专利名称：用于气相沉积反应腔的射频连接结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种射频连接结构，特别涉及一种用于气相沉积反应腔的射频连接结构。
背景技术：
非晶硅太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右，是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的 1/200-1/300，与单晶硅太阳能电池相比，制备这种薄膜所用硅原料很少，薄膜生长时间较短，设备制造简单，容易大批量连续生产，根据国际上有关专家的估计，非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。现有技术中，用于光伏组件规模制造的等离子体化学气相沉积真空设备，包括真空腔以及电极盒等主要部件。一个沉积电极盒包含多个射频电极，每个电极可以沉积四片太阳能电池，将预热完成的电极盒子放入一个真空沉积腔室当中，在真空室里完成非晶硅薄膜的沉积，沉积完成后将电极盒子取出进行冷却。若具有多个沉积电极盒则通过多条独立射频线路与射频电源/匹配器相连，对于一个真空腔内具有多个沉积电极盒时，射频线路太多，容易相互影响，生产成本也高。
实用新型内容本实用新型所要解决的问题是提供一种用于气相沉积反应腔的射频连接结构，克服现有技术中存在的上述问题。本实用新型用于气相沉积反应腔的射频连接结构，包括射频电缆、射频输入接口和射频频输出接口，射频电缆包括第一根电缆和第二根电缆，第一根电缆的一端连接在第二根电缆的中部并导通，第一根电缆的另一端连接所述射频输入接口，第二根电缆的两端分别连接一个所述射频输出接口。本实用新型所述射频电缆为同轴电缆。本实用新型所述第一根电缆和第二根电缆通过螺纹铜棒相连，螺纹铜棒的一端铜银焊接在所述第二根电缆内的铜导体上，螺纹铜棒的另一端与第一根电缆内的铜导体相连。本实用新型在所述第一根电缆和第二根电缆连接处外围从内到外依次包裹绝缘
套管和屏蔽套管。本实用新型所述射频输出接口与反应腔内的电极盒相连。 本实用新型所述射频输入接口与射频匹配器相连，并通过真空接口固定在反应腔的底板上。 通过以上技术方案，本实用新型用于气相沉积反应腔的射频连接结构，采用软性射频电缆非接触远程耦合设计，通过将射频电缆一分为二共用输入接口，将射频电能均勻地耦合至两个独立电极盒，取得良好重复性和膜厚均勻性。
图1本实用新型射频连接结构的具体结构图。图2为图1中A处局部放大图。图3本实用新型所述第二电缆与射频输出接口的具体连接结构。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型用于气相沉积反应腔的射频连接结构，包括射频电缆、射频输入接口 4和射频输出接口 3，该射频电缆包括第一根电缆2和第二根电缆1，第一根电缆2的一端连接在第二根电缆1的中部并导通，第一根电缆2的另一端连接射频输入接口 4，第二根电缆1的两端分别连接射频输出接口 3。采用射频电缆非接触远程耦合设计，通过将射频电缆一分为二共用输入电缆，将射频电能均勻地耦合至两个独立电极盒，取得良好重复性和膜厚均勻性。如图2所示，射频电缆为同轴电缆，第一根电缆2和第二根电缆1通过螺纹铜棒11 相连，螺纹铜棒11的一端铜银焊接在第二根电缆内的铜导体10上，螺纹铜棒的另一端与第一根电缆内的铜导体9相连。为实现射频信号的良好传输，在第一根电缆2和第二根电缆 1的连接处外围从内到外依次包裹绝缘套管8和屏蔽套管7。如图3所示，上述射频输出接口 3包括螺纹铜柱16，螺纹铜柱16的外部从内到外依次包裹绝缘管12和屏蔽套管15，射频输出接口 3通过压紧屏蔽螺母13与第二根电缆相连，在射频输出接口与压紧屏蔽螺母间设有铜垫14，并将螺纹铜柱16与第二根电缆内的铜导体10铜银焊接，使射频输出接口与第二根电缆相导通。射频输出接口内的螺纹铜柱16 与反应腔内的电极盒5上的射频电极相连。为保证射频输入接口 4位于真空环境中，将射频输入接口 4与射频匹配器相连，并通过真空接口 6固定在反应腔的底板上。本实用新型的射频连接结构满足了气相沉积反应腔内具有两个独立电极盒的射频输入，并且均勻的将射频电能耦合至两个独立电极盒，保证镀膜厚度一致。
权利要求1.一种用于气相沉积反应腔的射频连接结构，包括射频电缆、射频输入接口和射频输出接口，其特征在于，射频电缆包括第一根电缆( 和第二根电缆(1)，第一根电缆( 的一端连接在第二根电缆(1)的中部并导通，第一根电缆的另一端连接所述射频输入接口 G)， 第二根电缆的两端分别连接一个所述射频输出接口(3)。
2.根据权利要求1所述的射频连接结构，其特征在于，所述射频电缆为同轴电缆。
3.根据权利要求1所述的射频连接结构，其特征在于，所述第一根电缆(2)和第二根电缆(1)通过螺纹铜棒(11)相连，螺纹铜棒(11)的一端铜银焊接在所述第二根电缆内的铜导体(10)上，螺纹铜棒的另一端与第一根电缆内的铜导体(9)相连。
4.根据权利要求3所述的射频连接结构，其特征在于，在所述第一根电缆(2)和第二根电缆(1)的连接处外围从内到外依次包裹绝缘套管(8)和屏蔽套管(7)。
5.根据权利要求1所述的射频连接结构，其特征在于，所述射频输出接口(3)与反应腔内的电极盒(5)相连。
6.根据权利要求1所述的射频连接结构，其特征在于，所述射频输入接口(4)与射频匹配器相连，并通过真空接口(6)固定在反应腔的底板上。
专利摘要本实用新型用于气相沉积反应腔的射频连接结构，包括射频电缆，射频电缆包括第一根电缆和第二根电缆，第一根电缆连接在第二根电缆的中部并导通，第一根电缆的端部连接射频输入接口，第二根电缆的两端分别连接射频输出接口。本实用新型用于气相沉积反应腔的射频连接结构，采用软性射频电缆非接触远程耦合设计，通过将射频电缆一分为二共用输入接口，将射频电能均匀地耦合至两个独立电极盒，取得良好重复性和膜厚均匀性。
文档编号C23C16/24GK202201974SQ20112027020
公开日2012年4月25日 申请日期2011年7月28日 优先权日2011年7月28日
发明者郭锋 申请人:上海曙海太阳能有限公司