部分之间， 产生放电并生成等离子体。通过这种等离子体的生成，介质气体由上 述等离子体离解，成膜核离子堆积在上述外部电极27内的PET瓶B 内表面上，高速形成膜质良好的作为阻膜的碳膜，从而制造出内表面 阻膜被覆PET瓶。此后，成膜室21通过旋转式真空密封机构1的旋转 盘2而到达图1的F点时，从成膜室21取出内表面阻膜被覆PET瓶。 此外，气体供给管34由导电材料制作时，作为接地电极而发挥作用。作为上述介质气体，以碳氢化合物为基本，例如可以使用甲垸、 乙垸、丙垸、丁烷、戊垸、己烷等链烷类，乙烯、丙烯、丁烯、戊烯、 丁二烯等链烯类，乙炔等链炔类，苯、甲苯、二甲苯、茚、萘、菲等 芳香族烃类，环丙烷、环己垸等环垸类，环戊烯、环己烯等环烯类， 甲醇、乙醇等含氧烃类，甲胺、乙胺、苯胺等含氮烃类等，此外也可 以使用一氧化碳、二氧化碳等。此外，为了等离子体的稳定化、等离 子体特性的适当化，有时可以在介质气体中混合Ar、 He等惰性气体。作为上述阻膜生成气体，除了上述介质气体之外，可以使用用于 SiOx的成膜的六甲基二硅胺之类的硅氧垸与氧气的混合气体。上述高频电力一般使用13.56MHz、 100 1000W，但不限于此。 此外，这些电力的施加可以是连续的，也可以是间断的(脉冲式的)。在上述PET瓶B内表面形成阻膜时，优选将收纳上述PET瓶B 的外部电极27内表面的面积(Sl)和接地电极的面积(S2)的面积比 (S2/S1)控制为1以上。g口，改变蜂窝形导体39在上述排气管11内 的配置位置，实际上是改变作为接地电极发挥作用的排气管11的长度， 控制为预期的面积比，从而可以控制放电区域。其中，使该面积比增 大到必要以上时，放电区域过大，电力效率降低，在PET瓶内表面上 形成的阻膜的阻挡性可能下降。因此上述面积比(S2/S1)的上限优选 为5。特别优选面积比(S2/S1)的上限为3.5。以上根据第一实施方式，在经过排气管11与旋转式真空密封机构 1的旋转盘2连接的多个成膜室21内收纳PET瓶B，在该PET瓶B的 内表面连续形成阻膜时，在排气管ll内配置通气性且具有导电性的电 场屏蔽部件、即蜂窝形导体39，将由导电材料构成的室盖部件32、以 及从上述蜂窝形导体39的配置位置开始到室盖部件32为止的排气管 11部分作为接地电极发挥作用，使放电区域从室盖部件32扩展到与之 连通的排气管11，从而可以在外部电极和包含室盖部件32及上述排气 管ll部分的接地电极之间施加较大的等离子鞘层电压，可以将由在等 离子体内离解的介质气体等阻膜生成气体产生的高能量的正离子入射 到上述PET瓶B内表面，因此可以在PET瓶B内表面高速形成膜质良 好的碳膜之类的阻膜。此外，通过在由导电材料构成的排气管11内部的预期位置配置蜂 窝形导体39，可以用蜂窝形导体39限制在排气管11内产生的放电区 域，阻止其到达旋转式真空密封机构1，因此可以防止放电不稳定、电 源异常的产生。进而，由于可以用蜂窝形导体39限制在排气管11内产生的放电区域，阻止其到达旋转式真空密封机构1，因此可以防止与相邻的其他 成膜室的到达了上述旋转式真空密封机构的放电(等离子体)相互干 扰，可以防止放电不稳定、电源异常的产生。另外，通过改变蜂窝形导体39在上述排气管11内的配置位置(即 改变实际作为接地电极发挥作用的排气管11的长度)，将收纳上述PET瓶的外部电极27内表面的面积(Sl)和接地电极的面积(S2)的面积 比(S2/S1)控制为1以上，从而可以在PET瓶B内表面高速形成膜质 良好的碳膜之类的阻膜。进而，将具有空洞部29的由电介质材料构成的圆柱状隔离物30 插入到外部电极27的上部并固定，将PET瓶B的至少从口部到肩部收 纳在上述隔离物30的空洞部29内并使之与该空洞部29的内表面接触， 从而不仅在上述PET瓶B的肩部以下的瓶体内表面，在与上述由电介 质材料构成的隔离物30相对的PET瓶B的从口部到肩部的内表面上也 可以以均匀厚度形成膜质良好的碳膜之类的阻膜。因此可以提供一种可以在PET瓶B内表面高速形成膜质良好的碳 膜之类的阻膜的、可靠性高的在塑料容器内表面形成阻膜的阻膜形成 装置。此外可以制造防止了从外部透过氧气、从内部(例如碳酸饮料) 透过二氧化碳的、阻挡性优良的内表面阻膜被覆PET瓶。在此，本发明所获得的阻膜包括与金刚石(碳原子的结合为SP3 结合)相比石墨(碳原子的结合为SPZ结合)的比例较多、在微小硬度 测量法下为10Gpa以下的软质的碳膜；以及放电电压增高、石墨的比 例减少、在微小硬度测量法下为10 20Gpa的硬质的碳膜、即所谓类 金刚石碳膜(DLC膜)。此外，也包含Si02或SiOx膜。进而，也包括 其中以极微量 百分之几程度的比例混入了金属原子、N、 O等异种原子的膜。此外，在此以阻膜为例，但作为本发明的覆膜也包含以提高 耐化学药品性、耐磨损性为目的的膜。在此，本发明中对内表面进行了阻膜被覆处理的容器，除了以PET 瓶为代表的所谓塑料容器之外，可以包括玻璃容器、陶瓷容器、纸容器等。作为上述容器，例如可以包括填充碳酸饮料等挥发性液体的塑料 容器、填充燃料等的塑料制的汽车用燃料容器等。此外，作为其他容 器例如可以包括医药品用塑料容器、食品用塑料容器。进而也包括透 过性高、需要具有阻气性的气体的容器。此外，塑料配管等在本发明 中也与容器同样，可以在内表面的覆膜形成中应用本发明。另外，在上述第一实施方式中，作为配置在排气管ll内的通气性 且具有导电性的电场屏蔽部件使用了蜂窝形导体，但也可以如以下参照图3、图4所说明的那样使用各种方式的部件。另外，在图3、图4 中，与上述图2相同的部件标以相同标号并省略说明。在此，图3是表示本发明第一实施方式的其他方式的覆膜形成装 置的主要部分剖视图。(1)如图3所示，作为通气性且具有导电性的电场屏蔽部件的、 层叠了多张例如3张的金属网40，被配置在上述排气管11内的预期位 置。在这种构成中，通过改变层叠金属网40在上述排气管11内的配 置位置(即改变实际作为接地电极发挥作用的排气管11的长度)，可 以控制外部电极和接地电极的面积比(S2/S1)，优选使该面积比(S2/S1) 为1以上。而考虑到如上所述放电区域过大会导致在PET瓶内表面形 成的阻膜的阻挡性下降，优选使上述面积比(S2/S1)的上限为5。在此，图4是表示本发明第一实施方式的另一方式的覆膜形成装置的主要部分剖视图。(2)如图4所示，作为通气性且具有导电性的电场屏蔽部件的由 导电材料构成的挡板41，被配置在上述排气管11内的预期位置。在这 种构成中，通过改变挡板41在上述排气管11内的配置位置(即改变 实际作为接地电极发挥作用的排气管ll的长度)，可以控制外部电极和接地电极的面积比(S2/S1)，优选使该面积比(S2/S1)为1以上。 而考虑到如上所述放电区域过大会导致在PET瓶内表面形成的阻膜的 阻挡性下降，优选使上述面积比(S2/S1)的上限为5。以下对本发明第一实施方式的具体实施例进行说明，但本发明不 限于此。(实施例1)利用上述图l及图2所示的阻膜形成装置，将PET瓶B的口部上 端收纳在上述环状绝缘部件31的中空部内，将PET瓶B的口部及肩部 收纳在上述隔离物30的空洞部29内，将其余的PET瓶B部分收纳在 上述外部电极27内，利用铝制的气体供给管34，且改变蜂窝形导体 39在排气管11内的配置位置来控制收纳PET瓶B的外部电极27内表 面的面积(Sl)和接地电极的面积(S2)的面积比(S2/S1)，按照下 述条件在上述PET瓶B内表面形成碳膜。(碳膜的形成条件)圆柱状隔离物30:由示卜^一》(商品名，住金陶瓷制造(住金 ir， $ 、;/夕7制))制作面积比(S2/S1) =1 3.5 介质(:2112气体 介质的气体流量124sccmPET瓶B及室盖部件32内的气体压力0.3Torr 供给到外部电极27的高频电力13MHz、 1600W成膜时间3秒 (比较例1)利用上述图l及图2所示的阻膜形成装置，将PET瓶B的口部上端收纳在上述环状绝缘部件31的中空部内，将PET瓶B的口部及肩部 收纳在上述隔离物30的空洞部29内，将其余的PET瓶B部分收纳在 上述外部电极27内，且将蜂窝形导体配置在从室盖部件32的上升部 分向排气管ll侧延伸的角部，使排气管不作为放电区域起作用，使外 部电极27内表面的面积(S1)和接地电极的面积(S2)的面积比(S2/S1) 为0.7，除此以外按照与实施例1相同的方法进行操作，在PET瓶B 内表面形成碳膜。在实施例1及比较例1中，从以面积比(S2/S1)不同的值形成了 碳膜的PET瓶B的瓶体分别切割30cti^的样品，利用氧气透过率测定 装置(Modern Control公司制造，商品名为OXTRAN)测定氧气透过 率，根据换算为厚度20nm的碳膜的氧气透过率求出相对的氧气阻挡 性。其结果如图5所示。从图5可以明确，在使排气管实际作为放电区域发挥作用、使外 部电极27内表面的面积(S1)和接地电极的面积(S2)的面积比(S2/S1) 为1以上的实施例1中，与使排气管11不作为放电区域起作用、使上 述面积比(S2/S1)为0.7的比较例1相比，阻气性良好，即可以在PET 瓶内表面形成膜质良好的碳膜。(第二实施方式)第二实施方式的在塑料容器内表面形成阻膜的阻膜形成装置，除 了图6所示的排气管结构不同以外，实质上具有与上述图1及图2相 同的结构。另外，对于与第一实施方式的装置相同的构成部件，标以 相同标号并省略说明。该阻膜形成装置如图6所示，排气管11是将由不锈钢等金属类的 导电材料构成的管部(导电管部)12a、与由聚乙烯、聚丙烯等合成树 脂、氧化铝等陶瓷类的绝缘材料构成的管部(绝缘管部)12b相互连接 而构成。该导电管部12a侧与成膜室21的室盖部件32的侧面连接以 与该部件32的放电室33连通，上述绝缘管部12b侧与旋转式真空密 封机构1的旋转盘2连接。通过改变上述排气管11所占的导电管部12a的长度(即改变实际 作为接地电极发挥作用的排气管11的长度)，可以控制收纳上述PET 瓶B的外部电极27内表面的面积(Sl)和接地电极的面积(S2)的面 积比(S2/S1)，优选使该面积比(S2/S1)为1以上。而考虑到如上所 述因放电区域过大导致在PET瓶内表面形成的阻膜的阻挡性下降，优 选使上述面积比(S2/S1)的上限为5，更优选使该上限为3.5。以上根据第二实施方式，在经过排气管11与图1所示的旋转式真 空密封机构1的旋转盘2连接的多个成膜室21内收纳PET瓶B，在该 PET瓶B的内表面连续形成阻膜时，由导电管部12a和绝缘管部12b 构成排气管11，将上述导电管部12a与成膜室21的室盖部件32的侧 面连接以与该部件32的放电室33连通，将由导电材料构成的室盖部 件32以及上述排气管11的导电管部12a作为接地电极发挥作用，使 放电区域从室盖部件32扩展到与之连通的排气管11的导电管部12a， 从而可以在外部电极27和包含室盖部件32及上述排气管11部分的接 地电极之间施加较大的等离子体鞘层电压，可以将由在等离子体内离 解的介质气体等阻膜生成气体产生的高能量的正离子入射到上述PET 瓶B内表面，因此可以在PET瓶B内表面高速形成膜质良好的碳膜之类的阻膜。此外，通过导电管部12a和绝缘管部12b构成上述排气管11，从 而可以将放电区域限制在排气管11的导电部管12a内，阻止其到达旋 转式真空密封机构l，因此可以防止放电不稳定、电源异常的产生。另外，通过改变上述排气管ll所占的导电管部12a的长度(即改变实际作为接地屯极发挥作用的排气管11的长度)，将收纳上述PET 瓶B的外部电极27内表面的面积(Sl)和接地电极的面积(S2)的面 积比(S2/S1)控制为1以上，从而可以在PET瓶B内表面高速形成膜 质良好的碳膜之类的阻膜。因此，根据第二实施方式，与第一实施方式同样地，可以提供一 种可以在PET瓶B内表面高速形成膜质良好的碳膜之类的阻膜的、可 靠性高的在塑料容器内表面形成阻膜的阻膜形成装置。此外可以制造防止了从外部透过氧气、从内部(例如碳酸饮料) 透过二氧化碳的阻挡性优良的内表面阻膜被覆PET瓶。以下对本发明的第二实施方式的具体实施例进行说明，但本发明 不限于此。(实施例2)利用上述图l及图6所示的阻膜形成装置，将PET瓶B的口部上 端收纳在上述环状绝缘部件31的中空部内，将PET瓶B的口部及肩部 收纳在上述隔离物30的空洞部29内，将其余的PET瓶B部分收纳在 上述外部电极27内，利用铝制的气体供给管34，且改变构成排气管 11的导电管部12a的长度，控制收纳PET瓶B的外部电极27内表面 的面积(Sl)和接地电极的面积(S2)的面积比(S2/S1)，按照下述 条件在上述PET瓶B内表面形成碳膜。(碳膜的形成条件)圆柱状隔离物30:由本卜^一小(商品名，注金陶瓷制造)制作 面积比(S2/S1) =1~3.5 介质QH2气体介质的气体流量124sccmPET瓶B及室盖部件32内的气体压力0.3Torr 供给到外部电极27的高频电力13MHz、 1600W 成膜时间3秒在实施例2中，从以面积比(S2/S1)不同的值形成了碳膜的PET 瓶B的瓶体分别切割30ci^的样品，利用氧气透过率测定装置(Modera Control公司制造，商品名为OXTRAN)测定氧气透过率，根据换算为 厚度20nm的碳膜的氧气透过率求出相对的氧气阻挡性。其结果与实施 例1同样地，与使排气管11不作为放电区域起作用的情况相比，可以 在PET瓶B内表面形成阻气性良好且膜质良好的碳膜。另外，在上述实施例1、 2中气体供给管34使用了铝制的管，但 如果改为由氧化铝之类的陶瓷制作的气体供给管，虽然阻气性会稍微 下降，但可以在PET瓶B内表面形成毫不逊色的具有良好膜质的碳膜。 这是由于，由陶瓷制作的气体供给管不作为接地电极发挥作用，从而 上述面积比(S2/S1)稍微下降。在上述第一、第二实施方式中，作为电场施加单元使用了与外部 电极连接的高频电源，但例如也可以由与外部电极连接的偏压电源和 与气体供给管(内部电极)连接的高频电源来构成电场施加单元，使 气体排出管为接地电位。根据这种构成，可以提高作为阻膜的碳膜的 形成速度。以上利用图2所示的成膜室21对本发明的在容器内表面形成覆膜 的覆膜形成装置进行了说明，但成膜室不限于此，例如只要是使等离 子体扩散到将旋转式真空密封机构1和成膜室21连通的排气管11内 的成膜室，在任意情况下均可适用。此外，在本发明中为在内表面形 成覆膜的成膜室，但不仅在容器内表面，也可以是在外表面形成覆膜 的成膜室。工业利用性根据上述本发明，可以提供一种量产性优良的在塑料容器内表面 形成阻膜的阻膜形成装置，其可以防止因与旋转式真空密封结构的关 系产生放电不稳定、电源异常，并且在经过排气管与旋转式真空密封 机构连通的多个成膜室中，可以在塑料容器内表面高速形成膜质良好 的碳膜等阻膜。此外根据本发明，可以提供一种可制造对饮料用PET瓶有用的塑 料容器的方法，其可以防止因与旋转式真空密封结构的关系产生放电 不稳定、电源异常，并且在经过排气管与旋转式真空密封机构连通的 多个成膜室中，在内表面形成膜质良好的碳膜等阻膜，对氧气及二氧 化碳的阻挡性优良。
权利要求
1.一种在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，其特征在于，具有旋转式真空密封机构；和多个成膜室，经过排气管与所述旋转式真空密封机构连通，用于在作为被处理物的容器的内表面通过等离子体放电形成覆膜，所述排气管由导电材料构成，在从所述成膜室离开预期距离的内部配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件。
2. —种在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，其特征在于， 具有旋转式真空密封机构；和多个成膜室，经过排气管与所述旋转式真空密封机构连通，用于在作为被处理物的容器的内表面通过 等离子体放电形成覆膜，所述排气管由导电材料构成，在从所述成膜室离开预期距离的内 部配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件，所述电场屏蔽部件具有蜂窝结构或网形状。
3. 根据权利要求1或2所述的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成 装置，其特征在于，所述成膜室具有外部电极，具有在插入所述容器时包围该容器 的大小的空洞；导电性的室盖部件，经由绝缘部件安装在所述容器的 口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与所述排气管连接并且接地； 气体吹出部件，从所述室盖部件侧插入到所述外部电极内的所述容器 内，用于吹出覆膜生成气体；和电场施加单元，用于在所述外部电极 与接地的所述室盖部件及排气管之间施加电场。
4. 根据权利要求1或2所述的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成 装置，其特征在于，所述成膜室具有外部电极，具有在插入所述容器时包围该容器 的大小的空洞；导电性的室盖部件，经由绝缘部件安装在所述容器的口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与所述排气管连接并且接地; 气体吹出部件，从所述室盖部件侧插入到所述外部电极内的所述容器 内，用于吹出覆膜生成气体；和电场施加单元，用于在所述外部电极 与接地的所述室盖部件及排气管之间施加电场，并且由电介质材料构成的隔离物，在插入所述容器时至少介于该容器 的口部及肩部和所述外部电极之间。
5. 根据权利要求1或2所述的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成 装置，其特征在于，所述容器为塑料容器。
6. —种内表面覆膜容器的制造方法，其特征在于， 在利用权利要求3所述的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置制造内表面覆膜容器时，包括以下工序(a) 将作为被处理物的容器分别插入到多个成膜室的各外部电极内；(b) 将气体吹出部件从导电性的室盖部件插入到所述容器的内 部，所述室盖部件经由绝缘部件安装在所述容器的口部所处一侧的所 述外部电极的端面上；(c) 在旋转式真空密封机构的作用下，将所述容器内外及所述室 盖部件的气体经过在内部的预期位置配置有通气性且具有导电性的电 场屏蔽部件的排气管排出，并且从所述气体吹出部件向所述容器内吹 出覆膜生成气体，将包含所述容器内部的所述室盖部件及排气管内部 设定为预定的气体压力；和(d) 通过电场施加单元在所述外部电极与接地电极之间施加电 场，所述接地电极包含所述室盖部件及从电场屏蔽部件到所述室盖部 件之间的所述排气管部分，在包含所述容器内部的所述室盖部件及所 述排气管部分生成等离子体，通过该等离子体使所述覆膜生成气体离 解，在所述容器内表面形成覆膜。
7. —种内表面覆膜容器的制造方法，其特征在于， 在利用权利要求3所述的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置制造内表面覆膜容器时，包括以下工序(a) 将作为被处理物的容器分别插入到多个成膜室的各外部电极内；(b) 将气体吹出部件从导电性的室盖部件插入到所述容器的内 部，所述室盖部件经由绝缘部件安装在所述容器的口部所处一侧的所 述外部电极的端面上；(c) 在旋转式真空密封机构的作用下，将所述容器内外及所述室 盖部件的气体经过在内部的预期位置配置有通气性且具有导电性的电 场屏蔽部件的排气管排出，并且从所述气体吹出部件向所述容器内吹 出覆膜生成气体，将包含所述容器内部的所述室盖部件及排气管内部 设定为预定的气体压力；和(d) 通过电场施加单元在所述外部电极和接地电极之间施加电 场，所述接地电极包含所述室盖部件及从电场屏蔽部件到所述室盖部 件之间的所述排气管部分，在包含所述容器内部的所述室盖部件及所 述排气管部分生成等离子体，通过该等离子体使所述覆膜生成气体离 解，在所述容器内表面形成覆膜，将所述容器插入所述外部电极时，使由电介质材料构成的隔离物 至少介于所述容器的口部及肩部和所述外部电极之间。
8. —种在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，其特征在于， 具有旋转式真空密封机构；和多个成膜室，经过排气管与所述旋转式真空密封机构连通，用于在作为被处理物的容器的内表面形成 覆膜，所述排气管由导电材料构成的导电管部和绝缘材料构成的绝缘管 部而构成，所述导电管部与所述各成膜室连接。
9. 一种在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，其特征在于， 具有旋转式真空密封机构；和多个成膜室，经过排气管与所述旋转式真空密封机构连通，用于在作为被处理物的塑料容器的内表面 形成覆膜，所述排气管由导电材料构成的导电管部和绝缘材料构成的绝缘管 部而构成，所述导电管部与所述各成膜室连接，并且所述成膜室具有外部电极，具有在插入所述容器时包围该容器 的大小的空洞；导电性的室盖部件，经由绝缘部件安装在所述容器的 口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与所述排气管连接并且接地； 气体吹出部件，从所述室盖部件侧插入到所述外部电极内的所述容器 内，用于吹出覆膜生成气体；和电场施加单元，用于在所述外部电极 与接地的所述室盖部件及排气管之间施加电场。
10. 根据权利要求9所述的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装 置，其特征在于，由电介质材料构成的隔离物，在插入所述容器时至少介于该容器 的口部及肩部与所述外部电极之间。
11. 一种内表面覆膜容器的制造方法，其特征在于， 在利用权利要求9所述的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置制造内表面覆膜容器时，包括以下工序(a) 将作为被处理物的容器分别插入到多个成膜室的各外部电极内；(b) 将气体吹出部件从导电性的室盖部件插入到所述容器的内 部，所述室盖部件经由绝缘部件安装在所述容器的口部所处一侧的所 述外部电极的端面上；(c) 在旋转式真空密封机构的作用下，将所述容器内外及所述室 盖部件的气体经过包括由导电材料构成的管部和由绝缘材料构成的管 部的排气管排出，并且从所述气体吹出部件向所述容器内吹出覆膜生 成气体，将包含所述塑料容器内部的所述室盖部件及排气管内部设定 为预定的气体压力；和(d) 通过电场施加单元在所述外部电极和包含所述室盖部件及所述由导电材料构成的管部的接地电极之间施加电场，在包含所述容器 内部的所述室盖部件及所述由导电材料构成的管部生成等离子体，通 过该等离子体使所述覆膜生成气体离解，在所述容器内表面形成覆膜。
12. —种内表面覆膜容器的制造方法，其特征在于， 在利用权利要求9所述的在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置制造内表面覆膜容器时，包括以下工序(a) 将作为被处理物的容器分别插入到多个成膜室的各外部电极内；(b) 将气体吹出部件从导电性的室盖部件插入到所述容器的内 部，所述室盖部件经由绝缘部件安装在所述容器的口部所处一侧的所述外部电极的端面上；(C)在旋转式真空密封机构的作用下，将所述容器内外及所述室 盖部件的气体经过包括由导电材料构成的管部和由绝缘材料构成的管 部的排气管排出，并且从所述气体吹出部件向所述容器内吹出覆膜生 成气体，将包含所述塑料容器内部的所述室盖部件及排气管内部设定为预定的气体压力；和(d)通过电场施加单元在所述外部电极和包含所述室盖部件及所 述由导电材料构成的管部的接地电极之间施加电场，在包含所述容器 内部的所述室盖部件及所述由导电材料构成的管部生成等离子体，通 过该等离子体使所述覆膜生成气体离解，在所述容器内表面形成覆膜， 将所述容器插入所述外部电极时，使由电介质材料构成的隔离物 至少介于所述容器的口部及肩部与所述外部电极之间。
13. —种内表面覆膜容器的制造装置，其特征在于， 具有用于在作为被处理物的容器的内表面通过等离子体放电形成覆膜的成膜室，所述成膜室具有外部电极，具有在插入所述容器时包围该容器 的大小的空洞；导电性的室盖部件，经由绝缘部件安装在所述容器的 口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与所述排气管连接并且接地；气体吹出部件，从所述室盖部件侧插入到所述外部电极内的所述容器 内，用于吹出覆膜生成气体；和电场施加单元，用于在所述外部电极 与接地的所述室盖部件及排气管之间施加电场，所述排气管由导电材料构成，在从所述成膜室离开预期距离的内 部配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件，将收纳所述容器的所述外部电极内表面的面积设为Sl、所述接地 电极的面积设为S2时，使二者的面积比S2/S1为1以上。
全文摘要
本发明提供一种在容器内表面形成覆膜的覆膜形成装置，具有多个成膜室(21)，其经过排气管(11)与旋转式真空密封机构(1)连通，用于在PET瓶(B)的内表面形成覆膜，所述排气管由导电材料构成，在其内部的预期位置配置有通气性且具有导电性的电场屏蔽部件、即蜂窝形导体(39)，且所述成膜室具有外部电极(27)，具有在插入容器时包围该容器的大小的空洞；导电性的室盖部件(32)，经由绝缘部件(31)安装在所述容器的口部所处一侧的所述外部电极的端面上，与排气管连接并且接地；气体吹出部件(34)，从室盖部件侧插入到外部电极(27)内的所述容器内，用于吹出覆膜生成气体；和作为电场施加单元的高频电源(35)，用于在外部电极与接地的室盖部件及排气管之间施加电场。
文档编号C23C16/44GK101223299SQ200580051069
公开日2008年7月16日 申请日期2005年7月12日 优先权日2005年7月12日
发明者上田敦士, 中地正明, 山越英男, 浅原裕司, 石濑文彦 申请人:三菱重工食品包装机械株式会社