专利名称：：喷涂用粉末和粉末制法、用该粉末的喷涂层及喷涂层制法的制作方法
技术领域：
：本发明实施例涉及喷涂工艺用粉末和制成该粉末的方法，及使用该粉末的喷涂层和形成该喷涂层的方法。更具体地，本发明的实施例涉及其孔隙数量减少了的喷涂工艺用粉末和制成这种粉末的方法，以及使用了这种粉末、其层密度得到改善的喷涂层，以及形成该喷涂层的方法。
背景技术：
：在通常的等离子体处理系统中，源气转变成等离子体，该源等离子体对如半导体晶片之类的基板进行处理。该源等离子体除了对基板进行处理，还会对等离子体处理系统的工艺室的内表面造成损伤。为此，在工艺室的内表面上涂有防止工艺室受损的保护层。最广为采用的等离子体工艺室内保护层是喷涂层，用于防止因源等离子体引起的工艺室内表面腐蚀。所述喷涂层采用氧化钇(Y203)、氧化铝(Al203)、二氧化硅(Si02)、碳化硼(B4C)等粉末经喷涂工艺形成。图1A为照片，示出了现有喷涂层的剖面，图1B为放大照片，示出了图1A所示照片的一部分。参见图1A和图1B，现有喷涂层有晶状结构，该结构里有许多孔隙或空隙。工艺室内的源等离子体渗入该喷涂层的晶状结构中的空隙内，因此该喷涂层被源等离子体腐蚀。从而，喷涂层从等离子体处理系统的工艺室的内表面上脱落，因此源等离子体直接造成对工艺室内表面的损伤。
发明内容因此，本发明提供一种喷涂工艺用粉末，所述粉末具有无定形结构且内部空隙较小。本发明的另一实施例提供一种形成上述喷涂工艺用粉末的方法。本发明的另一实施例提供一种使用上述粉末的喷涂层，所述喷涂粉末具有提高了的层密度。本发明的另一实施例提供一种形成上述喷涂层的方法。根据本发明的一个方面，提供一种喷涂工艺用喷涂粉末。所述喷涂粉末包括含有氧化钇和氧化铝且平均直径为约20pm至约60pm的粗粒状颗粒。6在一实施例中，所述氧化钇与所述氧化铝的重量比的范围为约1:0.41。根据本发明的一个方面，提供了一种喷涂工艺用喷涂粉末。所述喷涂粉末包括平均直径为约20pm至约60pm的颗粒，且由包含第一浆体和第二浆体的混合浆体生成。所述第一浆体含有直径为约0.01pm至约2pm的氧化钇颗粒、用于均匀分散所述氧化钇颗粒的第一分散剂、用于粘结所述氧化钇颗粒的第一粘结剂以及所述氧化钇颗粒、第一分散剂和第一粘结剂溶于其中的第一溶剂。所述第二浆体含有直径为约0.5)nm至约2pm的氧化铝颗粒、用于均匀分散所述氧化铝颗粒的第二分散剂、用于粘结所述氧化铝颗粒的第二粘结剂以及所述氧化铝颗粒、第二分散剂和第二粘结剂溶于其中的第二溶剂。在一实施例中，所述第一分散剂包含碱性物质，且所述第二分散剂包含酸性物质。所述第一分散剂相对所述第一浆体的比例的范围为约0.3%至约0.5%，且所述第二分散剂相对所述第二浆体的比例的范围为约0.3%至约2%。在一实施例中，所述第一粘结剂相对所述第一浆体的比例的范围为约2%至约3%，且所述第二粘结剂相对所述第二浆体的比例的范围为约2%至约3%。在一实施例中，所述第一浆体和所述第二浆体中固体物质的比例的范围分别为约20%至约30%。在一实施例中，在浆体混合物中氧化钇与氧化铝的重量比的范围为约1:0.41。根据本发明的一个方面，提供了一种形成喷涂工艺用喷涂粉末的方法。第一浆体形成为含有氧化钇颗粒、分散所述氧化钇颗粒的第一分散剂及第一溶剂；且第二浆体形成为含有氧化铝颗粒、分散所述氧化铝颗粒的第二浆体及第二溶剂。通过相互混合所述第一浆体和第二浆体形成浆体混合物；以及对所述浆体混合物进行喷雾干燥工艺和热处理工艺，从而形成包含氧化钇和氧化铝的粗粒状颗粒。在一实施例中，所述氧化钇颗粒的平均直径为约0.01pm至约2iim，且所述氧化铝颗粒的平均直径为约0.5jam至约2pm。在一实施例中，所述第一分散剂包含碱性物质。所述第一分散剂包括至少一种选自下组的物质羧基物质、酯基物质、酰胺基物质和其组合物，且所述第一分散剂相对所述第一浆体的比例的范围为约0.3%至约0.5%。在一实施例中，所述第二分散剂包括酸性物质。所述第二分散剂包括至少一种选自下组的物质羧基物质、酯基物质、酰氨基物质其它们的组合物；且所述第二分散剂相对所述第二浆体的比例的范围为约0.3%至约2%。在一实施例中，所述第一浆体具有碱性，且所述第二浆体具有酸性。所述7第一浆体中的所述氧化钇颗粒具有负表面电荷，且所述第二浆体中的所述氧化铝颗粒具有正表面电荷，且所述氧化钇颗粒和氧化铝颗粒通过静电吸引而互相粘结。在一实施例中，固体物质相对所述第一和第二浆体的比例的范围分别为约20%至约30%。在一实施例中，所述第一和第二溶剂包括有机物质和水溶液中的一种。在一实施例中，所述第一浆体还包括使所述氧化钇颗粒相互粘结的第一粘结剂，且所述第二浆体还包括使所述氧化铝颗粒相互粘结的第二粘结剂。在一实施例中，所述第一粘结剂包括聚乙烯类物质或丙烯酸类物质，且所述第一粘结剂相对所述第一浆体的比例的范围为约2%至约3%，并且所述第二粘结剂包括聚乙烯类物质或丙烯酸类物质，且所述第二粘结剂相对所述第二浆体的范围为约2%至约3%。在一实施例中在所述桨体混合物中，所述第一浆体中的氧化钇相对所述第二浆体中的氧化铝的重量比的范围为约1:0.41。在一实施例中，对所述浆体混合物的所述热处理工艺在约80(TC至约150(TC的温度下进行。在一实施例中，形成过程包括步骤形成含有氧化钇颗粒的所述第一浆体，形成含有氧化铝颗粒的所述第二浆体，形成所述浆体混合物并进行所述喷雾干燥工艺，且所述热处理工艺在空气、氢气、氧气、氮气或它们的混合物的气氛中进行。根据本发明的一个方面，提供了一种喷涂工艺用喷涂粉末的方法。制备具有包含氧化钇和氧化铝的粗粒状颗粒的喷涂粉末，并将所述喷涂粉末以溶解状态喷到物体上。所述颗粒的平均直径的范围为约20|im至约60pm。在一实施例中，通过大气等离子体喷涂(APS)工艺、高速氧燃料(HVOF)喷涂工艺、真空等离子体喷涂(VPS)工艺和动力喷涂工艺中的一种来进行所述喷涂粉末的喷涂。根据本发明的一个方面，提供了一种形成喷涂工艺用喷涂粉末的方法。利用包含第一浆体和第二浆体的浆体混合物制备喷涂粉末。所述喷涂粉末包括平均直径为约20至约60pm的颗粒，所述第一浆体含有直径为约0.01pm至约2pm的氧化钇颗粒、均匀分散所述氧化钇颗粒的第一分散剂、粘结所述氧化钇颗粒的第一粘结剂以及所述氧化钇颗粒、第一分散剂和第一粘结剂溶于其中的第一溶剂。所述第二浆体含有直径为约0.5(am至约2)im的氧化铝颗粒、均匀分散所述氧化铝颗粒的第二分散剂、粘结所述氧化铝颗粒的第二粘结剂以及所述氧化铝颗粒、第二分散剂和第二粘结剂溶于其中的第二溶剂。然后，将所述喷涂粉末以溶解状态喷射至物体。在一实施例中，所述第一分散剂包括碱性物质，且所述第二分散剂包括酸性物质。所述第一分散剂相对所述第一浆体的比例的范围为约0.3%至约0.5%，而所述第二分散剂相对所述第二浆体的比例的范围为约0.3%至约2%。在一实施例中，所述第一粘结剂相对所述第一浆体的比例的范围为约2%至约3%，而所述第二粘结剂相对所述第二浆体的比例的范围为约2%至约3%。在一实施例中，固体物质相对所述第一和第二浆体的比例的范围分别为约20%至约30%。在一实施例中，在所述浆体混合物中，第一浆体中的氧化钇相对第二浆体中的氧化铝的重量比的范围为约1:0.41。在一实施例中，所述喷涂粉末是通过APS工艺、HVOF喷涂工艺、VPS工艺或动力喷涂工艺进行喷涂的。根据本发明的一个方面，提供了一种喷涂层，包括氧化钇和氧化铝，且具有经喷涂工艺形成的无定形结构。在一实施例中，其孔隙率范围为约0.5%至约2%。在一实施例中，其粘合强度至少为约13MPa。在一实施例中，其硬度至少为约650HV。在一实施例中，在所述浆体混合物中，第一浆体中的氧化钇相对第二浆体中的氧化铝的重量比的范围为1:0.41，且在所述喷涂工艺中使用平均直径为约20pm至约60pm的喷涂粉末。在一实施例中，所述喷涂层位于工艺室的内部构件的表面上，在基板上的等离子体处理在所述工艺室内进行。根据本发明的实施例，喷涂粉末形成为含有氧化钇和氧化铝的粗粒状颗粒，其平均直径为约20pm至约60pm。喷涂层使用喷涂粉末通过喷涂工艺形成，因此具有无定形结构和低孔隙率。因此，当喷涂层形成于等离子体处理系统内部时，可充分防止源等离子体穿透该喷涂层。这样，喷涂层可防止源等离子与等离子体处理系统直接接触。此外，喷涂层可充分粘合到等离子体处理系统，以防止喷涂层从等离子体处理系统分离，并因此将喷涂层引起的污染降到最小。具体地，喷涂层可充分防止由源等离子体引起的等离子体处理系统的腐蚀，从而显著提高等离子体处理系统的寿命。喷涂层使用平均直径为约20pm至约60(am的喷涂粉末通过喷涂工艺形成。因此，当喷涂层形成于等离子体处理系统内部时，可充分防止源等离子体穿透该喷涂层。参考下述详细说明并结合附图，本发明的上述及其它特征和优点将变得清楚。图1A为照片，示出了现有喷涂层的剖面，图1B为放大照片，示出了图1A所示照片的一部分。图2为照片，示出了根据本发明实施例的喷涂工艺用粉末；图3为流程图，示出了形成本发明实施例的喷涂粉末的方法的工艺步骤；图4为流程图，示出了图3所述形成第一浆体的方法的工艺步骤；图5为流程图，示出了图3所述形成第二浆体的方法的工艺步骤；图6示意了图3所述浆体混合物中氧化钇和氧化铝的结合机理；图7为流程图，示出了根据本发明实施例的形成喷涂层的方法；图8A为照片，示出了根据本发明实施例的喷涂层的剖面，图8B为放大照片，示出了图8A所示喷涂层的一部分；图9示意了根据本发明实施例的等离子体处理系统的内部结构；以及图io示意了根据本发明实施例的喷涂层的x射线衍射图样。具体实施例方式参见示出本发明实施例的附图，下文将更详细地描述本发明。然而，本发明可以以许多不同的形式实现，并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反，提出这些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使本
技术领域：
的技术人员完全了解本发明的范围。附图中，为了清楚起见，可能对层和区域的尺寸和相对尺寸进行了夸大。应理解，当将元件或层称为在另一元件或层"上"，或"连接至"另一元件或层之时，其可以是直接在另一元件或层上或与另一元件或层连接，或者存在居于其间的元件或层。与此相反，当将元件或层称为"直接"在另一元件或层上，或"直接"连接在另一元件或层，则不存在居于其间的元件或层。通篇相同的标记代表相同的元件。如本文中所使用的，用语"和/或"包括一或多个相关的所列项目的任何或所有组合。应理解，尽管本文中使用第一、第二、第三等用语来描述各种元件、组件、区域、层和/或区段，但这些元件、组件、区域、层和/或区段并不受到这些用语的限制。这些用语仅用于区分一元件、组件、区域、层和/或区段与其它区域、层或区段。因此，下文所称之第一元件、组件、区域、层或区段可称为第二元件、组件、区域、层或区段，而不脱离本发明的教导。如"下"、"上"等空间相关表述，在本文中使用这些用语以描述如图所示的一个元件或部件与另一元件或部件的关系。应理解，这些与空间相关的表述除图中所示方位之外，还用于涵盖在使用或操作中该装置的不同方位。例如，若图中的该装置翻转，描述为在其它元件"下"的元件会转而定向为在其它元件"上"。由此，该示例的用语"下"可同时涵盖"下"和"上"两个方位。该装置可以是另外的方位(旋转90度或其它方位)，并且本文所作出的这些空间相关表述需作相应地解释。本文中所使用的表述仅用于描述特定的实施例，并不用于限制本发明。如本文中所用的，单数形式的"一"、"所述"可用于包括复数形式，除非其上下文明示。还应理解，当本说明书中使用表述"包括"之时，明确说明了存在有所描述的部件、整体、步骤、操作、元件及/或组件，但并不排除存在或附加有一个或多个其它部件、整体、步骤、操作、元件、组件及/或它们的组。根据剖视图对本发明的实施例进行描述，这些剖视图是本发明理想的实施方式的(和中间结构的)示意图。同样地，作为例如制造工艺和/或公差的结果，示出形状的变化形式是可以预期的。因此，本发明的实施方式不应解释为限于本文所示区域的特定形状，而应包括例如因制造引起的形状偏差。例如，显示为矩形的嵌入区域，通常具有圆的或弯曲的结构、禾口/或在其边缘的嵌入程度的梯度，而不是从嵌入区变为非嵌入区的二元变化。同样地，通过嵌入形成的埋入区域可导致在该埋入区域和进行嵌入的表面之间的区域之间的区域的一些嵌入。因此，附图中所示区域实际上是示意的，其形状不用于表示装置的区域的实际形状，也不用于限制本发明的范围。除非另行详细说明，本文所使用的所有术语(包括科技术语)的意思与本
技术领域：
的普通技术人员所通常理解的一致。还应理解，诸如一般字典中所定义的术语应解释为与相关技术的文本中的意思一致，并且不应解释为理想化的或过度刻板的含义，除非在文中另有明确定义。图2为示出了根据本发明实施例的用于喷涂工艺的粉末。参见图2，用于喷涂工艺的粉末(下文称为喷涂粉末)由包含第一浆体和第二浆体的浆体混合物形成。在实施例中，该第一浆体包括氧化钇颗粒、第一分散剂、第一粘结剂和第一溶剂。例如，氧化钇颗粒的直径为约0.01^n至约2pm。当氧化钇颗粒的直径小于约O.Olpm时，由于喷涂粉末具有该氧化钇颗粒的粗粒结构，喷涂粉末的平11均直径会减小，从而使得氧化钇颗粒难以精确控制，因此喷涂粉末难以形成氧化钇球粒结构。相反，当氧化钇颗粒的直径大于2pm时，氧化钇颗粒会相互结合成具有大孔隙率的粒状结构晶体。第一分散剂将氧化钇颗粒均匀地分散在第一桨体中。在实施例中，第一分散剂为碱性。例如，第一分散剂包括碱性物质。或者，通过将固体或液体分散剂溶解于碱性溶剂的方式，使第一分散剂形成碱性混合物。第一分散剂的例子包括具有羧基的物质、具有酯基的物质以及具有酰胺基物质。这些物质可单独或组合使用。第一分散剂的pH值为约10至约12。在本实施例中，第一分散剂的pH值约为10。在碱性的第一分散剂中，氧化钇颗粒具有负(-)表面电荷。当第一分散剂在第一浆体中的比例大于约0.5%时，在喷雾干燥处理中，氧化钇颗粒难以在具有粗粒晶体结构的喷涂粉末中形成球状。例如，当喷雾干燥处理在极高温度下进行时，球状喷涂粉末在其内部和外表面之间具有不同的硬度，从而喷涂粉末中的溶剂渗透其外表面并流到喷涂粉末的球状颗粒之外，因此在喷涂粉末颗粒的外表面上形成凹陷。相反，当部分喷涂粉末中分散剂的比例过高时，在喷涂粉末中溶剂的蒸发速率局部有差别，溶剂局部流到该球状喷涂粉末之外。因此，喷涂粉末会形成为非球状。在等离子体处理工艺中，当将非球状粉末喷涂到工艺室的内表面上时，该喷涂粉末的流动性变差，且喷涂粉末无法均匀地输送入等离子体枪。因此，经喷涂工艺涂在工艺室内表面上的薄层(喷涂层)的物料性质不均匀，并且连到等离子体枪的输送管有被喷涂粉末堵塞的风险。此外，当喷涂粉末在晶体结构内有大量孔隙和空隙时，喷涂层也会有大量孔隙和空隙，从而增加喷涂层内的孔隙率。当第一分散剂在第一浆体中的比例小于约0.3%时，因第一分散剂的量过小，第一浆体的粘度显著增加。因此，氧化钇颗粒相互粘连而第一粘结剂不能与氧化钇颗粒充分反应，使得氧化钇粗粒结构会因该粗粒结构的粘结强度弱而在喷涂粉末中容易破裂。还有，第一和第二浆体的浆体混合物的流动性也会变差，因此，当第一浆体中第一分散剂的比例小于约0.3%时，会产生喷雾干燥处理中喷雾干燥机被该浆体混合物堵塞的问题。为此，第一浆体中第一分散剂的比例可以在约0.3%至约0.5%范围内。在实施例中，第一粘结剂会提高第一浆体中氧化钇颗粒之间的粘结强度。当第一粘结剂在第一浆体中的比例小于约2%时，氧化钇颗粒不能互相充分粘结，使得具有氧化钇颗粒粗粒结构的喷涂粉末无法形成球状。相反，当第一粘结剂在第一浆体中的比例大于约3%时，虽然喷涂粉末可充分形成为球状，但12第-一浆体的粘度迅速增加。因此，第一和第二浆体的浆体混合物的流动性会变差，从而在喷雾干燥处理中喷雾干燥机会被该浆体混合物堵塞。因此，第一粘结剂在第一浆体中的比例可在约2%至3%的范围内。第一粘结剂包括乙烯类物质和丙烯酸类物质。当第一粘结剂包括乙烯类物质时，第一溶剂包括有机物，如乙醇，而当第一粘结剂包括丙烯酸类物质时，第一溶剂包括水溶液。乙烯类物质的例子包括乙烯-醋酸乙烯(EVA)树脂、聚氯乙稀(PVC)树脂、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇树脂、聚乙烯醇丁縮醛、聚醋酸乙烯、聚乙烯醚等。这些物质可单独或组合使用。丙烯酸类物质的例子包括聚甲基丙烯酸、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯腈、聚丙烯酸正丁酯、苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯共聚物等。这些物质可单独或组合使用。在实施例中，第一浆体包括第一溶剂。第一溶剂包括有机溶剂或水溶液。第一浆体可经球磨形成。在第一浆体中固体物质的比例(以下称作固体比例)与第一分散剂的比例成比例。当第一浆体中固体比例小于约20%时，氧化钇颗粒难以溶解到第一溶剂中，从而降低所述粗粒结构的颗粒尺寸。相反，当第一浆体中的固体比例大于约30%时，第一浆体的粘度很高，使得形成喷涂粉末的过程太快而不能精确控制。此外，第一浆体中第一分散剂的比例很高，使得喷涂粉末会形成为非球状。为此，第一浆体中的固体比例可在约20%至约30%范围内。在实施例中，第二浆体包括氧化铝颗粒、第二分散剂、第二粘结剂以及第二溶剂。例如，氧化铝颗粒的直径为约0.5pm至约2pm。当氧化铝颗粒的直径小于约0.5!im时，由于喷涂粉末具有氧化铝颗粒的粗粒结构，喷涂粉末的平均直径降低，从而难以精确控制氧化铝颗粒，并因此使喷涂粉末难以形成为球粒结构。相反，当氧化铝颗粒的直径大于约2pm时，氧化铝颗粒会相互结合成具有大孔隙率的粒状结构晶体。第二分散剂将氧化铝颗粒均匀地分散在第二浆体中。在实施例中，第二分散剂为酸性。例如，第二分散剂包括酸性物质。或者，通过将固体或液体分散剂溶解于酸性溶剂使第二分散剂形成为酸性混合物。第二分散剂的例子包括具有羧基的物质、具有酯基的物质和具有酰胺基物质。这些物质可单独或组合使用。第二分散剂的pH值约为2至4。在本实施例中，第二分散剂的pH值约为2。在该酸性的第二分散剂中，氧化铝颗粒具有正(+)表面电荷。当第二分散剂在第二浆体中的比例大于约2%时，由于与第一分散剂在第一衆体中的比例大于约0.5%的情形相同的原因，氧化铝颗粒难以在喷涂粉末中形成球粒结构。当第二分散剂在第二浆体中的比例小于0.3%时，由于与第一分散剂在第一浆体中的比例小于约0.3%的情形相同的原因，氧化铝粗粒结构在喷涂粉末中容易破裂。此外，第一和第二浆体的浆体混合物的流动性也变差，从而当第二分散剂在第二浆体中的比例小于0.3%时会产生喷雾干燥机在喷雾干燥过程中被该浆体混合物堵塞的问题。为此，第二分散剂在第二浆体中的比例可在约0.3%至约2%的范围内。在实施例中，第二粘结剂可提高第二浆体中氧化铝颗粒之间的粘结强度。当第二粘结剂在第二浆体中的比例小于约2%时，氧化铝颗粒互相无法充分粘结，使得具有第二氧化物颗粒的粗粒结构的喷涂粉末无法形成为球状。相反，当第二粘结剂在第二桨体中的比例大于约3%时，虽然喷涂粉末可充分形成为球状，但第二浆体的粘度迅速增加。因此，第一和第二桨体的浆体混合物的流动性变差，从而在喷雾干燥处理中喷雾干燥机会被浆体混合物堵塞。因此，第二粘结剂在第二浆体中的比例在约2%至约3%的范围内。第二粘结剂与第二粘结剂具有基本上相同的结构和功能，因此省略了对第二粘结剂的详细描述。在实施例中，第二浆体包括第二溶剂。第二溶剂包括有机溶剂或水溶液。第二浆体经球磨形成。第二浆体的固体比例与第二分散剂的比例成比例。当第二浆体中固体比例小于约20%时，氧化铝颗粒难以溶解到第二溶剂中，从而降低所述粗粒结构的颗粒尺寸。相反，当第二浆体中的固体比例大于约30%时，第二浆体的粘度很高，使得形成喷涂粉末的过程太快而不能精确控制。此外，第二浆体中第二分散剂的比例很高，使得喷涂粉末会形成为非球状。为此，第二浆体中的固体比例可在约20%至约30%范围内。当第一浆体混合物中氧化钇与氧化铝的重量比为约1:9约4:6时，包含该第一浆体混合物的喷涂粉末在内的喷涂层体现为氧化铝的特性，从而具有高机械强度和弱粘合强度。相反，当在第二浆体混合物中氧化钇与氧化铝的重量比为约8:2约9:1时，包含该第二浆体混合物的喷涂粉末在内的喷涂层体现为氧化钇的性质，从而具有弱机械强度和高粘合强度。因此，在浆体混合物中氧化钇与氧化铝的重量比应为约5:5约7:3。在本实施例中，在浆体混合物中的氧化钇与氧化铝的重量比为约5:5。这样，由包括该浆体混合物的喷涂粉末形成的喷涂层具有氧化铝和氧化钇两者的性质，具有高机械强度和高粘合强度。喷涂粉末是利用所述浆体混合物经一些处理步骤形成的。浆体混合物包括第一浆体和第二浆体，该第一浆体是氧化钇颗粒、第一分散剂、第一粘结剂以及第一溶剂的混合物，而所述第二浆体是氧化铝颗粒、第二分散剂、第二粘结剂以及第二溶剂的混合物。14在实施例中，粗粒喷涂粉末颗粒包括氧化钇和氧化铝。当粗粒喷涂粉末颗粒的平均直径小于约20pm时，喷涂粉末颗粒的尺寸太小，使得喷涂粉末无法充分喷涂至物体表面。相反，当粗粒喷涂粉末颗粒的平均直径大于约60pm时，喷涂粉末颗粒的尺寸太大，使得喷涂粉末会在物体表面上结块，从而使物体上喷涂层的均一性变差。因此，所述喷涂粉末的粗粒颗粒的平均直径在约20pm至约60pm的范围内。在本实施例中，所述喷涂粉末颗粒的平均直径在约30pm至约40pm的范围内。通过喷涂工艺，所述喷涂粉末在物体上形成喷涂层，从而提高喷涂层中粒状晶体结构内的机械强度和粘合强度并减低喷涂层中粒状晶体结构内的孔隙或空隙。图3为流程图，示出了形成本发明实施例的喷涂粉末的方法的工艺步骤。参见图3，所述第一浆体形成为氧化钇、第一分散剂和第一粘结剂在第一溶剂中的混合物(步骤SllO)。在实施例中，第一浆体包括直径为约O.Olpm至约2pm的氧化钇颗粒、用于均匀分散氧化钇颗粒的第一分散剂、用于使氧化钇颗粒粘结的第一粘结剂以及所述氧化钇颗粒、第一分散剂和第一粘结剂溶于其中的第一溶剂。如果氧化钇颗粒之间的粘结足够强而使该氧化钇颗粒相互结合在一起，第一浆体可不含第一粘结剂。第一浆体中的氧化钇颗粒、第一分散剂、第一粘结剂和第一溶剂与根据图2作了详细描述的喷涂粉末中的氧化钇颗粒、第一分散剂、第一粘结剂和第一溶剂基本上相同，因此省去了对氧化钇颗粒、第一分散剂、第一粘结剂和第一溶剂的进一步详细说明。下面参考图4详细描述形成第一浆体的方法的工艺步骤。图4为流程图，示出了图3所述形成第一浆体的方法的工艺步骤。参见图4，为形成第一浆体，首先制备第一溶剂(步骤Slll)。例如，第一溶剂包括如乙醇之类的有机溶剂。将氧化钇颗粒加入到第一溶剂中(步骤5112)。然后，将第一分散剂加入到第一溶剂和氧化钇颗粒的混合物中(步骤5113)。在实施例中，第一分散剂包括碱性的羧基物质。该第一分散剂使氧化钇颗粒具有负(-)表面电荷。例如，第一分散剂相对第一浆体的混合物的比例在约0.3%至约0.5%的范围内。然后，将第一粘结剂加入到第一溶剂、氧化钇颗粒以及第一分散剂的混合物中(步骤S114)。例如，第一粘结剂包括聚乙烯醇縮丁醛，其相对第一浆体的混合物的比例为约2%至约3%。虽然上述实施例公开了将氧化钇颗粒、第一分散剂和第一粘结剂依次加入第一溶剂，但如本领域的技术人员已知的那样，实际次序可根据工艺条件进行改变。然后，氧化钇颗粒、第一分散剂和第一粘结剂在第一溶剂中经球磨机互相混合，由此形成第一浆体混合物。再参见图3，第二浆体形成为氧化铝、第二分散剂和第二粘结剂在第二溶剂中的混合物(S120)。在实施例中，第二浆体包括直径为约0.5pm至约2iim的氧化铝颗粒、用于将该氧化铝颗粒均匀分散的第二分散剂、用于粘结该氧化铝颗粒的第二粘结剂以及氧化铝颗粒、第二分散剂和第二粘结剂溶于其中的第二溶剂。如果氧化铝颗粒之间的粘结足够强而使该氧化铝颗粒相互结合在一起，第二浆体可不含第一粘结剂。第二浆体中氧化铝颗粒、第二分散剂、第二粘结剂和第二溶剂与根据图2作了详细描述的喷涂粉末中的氧化铝颗粒、第二分散剂、第二粘结剂和第二溶剂基本上相同，因此省去了对氧化铝颗粒、第二分散剂、第二粘结剂和第二溶剂的进一步详细描述。下面根据图5详细说明形成第二浆体的方法的工艺步骤。图5为流程图，示出了图3所示形成第二浆体的方法的工艺步骤。参见图5，为形成第二浆体，首先制备第二溶剂(步骤S121)。例如，第二溶剂包括如乙醇之类的有机溶剂。将氧化铝颗粒加入到第二溶剂中(S122)。然后，将第二分散剂加入到第二溶剂和氧化铝颗粒的混合物中(S123)。在实施例中，第二分散剂包括酸性羧基物质。由于该第二分散剂，氧化铝颗粒具有正(+)表面电荷。例如，第二分散剂相对第二浆体的比例在约0.3%至约0.2%的范围内。然后，将第二粘结剂加入到第二溶剂、氧化铝颗粒和第二分散剂的混合物中(步骤S124)。例如，第二粘结剂包括聚乙烯醇丁縮醛，其相对第二浆体混合物的比例为约2%至约3%。虽然上述实施例公开了将氧化铝颗粒、第二分散剂和第二粘结剂依次加入第二溶剂，但如本领域的技术人员已知的那样，实际次序可根据工艺条件进行改变。然后，氧化铝颗粒、第二分散剂和第二粘结剂在第二溶剂中经球磨机互相混合，由此形成第二浆体混合物。再参见图3，第一浆体和第二浆体相互混合，从而形成浆体混合物(歩骤S130)。在实施例中，第一浆体和第二浆体混合成使得氧化钇与氧化铝的重量比的范围为约5:5至约7:3，也就是说，约1:0.41的范围。图6示意了图3所述浆体混合物中氧化钇和氧化铝的结合机理。200参见图6，氧化钇具有负(-)表面电荷，且氧化铝具有正(+)表面电荷，使得氧化钇与氧化铝通过静电吸引而强烈结合。再参见图3，对浆体混合物进行喷雾干燥工艺和热处理工艺，从而形成具有粗粒结构的颗粒，该粗粒结构包括氧化钇和氧化铝(步骤S140)。也就是说，所述颗粒是通过依次进行浆体混合物的喷雾干燥工艺和干燥后浆体混合物的热处理工艺形成的。将浆体混合物喷入干燥室时，喷雾干燥工艺在干燥室内于约6(TC至约ll(TC的温度下进行。当喷雾干燥工艺在低于约6(TC的温度下进行时，浆体混合物中的有机溶剂无法充分蒸发，因此增加喷雾干燥工艺的工艺时间。具体地，当如纯水和醇溶剂(如甲醇和乙醇)之类的中性溶剂被用作浆体混合物的有机溶剂时，该有机溶剂非常难以在低于约6(TC的温度下蒸发，从而会显著降低喷雾干燥工艺的效率。此外，当喷雾干燥工艺在大于约ll(TC的温度下进行时，浆体混合物中的有机溶剂被迅速蒸发并因此在喷涂粉末中产生许多孔隙。因此，在约6(TC至约ll(TC的温度下进行喷雾干燥工艺，且将浆体混合物变成喷涂粉末。然后，在干燥室内以高温加热干燥后的浆体混合物或喷涂粉末，从而改善喷涂粉末的硬度。当热处理工艺在低于约80(TC的温度下进行时，喷涂粉末难有足够的硬度，从而会使喷涂粉末的球状颗粒破裂和变平。因此，向等离子体枪输送喷涂粉末的管道会被喷涂粉末堵塞。相反，当热处理工艺在大于约150(TC的温度下进行时，喷涂粉末中氧化钇和氧化铝相互发生化学反应，这样喷涂粉末变成粉末团。因此，在约80(TC至约150(TC的温度下进行热处理工艺，喷涂粉末会具有足够的硬度。在完成喷雾干燥工艺和热处理工艺后，上述浆体混合物变成具有氧化钇和氧化铝的粗粒状颗粒的喷涂粉末，该粗粒状颗粒的平均直径范围为约20)im至约60pm。这样，包括氧化钇的第一浆体与包括氧化铝的第二浆体的浆体混合物形成为具有粗粒状结构的喷涂粉末，该粗粒状结构的平均直径在约20pm至约60)im的范围内。喷涂粉末的形成工艺可在空气、氢气、氧气和氮气及其混合物的气氛下进行。也就是说，形成第一浆体的步骤SllO、形成第二浆体的步骤S120、形成浆体混合物的步骤S130以及对浆体混合物进行喷雾干燥工艺和热处理工艺的步骤S140可在空气、氢气、氧气和氮气及其混合物的其中之一的气氛下进行。在本实施例中，喷雾干燥工艺在空气气氛中进行，而热处理工艺在空气、氢气、氧气和氮气的其中一种气氛下进行。用于喷涂层的喷涂粉末包括含氧化钇和氧化铝的粗粒状颗粒，使得喷涂层17具有不定形晶体结构且其内部的孔隙和空隙减少。因此，当在等离子体工艺室的内表面上形成该喷涂层时，可充分防止源等离子体渗透该喷涂层。因此，该喷涂层可充分粘结于工艺室的内表面，在等离子体处理系统中可充分防止该喷涂层从工艺室的内表面分离。这样，该喷涂层可充分防止由源等离子体引起的等离子体处理系统的腐蚀。下面详细说明利用喷涂粉末形成喷涂层的方法以及包括该喷涂粉末的喷涂层。图7为流程图，示出了根据本发明实施例的形成喷涂层的方法。参见图7，首先制备喷涂粉末(步骤S210)。喷涂粉末包括大量氧化钇和氧化铝的粗粒状颗粒，且该粗粒状颗粒的直径为约20pm至约60pm。在实施例中，喷涂粉末用包括第一和第二浆体的混合浆体经喷雾干燥工艺形成。第一浆体包括直径为约O.Olpm至约2pm的氧化钇颗粒、均匀分散氧化钇颗粒的第一分散剂、粘结氧化钇颗粒的第一粘结剂、以及所述氧化钇颗粒、第一分散剂和第一粘结剂溶于其中的第一溶剂。第二浆体包括直径为约0.5pm至约2pm的氧化铝颗粒、均匀分散氧化铝颗粒的第二分散剂、粘结氧化铝颗粒的第二粘结剂以及所述氧化铝颗粒、第二分散剂和第二粘结剂溶于其中第二溶剂。在实施例中，氧化钇与氧化铝的重量比的范围内为约5:5至约7:3，也就是说，约1:0.41的范围。然后，溶解喷涂粉末并将其喷到物体上(步骤S220)。在实施例中，通过大气等离子体喷涂(APS)工艺、高速氧燃料(HVOF)喷涂工艺、真空等离子体喷涂(VPS)工艺或动力喷涂工艺进行喷涂粉末的熔化与喷涂。从而，在物体表面上形成喷涂层。图8A为照片，示出了根据本发明实施例的喷涂层的剖面，图8B为放大照片，示出了图8A所示喷涂层的部分。参见图8A和图8B，其颗粒具有含氧化钇和氧化铝的粗粒结构的喷涂粉末在物体上形成为喷涂层，使得喷涂层具有无定形晶体结构。这样，该喷涂层中，晶体结构内的孔隙和空隙减到最少，从而降低喷涂层的孔隙率。例如，喷涂层的孔隙率为约0.5%至约2%，更具体地，为约0.5%至约1%。此外，喷涂层的粘结强度大于约13MPa，硬度大于约650HV，更具体地，大于约700HV。图9示意了根据本发明实施例的等离子体处理系统的内部结构。参见图9，等离子体处理系统的内部结构IOO包括装在等离子体处理系统内的内部构件IIO和内部构件IIO上的喷涂层120。在实施例中，内部构件110位于等离子体处理系统的工艺室内(未示出)。基板装载到该工艺室内，且工艺室包括用于对基板实施等离子体工艺的内部空18间。将源气输入工艺室并转化成源等离子体，在等离子体处理期间用该源等离子体在工艺室的所述空间内对基板进行处理。例如，源气包括用于将薄层涂在基板上的沉积气或从基板腐蚀该薄层的腐蚀气。所述基板包括用于制造半导体器件的半导体基板或用于制造平板显示装置的玻璃基板。在实施例中，在工艺室内，内部构件110包括室衬板、挡板、和罩环。室衬板沿工艺室的内表面设置，可防止源气引起的对工艺室内表面的破坏。罩环沿用于在工艺室内支撑基板的卡盘的周边部设置，可防止由源气引起的对卡盘的破坏。如本领域普通技术人员所知，该内部构件110可包括工艺室的内表面本身。喷涂层120位于内部构件110上。也就是说，喷涂层120位于各室衬板、挡板、罩环及工艺室的内表面上。喷涂层120与根据图7、图8A和图8B描述的喷涂层具有基本相同的结构和功能，因此省略了对喷涂层120的详细描述。喷涂层120可防止源等离子体与内部构件110直接接触。此外，喷涂层120充分粘结于内部构件110，以防止喷涂层120从内部构件110分离，从而将喷涂层120引起的污染降到最小。氧化钇和氧化铝的颗粒尺寸的试验表l<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>用表1所示的不同颗粒尺寸的氧化铝和氧化钇，以与本发明实施例中所述的相同的喷雾干燥工艺形成喷涂粉末，并利用该喷涂粉末，以与本发明实施例中所述相同的喷涂工艺形成喷涂层。各试验中，喷涂粉末和喷涂层以上述工艺形成，并且在各试验中，对各喷涂粉末的颗粒尺寸和各喷涂层的粘合强度、机械强度以及孔隙率进行测量。表1示出了喷涂粉末的颗粒尺寸和喷涂层的粘合强度、机械强度以及孔隙率的测量结果。表1表明试验7、8、10和11(称为试验组1)中的粘合强度、机械强度以及孔隙率远好于试验16和9(称为试验组2)中的结果。在试验组1中，氧化钇的颗粒尺寸的范围为约0.01pm至约2pm，且氧化铝的颗粒尺寸的范围为约0.5)iim至约2pm，而在试验组2中，氧化钇和氧化铝的颗粒尺寸大于约2|um。表1中的上述试验结果表明当形成喷涂层的喷涂粉末包含的氧化钇的颗粒尺寸范围为约0.01nm至约2pm，且氧化铝的颗粒尺寸的范围为约0.5pm至约2pm时，喷涂层的粘合强度、机械强度以及孔隙率得到优化。氧化钇与氧化铝的重量比试验表2Y203(wt%)A1203(wt%)颗粒尺寸Om)喷涂气氛粘合强度(MPa)硬度(HV)试验1109030大气10750试验2208035大气10750试验3307033大气11720试验4406040大气11720试验5505035大气13700试验6604035大气13650试验7703030大气13600试验8802028大气10520试验9901033大气10430以浆体混合物中不同重量比的氧化铝和氧化钇，用与本发明实施例中所述的相同的喷雾干燥工艺形成喷涂粉末，并利用该喷涂粉末，以与本发明实施例中所述相同的喷涂工艺形成喷涂层。各试验中，喷涂粉末和喷涂层以上述工艺形成，并且在各试验中，对各喷涂粉末的颗粒尺寸以及各喷涂层的粘合强度和机械强度进行测量。表2示出了喷涂粉末的颗粒尺寸以及喷涂层的粘合强度和20机械强度的测量结果。表2表明试验57(称为试验组3)中的粘合强度远好于试验14中的结果(称为试验组4)。在试验组3中，氧化钇与氧化铝的重量比范围为约5:5至约7:3，而在试验组4中，氧化钇与氧化铝的重量比范围为约l:9至约4:6。此外，试验组3中的粘合强度和机械强度远好于试验89(称为试验组5)中的结果。在试验组5中，氧化钇与氧化铝的重量比范围为8:2至约9:1。表2中的上述试验结果表明，当形成喷涂层的喷涂粉末包含的氧化钇和氧化铝在该组合物中氧化钇与氧化铝的重量比范围为约5:5至约7:3时，即范围为约1:0.41时，喷涂层的粘合强度和机械强度得到优化。浆体中分散剂和固体物质的比例的试验表3第一分散剂(%)第二分散剂(%)固体物质(%)球状/非球状颗粒试验12240X试验21130X试验32135X试验41235X试验50.51300试验60.32300试验70.52300试验80.31250试验9245X试验10140X试验110.535X试验120.50.5250试验130.50.3250试验140.5335X以第一浆体中不同比例的第一分散剂，第二浆体中不同比例的第二分散剂以及浆体混合物中第一和第二浆体的不同固体物质比例，用与本发明实施例中所述的相同的喷雾干燥工艺形成喷涂粉末。在各试验中，通过前述工艺形成喷涂粉末，且各试验中的喷涂粉末不论形成为球状颗粒或非球状颗粒，都进行检21测。表3示出了喷涂粉末的形状的检测结果。表3表明在试验59、12和13(称为试验组6)中喷涂粉末检测为球状，而试验14、911和14(试验组7)中的为非球状。在试验组6中，第一分散剂在第一浆体中的比例范围为约0.3%至约0.5%，第二分散剂在第二浆体中比例范围为约0.3%至约2%，且固体物质在第一和第二浆体中的比例的范围为约20%至约30%。相反，在试验组7中，第一分散剂在第一浆体中比例大于约0.5%，第二分散剂在第二浆体中的比例大于2%，且固体物质在第一和第二浆体中的比例大于约30%。表3中的上述试验结果表明当处于第一分散剂在第一浆体中的比例范围为约0.3%至约0.5%，第二分散剂在第二浆体中比例范围为约0.3%至约2%，且固体物质在第一和第二浆体中的比例的范围为约20%至约30%的条件下，大多数喷涂粉末形成为球状。粘结剂比例和加热温度变化的试验表4<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>以第一浆体中不同比例的第一粘结剂，第二浆体中不同比例的第二粘结剂以及包括第一和第二浆体的浆体混合物的热处理工艺的不同加热温度，用与本发明实施例中所述的相同的喷雾干燥工艺形成喷涂粉末。在各试验中，通过前述工艺形成喷涂粉末，且各试验中的喷涂粉末不论形成为球状颗粒或非球状颗粒，都进行检测。表4示出了喷涂粉末的颗粒形状的检测结果。表4表明试验1416和1821(称为试验组9)中喷涂粉末检测为球状，而试验113和17(称为试验组9)为非球状。在试验组8中，第一粘结剂在第一浆体中的比例大于约2%，第二粘结剂在第二浆体中的比例也大于约2%，且所述热处理工艺在约80(TC约150(TC的温度下进行。相反，在试验组9中，第一粘结剂在第一浆体中的比例小于约2%，第二粘结剂在第二桨体中的比例也小于约2%，且在低于约80(TC或高于150(TC的温度下进行热处理工艺。当第一粘结剂和第二粘结剂在第一浆体和第二浆体中分别大于约3%，且在约80(TC约150(TC的温度下进行热处理工艺时，尽管喷涂粉末呈球状，但包括第一和第二浆体的浆体混合物的流动性变差，使得产生用于喷雾干燥工艺的喷雾干燥器经常被该浆体混合物堵塞。表4中的上述试验结果表明在第一粘结剂和第二粘结剂在第一浆体和第二浆体中的比例分别在约2%至约3%的范围内，且所述热处理工艺在约80(TC约150(TC的温度下进行的条件下，大多数喷涂粉末形成为球状。图IO示意了根据本发明实施例的喷涂层的X射线衍射图样。在图IO中，水平线表示X射线衍射的衍射角(20)，且垂直线表示X射线的强度。图10没有显示存在与表示喷涂层的晶体结构的X射线高强度相对应的具体衍射角(26)。也就是说，图IO表示该喷涂层形成为具有无定形结构。根据本发明的实施例，喷涂粉末形成为包含氧化钇和氧化铝的粗粒结构，其平均直径为约20|im至约60Mm。喷涂层利用该喷涂粉末经喷涂工艺形成，因此具有无定形结构和低孔隙率。因此，当喷涂层形成在等离子体处理系统内部时，可充分防止源等离子体穿透该喷涂层。这样，喷涂层防止源等离子与等离子体处理系统直接接触。此外，喷涂层可充分粘合到等离子体处理系统，以防止喷涂层从等离子体处理系统分离，并因此将喷涂层引起的污染降到最小。具体地，喷涂层可充分防止由源等离子体引起的等离子体处理系统的腐蚀，从而显著提高等离子体处理系统的寿命。虽然以对本发明的实施例作了说明，应理解，本发明不限于这些实施例，本领域技术人员可在后文所主张保护的本发明的精神和范围内作出改变和调整。2权利要求1.一种喷涂工艺用喷涂粉末，其特征在于，所述喷涂粉末包括含有氧化钇和氧化铝且平均直径为约20μm至约60μm的粗粒状颗粒。2.如权利要求1所述的喷涂粉末，其中所述氧化钇与所述氧化铝的重量比的范围为约1:0.41。3.—种喷涂工艺用喷涂粉末，其特征在于，所述喷涂粉末包括平均直径为约20jim至约60pm的颗粒，且由包含第一浆体和第二浆体的混合浆体生成，所述第一桨体含有直径为约0.01pm至约2)Lim的氧化钇颗粒、用于均匀分散所述氧化钇颗粒的第一分散剂、用于粘结所述氧化钇颗粒的第一粘结剂、以及所述氧化钇颗粒、所述第一分散剂和所述第一粘结剂溶于其中的第一溶剂，所述第二浆体含有直径为约0.5pm至约2pm的氧化铝颗粒、用于均匀分散所述氧化铝颗粒的第二分散剂、用于粘结所述氧化铝颗粒的第二粘结剂、以及所述氧化铝颗粒、所述第二分散剂和所述第二粘结剂溶于其中的第二溶剂。4.如权利要求3所述的喷涂粉末，其中所述第一分散剂包含碱性物质，且所述第二分散剂包含酸性物质。5.如权利要求4所述的喷涂粉末，其特征在于，所述第一分散剂相对所述第一浆体的比例的范围为约0.3%至约0.5%，且所述第二分散剂相对所述第二浆体的比例的范围为约0.3%至约2%。6.如权利要求3所述的喷涂粉末，其中所述第一粘结剂相对所述第一浆体的比例的范围为约2%至约3%，且所述第二粘结剂相对所述第二浆体的比例的范围为约2%至约3%。7.如权利要求3所述的喷涂粉末，其中，所述固体物质相对于所述第一桨体和所述第二浆体的比例的范围分别为约20%至约30%。8.如权利要求3所述的喷涂粉末，其中，在所述浆体混合物中，所述第一浆体中的氧化钇与所述第二浆体中的氧化铝的重量比在约1:0.41的范围内。9.一种形成喷涂工艺用喷涂粉末的方法，其特征在于，包括形成含有氧化钇颗粒、用于分散所述氧化钇颗粒的第一分散剂、及第一溶剂的第一浆体；形成含有氧化铝颗粒、用于分散所述氧化铝颗粒的第二分散剂、及第二溶剂的第二浆体；通过相互混合所述第一浆体和第二浆体形成桨体混合物；以及对所述浆体混合物进行喷雾干燥工艺和热处理工艺，从而形成包含氧化钇和氧化铝的粗粒状颗粒。10.如权利要求9所述的方法，其中，所述氧化钇颗粒的平均直径为约0.01nm至约2nm，且所述氧化铝颗粒的平均直径为约0.5pm至约2)im。11.如权利要求9所述的方法，其中，所述第一分散剂包含碱性物质。12.如权利要求11所述的方法，其中，所述第一分散剂包括至少一种选自下组的物质羧基物质、酯基物质、酰胺基物质和其组合物；且所述第一分散剂相对所述第一浆体的比例的范围为约0.3%至约0.5%。13.如权利要求9所述的方法，其中，所述第二分散剂包括酸性物质。14.如权利要求13所述的方法，其中，所述第二分散剂包括至少一种选自下组的物质羧基物质、酯基物质、酰氨基物质其它们的组合物；且所述第二分散剂相对所述第二浆体的比例的范围为约0.3%至约2%。15.如权利要求9所述的方法，其中，所述第一浆体具有碱性，且所述第二浆体具有酸性。16.如权利要求15所述的方法，其中，所述第一浆体中的所述氧化钇颗粒具有负表面电荷，且所述第二浆体中的所述氧化铝颗粒具有正表面电荷。17.如权利要求16所述的方法，其中，所述氧化钇颗粒和所述氧化铝颗粒通过静电吸引而互相粘结。18.如权利要求9所述的方法，其中，固体物质相对所述第一和第二浆体的比例的范围分别为约20%至约30%。19.如权利要求9所述的方法，其中，所述第一和第二溶剂包括有机物质和水溶液中的一种。20.如权利要求9所述的方法，其中，所述第一浆体还包括用于使所述氧化钇颗粒相互粘结的第一粘结剂，且所述第二浆体还包括用于使所述氧化铝颗粒相互粘结的第二粘结剂。21.如权利要求20所述的方法，其中，所述第一粘结剂包括聚乙烯类物质和丙烯酸类物质中的一种，且所述第一粘结剂相对所述第一浆体的比例的范围为约2%至约3%，并且所述第二粘结剂包括聚乙烯类物质和丙烯酸类物质中的一种，且所述第二粘结剂相对所述第二浆体的范围为约2%至约3%。22.如权利要求9所述的方法，其中，在所述浆体混合物中，所述第一浆体中的氧化钇相对所述第二浆体中的氧化铝的重量比的范围为约1:0.41。23.如权利要求9所述的方法，其中，对所述浆体混合物的所述热处理工艺在约80(TC至约150(TC的温度下进行。24.如权利要求9所述的方法，其中，形成含有氧化钇颗粒的所述第一浆体，形成含有氧化铝颗粒的所述第二浆体，形成所述浆体混合物，进行所述喷雾干燥工艺以及所述热处理工艺是在空气、氢气、氧气、氮气及其混合物之一的气氛中进行的。25.—种形成喷涂层的方法，其特征在于，包括-制备具有包含氧化钇和氧化铝的粗粒状颗粒的喷涂粉末，所述颗粒的平均直径的范围为约2(^m至约60^n;以及将所述喷涂粉末以溶解状态喷射到物体上。26.如权利要求25所述的方法，其中，所述喷涂粉末的喷涂是通过大气等离子体喷涂(APS)工艺、高速氧燃料(HVOF)喷涂工艺、真空等离子体喷涂(VPS)工艺和动力喷涂工艺中的一种进行的。27.—种形成喷涂层的方法，其特征在于，包括利用包含第一浆体和第二浆体的浆体混合物制备喷涂粉末，所述喷涂粉末包括平均直径为约20|im至约60nm的颗粒，所述第一浆体含有直径为约O.Olnm至约2pm的氧化钇颗粒、用于均匀分散所述氧化钇颗粒的第一分散剂、用于粘结所述氧化钇颗粒的第一粘结剂以及所述氧化钇颗粒、第一分散剂和第一粘结剂溶于其中的第一溶剂，且所述第二桨体含有直径为约0.5pm至约2pm的氧化铝颗粒、均匀分散所述氧化铝颗粒的第二分散剂、粘结所述氧化铝颗粒的第二粘结剂以及所述氧化铝颗粒、第二分散剂和第二粘结剂溶于其中的第二溶剂；以及将所述喷涂粉末以溶解状态喷射至物体。28.如权利要求27所示的方法，其中，所述第一分散剂包括碱性物质，且所述第二分散剂包括酸性物质。29.如权利要求28所述的方法，其中，所述第一分散剂相对所述第一浆体的比例的范围为约0.3%至约0.5%，而所述第二分散剂相对所述第二浆体的比例的范围为约0.3%至约2%。30.如权利要求27所述的方法，其中，所述第一粘结剂相对所述第一浆体的比例的范围为约2%至约3%，而所述第二粘结剂相对所述第二浆体的比例的范围为约2%至约3%。31.如权利要求27所述的方法，其中，固体物质相对所述第一和第二浆体的比例的范围分别为约20%至约30%。32.如权利要求27所述的方法，其中，在所述浆体混合物中，氧化钇相对氧化铝的重量比的范围为约1:0.41。33.如权利要求27所述的方法，其中，所述喷涂粉末的喷涂是通过APS工艺、HVOF喷涂工艺、VPS工艺、和动力喷涂工艺中的一种进行的。34.—种喷涂层，包括氧化钇和氧化铝，且具有经喷涂工艺形成的无定形结构。35.如权利要求34所述的喷涂层，其中，其孔隙率范围为约0.5%至约2%。36.如权利要求34所述的喷涂层，其中，其粘合强度至少为约BMPa。37.如权利要求34所述的喷涂层，其中，其硬度至少为约650HV。38.如权利要求34所述的喷涂层，其中，在所述浆体混合物中氧化钇相对氧化铝的重量比的范围为1:0.41，且平均直径为约2(Vm至约60pm的喷涂粉末使用在所述喷涂工艺中。39.如权利要求34所述的喷涂层，其中，所述喷涂层位于工艺室的内部构件的表面上，在所述工艺室内等离子体处理在基板上进行。全文摘要在喷涂工艺用喷涂粉末中，所述喷涂粉末包括平均直径为约20μm至约60μm的颗粒，所述喷涂粉末由包含第一浆体和第二浆体的浆体混合物生成。所述第一浆体含有直径为约0.01μm至约2μm的氧化钇颗粒、均匀分散所述氧化钇颗粒的第一分散剂、粘结所述氧化钇颗粒的第一粘结剂以及第一溶剂。所述第二浆体含有直径为约0.5μm至约2μm的氧化铝颗粒、均匀分散所述氧化铝颗粒的第二分散剂、粘结所述氧化铝颗粒的第二粘结剂以及第二溶剂。文档编号C23C4/10GK101487109SQ20081018215公开日2009年7月22日申请日期2008年11月14日优先权日2008年1月14日发明者张敬翼,柳忠烈,芮庚焕,郑彩钟,金三雄申请人:高美科株式会社