镀膜承载装置及具有该镀膜承载装置的光学镀膜设备的制作方法

文档序号:3365122阅读:170来源:国知局
专利名称:镀膜承载装置及具有该镀膜承载装置的光学镀膜设备的制作方法
技术领域
本发明涉及一种镀膜承载装置及具有该镀膜承载装置的光学镀膜设备。
背景技术
现有的镜片在镀膜时,大多安装在镀膜伞上。由于镀膜伞上不同径向距离的镜片与蒸镀源之间的距离不同,所以在镀膜时不同径向距离的镜片的膜层厚度可能会存在差异,然而由于现有的镀膜伞的外形是固定不变的,所以即使镀膜测试时发现不同径向距离的镜片的膜层厚度上有差异,也没有办法对镀膜伞进行微调,只能通过额外增加修正板来消除这种膜层之间的差异。而修正板的设计往往依赖于设计人员的经验,如果设计人员没有非常丰富的经验,往往难以设计出符合要求的修正板,从而造成生产中的不便。

发明内容
有鉴于此,有必要提供一种能够调节形状的镀膜承载装置及具有该装置的光学镀膜设备。一种镀膜承载装置,其包括多个不同直径的同心环形载盘及与各环形载盘一一对应的移动装置。所述各环形载盘包括底板,所述底板上开设多个用于容置待镀镜片的容置孔,所述各环形载盘由小到大逐个嵌套,所述各移动装置分别与各环形载盘连接,用于沿所述各环形载盘轴向移动所述各环形载盘。一种光学镀膜设备,其包括镀膜室、镀膜承载装置及蒸镀源。所述镀膜承载装置设置在所述镀膜室的顶部,所述蒸镀源设置在所述镀膜室的底部。所述镀膜承载装置包括多个不同直径的同心环形载盘及与各环形载盘一一对应的移动装置,所述各移动装置固定在所述镀膜室的顶部,且分别与各环形载盘连接,所述各移动装置用于沿所述各环形载盘轴向移动所述各环形载盘,所述各环形载盘包括底板,所述底板上开设多个用于容置待镀镜片的容置孔,所述各环形载盘由小到大逐个嵌套。本发明提供的镀膜承载装置通过改变各同心环形载盘的轴向位移,改变所述镀膜承载装置的形状,从而在镀膜时能够方便调整不同径向距离的待镀镜片的膜层厚度。


图1为本发明提供的光学镀膜设备的示意图。图2为图1的光学镀膜设备内部的示意图。图3为图1的光学镀膜设备的状态示意图。主要元件符号说明光学镀膜设备 100镀膜室10顶部11侧壁12
通孔120
底部13
镀膜承载装置20
第--环形载盘21
第--底板210
容置孔20a
第--环形侧壁211
第-一吊耳212
第:二环形载盘22
第:二底板220
第:二环形侧壁221
第:二吊耳222
第:Ξ环形载盘23
第:Ξ底板230
第:三环形侧壁231
第:Ξ吊耳232
第--移动装置24
第-一马达240
第--转轴241
第-一吊带242
第:二移动装置25
第:二马达250
第:二转轴251
第:二吊带252
第:Ξ移动装置26
第:三马达260
第:Ξ转轴261
第:Ξ吊带262
蒸镀源30
具体实施例方式请参见图1及图2,为本发明提供的一种光学镀膜设备100,所述光学镀膜设备100 包括镀膜室10、镀膜承载装置20、蒸镀源30及支架40。本实施方式中,所述光学镀膜设备100是真空镀膜机。所述镀膜室10包括顶部 11、侧壁12及底部13。所述镀膜承载装置20位于所述镀膜室10的顶部11。所述蒸镀源 30固定在所述真空镀膜室10的底部13。所述镀膜室10侧壁12开设六对通孔120,每一对
40
41
42
支架横梁
悬臂所述镀膜承载装置20用于装载待镀膜的镜片。本实施方式中,所述镀膜承载装置 20包括第一环形载盘21、第二环形载盘22、第三环形载盘23、第一移动装置对、第二移动装置25及第三移动装置26。当然,如果需要所述镀膜承载装置20装载更多的待镀镜片,或者需要调节的更细。所述镀膜承载装置20也可以包含更多的环形载盘。本实施方式中,所述第一环形载盘21、第二环形载盘22、第三环形载盘23均为圆盘状。当然,所述第一环形载盘21、第二环形载盘22及第三环形载盘23也可以为多边型状。所述第一环形载盘21包括第一底板210、第一环形侧壁211及两个第一吊耳212。 所述第一底板210上开设多个用于容置待镀镜片的容置孔20a。所述第一环形侧壁211环绕于所述第一底板210。所述第一环形侧壁211与所述第一底板210为一体结构。当然,所述第一环形载盘21也可以包括更多第一吊耳212以提高所述第一环形载盘21移动时的稳定性。所述第一环形侧壁211也可以与所述第一底板210分开制造,通过焊接工艺连接到一起。所述两个第一吊耳212固定于所述第一环形侧壁211上,且沿所述第一环形载盘 21的圆心对称分布。所述第二环形载盘22包括第二底板220、第二环形侧壁221及两个第二吊耳222。 所述第二环形载盘22的结构形状与所述第一环形载盘21相同,但所述第二环形载盘22的尺寸大于所述第一环形载盘21的尺寸。本实施方式中,所述第二环形载盘22的内径等于所述第一环形载盘21的外径,所述第二环形载盘22套设于所述第一环形载盘21的第一环形侧壁211上。当然,所述第二环形载盘22的内径也可以大于所述第一环形载盘21的外径。所述第三环形载盘23包括第三底板230、第三环形侧壁231及两个第三吊耳232。 所述第三环形载盘23的结构形状与所述第一环形载盘21相同,但所述第三环形载盘23的尺寸大于所述第二环形载盘22的尺寸。本实施方式中,所述第三环形载盘23的内径等于所述第二环形载盘22的外径,所述第三环形载盘23套设于所述第二环形载盘22的第二环形侧壁221上。当然,所述第三环形载盘23的内径也可以大于所述第二环形载盘22的外径。本实施方式中,当第一环形载盘21、第二环形载盘22、第三环形载盘23位于同一高度时,所述第一吊耳212、第二吊耳222、第三吊耳232位于同一直线上。本实施方式中,所述第一移动装置M包括两个第一马达M0、两个第一转轴241及两个第一吊带M2。所述各第一转轴Ml分别转动安装于所述各第一马达240上,所述各第一马达240固定于所述镀膜室10的顶部11。本实施方式中,所述第一马达240固定于所述支架40上。所述支架40包括横梁41及位于横梁两端的两个悬臂42,所述两个悬臂42焊接于所述镀膜室10侧壁12外侧,所述两个悬臂42与所述镀膜室10的连接处位于所述通孔120的下方。所述第一马达240固定于横梁41上,与所述镀膜室10侧壁12上的一对通孔120相对。当然,所述悬臂42也可以螺接于所述镀膜室10侧壁12上。所述两个第一马达MO同步转动。当然,所述第一马达240也可以固定于所述镀膜室10内部。所述第一移动装置M也可以仅包含一个第一马达对0,两个第一转轴241通过齿轮传动或链轮链条传动等方式同时由该第一马达240驱动。所述各第一转轴241穿过所述镀膜室10侧壁12上的一对通孔120伸入镀膜室10 内。所述第一吊带242是耐高温材料制成的皮带、金属链条或其他结构的软带。所述各第一吊带242的一端各系在一个所述第一吊耳212上,另一端缠绕在所述各第一转轴241上。 当然,为了提高卷线效率,所述第一转轴241上也可以安装卷筒,所述第一吊带242缠绕在卷筒上。为了获得更高的平稳性,所述第一移动装置M也可以采用液压或气压装置,将活塞杆与所述第一环形载盘21相连接,通过活塞杆的移动来改变所述第一环形载盘21的高度。所述第二移动装置25包括两个第二马达250、两个第二转轴251及两个第二吊带 252。所述第二移动装置25与所述第一移动装置M结构相同。所述第二马达250也固定于所述横梁41上,与所述镀膜室10侧壁12上的一对通孔120相对,所述两个第二马达250 位于所述两个第一马达MO的外侧。所述各第二转轴251与所述各第二马达250连接。所述各第二吊带252的一端各系在一个所述第二吊耳222上,另一端缠绕在所述各第二转轴 251 上。所述第三移动装置沈包括两个第三马达沈0、两个第三转轴261及两个第三吊带 262。所述第三移动装置沈与所述第一移动装置M结构相同。所述第三马达沈0固定于所述横梁41上,与所述镀膜室10侧壁12上的一对通孔120相对,所述两个第三马达260 位于所述两个第二马达250的外侧。所述各第三转轴261与所述各第三马达260连接。所述各第三吊带沈2的一端各系在一个所述第三吊耳232上,另一端缠绕在所述各第三转轴 261 上。请参阅图3,在对光学镀膜设备100进行试镀时,如果发现所述镀膜承载装置20上不同径向距离的待镀镜片的膜层厚度上有差异。例如,所述第二环形载盘22上的镜片镀膜的厚度符合预想的膜层厚度,而所述第一环形载盘21上的镜片镀膜的厚度稍厚于预想的膜厚,所述第三环形载盘23上的镜片镀膜的厚度稍薄于预想的膜厚。则可以控制所述两个第一马达MO同时转动所述两个第一转轴M1,向上卷动所述两个第一吊带M2,升高所述第一环形载盘21的高度,增加所述第一环形载盘21与蒸镀源30之间的距离,从而就可以在镀膜时减少所述第一环形载盘21上的镜片膜层的厚度。控制所述两个第三马达沈0同时转动所述两个第三转轴261,减少所述两个第三吊带262在所述两个第三转轴261缠绕的圈数,降低所述第三环形载盘23的高度,减少所述第一环形载盘21与蒸镀源30之间的距离,从而就可以在镀膜时增加所述第一环形载盘21上的镜片膜层的厚度。本发明提供的镀膜承载装置通过改变各同心环形载盘的轴向位移,改变所述镀膜承载装置的形状,从而在镀膜时能够方便调整不同径向距离的待镀镜片的膜层厚度。可以理解的是,对于本领域的普通技术人员来说,可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形,而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种镀膜承载装置,其包括多个不同直径的同心环形载盘及与各环形载盘一一对应的移动装置,所述各环形载盘包括底板,所述底板上开设多个用于容置待镀镜片的容置孔, 所述各环形载盘由小到大逐个嵌套,所述各移动装置分别与各环形载盘连接,用于沿所述各环形载盘轴向移动所述各环形载盘。
2.如权利要求1所述的镀膜承载装置,其特征在于,所述各环形载盘还包括绕所述底板设置的环形侧壁。
3.如权利要求1所述的镀膜承载装置,其特征在于,所述各环形载盘的外径与套设在其外径上的环形载盘的内径相等。
4.如权利要求2所述的镀膜承载装置,其特征在于,所述各环形载盘还包括吊耳,所述吊耳设置在所述环形侧壁上,所述移动装置包括马达、转轴及吊带,所述马达转动设置在所述转轴上,所述吊带一端缠绕在所述转轴上,一端系在所述吊耳上。
5.如权利要求4所述的镀膜承载装置,其特征在于,所述各环形载盘具有两个吊耳,所述两个吊耳沿所述环形载盘的圆心对称分布。
6.一种光学镀膜设备,其包括镀膜室、镀膜承载装置及蒸镀源,所述镀膜承载装置设置在所述镀膜室的顶部,所述蒸镀源设置在所述镀膜室的底部,其特征在于,所述镀膜承载装置包括多个不同直径的同心环形载盘及与各环形载盘一一对应的移动装置,所述各移动装置固定在所述镀膜室的顶部,且分别与各环形载盘连接,所述各移动装置用于沿所述各环形载盘轴向移动所述各环形载盘,所述各环形载盘包括底板,所述底板上开设多个用于容置待镀镜片的容置孔,所述各环形载盘由小到大逐个嵌套。
7.如权利要求6所述的镀膜承载装置,其特征在于,所述各环形载盘还包括绕所述底板设置的环形侧壁。
8.如权利要求6所述的光学镀膜设备,其特征在于,所述各环形载盘的外径与套设在其外径上的环形载盘的内径相等。
9.如权利要求7所述的光学镀膜设备,其特征在于,所述各环形载盘的环形侧壁上设置有吊耳,所述移动装置包括马达、转轴及吊带,所述马达转动设置在所述转轴上,所述各转轴及吊带与吊耳一一对应,所述吊带一端缠绕在所述转轴上,一端系在所述吊耳上。
10.如权利要求9所述的光学镀膜设备,其特征在于,所述各环形载盘具有两个吊耳, 所述两个吊耳沿所述环形载盘的圆心对称分布。
全文摘要
本发明提供一种镀膜承载装置,其包括多个不同直径的同心环形载盘及与各环形载盘一一对应的移动装置。所述各环形载盘包括底板,所述底板上开设多个用于容置待镀镜片的容置孔。所述各环形载盘由小到大逐个嵌套,所述各移动装置分别与各环形载盘连接,用于沿所述各环形载盘轴向移动所述各环形载盘。本发明提供的镀膜承载装置通过改变各同心环形载盘的轴向位移,改变所述镀膜承载装置的形状,从而在镀膜时能够方便调整不同径向距离的待镀镜片的膜层厚度。另,本发明还提供一光学镀膜设备。
文档编号C23C14/24GK102383103SQ20101026679
公开日2012年3月21日 申请日期2010年8月30日 优先权日2010年8月30日
发明者裴绍凯 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司
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