专利名称：一种玻璃镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种镀膜设备领域，尤其涉及一种玻璃镀膜机。
背景技术：
目前的真空镀膜技术，对真空镀膜室的气压要求非常高，特别是针对不同的工作 气体，在玻璃表面进行镀膜的时候对真空镀膜室内最适合镀膜气压要求因工作气体的不同 而有所不同。但是，专门为某一种工作气体而制作一个使用抽气口抽气的真空镀膜室花费 的成本较高，而且仅仅使用抽气口进行抽气对气压进行细调是十分困难的，结果导致要很 费劲才能达到实际需要的气压值，所以急需一种既可以人工调节气压又可以进行定压，成 本低，操作简单，并且能够符合多种工作气体的镀膜气压的使用要求的玻璃镀膜机。
实用新型内容为了得到一种既可以人工调节气压又可以进行定压，成本低，操作简单并且能够 符合多种工作气体镀膜气压的使用要求的玻璃镀膜机，本实用新型提成新的技术解决方 案，具体的内容如下一种玻璃镀膜机，包括真空镀膜室，磁控溅射靶，抽气口，玻璃传动机械，驱动装 置，所述真空镀膜室前表面上还设有手动放气阀。所述手动放气阀活动连接在所述真空室前表面上，数量为一。通过使用手动放气阀，就可以实现对真空镀膜室内的气压进行定压调节。所述真空镀膜室前表面上还设有监视孔，所述监视孔与所述手动放气阀互相隔 开。所述监视孔呈圆形，数量为一。而通过所述的监视孔，可以实时监控整个镀膜全过程。本实用新型产生如下有益结果本实用新型结构简单，成本低廉，既可以人工调节气压又可以进行定压，满足多种 工作气体的不同气压使用要求的，并且能够对镀膜过程进行实时监控。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型主要包括真空镀膜室1，磁控溅射靶，抽气口 2，玻璃传动 机械，驱动装置3和一个手动放气阀4，一个监视孔5。手动放气阀4设定在真空镀膜室1 的前表面上，而监视孔5也是设定在真空镀膜室1的前表面上，并且监视孔5与手动气阀4 互相间隔一段距离。其工作原理如下玻璃片经过用自来水和去水离子洗净干燥后，通过驱 动装置3驱动玻璃传动机械，使玻璃可以在玻璃传动机械上做往复运动。关闭真空镀膜室1的大门，经抽气口 2抽出室内的空气，使真空度达到6-9pa，同时通过手动放气阀4进行定 压调节以方便对玻璃进行进一步的净化，玻璃净化后，抽气口 2继续抽气，直到真空镀膜室 1内的真空度达到7-8 X ΙΟ"3 pa,从充气管通入工作气体氩，再通过手动放气阀4调节真空 镀膜室1内的气压，并使气压维持在1-2 X 10—1 pa，从而实现定压的作用。工作气体再在电 磁场的作用下电离成离子，并轰击磁控溅射靶表面，溅射出的金属原子抵达玻璃的表面形 成薄膜。溅射的周期为5-10分钟，整个溅射过程可以通过监视孔5随时观察溅射的整个过 程。 对于本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，作出其他各 种相应的改变以及变形，而所有的这些改变以及变形都应该属于本实用新型权利要求的保 护范围之内。
权利要求1.一种玻璃镀膜机，包括真空镀膜室，磁控溅射靶，抽气口，玻璃传动机械，驱动装置， 其特征在于，所述真空镀膜室前表面上还设有手动放气阀。
2.如权利要求1所述的一种玻璃镀膜机，其特征在于，所述手动放气阀活动连接在所 述真空室前表面上，数量为一。
3.如权利要求1-2任何一项所述的一种玻璃镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜室前 表面上还设有监视孔，所述监视孔与所述手动放气阀互相隔开。
4.如权利要求3所述的一种玻璃镀膜机，其特征在于，所述监视孔呈圆形，数量为一。
专利摘要本实用新型公开了一种玻璃镀膜机，包括真空镀膜室，磁控溅射靶，抽气口，玻璃传动机械，驱动装置，其特征在于，所述真空镀膜室前表面上还设有手动放气阀。本实用新型结构简单，成本低廉，既可以人工调节气压又可以进行定压，满足多种工作气体的不同气压使用要求的，并且能够对镀膜过程进行实时监控。
文档编号C23C14/52GK201890922SQ20102062905
公开日2011年7月6日 申请日期2010年11月26日 优先权日2010年11月26日
发明者黄瑞安 申请人:黄瑞安